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1、第一章習(xí)題1設(shè)晶格常數(shù)為 a 的一維晶格,導(dǎo)帶極小值附近能量Ec(k) 和價(jià)帶極大值附近能量 EV(k) 分別為:2k2h2 (k k1 ) 22k213h2k2Ec= h, EV (k)h3m0m06m0m0m0 為電子慣性質(zhì)量, k1, a0.314nm。試求:a(1)禁帶寬度;(2)導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量;(3)價(jià)帶頂電子有效質(zhì)量;(4)價(jià)帶頂電子躍遷到導(dǎo)帶底時(shí)準(zhǔn)動(dòng)量的變化解:(1)導(dǎo)帶:由 2 2k 2 2 (k k1 )03m0m0得: k3k14d 2 Ec2 22 282又因?yàn)椋?dk 23m0m03m0所以:在 k3k處, Ec取極小值4價(jià)帶:dEV6 2 k0得k0dkm0又因?yàn)?/p>
2、 d 2 EV6 20,所以 k0處, EV 取極大值dk 2m03EV (0)2 k12因此: Eg EC ( k1 )0.64eV412m023 m0(2)mnC*d 2 EC8dk 2k 3 k14(3)mnV*2m02 Ed6Vdk 2k01(4)準(zhǔn)動(dòng)量的定義: pk所以: p(k)3( k ) k 03 k1 0 7.95 10 25 N / sk4k14晶格常數(shù)為 0.25nm 的一維晶格,當(dāng)外加 102V/m,10 7 V/m 的電場(chǎng)時(shí),試分別計(jì)算電子自能帶底運(yùn)動(dòng)到能帶頂所需的時(shí)間。解:根據(jù): fqEh k得 tktqE(0)t1a8.27108s1.610 1910 2(0)t
3、2a8.271013s1.610 19107補(bǔ)充題 1分別計(jì)算 Si(100),( 110),( 111)面每平方厘米內(nèi)的原子個(gè)數(shù),即原子面密度(提示:先畫(huà)出各晶面內(nèi)原子的位置和分布圖)Si 在( 100),( 110)和( 111)面上的原子分布如圖1 所示:(a) (100) 晶面( b) (110)晶面c) (111)晶面141224142():6.7810atom / cm100a 2a 2(5.43 10 8) 2241124():429.591014atom / cm21102aa2a 2412124():427.831421113 a3a 210atom / cm2a2補(bǔ)充題 2
4、271 cos2) ,一維晶體的電子能帶可寫(xiě)為(ma2 (coskaE k )88ka式中 a 為 晶格常數(shù),試求(1)布里淵區(qū)邊界;(2)能帶寬度;(3)電子在波矢 k 狀態(tài)時(shí)的速度;(4)能帶底部電子的有效質(zhì)量m*n ;(5)能帶頂部空穴的有效質(zhì)量m*p解:( 1)由dE( k)0得kndkan=0, 1, 2 )進(jìn)一步分析 k(2n1), E( k)有極大值,a2 2E( k)MAXma22n 時(shí), E( k)有極小值a所以布里淵區(qū)邊界為 k(2n1)a(2) 能帶寬度為 E(k )E(k)22MAXMINma2(3 )電子在波矢 k 狀態(tài)的速度v1 dE(sin ka1 sin 2 )
5、dkkama4(4)電子的有效質(zhì)量2mmn*d 2 E(cos ka1dk 2cos2ka)2能帶底部k2n*2所以mman(5) 能帶頂部(2n1),ka且 m*pmn*,所以能帶頂部空穴的有效質(zhì)量m*p2m3半導(dǎo)體物理第 2 章習(xí)題實(shí)際半導(dǎo)體與理想半導(dǎo)體間的主要區(qū)別是什么?答:(1)理想半導(dǎo)體:假設(shè)晶格原子嚴(yán)格按周期性排列并靜止在格點(diǎn)位置上,實(shí)際半導(dǎo)體中原子不是靜止的,而是在其平衡位置附近振動(dòng)。(2)理想半導(dǎo)體是純凈不含雜質(zhì)的,實(shí)際半導(dǎo)體含有若干雜質(zhì)。(3)理想半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)是完整的,實(shí)際半導(dǎo)體中存在點(diǎn)缺陷,線缺陷和面缺陷等。2.以 As 摻入 Ge中為例,說(shuō)明什么是施主雜質(zhì)、施主雜質(zhì)電
6、離過(guò)程和n 型半導(dǎo)體。As 有 5 個(gè)價(jià)電子,其中的四個(gè)價(jià)電子與周?chē)乃膫€(gè) Ge原子形成共價(jià)鍵,還剩余一個(gè)電子, 同時(shí) As 原子所在處也多余一個(gè)正電荷, 稱為正離子中心, 所以,一個(gè) As 原子取代一個(gè) Ge原子,其效果是形成一個(gè)正電中心和一個(gè)多余的電子.多余的電子束縛在正電中心, 但這種束縛很弱, 很小的能量就可使電子擺脫束縛,成為在晶格中導(dǎo)電的自由電子,而 As 原子形成一個(gè)不能移動(dòng)的正電中心。這個(gè)過(guò)程叫做施主雜質(zhì)的電離過(guò)程。 能夠施放電子而在導(dǎo)帶中產(chǎn)生電子并形成正電中心,稱為施主雜質(zhì)或N 型雜質(zhì),摻有施主雜質(zhì)的半導(dǎo)體叫N 型半導(dǎo)體。3.以 Ga摻入 Ge中為例,說(shuō)明什么是受主雜質(zhì)、受主
7、雜質(zhì)電離過(guò)程和p 型半導(dǎo)體。Ga有 3 個(gè)價(jià)電子,它與周?chē)乃膫€(gè)Ge原子形成共價(jià)鍵,還缺少一個(gè)電子,于是在 Ge晶體的共價(jià)鍵中產(chǎn)生了一個(gè)空穴, 而 Ga原子接受一個(gè)電子后所在處形成一個(gè)負(fù)離子中心, 所以,一個(gè) Ga原子取代一個(gè) Ge原子,其效果是形成一個(gè)負(fù)電中心和一個(gè)空穴,空穴束縛在 Ga原子附近,但這種束縛很弱,很小的能量就可使空穴擺脫束縛,成為在晶格中自由運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)電空穴,而 Ga原子形成一個(gè)不能移動(dòng)的負(fù)電中心。 這個(gè)過(guò)程叫做受主雜質(zhì)的電離過(guò)程, 能夠接受電子而在價(jià)帶中產(chǎn)生空穴,并形成負(fù)電中心的雜質(zhì),稱為受主雜質(zhì),摻有受主型雜質(zhì)的半導(dǎo)體叫P型半導(dǎo)體。4.以 Si 在 GaAs中的行為為例,說(shuō)
