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1、2006年 韓 良小測試1.簡單和填空(14分) (1)什么是集成電路?(2分) (2)何謂硅柵自對準?(2分) (3)至少說出兩種CMOS相對于Bipolar的優(yōu)缺點。(4分) (4)特征尺寸是集成電路器件中最細線條的寬度,對MOS器件常指最小的 長度,特征尺寸的減少主要取決于 。(2分) (5)在N阱CMOS集成電路中,n阱作為_的襯底,一般接_電位;p型襯底硅片作為_的襯底,一般接_電位。 (4分)時間:10分鐘2006年 韓 良時間:40分鐘2.下圖是橫向PNP管的刨面圖。(1)說明是如何實現(xiàn)隔離的。(5分)(2)畫出其平面圖。(10分)(3)給出寄生管子和原PNP管的連接關(guān)系。(5分
2、)(4)說明什么情況有源寄生對原器件的影響最大,為什么?(16分) 2006年 韓 良 3.采用N阱硅柵CMOS工藝設(shè)計集成電路版圖時用到的版圖層次有:poly(多晶),active(有源區(qū)),contact(接觸孔),nwell(N阱),pplus(P+注入),metal1(金屬1),pad(鈍化窗口),metal2(金屬2),via(通孔) (1) 請按工藝流程的先后順序?qū)λ鼈冞M行排序 。(9分) (2) pmos管的源漏區(qū)是由哪些層次版圖數(shù)據(jù)確定的?(4分) (3) 哪個層次版圖數(shù)據(jù)制作的掩膜版是用來進行局部氧化用的?局部氧化的作用是什么? (7分)時間:20分鐘2006年 韓 良 4. 電路提取 (1)圖中所示的A-A切面畫出剖面結(jié)構(gòu)示意圖。(15分) (2)提取電路并分析該電路
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