CMN-CT疊層薄膜論文界面層對(duì)CMN-CT疊層薄膜結(jié)構(gòu)和介電性能的影響

1、CMN/CT疊層薄膜論文： 界面層對(duì) CMN/CT疊層薄膜結(jié)構(gòu)和介電性能的影響【中文摘要】 薄膜科學(xué)的發(fā)展是在表面、 界面物理基礎(chǔ)上建立起來的 , 表面和界面的力學(xué)、熱學(xué)和電學(xué)特性是很多薄膜器件的工作基礎(chǔ), 對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)和性能產(chǎn)生重要影響 , 所以復(fù)合薄膜材料的性能并不是其組分材料的簡(jiǎn)單加和 , 而是產(chǎn)生了“ 1+12”的協(xié)同效應(yīng)。因此只有清楚地把握薄膜的表面和界面結(jié)構(gòu) , 深入地研究薄膜的結(jié)構(gòu)和性能的關(guān)系 , 才能有效地進(jìn)行多層結(jié)構(gòu)功能薄膜材料的設(shè)計(jì) , 制備出結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、性能良好的薄膜材料。本文采用 Pechini 方法合成了Ca(Mg1/3Nb2/3)O3(CMN)和 CaTiO3(CT)

2、前驅(qū)體溶液 , 利用液相旋涂工藝制備出 Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3 (CMN/CT)疊層介質(zhì)薄膜 , 系統(tǒng)研究了電極界面層和異質(zhì)界面層對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、 形貌與介電性能的影響及其規(guī)律。結(jié)果表明 , 采用疊層方式制備的 CMN/CT疊層薄膜中 CMN、CT兩相均能獨(dú)立存在 , 薄膜具有單一鈣鈦礦結(jié)構(gòu) , 薄膜厚度均勻 , 表面致密、平整 , 不同成分的電極界面層和不同個(gè)數(shù)的異質(zhì)界面層對(duì)薄膜的相結(jié)構(gòu)影響不大 , 但對(duì)薄膜的微觀形貌和介電性能產(chǎn)生明顯影響。在層數(shù)、異質(zhì)組分及異質(zhì)界面數(shù)相同時(shí), 以 CMN為首層和最后一層的樣品 NI-4-2 的表面形貌和介電性能均好于以 CT為首 .【英

3、文摘要】 It is well known that the development of thinfilm science has been based on the surface and interface physics. The mechanical, thermal and electrical properties of surfaceand interface have been the foundation of many thin-film devices, possessing vital influence on the structures and propertie

4、s of thin film, herein the properties of compositethin films rather have“1+12”synergistic effect than thesimple accumulationfrom its different components.Hence onlyhave a good command of surface and interface .【關(guān)鍵詞】 CMN/CT疊層薄膜界面層 顯微結(jié)構(gòu)介電性能【英文關(guān)鍵詞】 CMN/CT Multilayered Thin Films Interfacelayer Microstr

5、ucture Dielectric Properties【目錄】界面層對(duì)CMN/CT疊層薄膜結(jié)構(gòu)和介電性能的影響中文摘要 4-5Abstract5-6目錄 7-9 第 1 章 緒論 9-221.1電介質(zhì)薄膜薄膜的制備技術(shù)及理論研究電介質(zhì)薄膜的性質(zhì)及應(yīng)用異質(zhì)疊層電介質(zhì)薄膜的研究現(xiàn)狀 14-171.2 異質(zhì)疊層電介質(zhì)薄膜的表面與界面薄膜的表面與界面異質(zhì)疊層電介質(zhì)薄膜的表面與界面表面與界面對(duì)異質(zhì)疊層薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響19-201.3本文研究的目的、意義和內(nèi)容 20-22 第 2 章 CMN/CT疊層薄膜的制備和結(jié)構(gòu)及性能分析22-322.1實(shí)驗(yàn)原料與設(shè)備實(shí)驗(yàn)原料實(shí)驗(yàn)設(shè)備232.2 CMN/CT疊層

6、薄膜的制備旋涂法制備CMN/CT疊層薄膜電極材料和襯底基片的選擇前驅(qū)體溶液的制備疊層薄膜的制備26-292.3 CMN/CT疊層薄膜的結(jié)構(gòu)和性能分析射線衍射分析薄膜的微觀結(jié)構(gòu)分析薄膜介電性能測(cè)試 30-32 第 3 章 界面層對(duì) CMN/CT薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響 32-443.1 電極界面層對(duì) CMN/CT疊層薄膜的影響電極界面層對(duì)薄膜相結(jié)構(gòu)的影響電極界面層對(duì)薄膜微觀形貌的影響電極界面層對(duì)薄膜介電性能的影響34-353.2異質(zhì)界面層對(duì) CMN/CT疊層薄膜的影響異質(zhì)界面層對(duì)薄膜相結(jié)構(gòu)的影響異質(zhì)界面層對(duì)薄膜微觀形貌的影響異質(zhì)界面層對(duì)薄膜介電性能的影響38-393.3界面處理對(duì) CMN/CT疊層薄膜的影響界面處理對(duì)薄膜相結(jié)構(gòu)的影響界面處理對(duì)薄膜微觀形貌的影響界面處理對(duì)薄膜介電性能的影響42-44 第 4 章 CMN/CT疊層薄膜的等效電路分析 44-564.1 電介質(zhì)極化電介質(zhì)的極化過程電介質(zhì)的損耗 45-474.2電介質(zhì)等效電路簡(jiǎn)單等效電路復(fù)雜等效電路 49-504.3 CMN/