集成電路ic的結(jié)構(gòu)和組成

1、集成電路ic的結(jié)構(gòu)和組成一般的，我們用由上而下的層級來認(rèn)識集成電路，這樣便于 理解，也更有條理些。（1）系統(tǒng)級以手機為例，整個手機是一個復(fù)雜的電路系統(tǒng)，它可以打電 話、可以玩游戲、可以聽音樂、可以嘩-。它由多個芯片以及電阻、 電感、電容相互連接而成，稱為系統(tǒng)級。（當(dāng)然，隨著技術(shù)的發(fā)展，將 一整個系統(tǒng)做在一個芯片上的技術(shù)也已經(jīng)出現(xiàn)多年一一SoC技術(shù)）（2）模塊級在整個系統(tǒng)中分為很多功能模塊各司其職。有的管理電源， 有的負(fù)責(zé)通信，有的負(fù)責(zé)顯示，有的負(fù)責(zé)發(fā)聲，有的負(fù)責(zé)統(tǒng)領(lǐng)全局的 計算，等等。我們稱為模塊級。這里面每一個模塊都是一個宏大的領(lǐng) 域，都聚集著無數(shù)人類智慧的結(jié)晶，也養(yǎng)活了很多公司。（3）寄存

2、器傳輸級（RTL）那么每個模塊都是由什么組成的呢？以占整個系統(tǒng)較大比 例的數(shù)字電路模塊（它專門負(fù)責(zé)進行邏輯運算，處理的電信號都是離 散的0和1）為例。它是由寄存器和組合邏輯電路組成的。所謂寄存器就是一個能夠暫時存儲邏輯值的電路結(jié)構(gòu)，它需 要一個時鐘信號來控制邏輯值存儲的時間長短?，F(xiàn)實中，我們需要時鐘來衡量時間長短，電路中也需要時鐘 信號來統(tǒng)籌安排。時鐘信號是一個周期穩(wěn)定的矩形波?，F(xiàn)實中秒鐘動 一下是我們的一個基本時間尺度，電路中矩形波震蕩一個周期是它們 世界的一個時間尺度。電路元件們根據(jù)這個時間尺度相應(yīng)地做出動作， 履行義務(wù)。組合邏輯呢，就是由很多“與（AND）、或（OR）、非（NOT）” 邏

3、輯門構(gòu)成的組合。比如兩個串聯(lián)的燈泡，各帶一個開關(guān)，只有兩個 開關(guān)都打開，燈才會亮，這叫做與邏輯。一個復(fù)雜的功能模塊正是由這許許多多的寄存器和組合邏 輯組成的。把這一層級叫做寄存器傳輸級。圖中的三角形加一個圓圈是一個非門，旁邊的器件是一個寄 存器，D是輸入，Q是輸出，clk端輸入時鐘信號。（4）門級寄存器傳輸級中的寄存器其實也是由與或非邏輯構(gòu)成的，把 它再細(xì)分為與、或、非邏輯，便到達了門級（它們就像一扇扇門一樣， 阻擋/允許電信號的進出，因而得名）。（5）晶體管級 無論是數(shù)字電路還是模擬電路，到最底層都是晶體管級了。 所有的邏輯門（與、或、非、與非、或非、異或、同或等等）都是由 一個個晶體管構(gòu)成

4、的。因此集成電路從宏觀到微觀，達到最底層，滿 眼望去其實全是晶體管以及連接它們的導(dǎo)線。早期的時候雙極性晶體管（BJT）用的比較多，俗稱三極管。 它連上電阻、電源、電容，本身就具有放大信號的作用。像堆積木一 樣，可以用它構(gòu)成各種各樣的電路，比如開關(guān)、電壓/電流源電路、上 面提到的邏輯門電路、濾波器、比較器、加法器甚至積分器等等。由 BJT 構(gòu)建的電路我們稱為 TTL（Transistor-Transistor Logic）電路。BJT 的 電路符號長這個樣子：后來金屬-氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管（MOSFET）的出現(xiàn)， 以優(yōu)良的電學(xué)特性、超低的功耗橫掃IC領(lǐng)域。除了模擬電路中BJT還 有身影外，基