8、明 IV 族雜質(zhì)在 III-V族化合物中可能出現(xiàn)的雙性行為。Si 取代 GaAs中的 Ga原子則起施主作用;Si 取代 GaAs中的 As 原子則起受主作用。導(dǎo)帶中電子濃度隨硅雜質(zhì)濃度的增加而增加,當(dāng)硅雜質(zhì)濃度增加到一定程度時(shí)趨于飽和。 硅先取代 Ga原子起施主作用, 隨著硅濃度的增加, 硅取代 As 原子起受主作用。舉例說(shuō)明雜質(zhì)補(bǔ)償作用。當(dāng)半導(dǎo)體中同時(shí)存在施主和受主雜質(zhì)時(shí),若(1)NDNA因?yàn)槭苤髂芗?jí)低于施主能級(jí),所以施主雜質(zhì)的電子首先躍遷到NA 個(gè)受主能級(jí)上,還有 ND-NA 個(gè)電子在施主能級(jí)上,雜質(zhì)全部電離時(shí),躍遷到導(dǎo)帶中的導(dǎo)電電子的濃度為 n= ND-NA。即則有效受主濃度為NAeff
9、 ND-NA(2)NAND施主能級(jí)上的全部電子躍遷到受主能級(jí)上,受主能級(jí)上還有 NA-ND個(gè)空穴,它們可接受價(jià)帶上的NA-ND個(gè)電子,在價(jià)帶中形成的空穴濃度p= NA-ND.即有效受主濃度為 NAeff NA-ND(3)N N 時(shí),AD不能向?qū)Ш蛢r(jià)帶提供電子和空穴,稱為雜質(zhì)的高度補(bǔ)償說(shuō)明類(lèi)氫模型的優(yōu)點(diǎn)和不足。銻化銦的禁帶寬度 Eg=0.18eV,相對(duì)介電常數(shù) r =17,電子的有效質(zhì)量*0,0 為電子的慣性質(zhì)量,求施主雜質(zhì)的電離能,施主的弱mm n =0.015m束縛電子基態(tài)軌道半徑。解:根據(jù)類(lèi)氫原子模型 :EDmn*q 4mn* E00.001513.67.1 104eV2( 4r )22
10、21720m0rr0h 200.053nmq2 m0rh20rm0 rr060nmq 2 mn*mn*8.磷化鎵的禁帶寬度Eg=2.26eV,相對(duì)介電常數(shù)r =11.1,空穴的有效質(zhì)量*mp =0.86m0,m0 為電子的慣性質(zhì)量,求受主雜質(zhì)電離能;受主束縛的空穴的基態(tài)軌道半徑。解:根據(jù)類(lèi)氫原子模型:EAmP* q 4mP* E00.08613.60.0096eV2(40 r )2222m0r11.1r0h 200.053nmq 2 m0rh 20rm0rr06.68nm2*qmPmP第三章習(xí)題和答案1. 計(jì)算能量在 E=Ec 到 E1002E C之間單位體積中的量子態(tài)數(shù)。2m*n L23V
11、(2mn*)21解g( E)(E EC)2223dZg( E)dE單位體積內(nèi)的量子態(tài)數(shù)Z0dZV2100 h 2Ec100Ec32 m l 28ml 211V(2mn*)2Znn( E E ) 2 dE0g(E) dEV223CE CEC3100h2V (2mn*)2 23 2 Ec8mn L2223( EEC )3Ec10003L3試證明實(shí)際硅、鍺中導(dǎo)帶底附近狀態(tài)密度公式為式( 3-6)。證明:si、Ge半導(dǎo)體的E()關(guān)系為2.IC K在E EdE空間的狀態(tài)數(shù)等于空間所包含的h2kx2ky2kz2k( )EC狀態(tài)數(shù)。EC k()ma2mtmamlma即d zg(k )Vk g(k ) 4 k
12、 2 dk1()113 2令 kx (mt) 2 kx, kymt2 ky, kz() 2 kzdz2(mtmt1mlg( E)4ml ) 31h2dEh2(E Ec ) 2 V) Ec2 22則: Ec ( k2ma(kxkykz )對(duì)于 si導(dǎo)帶底在 100個(gè)方向,有六個(gè)對(duì)稱的 旋轉(zhuǎn)橢球,在 k 系中, 等能面仍為球形等能面鍺在(111)方向有四個(gè),12m 3m m m2g(E) sg(E) 4(2(E E1Vn ) 2在 k 系中的態(tài)密度 g (k )ttlVh2c3mam2m2 m1s 33k 1ntl2ma ( EEC )h當(dāng) E-EF 為 1.5k 0T,4k0 T, 10k0 T
13、 時(shí),分別用費(fèi)米分布函數(shù)和玻耳茲曼分布函數(shù)計(jì)算電子占據(jù)各該能級(jí)的概率。費(fèi)米能級(jí)費(fèi)米函數(shù)玻爾茲曼分布函數(shù)1E E FE EFf ( E)k0TE EFf ( E) e1 ek0T1.5k 0T0.1820.2234k0 T0.0180.018310k0T4.54 10 54.5410 5畫(huà)出-78 oC、室溫(27 oC)、500 oC三個(gè)溫度下的費(fèi)米分布函數(shù)曲線,并進(jìn)行比較。*NC , NV 以及本5. 利用表 3-2 中的 mn,mp 數(shù)值,計(jì)算硅、鍺、砷化鎵在室溫下的征載流子的濃度。N C2( 2 koTmn)h 25 N v2(2 koTm p)h232321Egni( N c N v
14、) 2 e 2koTGe : mn0.56 m0 ; m po.37m0 ; Eg0.67evsi : mn 1.08m0 ; m po.59m0 ; Eg1.12evGa As : mn0.068m0 ; m po.47 m0 ; Eg 1.428ev6. 計(jì)算硅在-78oooC,27 C,300 C 時(shí)的本征費(fèi)米能級(jí), 假定它在禁帶中間合理嗎?Si的本征費(fèi)米能級(jí), Si : mn1.08m0 , mp 0.59m0EFECEV3kTmpEi2lnmn4當(dāng)T1195K時(shí), kT13kT0.59m00.0072eV0.016eV ,ln1.08m04當(dāng)T2300K時(shí), kT20.026eV,3
