太陽能電池絲網(wǎng)印刷簡介

1、IV區(qū)介紹第一頁，共六十八頁。四區(qū)工藝在標(biāo)準(zhǔn)工藝中，采用真空蒸發(fā)工藝來制作電極。此工藝只適用于小批量的生產(chǎn)，同時(shí)在用來形成電極的金屬材料方面比較浪費(fèi)，勞力密集并且真空蒸發(fā)設(shè)備與其產(chǎn)能相比相當(dāng)昂貴。大批量生產(chǎn)電池時(shí)應(yīng)用的兩種低成本工藝是絲網(wǎng)印刷和電鍍。這兩種工藝減少了金屬的消耗量，并且避免了對(duì)昂貴的真空設(shè)備的要求。第二頁，共六十八頁。IV區(qū)的構(gòu)成 IV區(qū)主要包括絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)和測試這三部分，成品電池片在這一道工序完成。第三頁，共六十八頁。利用絲網(wǎng)印刷，將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極，將光生電子導(dǎo)出電池。把金屬漿料印在已形成p-n結(jié)的多晶硅硅片上，分別印刷背面銀鋁漿，形

2、成背電極，有利于組件的焊接。第二道印刷鋁漿進(jìn)行重?fù)诫s，形成P+層。鋁背場減少載流子復(fù)合，收集正電荷，增大開壓。第三道印刷銀漿，有利于電荷的收集，形成上電極。 絲網(wǎng)印刷目的第四頁，共六十八頁。硅片經(jīng)過三次印刷工序后的效果圖背銀印刷背鋁印刷正銀印刷第五頁，共六十八頁。IV區(qū)生產(chǎn)流程上料邊緣碎片檢測背電極印刷人工檢測烘干緩沖存儲(chǔ)器背面鋁印刷人工檢測烘干緩沖存儲(chǔ)器翻轉(zhuǎn)電池片正銀柵線印刷自動(dòng)檢測燒結(jié)緩沖存儲(chǔ)器冷卻測試分類包裝第六頁，共六十八頁。絲網(wǎng)印刷原理絲網(wǎng)印刷由五大要素構(gòu)成，即絲網(wǎng)、刮刀、漿料、工作臺(tái)以及基片。絲網(wǎng)印刷基本原理是：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透漿料，非圖文部分網(wǎng)孔不透漿料的基本原理進(jìn)行印刷。

3、印刷時(shí)在絲網(wǎng)一端倒入漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。油墨在移動(dòng)中被刮板從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。第七頁，共六十八頁。由于漿料的黏性作用而使印跡固著在一定范圍之內(nèi)，印刷過程中刮板始終與絲網(wǎng)印版和承印物呈線接觸，接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，由于絲網(wǎng)與承印物之間保持一定的間隙，使得印刷時(shí)的絲網(wǎng)通過自身的張力而產(chǎn)生對(duì)刮板的反作用力，這個(gè)反作用力稱為回彈力。由于回彈力的作用，使絲網(wǎng)與基片只呈移動(dòng)式線接觸，而絲網(wǎng)其它部分與承印物為脫離狀態(tài)，保證了印刷尺寸精度和避免蹭臟承印物。當(dāng)刮板刮過整個(gè)印刷區(qū)域后抬起，同時(shí)絲網(wǎng)也脫離基片，工作臺(tái)返回到上料位置，至此為一個(gè)印刷行程。第八頁

4、，共六十八頁。1絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)和測試設(shè)備簡介1.1ASYS工藝流程SES（上料）XS（背電極印刷）烘干SMP（緩沖傳送器）XS（背電場印刷） 烘干SMP（緩沖傳送器）SFS（翻轉(zhuǎn)電池片）XS（正電極印刷）SIS（自動(dòng)檢測）燒結(jié)SBB（緩沖裝置）冷卻SDA（測試分檢）包裝第九頁，共六十八頁。1.2 ASYS印刷生產(chǎn)線主要設(shè)備大致分為：花籃式上片單元（SES01）、光學(xué)碎片檢測機(jī)（SIS01）、絲網(wǎng)印刷機(jī)（XS）、水平烘干爐 （ICS03H）、堆棧存儲(chǔ)單元 （SMP01）、電池片翻轉(zhuǎn)單元（SFS01）、自動(dòng)檢查單元ATM（SPC01）、測試單元（STH01）等。第十頁，共六十八頁。第十一頁，共六十

