位移的納米測(cè)量方法微弱振動(dòng)的納米量級(jí)監(jiān)視實(shí)驗(yàn)_第1頁(yè)
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位移的納米測(cè)量方法微弱振動(dòng)的納米量級(jí)監(jiān)視實(shí)驗(yàn) 1實(shí)驗(yàn)?zāi)康模航⒓{米測(cè)量的概念，了解其實(shí)現(xiàn)方法利用筆束激光干涉法進(jìn)行納米量級(jí)的位移測(cè)量。了解微弱振動(dòng)監(jiān)測(cè)的原理進(jìn)行納米量級(jí)的微弱振動(dòng)監(jiān)視。2實(shí)驗(yàn)原理：3在CMOS上干涉條紋的位移量xf式中N為條紋移動(dòng)數(shù)，M為物鏡10的放大倍數(shù)，f為FT透鏡8的焦距，2d為測(cè)量光束與參考光束的空間間距，S為被測(cè)量鏡的位移量。 實(shí)驗(yàn)光路 4實(shí)驗(yàn)步驟 不擴(kuò)束工作臺(tái)16的試件夾中裝入直角棱鏡，工作臺(tái)18的試件夾中裝入帶PZT的直角棱鏡，利用工作臺(tái)測(cè)微螺桿和調(diào)平調(diào)向螺釘調(diào)節(jié)直角棱鏡，使二反射光束成相距58mm的平行光，經(jīng)透鏡20會(huì)聚于焦點(diǎn)光闌22濾波（焦面內(nèi)移動(dòng)）目鏡21成像，微調(diào)，使透鏡20焦點(diǎn)處的光點(diǎn)放大成像在CMOS23上移動(dòng)CMOS23，使條紋清晰，鎖定23 啟動(dòng)電源箱上PZT工作開關(guān)，運(yùn)行計(jì)算機(jī)程序，送直流電壓，使工作臺(tái)18中PZT軸向平移直角棱鏡，觀察條紋平移情況運(yùn)行計(jì)算機(jī)條紋程序，實(shí)現(xiàn)定標(biāo)與計(jì)量5實(shí)驗(yàn)記錄6

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