15、kT0.590.012eVln41.08當(dāng)T2573K時(shí), kT33kT0.590.022eV0.0497eV ,ln41.08所以假設(shè)本征費(fèi)米能級(jí)在禁帶中間合理,特別是溫度不太高的情況下。7. 在室溫下,鍺的有效態(tài)密度 N=1.05c19-318-310 cm ,NV=3.910 cm ,試求鍺的*和 NV。 已知 300K時(shí),Eg=0.67eV。77k載流子有效質(zhì)量 mnmp。計(jì)算 77K時(shí)的 NC時(shí) Eg=0.76eV。求這兩個(gè)溫度時(shí)鍺的本征載流子濃度。 77K時(shí),鍺的電子濃度-3為 10 cm ,假定受主濃度為零,而 Ec-ED=0.01eV,求鍺中施主濃度 ED為多少?()根據(jù)k 0
16、 Tmn27 .1N c2 ()322Nmmk 0Tmp3v2 (2)2 得2222N c331 kgn0 . 56 m 05 . 110k 0 T2122N v232 . 61031kgpk 0 T20 . 29 m 0(2)77K時(shí)的 NC 、NV)T(3NC77KN(C300K)TNC(77319(7731.3710183NC)1.05 10)/ cm300300NV (7733.91018(7735.08 1017/ cm3NV)3003001Eg(3)ni( Nc Nv ) 2 e 2koT10.6710191013 / cm3室溫: ni(1.053.91018 ) 2 e2k03
17、001.710.7610182k 0 7710 7 / cm377K時(shí), ni(1.375.081017 ) 2 e1.98n0nDN DNDN DED EFED Ec EC EFEDno1 2ek 0T1 2ek0T1 2e k0T NCE Dno0.011017NDn (12e koTNC )1017 (12e0.067 1.37 1018)1.171017 / cm308. 利用題7 所給的 Nc 和 NV 數(shù)值及 Eg=0.67eV,求溫度為300K 和 500K 時(shí),含施15-3,受主濃度 NA=29-3的鍺中電子及空穴濃度為多少?主濃度 ND=5 10cm10 cm1Eg2 k0T
18、2.0 1013 / cm38.300K時(shí): ni ( Nc NV ) 2 e500K時(shí): ni (N CNV1) 2 eeg2 k0T 6.9 1015 / cm3根據(jù)電中性條件:n0p0ND NA0n02n0 ( N DN A ) ni20n0 p0ni2ND NA( N DNA )21nn22022iN AN D( N AND )212p0ni222Tn51015 / cm3300K時(shí): 01010 / cm3p08t 500K時(shí):n09.841015 / cm3p04.841015 / cm39. 計(jì)算施主雜質(zhì)濃度分別為16318-319-3的硅在室溫下的費(fèi)米能10 cm,,10cm,
19、10 cm級(jí),并假定雜質(zhì)是全部電離,再用算出的的費(fèi)米能級(jí)核對(duì)一下,上述假定是否在每一種情況下都成立。計(jì)算時(shí),取施主能級(jí)在導(dǎo)帶底下的面的0.05eV。9.解假設(shè)雜質(zhì)全部由強(qiáng)電離區(qū)的 EFEFEcN D, T300K時(shí),NC2.81019 / cm3k0T lnni1.51010/ cm3NC或 EFEik0T ln N D ,Ni16ND1016 / cm3 ; EFEc0.026 ln10Ec0.21eV2.81019ND1018 / cm3 ; EFEc0.026 ln1018Ec0.087eV2.81019ND1019 / cm3 ; EFEc0.026 ln1019Ec0.0.27eV2
20、.81019( 2)ECED 0.05eV施主雜質(zhì)全部電離標(biāo)準(zhǔn) 為90%,10%占據(jù)施主nD1是否10%N D1EDEF1)2exp(k0T或 nD1EDEF90%ND12 exp(-)k0T16nD110. 16 0.42%成立ND 10:1EDEC 0.211ND1e0.02621e0.0262ND1018: nD10.03730%不成立ND11e0.0262ND1019: nD110.02380% 10%不成立ND1e0.0262(2)求出硅中施主在室溫下 全部電離的上限E( 2 ND )e koT (未電離施主占總電離雜 質(zhì)數(shù)的百分比)NCD0.050.0510%2 ND e0.026
21、 , ND0.1NC e 0.0262.51017 / cm3NC2ND1016小于2.5 1017 cm3全部電離ND1016,10182.5 1017 cm3沒(méi)有全部電離ED與EF,EDEF kT全電離( )也可比較2ND1016/ cm3; EDEF0.05 0.21 0.16 0.026成立,全電離ND1018/ cm3; EDEF0.037 0.26EF 在ED之下,但沒(méi)有全電離ND19/ cm3; EDEF,在ED之上,大部分沒(méi)有電離100.023 0.026 EF10. 以施主雜質(zhì)電離 90%作為強(qiáng)電離的標(biāo)準(zhǔn),求摻砷的n 型鍺在 300K 時(shí),以雜質(zhì)電離為主的飽和區(qū)摻雜質(zhì)的濃度范
22、圍。10.解As的電離能 ED 0.0127eV , NC 1.05 1019 / cm3室溫 300K以下, As雜質(zhì)全部電離的摻雜上 限2ND exp( ED )N Ck0T10%2 NDexp0.0127N C0.0260 .01270.0127ND上限0.1NC e 0.0260.1 1.05 1019 e 0.0263.22 1017 / cm322As 摻雜濃度超過(guò) N D 上限 的部分,在室溫下不能 電離Ge的本征濃度 ni 2.41013 / cm3As的摻雜濃度范圍 5ni ND 上限,即有效摻雜濃度為 2.4 1014 3.22 1017 / cm311. 若鍺中施主雜質(zhì)電