5、八頁。設(shè)備介紹1. 花籃式上片單元（SES01）裝滿硅片的花籃由上層傳送至載荷側(cè)，隨生產(chǎn)節(jié)拍逐次下降，硅片落在傳送帶上，由傳送帶傳送進(jìn)入生產(chǎn)線，空的花籃由下層傳送至脫載側(cè)，并升至上層，由人工取出再更換裝滿硅片的花籃，完成上片過程。第十二頁，共六十八頁。2. 光學(xué)碎片檢測機(jī)（SIS01）硅片進(jìn)入停在傳送帶上，下面發(fā)光，裝在傳送帶頂部的檢測相機(jī)進(jìn)行拍攝，然后由計(jì)算機(jī)通過圖象處理軟件進(jìn)行分析，檢查是否有裂紋或電池片邊緣破損，硅片的檢查結(jié)果實(shí)時(shí)的顯示在顯示器上，如果破損超過設(shè)定值，該電池片可以被手動(dòng)從生產(chǎn)線移除。 第十三頁，共六十八頁。設(shè)定硅片破損的界限設(shè)定硅片的直徑設(shè)定硅片的格式設(shè)定硅片允許旋轉(zhuǎn)的角

6、度光學(xué)碎片檢測控制界面第十四頁，共六十八頁。3. 絲網(wǎng)印刷機(jī) （XS1）硅片通過傳送皮帶到達(dá)印臺(tái)，印臺(tái)升起并用真空吸住硅片，通過光學(xué)邊緣識(shí)別系統(tǒng)，可以探測到硅片的邊緣，同時(shí)調(diào)整網(wǎng)框?qū)φ杵?。印刷時(shí)，刮刀向前運(yùn)動(dòng)把漿料壓入網(wǎng)孔，漿料與硅片接觸，在絲網(wǎng)回彈過程中附著到硅片上，印刷完的硅片通過傳送皮帶運(yùn)送到下道工序。第十五頁，共六十八頁。絲網(wǎng)印刷的定位。通過網(wǎng)板固定架上的三個(gè)軸(X軸及兩角的旋轉(zhuǎn)軸)自動(dòng)調(diào)整網(wǎng) 板的位置，使其與硅片對(duì)正X軸旋轉(zhuǎn)軸1旋轉(zhuǎn)軸2第十六頁，共六十八頁。印刷的相關(guān)參數(shù)印刷壓力：用于在印刷時(shí)提供給刮刀垂直力，以確保在印刷過程中能把漿料通過網(wǎng)孔刮到硅片上。刮刀壓力越小，填入網(wǎng)孔的墨

7、量就越多。印刷間距：網(wǎng)板與硅片之間的距離，保證在印刷后網(wǎng)板的回 彈。絲網(wǎng)間距增大，油墨的轉(zhuǎn)移量也增大，但隨著刮刀壓力的增加，絲網(wǎng)間距對(duì)油墨轉(zhuǎn)移量影響趨小。印刷速度：印刷速度決定了整條線的產(chǎn)量，但也不能過快。濕重在某一速度下達(dá)到最大值，低于此速度，速度增大濕重增大，高于此值，速度增大濕重減小，還可能造成印刷不良。印刷高度（down-stop）：down-stop值越大，濕重越小。刮刀截面：對(duì)刮刀的截面形狀來說，刮刀邊越銳利，線接觸越細(xì)，出墨量就越少；邊越圓，出墨量就越多。第十七頁，共六十八頁。4. 水平烘干爐 （ICS03H）烘干爐有五個(gè)不同的紅外加熱區(qū)，電池片經(jīng)過預(yù)熱，加熱，冷卻后傳送到下道工

8、序。烘干：烘干金屬漿料中的有機(jī)溶劑，通過共融燒結(jié)使得金屬電極和硅材料形成良好的接觸第十八頁，共六十八頁。硅片傳送采用金屬網(wǎng)帶；加熱采用紅外加熱管；烘干爐上部有排風(fēng)管第十九頁，共六十八頁。5. 堆棧存儲(chǔ)單元 （SMP01）此設(shè)備配備有一個(gè)可以容納最多60片電池片的花籃，在下游設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)有時(shí)，電池片可存入緩沖器，在上游設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，花籃中存有的電池片可繼續(xù)向下游傳送，起到了緩沖作用，提高了印刷生產(chǎn)線的效率。在正常生產(chǎn)時(shí)此設(shè)備作普通傳送帶用。第二十頁，共六十八頁。6. 電池片翻轉(zhuǎn)單元（SFS01）在經(jīng)過背銀、背鋁印刷后，要對(duì)電池片的相反面進(jìn)行正銀印刷，此設(shè)備就是對(duì)硅片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)翻面。 第二十一頁

