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文檔簡介
1、燒結(jié)爐培訓(xùn)材料功能及用途此燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有質(zhì)成分、完成鋁背場及珊線燒結(jié)。硅片在爐中,上、下兩面能同時(shí)燒結(jié),燒結(jié)過程如下:對(duì)第三道絲印后硅片表面漿料進(jìn)行烘干;去除漿料中的有質(zhì)粘結(jié)劑;鋁背場及珊線燒結(jié)燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)爐體分為三個(gè)部分:烘干區(qū)烘干區(qū)包括四個(gè)加熱區(qū):ZONE 1、 ZONE 2、 ZONE 3、 ZONE 4,其中ZONE 4 為對(duì)流加熱區(qū),位于其它三個(gè)溫區(qū)上部,每個(gè)加熱區(qū)溫度單獨(dú)可調(diào)、加熱元件為電熱絲,加熱溫度可設(shè)置到500攝氏度,但過程溫度不應(yīng)超過300攝氏度。燒結(jié)區(qū)燒結(jié)區(qū)包括六個(gè)加熱區(qū):ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4、ZONE 5、ZO
2、NE 6,ZONE 14 為預(yù)燒結(jié)區(qū),ZONE 5 和 ZONE 6 為主燒結(jié)區(qū),加熱元件為近紅外線加熱管,其中14區(qū)加熱管功率為1600W,5、6區(qū)加熱管功率為2700W,每個(gè)溫區(qū)溫度單獨(dú)可調(diào),14溫區(qū)溫度可設(shè)置到700攝氏度,5、6溫區(qū)可設(shè)置到攝氏1050度。冷卻區(qū)冷卻區(qū)采用水冷,給水溫度大約在2025攝氏度范圍內(nèi)。烘干區(qū)與燒結(jié)區(qū)之間、燒結(jié)區(qū)與冷卻區(qū)之間各有一個(gè)隔離爐膛,通過風(fēng)簾隔離,隔離爐膛防止相鄰區(qū)域中的過程氣體相互混合。 除了上述三個(gè)主要部分外,在爐體頭部有上料區(qū),在尾部有下料區(qū),外加一個(gè)單獨(dú)的冷凝器,冷凝媒介為冷卻水。CAN控制系統(tǒng)構(gòu)成 傳動(dòng)電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)傳動(dòng)電機(jī)采用三相異步電機(jī),速
3、度調(diào)節(jié)是采用閉環(huán)變頻調(diào)速,控制框圖如下:溫度控系統(tǒng)溫度控制采用PID控制,系統(tǒng)構(gòu)成控制框圖如下:冷卻系統(tǒng)排風(fēng)系統(tǒng)冷卻系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)很簡單,都采用開環(huán)系統(tǒng)。操作開機(jī)步驟慢速開啟冷卻水主給水閥,給燒結(jié)爐供水。通常各管道給水閥和流量已設(shè)定好,勿需調(diào)節(jié)。 慢速開啟壓縮空氣主閥,爐子提供過程氣體,同時(shí)給各氣缸提供壓縮空。 通常各管道流量已設(shè)定好,勿需調(diào)節(jié)。將主電源開關(guān)撥到“1”,開啟主電源。啟動(dòng)PC,等待機(jī)器完成自檢和監(jiān)控程序裝入。將“Drive On”撥到“1”,“Drive PC/Manual”撥到“0”,將“Heating FF”撥到“ON”,將“HEATING HTO”撥到“ON”。 點(diǎn)擊啟屏幕
4、上“Drive on/off” 收音開關(guān),并按確認(rèn)收音鍵,啟動(dòng)傳送帶。如果有設(shè)置好的升溫程序,順序裝入,使?fàn)t子逐步升溫到過程溫度。如果沒有,則手動(dòng)設(shè)置,每200度為一階,逐步升溫到過程溫度。第一次裝入后,需點(diǎn)擊加熱收音開關(guān),開始加熱。根據(jù)工藝要求調(diào)整工藝參數(shù),只需調(diào)整各溫區(qū)溫度和帶速設(shè)定值。當(dāng)過程值達(dá)到設(shè)定值后,機(jī)便處于就緒狀態(tài)。關(guān)機(jī)步驟關(guān)機(jī)步驟則與關(guān)機(jī)步驟相反,需注意:當(dāng)爐溫降到100度左右時(shí),方可將傳送帶停下。 預(yù)防性保養(yǎng)定期清洗主給水過濾器。定期吹洗HTO空氣過濾器。定期清洗傳送帶。定期清洗氣體流量計(jì)。定期檢查并調(diào)整傳送帶長度。定期檢查并清洗文丘利噴嘴。故障診斷與修復(fù)監(jiān)控程序幾乎可以定位所有故障,當(dāng)故障發(fā)生時(shí),報(bào)警系統(tǒng)會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警,并可能停爐。可打開“Alarm” 標(biāo)簽,察看報(bào)警信息,判斷故障位置,分析故障原因,并排除故障。常見的故障報(bào)警及處理:空氣流量過小或過大,空氣壓力不穩(wěn)。提請(qǐng)?jiān)O(shè)施部作解決。壓縮空氣中有大量水份和油份,加大流量,排除積累在流量計(jì)中的水份,同時(shí)提請(qǐng)?jiān)O(shè)施部設(shè)法濾去壓縮空氣中的水份和油份。冷凝器排風(fēng)量過小,開大風(fēng)門,同時(shí)提請(qǐng)?jiān)O(shè)施部加大抽風(fēng)量。冷卻水溫度過高,提請(qǐng)?jiān)O(shè)施降低水溫。HTO過濾器堵塞,
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