23、離能 ED=0.01eV,施主雜質(zhì)濃度分別為14-3ND=10 cm j 及17-3。計(jì)算99%電離;90%電離;50%電離時(shí)溫度各為多少?10 cm12. 若硅中施主雜質(zhì)電離能ED=0.04eV,施主雜質(zhì)濃度分別為15-318-3。10 cm,10 cm計(jì)算99%電離;90%電離;50%電離時(shí)溫度各為多少?有一塊摻磷的 n 型硅,ND=1015cm-3 , 分別計(jì)算溫度為77K; 300K;500K;800K 時(shí)導(dǎo)帶中電子濃度(本征載流子濃度數(shù)值查圖3-7)( )時(shí),ni103ND15/ cm3強(qiáng)電離區(qū)13. 2 300K10/ cm10n0 ND1015 / cm3(3)500K時(shí), ni
24、41014 / cm3 ND過(guò)度區(qū)NDND24ni21.14153n0210 / cm1017 / cm3(4)8000K時(shí), nin0 ni1017 / cm314. 計(jì)算含有施主雜質(zhì)濃度為 ND=915-3,及受主雜質(zhì)濃度為16310 cm1.1 10 cm,的硅在 300K 時(shí)的電子和空穴濃度以及費(fèi)米能級(jí)的位置。解:T300K時(shí), 的本征載流子濃度ni103,Si1.5 10 cm摻雜濃度遠(yuǎn)大于本征載 流子濃度,處于強(qiáng)電離 飽和區(qū)p0N AN D2 1015 cm 3n0ni21.12553p010 cmEFEVp0210150.224eVk0T ln0.026 ln1019Nv1.1或
25、: EFEik0T lnp00.026 ln210150.336eVni1.51010摻有濃度為每立方米為 1022 硼原子的硅材料,分別計(jì)算 300K;600K 時(shí)費(fèi)米能級(jí)的位置及多子和少子濃度(本征載流子濃度數(shù)值查圖3-7)。(1)T300K時(shí), ni1.51010 / cm3 , 雜質(zhì)全部電離 ap01016 / cm3n0ni243p02.25 10/ cmEFEik0 T ln p00.026ln 10160.359eVni1010或 EFEVk0T ln p00.184eVNv(2)T600K時(shí), ni1 1016 / cm3處于過(guò)渡區(qū):p0n0N An0 p0ni2p01.621
26、016 / cm3n06.171015 / cm3EEkT ln p00.052ln 1.6210160.025eVFi0ni1 1016摻有濃度為每立方米為 1.5 1023 砷原子 和立方米 5 1022 銦的鍺材料,分別計(jì)算300K;600K 時(shí)費(fèi)米能級(jí)的位置及多子和少子濃度(本征載流子濃度數(shù)值查圖 3-7)。解: ND1.51017 cm 3 , N A 5 1016 cm 3300K : ni21013 cm 3雜質(zhì)在 300K能夠全部電離,雜質(zhì)濃 度遠(yuǎn)大于本征載流子濃 度,所以處于強(qiáng)電離飽和區(qū)n0N DN A1 1017 cm 3p0ni24102693n01101710 cmEF
27、Ein0110170.22eVk0T ln0.026ln1013ni2600K : ni21017 cm 3本征載流子濃度與摻雜濃度接近,處于過(guò)度區(qū)Ecsi : EgnD EF EFn0N Ap0N Dn0p0n2in0N DN A(ND NA)24ni22.6 10172n217p0i1.610n0EEkT ln n00.072ln 2.6 10170.01eVFi0ni210173施主濃度為 10 cm 的 n 型硅,計(jì)算 400K 時(shí)本征載流子濃度、多子濃度、少子濃度和費(fèi)米能級(jí)的位置。17 . si : N Dn pNnpn i210 13 / cm 3 ,400K 時(shí), n i110
28、13 / cm3(查表)D0N D1N D24 n i21 .6210 13, n22p 0ni26 . 17 10 12 / cm 3n oE FE ik 0 T ln n0 .035ln 1 .6210 130 .017 eVni110 13摻磷的 n 型硅,已知磷的電離能為 . eV,求室溫下雜質(zhì)一半電離時(shí)費(fèi)米能級(jí)的位置和濃度。18.解: nDN D1ED EF1e k0T2EDEF1N D則有 e2EDk0T ln 2EDk0T ln 20.062eV1.12eV, EFkoTECEi2.EDk0T ln 2EC0.0440.026ln 20.534eVEC EF0.062nN c e
29、k0T2.819e 0.026183102.54 10/ cmn50%NDN D5.1510 19/ cm3求室溫下?lián)戒R的 n 型硅,使 EF=(EC+ED)/2 時(shí)銻的濃度。已知銻的電離能為0.039eV。19.解: EFECED2ECEFECECED2ECECED EC EDED0.03922220.0195 k0 T2發(fā)生弱減并n0N c2F1EFEC2( 0.71)k0TN CF1222.8101920.39.481018 / cm33.14求用: n0nDEFEDECEDEDECEDED0.01952222NC FEFECN DED1k0 T1EF)22exp(k0TN D2N CF
30、1EFEC (12 exp( EF ED )2k0 Tk0T2 NCF0.0195(12 exp0.0195) 9.48 1018 / cm310.0260.0262制造晶體管一般是在高雜質(zhì)濃度的 n 型襯底上外延一層 n 型外延層,再在外延層中擴(kuò)散硼、磷而成的。(1)設(shè)n 型硅單晶襯底是摻銻的,銻的電離能為0.039eV,300K時(shí)的EF 位于導(dǎo)帶下面0.026eV處,計(jì)算銻的濃度和導(dǎo)帶中電子濃度。(2)設(shè)n 型外延層雜質(zhì)均勻分布,雜質(zhì)濃度為4.61015cm-3 , 計(jì)算300K 時(shí)EF的位置及電子和空穴濃度。(3)在外延層中擴(kuò)散硼后, 硼的濃度分布隨樣品深度變化。設(shè)擴(kuò)散層某一深度處硼濃度