9、，共六十八頁。7. 自動(dòng)檢查單元ATM（SPC01）電池片在完成正銀印刷后進(jìn)入此設(shè)備，由裝在傳送帶頂部的相機(jī)進(jìn)行拍攝，計(jì)算機(jī)通過圖象處理軟件進(jìn)行分析，檢查是否有斷柵，并將檢查結(jié)果實(shí)時(shí)顯示在顯示器上，如果斷柵點(diǎn)數(shù)超過設(shè)定值，設(shè)備發(fā)出警報(bào)，并可以將該電池片手動(dòng)從生產(chǎn)線移除。 第二十二頁，共六十八頁。硅片檢測控制界面第二十三頁，共六十八頁。8.電池片在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)第二十四頁，共六十八頁。9. 上/下片存儲(chǔ)單元 （SBL01）此設(shè)備既可作上/下片單元用也可作存儲(chǔ)單元用，當(dāng)下游設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，移載頭可將傳送帶上的電池片移至側(cè)邊的盒內(nèi)，當(dāng)上游設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，也可將盒中的電池片移至傳送帶上，繼續(xù)生產(chǎn)作存儲(chǔ)

10、單元用。因電池片盒可從外部自由拿放，所以此設(shè)備也可作上/下片單元用。 第二十五頁，共六十八頁。10. 電池片冷卻單元（SCU01）電池片離開燒結(jié)爐后的溫度較高不適合電氣測試，因此要進(jìn)行冷卻降溫，電池片通過兩個(gè)旋轉(zhuǎn)輪通過，設(shè)備上部有兩組風(fēng)扇對(duì)其冷卻至環(huán)境溫度。第二十六頁，共六十八頁。11. 測試單元（STH01）測試機(jī)集成了Begger測試系統(tǒng)，測試電池片的電氣數(shù)據(jù)，如：VOC, ISC,RSH, RS, FF等。在測試過程中，探針以較小的機(jī)械壓力接觸電池片，并把所有的測試數(shù)據(jù)都存貯在數(shù)據(jù)庫中。測試機(jī)直接與分選機(jī)通訊，通過分選機(jī)把電池片放置在預(yù)先確定的目標(biāo)倉中。第二十七頁，共六十八頁。BERGE

11、R系統(tǒng)的組成：燈燈電源電池測試盒測溫組件第二十八頁，共六十八頁。電流-電壓曲線藍(lán)線為燈發(fā)光強(qiáng)度E=1000W/m2的測量曲線紅線為燈發(fā)光強(qiáng)度E=500W/m2的測量曲線第二十九頁，共六十八頁。電流-電壓曲線參數(shù)介紹Isc 短路電流Voc 開路電壓Pmpp 最大功率Vmpp 最大功率對(duì)應(yīng)的最大電壓 Impp 最大功率對(duì)應(yīng)的最大電流Rs 串聯(lián)電阻FF 填充因子Rsh 并聯(lián)電阻第三十頁，共六十八頁。Berger 檢測設(shè)備主畫面Warning at(警告)：每個(gè)Bin中電池片的數(shù)量達(dá)到設(shè)定的數(shù)量時(shí)，在主屏幕上的相應(yīng)Bin的計(jì)數(shù)器的顏色會(huì)從綠色變成黃色。Bin full at(晶體倉滿)：達(dá)到設(shè)定的數(shù)量

