氯硅烷物理特性

1、氯硅烷的性質1、氯硅烷的基本物性相關氯硅烷的基本性質見表1:表1氯硅烷的物理特性類另U分子式分子量沸點(C)凝固點(C)臨界條件溫度(C)壓強（atm）體積（cm3/g）一氯硅烷SiClH66.55-30.4-118.1123.547.8174二氯硅烷SiCl2H2101.018.3-122.0176.344.4211三氯硅烷SiClH135.4331.8-134.020640.6268四氯化硅SiCl 4169.9057.57-70.0233.837.1326.32、氯硅烷的蒸汽壓氯硅烷的蒸汽壓與溫度關系見圖1,經數(shù)據(jù)擬合可以得到對應的P-T曲線如下:圖1氯硅烷的蒸汽壓與溫度的關系一氯硅烷：

2、（式1-1）P = 0.0012t3 + 0.0692t2 + 10.316t + 380.84二氯硅烷：（式1-2）P = 0.0003t3 + 0.0431t2 + 2.9293t + 75.091三氯氫硅：（式1-3）P = 0.0002t3 + 0.0169t2 + 1.2314t + 30.534四氯化硅：（式1-4）P = 0.0003t3 + 0.0112t2 + 0.1593t + 7.4207說明：其中壓強單位為kPs溫度單位為。C。3、氯硅烷的汽化熱圖2氯硅烷的汽化熱對溫度的關系氯硅烷的汽化熱與溫度關系如圖2,用圖中 數(shù)據(jù)可以擬合得到如下方程：三氯氫硅：(式2-1)H氣=-

3、3 X10-6t3 + 0.0002t2 - 0.0426t + 28.927四氯化硅：(式2-2)H氣=-5 X10-713 - 0.0001t2 - 0.0373t + 33.019說明：H氣勺單位為kJ/mol,溫度單位C。4、氯硅烷的密度氯硅烷液體密度與溫度關系見圖3,對數(shù)據(jù) 進行擬合可以得到如下方程：三氯氫硅：（式3-1）P = 7 X10-5t3 + 0.0069t2 - 1.8365t +1370.9四氯化硅：（式3-2）P =-2 X10-5t3 + 0.0012t2 - 1.8748t +1520.7說明：密度單位為kg/m3，溫度單位C。5、氯硅烷的粘度、氯硅烷蒸汽粘度對溫

4、度的關系如圖4, 用圖中數(shù)據(jù)可以擬合得到如下方程：圖3氯硅烷的液體密度對溫度的關系m i胃三氯氫硅：H g = 9 x 10-1013 + 4 x 10-8t2 + 0.0036t + 0.9424（式 4-1）四氯化硅：H g = 2 x 10-9t3 +1 x 10-6t2 + 0.0033t + 0.9085（式 4-2）說明：粘度單位為10-5Pa.s,溫度單位C。、氯硅烷液體粘度對溫度的關系如圖5,用圖中數(shù)據(jù)可以擬合得到如下方程: 三氯氫硅：H 1 = 3X10-7t3 + 5X10-5t2 + 0.0043t + 0.397（式 4-3）四氯化硅：H 1 =-5X10-7t3 +

5、8X10-5t2 -0.0068t + 0.5749（式 4-4）5心說明：粘度單位為1X10-3Pa.s，溫度單位C。圖4氯硅烷的蒸汽粘度對溫度的關系圖5氯硅烷的液體粘度對溫度的關系6、氯硅烷的表面張力氯硅烷表面張力對溫度的關系如圖6,用圖中數(shù)據(jù)可以擬合得到如下方程：三氯氫硅：o=-0.1044t +19.868（式 5-1）四氯化硅：。=-0.1048t + 21.576說明：表面張力的單位為mMm,溫度單位。C。7、氯硅烷的熱容量、氯硅烷的蒸汽熱容量對溫度的關系如圖7,用圖中數(shù)據(jù)可以擬合得到如下方程：三氯氫硅：（式6-1）Cg = 7 x 10-8t3 - 0.0001t2 - 0.0792t + 75.023四氯化硅：（式6-2）Cg = 2 x 10-713 - 0.0002t2 + 0.0871t + 89.073說明：熱容單位J/mol.K,溫度單位C。、氯硅烷的液體熱容量對溫度的關系如圖8,用圖中數(shù)據(jù)擬合得到如下方程：圖三氯氫硅：C1 =-8 x 10 -6t3 + 0.0018t2 + 0.1942t 四氯化硅：C i =-6 x 10 -7t3 + 0.0014t2 + 0.1508t 說明：熱容量單位為J/mol.K,溫