31、為 5.21015cm-3 , 計(jì)算 300K 時(shí) EF 的位置及電子和空穴濃度。(4)如溫度升到500K,計(jì)算中電子和空穴的濃度(本征載流子濃度數(shù)查圖 3-7)。()EF0.026,發(fā)生弱減并20. 1 ECk0Tn02N cF1 (1)22.810190.39.481833.1410/ cm2n0nDN D2 exp( EFED )1k0Tn (1 2 exp( EFED )0.013NDn (1 2e0.026 )4.071019 / cm30k0 T0時(shí)雜質(zhì)全部電離(2)300KEFEcNDEC0.223eVk0T lnNCn0N D4.61015 / cm3p0ni2(1.51010
32、 ) 24.8943n04.6101510/ cm( )N AN D5.2 10154.615614/ cm33 p01010n0ni2(1.51010 ) 23.75105/ cm3p061014EFEik0 T ln p00.026ln140.276eV6 1010ni1.5 10( 4)500K時(shí): ni41014 cm 3 ,處于過(guò)度區(qū)n0N Ap0N Dn0 p0ni214p08.83 10EE Eik0 T ln p00.0245eVni試計(jì)算摻磷的硅、鍺在室溫下開(kāi)始發(fā)生弱簡(jiǎn)并時(shí)的雜質(zhì)濃度為多少?21.2 NCF1EF ECN Dk0TEFED21)2 exp(k0T發(fā)生弱減并 E
33、CEF2k0T2NC F 1(0.008N Dsi2) 12e 0 .026222.810190.0080.1(12e0.026) 7.81183(3.1410 / cm Si)21.0510190.03941018 / cm3 (Ge)N DGeF1 (2) 12e 0 .0261.73.142利用上題結(jié)果, 計(jì)算摻磷的硅、 鍺的室溫下開(kāi)始發(fā)生弱簡(jiǎn)并時(shí)有多少施主發(fā)生電離?導(dǎo)帶中電子濃度為多少?n0 nDND2exp( EFED )1k 0TSi : n0 nD7.81101818cm30.0083.1 102e 0.026Ge: n01.7101818cm3nD0.03941.18 1012
34、e0.026第四章習(xí)題及答案1. 300K 時(shí), Ge 的本征電阻率 為 47cm,如 電子和 空穴遷移率分別為22V.S)。試求 Ge 的載流子濃度。3900cm/(V.S)和 1900cm/(解:在本征情況下, n pni , 由1 /11知nqun pqupni q(un u p )ni1471.60212.29 1013cm 3q(un up )10 19 (39001900)試計(jì) 算本 征 Si 在室 溫時(shí) 的電 導(dǎo)率 ,設(shè) 電 子和 空穴 遷移 率分 別為221350cm/( V.S)和 500cm/( V.S)。當(dāng)摻入百萬(wàn)分之一的As 后,設(shè)雜質(zhì)全部電離,試計(jì)算其電導(dǎo)率。比本征S
35、i 的電導(dǎo)率增大了多少倍?解:300K 時(shí), uncm2/(VS), upcm2/(V S) ,查表3-2或圖3-7可1350500知,室溫下 Si 的本征載流子濃度約為 ni1.0 1010 cm 3 。本征情況下,nqunpqupni q(unu p )1 10101.602 10-19(1350+500)3.0 10 6 S/ cm金鋼石結(jié)構(gòu)一個(gè)原胞內(nèi)的等效原子個(gè)數(shù)為81148個(gè),查看附錄 B 知628Si 的晶格常數(shù)為 0.543102nm,則其原子密度為810 7)35 1022 cm 3 。( 0.543102摻入百萬(wàn)分之一的 As,雜質(zhì)的濃度為 N D5102215 1016 c
36、m 3 ,雜1000000質(zhì)全部電離后, N Dni ,這種情況下,查圖4-14( a)可知其多子的遷移率為2800 cm/(V.S)N D qun5 10161.60210-198006.4S / cm6.4106 倍比本征情況下增大了32.110 63.電阻率為 10.m 的 p 型 Si 樣品,試計(jì)算室溫時(shí)多數(shù)載流子和少數(shù)載流子濃度。解:查表4-15(b) 可知,室溫下,10.m 的 p 型 Si 樣品的摻雜濃度 NA 約為1 51015cm3,查表3-2或圖3-7可知 ,室溫下Si的本 征載流子 濃度約為.ni1.0 1010 cm 3 , N AnipN A1.5 1015 cm 3
37、2(1.0 1010 )2nni6.7 104cm3p1.5 10150.1kg 的 Ge單晶,摻有 3.2 10-9 kg 的 Sb,設(shè)雜質(zhì)全部電離,試求該材料的電阻率n=0.38m2/(V.S),Ge 的單晶密度為 5.32g/cm 3,Sb 原子量為 121.8 。解:該 Ge單晶的體積為: V0.1 100018.8cm3 ;5.32Sb 摻雜的濃度為: N D3.210 910006.025 1023 /18.8 8.42 1014 cm3121.8查圖 3-7可知,室溫下 Ge的本征載流子濃度 ni2 1013 cm 3 ,屬于過(guò)渡區(qū)n p0N D 210138.410148.61
38、014cm 31/111.9 cmnqun8.6 10141.60210 190.38 1045. 500g 的 Si 單晶,摻有4.510-5 g 的 B ,設(shè)雜質(zhì)全部電離,試求該材料的電阻率22.33g/cm3,B原子量為 10.8 。p=500cm/(V.S), 硅單晶密度為解:該 Si 單晶的體積為: V500214.6cm3 ;2.33B 摻雜的濃度為: N A4.510 56.0251023 / 214.61.17 1016 cm310.8查表 3-2 或圖 3-7可知,室溫下 Si 的本征載流子濃度約為 ni 1.01010 cm 3 。因?yàn)?NAni ,屬于強(qiáng)電離區(qū), pN A