12、，提示“Full”會(huì)被觸發(fā)。電池片Bin計(jì)數(shù)器的顏色會(huì)從黃色變成紅色。信息“BIN_FULL”會(huì)傳送到電池板分類器。藍(lán)燈亮測試和分選：測試電池片性能并加以分類第三十一頁，共六十八頁。12. 分選機(jī)（SSD01）分選機(jī)共有32個(gè)電池片目標(biāo)倉，根據(jù)上道工序的檢測結(jié)果，真空吸頭可將電池片放至預(yù)先確定的目標(biāo)倉中。當(dāng)一個(gè)目標(biāo)倉到達(dá)了設(shè)定的最大值，信號(hào)燈將會(huì)被激活，此時(shí)可以打開抽屜取出電池片。第三十二頁，共六十八頁。 1.3 ASYS 印刷機(jī)主界面第三十三頁，共六十八頁。機(jī)器狀況顯示屏幕底部的圖中顯示了設(shè)備狀態(tài)。從該圖中，可以讀取印刷機(jī)的各個(gè)零件的工作狀態(tài)，例如，各個(gè)傳輸片段的裝載系統(tǒng)，刮刀的位置，蓋子的

13、位置和其他很多功能。機(jī)器狀態(tài)顯示區(qū)的綠色或者橙色標(biāo)記區(qū)域表明功能工作正常。如果區(qū)域標(biāo)記為紅色，這表明功能有錯(cuò)誤。第三十四頁，共六十八頁。當(dāng)前刮刀和漿料筒的狀態(tài)區(qū)域上部表明刮刀目前是否舉起（UP）或者是否降低（DWN）。區(qū)域下部提供了刮刀頭的信息。如果只有上部水平條亮，那么刮刀當(dāng)前在后部。只有底部的水平條亮，那么刮刀當(dāng)前在前部。另外，字母BP出現(xiàn)在條的附近，表明刮刀頭在基準(zhǔn)位置。在印刷工藝中，兩個(gè)箭頭中的一個(gè)會(huì)亮起來，表明當(dāng)前刮刀的運(yùn)行方向，并且字母P或者F會(huì)出現(xiàn)表明刮刀當(dāng)前印刷還是回料。第三十五頁，共六十八頁。移除功能可以實(shí)現(xiàn)從傳送系統(tǒng)中移除太陽電池。必須注意的是，如果該功能激活，中間傳送帶的

14、太陽電池必須移除。如果有必要，也可以移除進(jìn)口和出口的太陽電池，但是這并不是必須的。當(dāng)移除功能執(zhí)行之后，測試所有3個(gè)傳送帶的加載狀態(tài)。如果設(shè)備檢測到進(jìn)口或者出口傳送帶上有太陽電池，這將會(huì)計(jì)入后續(xù)的工藝。但是如果設(shè)備檢測到中間還有太陽電池，設(shè)備會(huì)重復(fù)要求來移除這個(gè)電池。該操作區(qū)域的“LED”表明如下：紅色：故障發(fā)生后，移除是必須的?；疑阂瞥皇潜匦璧?。選項(xiàng)卡介紹第三十六頁，共六十八頁。該功能用于執(zhí)行設(shè)備的系統(tǒng)檢查。檢查所有的對(duì)于正確操作所必需的控制單元可以正常的通信。執(zhí)行了運(yùn)行電動(dòng)機(jī)所有必需的參考。該功能的成功完成是所有其他設(shè)備工藝的基礎(chǔ)。該操作區(qū)域的LED表明系統(tǒng)狀態(tài)：綠色：系統(tǒng)檢查成功。紅色

15、：錯(cuò)誤之后，必需重新檢查系統(tǒng)?；疑合到y(tǒng)檢查還沒有執(zhí)行。第三十七頁，共六十八頁。該功能舉起上部到它最高的位置。這是唯一的使在絲網(wǎng)和印刷巢中間有足夠的空間來清洗絲網(wǎng)的下腹。該操作區(qū)域的LED表明：綠色：設(shè)備處于清洗位置。灰色：設(shè)備沒有處于清洗位置。該功能用于攜帶刮刀機(jī)構(gòu)，上部和絲網(wǎng)單元到它們各自的基準(zhǔn)位置?；鶞?zhǔn)位置是可以開啟自動(dòng)模式的位置。操作區(qū)域的LED表明如下：綠色：設(shè)備在基準(zhǔn)位置?；疑涸O(shè)備沒有位于基準(zhǔn)位置。第三十八頁，共六十八頁。該功能用于在單步模式下控制太陽電池絲網(wǎng)印刷機(jī)。如果所有的傳送帶是空的，則將會(huì)從前面的單元要求一個(gè)太陽電池并且傳送到傳送帶的進(jìn)口。另外該功能也依賴于傳送帶的加載狀