5、本上現(xiàn)在的集成電路都是由MOS管組成的了。同樣的， 由它也可以搭起來成千上萬種電路。而且它本身也可以經(jīng)過適當(dāng)連接 用來作電阻、電容等基本電路元件。MOSFET的電路符號如下：如上所述，在實際工業(yè)生產(chǎn)中，芯片的制造，實際上就是成 千上萬個晶體管的制造過程?，F(xiàn)實中制造芯片的層級順序就要反過來了，從最底層的晶體管開始一層層向上搭建?；旧?，按照“晶體管芯片-電路板”的順序，我們最終可以得到電子產(chǎn)品的核心部件電路板。想直接看芯片制造的可以直接空降至此。下文中的光刻機主要指步進式和掃描式光刻機。首先我們知道，光刻的大致流程是，一個晶圓（wafer）（通常直徑為300mm）上涂一層光刻膠，然后光線經(jīng)過一個

6、已經(jīng)刻 有電路圖案（pattern）的掩膜版（mask or reticle）照射到晶圓上，晶 圓上的光刻膠部分感光（對應(yīng)有圖案的部分），接著做后續(xù)的溶解光 刻膠、蝕刻晶圓等處理。然后再涂一層光刻膠，重復(fù)上述步驟幾十次， 以達到所需要求；簡化結(jié)構(gòu)請看下圖。掩膜版和晶圓各自安裝在一個運動 平臺上（reticle stage and wafer stagS。光刻時，兩者運動到規(guī)定的位 置，光源打開。光線通過掩膜版后，經(jīng)過透鏡，該透鏡能夠?qū)㈦娐穲D 案縮小至原來的四分之一，然后投射到晶圓上，使光刻膠部分感光。一塊晶圓上有很多die，每一個die上都刻有相同的電路 圖案，即一塊晶圓可以出產(chǎn)很多芯片。一個

7、die典型的尺寸是26X 32mm。光刻機主要有兩種，一種叫做stepper，即掩膜版和晶圓上的 某一個die運動到位后，光源開、閉，完成一次光刻，然后晶圓運動 使得下一個die到位，再進行一次光刻，依此類推。而另一種光刻機 叫做scanner,即光線被限制在一條縫的區(qū)域內(nèi)，光刻時，掩膜版和 晶圓同時運動，使光線以掃描的方式掃過一個die的區(qū)域，從而將電 路圖案刻在晶圓上（見下圖（b）。scanner比stepper的優(yōu)勢在于，可 以提供更大的die的尺寸。其原因在于，對于一個固定尺寸的圓透鏡， 比如直徑32mm的圓（指投射后的區(qū)域大?。?，其允許透過的光線的 區(qū)域尺寸是受限的。若采用stepp

8、er的step-and-expose方式進行光刻， 一個die的區(qū)域必須能被包含在直徑32mm的圓中，因此能獲得的最 大的die的尺寸為22 X 22mm；若采用scanner的step-and-scan方式， 透鏡能夠提供的矩形區(qū)域長度可以到26mm （26X8mm）甚至更長， 將光縫設(shè)置為這個尺寸，使用掃描的方式便可以獲得26XLmm的區(qū) 域（L為掃描長度）。區(qū)域示意見下圖（a）。同樣的透鏡在stepper下可 以實現(xiàn)更大區(qū)域的意義在于，當(dāng)你需要生產(chǎn)尺寸較大的芯片的時候， 換一個更大的透鏡的費用是昂貴的。Scanner的step-and-scan過程的示意圖如下：為了使每層的電路相互之間不發(fā)生干涉，需要對上下平 臺進行精密運動控制。掃描時上下平臺應(yīng)處于勻速運動階段。目前最 小的層疊誤差小于2nm （單個機器內(nèi)）或3nm （不同機器間）。光源的波長一般為 365、248、193、157 甚至 13.5 nm（EUV，Extreme Ultraviolet）o因為光刻過程受到衍射限制，光源波長越小，能夠做出的芯片尺寸就越小。在透鏡和晶圓之間加