39、1.12 1016 cm 31/111.1cmpqup1.17 1016 1.60210 195006.設(shè)電子遷移率 0.1m2/( V S),Si 的電導(dǎo)有效質(zhì)量 mc=0.26m0 ,加以強(qiáng)度為104V/m 的電場(chǎng),試求平均自由時(shí)間和平均自由程。解:由 nq n 知平均自由時(shí)間為mcnnmc/ q 0.10.26 9.108 10 31 /(1.602 10 19 )1.48 10-13 s平均漂移速度為vn E0.11041 0103ms1.平均自由程為l vn1.01031.4810 131.48 10 10 m7 長(zhǎng)為 2cm的具有矩形截面的G 樣品,截面線度分別為22 -31mm和
40、 2mm,摻有 10 me受主,試求室溫時(shí)樣品的電導(dǎo)率和電阻。再摻入22-3施主后,求室溫時(shí)樣品5 10 m的電導(dǎo)率和電阻。解: NA1.01022 m 31.01016 cm 3 ,查圖 4-14(b)可知,這個(gè)摻雜濃度下,Ge 的遷移率 up 為2可知,室溫下 Ge的本征載流子濃1500 cm/( V.S), 又查圖 3-7度 ni21013 cm 3, N Ani ,屬?gòu)?qiáng)電離區(qū),所以電導(dǎo)率為pqu p1.010 161.60210 1915002 .4cm電阻為Rll241.7ss 2.4 0.10.222 -3施主后摻入 5 10 mn NDNA4 01022m34 01016cm3.
41、總的雜質(zhì)總和6 0163 , 查圖 4-14(b)可知,這個(gè)濃度下,NiNDN A10cm.2/(V.S),Ge 的遷移率 un 為 3000 cmnqunnqun4.010161.602 10 19 3000 19.2 cm電阻為Rll25.2s s19.20.10.2截面積為 0.001cm2 圓柱形純 Si 樣品,長(zhǎng) 1mm,接于 10V的電源上,室溫下希望通過(guò) 0.1A 的電流,問(wèn):樣品的電阻是多少?樣品的電阻率應(yīng)是多少?應(yīng)該摻入濃度為多少的施主?解: 樣品電阻為 R V10100I0.1 樣品電阻率為Rs1000.0011cml0.1 查表 4-15(b)知,室溫下,電阻率 1cm
42、的 n 型 Si 摻雜的濃度應(yīng)該為5 1015 cm 3 。16-3和18-3O9. 試從圖 4-13 求雜質(zhì)濃度為 10cm10cm 的 Si ,當(dāng)溫度分別為-50C和+150OC 時(shí)的電子和空穴遷移率。2解:電子和空穴的遷移率如下表,遷移率單位cm/(V.S)濃度16-318-310 cm10 cm溫度-50 OC+150OC-50 OC+150OC電子2500750400350空穴800600200100試求本征 Si 在 473K 時(shí)的電阻率。解:查看圖 3-7,可知,在 473K 時(shí),Si 的本征載流子濃度ni 5.0 1014 cm 3 ,在這個(gè)濃度下,查圖4-13 可知道 un6
43、00cm2 /(V s) , u p400cm2 /(V s)i 1/i1112.5 cmni q(unu p )5 10141.60210 19 (400 600)11.-3213-3截面積為 10cm, 摻有濃度為 10cm 的 p 型 Si 樣品,樣品內(nèi)部加有強(qiáng)度為 103 V/cm 的電場(chǎng),求;室溫時(shí)樣品的電導(dǎo)率及流過(guò)樣品的電流密度和電流強(qiáng)度。400K 時(shí)樣品的電導(dǎo)率及流過(guò)樣品的電流密度和電流強(qiáng)度。解: 查表 4-15 ( b )知室 溫下,濃 度為 1013cm-3 的 p 型 Si 樣 品的 電阻 率為2000 cm ,則電導(dǎo)率為1/5 10 4 S/ cm。電流密度為 JE510
44、 41030.5A / cm2電流強(qiáng)度為 IJs0 51035104A. 400K 時(shí) , 查 圖 4-13 可 知 濃 度 為 1013cm-3 的 p 型 Si的遷移率約為u p 500cm2 /(V s) ,則電導(dǎo)率為pqup 1013 1.602 10 19 5008 10 4 S/ cm電流密度為 JE810 41030.8 A / cm2電流強(qiáng)度為 IJs0.810 38104A12. 試從圖 4-14求室溫時(shí)雜質(zhì)濃度分別為 1015 ,1016 ,1017cm-3的 p 型和 n 型Si 樣品的空穴和電子遷移率, 并分別計(jì)算他們的電阻率。 再?gòu)膱D 4-15 分別求他們的電阻率。濃
45、度(cm-3 )101510161017N型P 型N 型P型 N型P 型遷移率(cm 2/( V.S) (圖4-14)13005001200420690240電阻率(.cm)4.812.50.521.50.090.26電阻率(.cm)(圖 4-15)4.5140.541.60.0850.211517-3n N D 或硅的雜質(zhì)濃度在 10 -10cm 范圍內(nèi),室溫下全部電離,屬?gòu)?qiáng)電離區(qū),p N A電阻率計(jì)算用到公式為1或1pqupnqun16-315-313. 摻有 1.1 10 硼原子 cm 和 9 10磷原子 cm 的 Si 樣品,試計(jì)算室溫時(shí)多數(shù)載流子和少數(shù)載流子濃度及樣品的電阻率。解:室
46、溫下,Si 的本征載流子濃度 ni1.0 1010 / cm3有效雜質(zhì)濃度為: N A ND 1.1 10169 10152 1015 / cm3ni ,屬?gòu)?qiáng)電離區(qū)多數(shù)載流子濃度 pN AN D21015 / cm3少數(shù)載流子濃度 nni21 10205104 / cm3p02 1015總 的 雜 質(zhì) 濃 度 NiN AN D2 1016 / cm3 , 查 圖 4-14 ( a ) 知 ,u p多子400cm2 / Vs, un少子 1200cm2 /Vs電阻率為111. .cmpqup nqunu p qp1.60210-19210157 840014.截 面 積 為 0.6cm2、 長(zhǎng)