16、態(tài)，如果出口傳送帶被占據(jù)，太陽電池將傳送到下一個(gè)設(shè)備。如果中間傳送帶被占據(jù)，太陽電池將從中間傳送到出口傳送帶。如果進(jìn)口傳送帶被占據(jù)，太陽電池將從進(jìn)口傳送到中間傳送帶。每一次電池傳送到中間傳送帶，都會(huì)執(zhí)行電池位置的視覺檢查。該操作區(qū)域的LED表面：綠色：中間傳送帶上有一個(gè)太陽電池并且位于印刷巢?；疑褐虚g傳送帶上沒有太陽電池。該功能放低設(shè)備上部（印刷頭）到印刷位置。當(dāng)一個(gè)太陽電池在原位時(shí)，該功能只能在參數(shù)菜單內(nèi)執(zhí)行，因?yàn)榻褂∷⒌娇盏挠∷⑴_(tái)。但是如果沒有電池在位置上，在OPS菜單放低上部是可能的，因?yàn)閷?duì)于調(diào)整絲網(wǎng)這是必須的。當(dāng)在OPS菜單上將上部放低，絲網(wǎng)位置將自動(dòng)調(diào)整，以便使絲網(wǎng)的基準(zhǔn)在攝像頭

17、的視野中可見。該操作區(qū)域的LED表明：綠色：上部位于印刷位置?；疑荷喜坎辉谟∷⑽恢?。第三十九頁，共六十八頁。該功能打開或者關(guān)閉絲網(wǎng)夾具。通過使用氣缸，絲網(wǎng)夾具鎖定絲網(wǎng)在一定位置。當(dāng)絲網(wǎng)夾具打開之后，需要重新調(diào)整絲網(wǎng)。該區(qū)域的LED表明：綠色：絲網(wǎng)夾具關(guān)閉。黃色：絲網(wǎng)夾具關(guān)閉但是絲網(wǎng)還沒有裝配。灰色：絲網(wǎng)夾具打開。該功能測量刮刀機(jī)械的重量。為了維持恒定的刮刀壓力，需要通過一個(gè)氣動(dòng)反壓力來補(bǔ)償刮刀自身的重量。反壓力的規(guī)格在刮刀校準(zhǔn)工序中定義。這就是為什么刮刀校準(zhǔn)只能在印刷所使用的實(shí)際刮刀安裝在單元內(nèi)之后才能執(zhí)行。但是，如果該刮刀更換為一個(gè)相同質(zhì)量的刮刀或者同一個(gè)刮刀被取出然后又重新放入，則不需要

18、重新校準(zhǔn)。第四十頁，共六十八頁。該功能用于當(dāng)要求印刷一批預(yù)先確定的電池?cái)?shù)量時(shí)。在每一個(gè)印刷工序之后，計(jì)數(shù)器增加1，當(dāng)計(jì)數(shù)器達(dá)到“0”，自動(dòng)模式中斷。因此為了在自動(dòng)模式下印刷一批特定數(shù)量的電池，簡單設(shè)置計(jì)數(shù)器為一個(gè)相當(dāng)于你想印刷電池?cái)?shù)量的復(fù)數(shù)值。第四十一頁，共六十八頁。OPS界面第四十二頁，共六十八頁。OPS界面簡介OPS菜單包含了所有操作太陽電池絲網(wǎng)印刷機(jī)視覺定位系統(tǒng)（OPS）所必須的操作區(qū)域。OPS負(fù)責(zé)在太陽電池上所印刷圖形的精確調(diào)整。在3個(gè)安裝于印刷臺(tái)內(nèi)的攝像頭的幫助下，測量太陽電池的位置和絲網(wǎng)的位置，以便印刷圖形定位于太陽電池上特定的位置。太陽電池印刷機(jī)裝備的攝像頭可達(dá)5個(gè)。裝置于印刷臺(tái)

19、內(nèi)并向上指向絲網(wǎng)。攝像頭根據(jù)電池規(guī)格而自動(dòng)定位。攝像頭檢測絲網(wǎng)基準(zhǔn)和太陽電池邊緣（以調(diào)整絲網(wǎng)單元）。每一個(gè)攝像頭都有它自己的照明單元，可以單獨(dú)設(shè)置參數(shù)。屏幕的中心用于顯示照片圖形。第四十三頁，共六十八頁。1.4 baccini印刷生產(chǎn)線印刷模組Item1包括 loader（裝載），Printer（印刷），Oven（干燥爐）， Buffer（緩沖器）Item2包括 Printer（印刷），Oven（干燥爐），Buffer（緩沖器），F(xiàn)lipping 翻面Item3包括 Printer（印刷），Oven（干燥爐），F(xiàn)iring Oven燒結(jié)爐Item 4 Firing Oven Unloading

