DB12-046-87-2011產品單位產量綜合能耗計算方法及限額第87部分-集成電路

1、ICS 27. 010F01DB12DB 12/ 046. 872011代替 DB 12/ 046. 872008產品單位產量綜合能耗計算方法及限額第87部分：集成電路Calculation method and stipulation of comprehensive energy consumption norm forper unit product - Part 87: Molectron2012-01 -01 實施2011 -12-08 發(fā)布天津市質量技術監(jiān)督局 發(fā)布DB12/ 046. 872011IDB12/ 046. 872011I本部分的編寫符合GB/T 1. 1-2009標

2、準化工作導則第1部分:標準結構和編寫規(guī)則，同時符合 DB12/046. 01-2011產品單位產量綜合能耗計算方法及限額 第1部分：總則的規(guī)定。本部分的第5章是強制性條款，其余是推薦性條款。本部分為產品單位產量綜合能耗計算方法及限額系列標準的第87項。本系列的其它標準見 DB12/046. 01-2011 的附錄 A。本次修訂主要對單位產量綜合能耗限額指標進行了調整。本部分由天津市經濟和信息化委員會節(jié)能與綜合利用處提出。本部分負責起草單位：天津市節(jié)能協(xié)會檢測與標準專業(yè)委員會。本部分參加起草單位：天津市節(jié)能監(jiān)測中心。本部分主要起草人：周永山、任長青、張溫習、韓瑞國、賈軍、王景良、朱天利、李志、張

3、瑩。241DB12/ 046. 872011DB12/ 046. 872011239產品單位產量綜合能耗計算方法及限額第87部分：集成電路1范圍本部分規(guī)定了集成電路單位產量綜合能耗計算方法及限額指標。本部分適用于天津市轄區(qū)內集成電路生產企業(yè)。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。DB12/046. 01-2011產品單位產量綜合能耗計算方法及限額第1部分：總則3術語和定義下列術語和定義適用于本部分。1集成電路總綜合能耗 comprehensive energ

4、y consumption norm of molectron報告期內企業(yè)生產集成電路從原材料進廠至成品入庫的生產全過程中，所消耗的綜合能耗。包括直 接生產系統(tǒng)（工序）與間接生產系統(tǒng)（輔助、附屬、損失）綜合能耗之和。3.2集成電路單位產量綜合能耗 comprehensive energy consumption per unit product of molectron企業(yè)生產集成電路的總綜合能耗與同期內產出的該種產品合格品總量的比值。4計算方法集成電路的總綜合能耗及其單位產量綜合能耗的計算按DB12/046. 01-2011規(guī)定的方法進行。4.1集成電路產量計算4.1.1集成電路產量計算單位

5、采用同行業(yè)及上級管理部門相一致的單位：千片。4.1.2集成電路以本企業(yè)檢驗合格品產量計算，M千片。4.2集成電路直接生產綜合能耗2. 1集成電路直接生產工序綜合能耗包括：a）光刻工序綜合能耗：E.噸（標準煤）；b）熱擴散離子注入工序綜合能耗：E2噸（標準煤）；c）源一漏結構工序綜合能耗：E3噸（標準煤）；d）化學氣相淀積工序綜合能耗：E4噸（標準煤）；e）平坦化技術工序綜合能耗：E5噸（標準煤）；f）濕法蝕刻和干法蝕刻工序綜合能耗：E6噸（標準煤）；g）多層金屬化工序綜合能耗：E7噸（標準煤）；h）柵金屬化工序綜合能耗：E8噸（標準煤）；i）氧化工序綜合能耗：E9噸（標準煤）；j）硅片清洗和沾

6、污控制工序綜合能耗：E10噸（標準煤）；k）背面研磨工序綜合能耗：Eh噸（標準煤）；l）銅工藝工序綜合能耗：E12噸（標準煤）。4. 2.2集成電路直接生產綜合能耗按（1）式計算：式中：Ez集成電路直接生產綜合能耗，噸（標準煤）；Es-報告期內集成電路第s道工序的綜合能耗，噸（標準煤）；n一報告期內該產品生產工序數(shù)。4.3集成電路間接生產綜合能耗集成電路間接生產綜合能耗等于企業(yè)的輔助生產系統(tǒng)和附屬生產系統(tǒng)，在統(tǒng)計報告期內為生產該產 品所實際消耗的綜合能耗，加上同期內各種能源及耗能工質在企業(yè)內部儲存、轉換、分配供應中的損失 綜合能耗之和。4. 3. 1集成電路間接生產綜合能耗包括：a）輔助綜合能耗：E；噸（標準煤）；b）附屬綜合能耗：E2噸（標準煤）；c）損失綜合能耗：E、3噸（標準煤）。4. 3.2集成電路間接生產綜合能耗按（2）式計算。Ej = Ei + Ez + E；式中:Ej集成電路間接生產綜合能耗，噸（標準煤）。4.4集成電路總綜合能耗集成電路總綜合能耗按（3）式計算:E = Ez+EjDB12/ 046. 872011式中：E 集成電路總綜合能耗，噸（標準煤）。4.5集成電路單位產量綜合能耗集成電路單位產量綜合