47、為 1cm 的n 型 GaAs 樣 品 , 設(shè) un=8000cm2/( V S),n=10 15cm-3 ,試求樣品的電阻。解:11cm.nqun1.60210-19 11015 80000 78l0.781/ 0.61.3電阻為 Rs施主濃度分別為 1014 和 1017cm-3 的兩個(gè) Ge樣品,設(shè)雜質(zhì)全部電離:分別計(jì)算室溫時(shí)的電導(dǎo)率;若于兩個(gè) GaAs樣品,分別計(jì)算室溫的電導(dǎo)率。解:查圖 4-14(b)知遷移率為施主濃度14-317-310cm10 cm樣品Ge48003000GaAs80005200Ge材料,14-3,nqun1.60210-191101448000.077S/ cm
48、濃度為 10cm17-3,nqun1.60210-1911017300048.1S / cm濃度為 10cmGaAs材料,14-3,nqu.-1914Scm濃度為 10cm18000/n1 60210100.12817-3,nqu.-1917Scm濃度為 10cm1520083.3/n1 6021010分別計(jì)算摻有下列雜質(zhì)的 Si ,在室溫時(shí)的載流子濃度、遷移率和電阻率:15-3硼原子 3 10 cm ;硼原子 1.316-316-310 cm +磷原子 1.010 cm磷原子 1.31016cm-3 +硼原子 1.01016cm15-317-317-3。磷原子 3 10 cm +鎵原子 11
49、0 cm +砷原子 1 10 cm解:室溫下,Si 的本征載流子濃度103硅的雜質(zhì)濃度在15-1017-3ni10cm1.0 10/ cm,范圍內(nèi),室溫下全部電離,屬?gòu)?qiáng)電離區(qū)。硼原子 3 1015cm-3pN A 315/ cm3ni21 10203.34310n3101510 / cmp查圖 4-14(a)知,pcm2/V s48011.cmu p qN A1.602 10-193 10154804 3硼原子1.316-316-310 cm +磷原子 1.010 cmpN AN D(1.3 1.0)1016 / cm33 1015/ cm3,ni21 1020n3.31043p3 1015/
50、 cmNiN AN D2.3 1016 / cm3 , 查圖 4-14 ( a)知,p350cm2 / V s11.cmu p qp1.60210-19310153505 9磷原子1.316-31610 cm +硼原子 1.010 cmnNDN A(1.3 1.0)1016 / cm331015 / cm3,pni21 10203.3104/ cm3n3 1015NiN AN D2.31016 / cm3 , 查圖 4-14 ( a)知, n1000cm2 / V s11.cmun qp1.60210-193101510002 1磷原子15-317-317-33 10 cm +鎵原子 110
51、cm +砷原子 1 10 cm21 1020n N D1NAND2153, pni433 10 / cmn3 10153.3 10 / cmNiN AN D1N D 22.031017 / cm3, 查圖 4-14 ( a)知, n500cm2 / V s114.2.cmun qp1.60210-1931015500證明當(dāng) un up 且電子濃度 n=ni u p un , p ni un u p 時(shí),材料的電導(dǎo)率最小,并求 min 的表達(dá)式。解:pqupnqunni2qu pnqunndq(ni2un ),d 22ni2dnn2 u pdn2q3u pn令 dni20 (2 u pun )
52、0n niu p / un , p niuu / u pdnnd 2q2ni2u p2unun0dn2qn n up/ uni 3 (u p / un ) u p / unni u p u pin因此, nniup / un 為最小點(diǎn)的取值minq(niuu/ u p upniu p / un un )2qni uu u p試求 300K 時(shí) Ge和 Si 樣品的最小電導(dǎo)率的數(shù)值,并和本征電導(dǎo)率相比較。查表 4-1,可知室溫下硅和鍺較純樣品的遷移率Si:minqniuup21.6021019101450500 2.73 107Scm2u1 10/iqni (u pun )1.60210 19
53、1 1010(1450500) 3.12 10 6 S/ cmGe:minqniuup21.60210191038001800 8.38 106 Scm2u1 10/iqni (u pun )1.60210 19 1 1010(38001800)8.97 10 6 S/ cm18. InSB 的電子遷移率為 7.5m2/(V S), 空穴遷移率為 0.075m2/( V S), 室溫時(shí)本征載流子濃度為16-3試分別計(jì)算本征電導(dǎo)率、電阻率和最小電導(dǎo)率、1.6 10cm ,最大電導(dǎo)率。什么導(dǎo)電類(lèi)型的材料電阻率可達(dá)最大。解:iqni ( u pun )1.602 10 191.6 1016( 750
54、00750)194.2S/ cm1/ i 0.052 .cm借用 17 題結(jié)果min2qni uuu p21.60210 19 1.6101675000 750 38.45S / cmmax1/min/ .cm112160 026當(dāng) nniup / un , pniuu / up 時(shí), 電阻率可達(dá)最大,這時(shí)n ni750 / 75000pni75000/ 750,這時(shí)為 P 型半導(dǎo)體。假設(shè) S i 中電子的平均動(dòng)能為 3k0T/2 ,試求室溫時(shí)電子熱運(yùn)動(dòng)的均方根速度。如將 S i 置于 10V/cm 的電場(chǎng)中,證明電子的平均漂移速度小于熱運(yùn)動(dòng)速2度,設(shè)電子遷移率為15000cm/(V S).