20、 燒結(jié)爐電池片卸載Tester 測試Sorter 分類第四十四頁，共六十八頁。第四十五頁，共六十八頁。設(shè)備動(dòng)作順序Multiple Cassette Loading 從儲(chǔ)存盒式硅片裝載器裝電池片F(xiàn)irst Screen Printer 第一個(gè)絲網(wǎng)印刷器First Drying Oven 第一個(gè)烘干爐Buffer 緩沖器Second Screen Printer 第二個(gè)絲網(wǎng)印刷器Second drying Oven 第二個(gè)烘干爐Buffer 緩沖器Flipping 翻面，將硅片上下翻片Third Screen Printer 第三個(gè)絲網(wǎng)印刷器vision 電池片視覺檢查Firing Oven燒結(jié)

21、爐Firing Oven Unloading 燒結(jié)爐電池片卸載Tester 測試Sorter 分類第四十六頁，共六十八頁。 Multiple Cassette Loading 從儲(chǔ)存盒式硅片裝載器裝電池片Cassett裝片器Buffer緩沖器第四十七頁，共六十八頁。 Screen Printer Screen Printer 出口Drying Oven CenteringScreen Alignment CameraTable LifterVacuum TableRectify AxisClaw第四十八頁，共六十八頁。Buffer FlipperItem4Item6Soft Line Sort

22、er（分類）第四十九頁，共六十八頁。軟件主要分Cycle，Print，Operator等界面非印刷相關(guān)的硬件參數(shù) 印刷參數(shù) 常用操作界面第五十頁，共六十八頁。Enable Magazine Loader 機(jī)器運(yùn)行時(shí)從承載盒中吸取硅片Enable Printing 選項(xiàng)不勾選時(shí)，印刷過程被跳過Enable Flip-Over 不勾選時(shí)，翻轉(zhuǎn)器不工作Enable Load Breakage Wafer 不勾選時(shí)，翻轉(zhuǎn)器不檢查是否硅片破損Enable Oven Heating 允許爐子加熱Enable Unload Oven 爐子只出硅片而不進(jìn)硅片Enable Bypass Oven 硅片在行走擘上

23、直接進(jìn)入下一工序Dispenser 設(shè)置自動(dòng)添加漿料的頻率Enable Wafer Alignment 允許在印刷之前通過攝像來校準(zhǔn)硅片Enable Screen Alignment 對(duì)網(wǎng)板上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行定位Check Breakage Before 檢查硅片在印刷前是否破碎Paper Change 印刷次數(shù)達(dá)到設(shè)置的數(shù)字時(shí)，機(jī)器停止 運(yùn)行Single Nest 強(qiáng)制機(jī)器只在設(shè)定的那個(gè)臺(tái)面上印刷第五十一頁，共六十八頁。2.1 燒結(jié)的目的干燥硅片上的漿料，燃盡漿料的有機(jī)組分，使?jié){料和硅片形成良好的歐姆接觸，形成電場和電極。Al-Si合金化 在577 以上進(jìn)行合金化。該過程是一個(gè)對(duì)Si進(jìn)行P摻雜

24、的過程。它可以減少金屬與硅交接處的少子復(fù)合，從而提高開路電壓和短路電流。Ag-Si 合金化 Ag漿料中的玻璃添加料（粘結(jié)相），在550完全潤濕SiN與Ag的界面層，在625 以上，Ag溶解到玻璃相中，燒穿SiN膜，接觸到硅片表面，在Ag-Si 共熔點(diǎn)（760 ）以上進(jìn)行合金化。2、紅外燒結(jié)爐第五十二頁，共六十八頁。歐姆接觸53金屬與半導(dǎo)體接觸時(shí)形成的非整流接觸不產(chǎn)生明顯的附加阻抗，不會(huì)使半導(dǎo)體內(nèi)部的平衡載流子濃度發(fā)生顯著變化理想歐姆接觸的接觸電阻相比半導(dǎo)體器件本身的電阻很小歐姆接觸的形成摻雜元素與硅形成合金或金屬間化合物，即形成良好的歐姆接觸第五十三頁，共六十八頁。2.2 燒結(jié)的原理使?jié){料中的

25、無機(jī)成分燒成一體，并通過一系列的物理化學(xué)變化，形成平滑、致密、附著牢固和所需性能的膜層。燒結(jié)可看作是原子從系統(tǒng)中不穩(wěn)定的高能位置遷移至自由能最低位置的過程。厚膜漿料中的固體顆粒系統(tǒng)是高度分散的粉末系統(tǒng)，具有很高的表面自由能。因?yàn)橄到y(tǒng)總是力求達(dá)到最低的表面自由能狀態(tài)，所以在厚膜燒結(jié)過程中，粉末系統(tǒng)總的表面自由能必然要降低，這是厚膜粉末系統(tǒng)在高溫下能燒結(jié)成密實(shí)結(jié)構(gòu)的原因。 第五十四頁，共六十八頁。燒結(jié)對(duì)電池片的影響相對(duì)于鋁漿燒結(jié)，銀漿的燒結(jié)要重要很多，對(duì)電池片電性能影響主要表現(xiàn)在串聯(lián)電阻和并聯(lián)電阻，即FF的變化。鋁漿燒結(jié)的目的使?jié){料中的有機(jī)溶劑完全揮發(fā)，并形成完好的鋁硅合金和鋁層。局部的受熱不均和

26、散熱不均可能會(huì)導(dǎo)致起包，嚴(yán)重的會(huì)起鋁珠。背面場經(jīng)燒結(jié)后形成的鋁硅合金，鋁在硅中是作為P型摻雜，它可以減少金屬與硅交接處的少子復(fù)合，從而提高開路電壓和短路電流，改善對(duì)紅外線的響應(yīng)。第五十五頁，共六十八頁。2.3 Despatch燒結(jié)爐簡介DESPATCH燒結(jié)爐是一種大型中低溫網(wǎng)帶式傳送爐，用于晶體硅太陽能電池片熱處理工藝。主要作用在于烘干印刷在硅片表面的漿料、燒掉從漿料中揮發(fā)出的有機(jī)溶劑并同步燒結(jié)太陽能電池片的正反面，使印刷到電池片上的三種漿料與硅形成良好的歐姆接觸。第五十六頁，共六十八頁。紅外燒結(jié)爐主屏幕第五十七頁，共六十八頁。燒結(jié)的工藝過程該設(shè)備燒結(jié)工藝分三個(gè)階段：1）烘干上段印刷工序的金屬

27、漿料；2）燒掉漿料中的有機(jī)溶劑；3）燒結(jié)并將印刷的銀電極滲透入硅片表面以形成良好的Ag/Si表面。第五十八頁，共六十八頁。燒結(jié)工藝曲線 第五十九頁，共六十八頁。60烘干區(qū)主要完成有機(jī)物的燃燒 設(shè)置溫度過高，有機(jī)物揮發(fā)過快，會(huì)使金屬顆粒之間孔隙過多過大，造成燒結(jié)后金屬層內(nèi)部及金屬-半導(dǎo)體接觸層的電阻增大。而過低的烘干溫度又無法完全將有機(jī)物燃燒掉，也會(huì)帶來同樣的問題。過高的燒結(jié)溫度會(huì)使Ag原子穿透N+發(fā)射極進(jìn)入底部P型基底；過低的燒結(jié)溫度會(huì)導(dǎo)致較高的接觸電阻，降低填充 溫度設(shè)置第六十頁，共六十八頁。 漿料漿料是由功能組份、粘結(jié)組份和有機(jī)載體組成的一種流體燒結(jié)后的厚膜導(dǎo)體由金屬和粘結(jié)組分組成 絲網(wǎng) 常用絲網(wǎng)材料有不銹鋼和尼龍2種。不銹鋼絲網(wǎng)的特點(diǎn)是絲徑細(xì)、目數(shù)多，耐磨性好，強(qiáng)度高，尺寸穩(wěn)定，拉伸性小，由于絲徑精細(xì)，油墨的通過性能好，尺寸精度穩(wěn)定，適于太陽能電池片的印刷。尼龍絲網(wǎng)是由化學(xué)合成纖維制作而成，具有很高的強(qiáng)度，耐磨性、耐化學(xué)藥品性、耐