55、如仍設(shè)遷移率為上述數(shù)值,計(jì)算電場(chǎng)為104V/cm 時(shí)的平均漂移速度,并與熱運(yùn)動(dòng)速度作一比較,。這時(shí)電子的實(shí)際平均漂移速度和遷移率應(yīng)為多少?試證 Ge 的電導(dǎo)有效質(zhì)量也為1112mc3 m1mt第五章習(xí)題1. 在一個(gè) n 型半導(dǎo)體樣品中,過(guò)??昭舛葹?3-3,空穴的壽命為 100us。10 cm計(jì)算空穴的復(fù)合率。已知:p 1013 / cm 3 ,100 s求: U?解:根據(jù)pU得: Up101361017 / cm3 s100 102.用強(qiáng)光照射 n 型樣品,假定光被均勻地吸收,產(chǎn)生過(guò)剩載流子,產(chǎn)生率為,空穴壽命為。(1)寫(xiě)出光照下過(guò)剩載流子所滿足的方程;(2)求出光照下達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)的過(guò)載
56、流子濃度。解:均勻吸收,無(wú)濃度 梯度,無(wú)飄移。d ppdtg Lt方程的通解:p(t )AegL( 2)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),d p0pdtgL0.g有一塊 n 型硅樣品,壽命是 1us,無(wú)光照時(shí)電阻率是 10 cm。今用光照射該樣品,光被半導(dǎo)體均勻的吸收,電子 - 空穴對(duì)的產(chǎn)生率是1022cm-3 s-1 , 試計(jì)算光照下樣品的電阻率,并求電導(dǎo)中少數(shù)在流子的貢獻(xiàn)占多大比例?光照達(dá)到穩(wěn)定態(tài)后 .pg L0png102210 61016 cm 3光照前 :0110 cmn0 qp0qnp光照后 :np npqn0 qp0 qpnq npq ppn0.1010161.610 19135010161.61
57、0 195000.12.963.06s / cm10.32 cm.少數(shù)載流子對(duì)電導(dǎo)的貢獻(xiàn)p0 .所以少子對(duì)電導(dǎo)的貢獻(xiàn) , 主要是 p的貢獻(xiàn) .p9u p 1016 1.6 10 195000.813.0626%3.06一塊半導(dǎo)體材料的壽命 =10us,光照在材料中會(huì)產(chǎn)生非平衡載流子,試求光照突然停止 20us 后,其中非平衡載流子將衰減到原來(lái)的百分之幾?tp(t)p(0)e20p(20)e 1013.5%p(0)光照停止 20 s后,減為原來(lái)的 13.5%。5.n 型硅中,摻雜濃度16-3光注入的非平衡載流子濃度14-3。ND=10 cm ,n= p=10 cm計(jì)算無(wú)光照和有光照的電導(dǎo)率。有光
58、照 :1010 cm 3 . n1014 / cm3nq n pq p設(shè)T300K , ni 1.5pn0 q np0 qpnq( np )則n01016 cm 3 , p02.25104 / cm32.16141.61019(1350500)n n0n, pp0p102.160.02962.19s / cm無(wú)光照: 0n0 qp0 qu p n0 qnn16cm1310161.6 10 1913502.16s/ cm(注:摻雜 10的半導(dǎo)體中電子、空穴的遷移率近似等于 本征半導(dǎo)體的遷移率)畫(huà)出 p 型半導(dǎo)體在光照(小注入)前后的能帶圖,標(biāo)出原來(lái)的的費(fèi)米能級(jí)和光照時(shí)的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)。EcEcEEi
59、FnEiEFEvEFpEv光照前光照后-3摻施主濃度 ND=10 cm 的 n 型 硅, 由于光 的照 射產(chǎn) 生了非平衡載流子14-3n= p=10cm 。試計(jì)算這種情況下的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)位置,并和原來(lái)的費(fèi)米能級(jí)作n比較。EFnEik 0Tln ni強(qiáng)電離情況,載流子濃 度EFnEik 0Tln1.110150.291eV1010nn0n101510141.5EFPE ik 0TlnP1.1 1015 / cm 3Pi21014pp0pni1014EFPE ik0 Tln1.510100.229eVNDN(1.51010)23平衡時(shí) EFEik o TlnDni10141014 / cm10151
60、4EFn Eik0 Tln100.289eVn1.51010ni eko TEnE0.0025eVFEiEFPFpEFP0.0517eVni ek0 TE F在一塊 p 型半導(dǎo)體中,有一種復(fù)合 - 產(chǎn)生中心,小注入時(shí),被這些中心俘獲的電子發(fā)射回導(dǎo)帶的過(guò)程和它與空穴復(fù)合的過(guò)程具有相同的概率。試求這種復(fù)合-產(chǎn)生中心的能級(jí)位置,并說(shuō)明它能否成為有效的復(fù)合中心?解:根據(jù)復(fù)合中心的間接復(fù)合理論:復(fù)合中心 Nt .被電子占據(jù) nt ,向?qū)Оl(fā)射電子EtEiEiEF;EtEirn ni er p ni ekoTsn nt rn n1 ntrn ni eko Tntrn r pEtEiEiEFk oT從價(jià)帶俘
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