壓電MEMS麥克風簡介

1、WeiFang XinGang Electronics Co.,LTDMEMS麥克風工作原理 傳統(tǒng)電容式MEMS麥克風是由MEMS微電容傳感器（硅片）、微集成轉(zhuǎn)換電路(放大器)、聲腔及RF抗噪電路組成。 硅片主要由振膜和背極板上下組成,振膜可直接將接收到的音頻信號經(jīng)電容傳感器原理傳輸給微集成電路, 微集成電路可將傳感器原始信號放大,同時經(jīng)RF抗噪電路濾波,輸出電信號完成“聲-電”轉(zhuǎn)換過程.輸出硅振膜硅極板地RF電路電源MEMS傳感器放大器 聲源輸入轉(zhuǎn)換輸出WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風結(jié)構(gòu)示意MEMS傳感器ASIC放大器振膜極板WeiFa

2、ng XinGang Electronics Co.,LTD 壓電式MEMS麥克風工作原理 壓電MEMS麥克風是一種新型MEMS產(chǎn)品，其利用集成在薄膜硅材表面的壓電材料進行能量轉(zhuǎn)換。當薄膜受氣流壓迫時，薄膜進行形變并帶動壓電材質(zhì)產(chǎn)生形變，壓電材質(zhì)在物理特性改善時產(chǎn)生電信號進行輸出。當薄膜受連續(xù)氣流壓迫時，壓力材質(zhì) 的物理特性也相應改善，與之產(chǎn)生連續(xù)的電信號。WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD 壓電式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)示意壓電薄膜壓電MEMSASICWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD 壓電MEMS麥克風優(yōu)勢壓電MEMS無需B

3、ias電壓，信號響應速度更快IP6X優(yōu)秀的防塵能力IPX7優(yōu)秀的防水能力優(yōu)秀的氣流防護能力良好的SNR可持續(xù)進化能力結(jié)構(gòu)簡化，單層膜結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品具有極高可靠性區(qū)別與傳統(tǒng)電容式MEMS麥克風，壓電MEMS的物理材質(zhì)特性以及簡潔結(jié)構(gòu)，使其具備了以下優(yōu)點。WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風信號采樣對比壓電式MEMS麥克風信號輸出延遲5uS, 電容式MEMS麥克風信號輸出延遲4.5mSWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防塵對比WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD ME

4、MS麥克風防塵對比Knowles MIC: 測試后靈敏度衰減-8.4dBWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防塵對比ST MIC: 測試后靈敏度衰減-7.4dBWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防塵對比Vesper MIC: 測試后靈敏度無衰減WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防水測試WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防水測試Knowles MIC:測試后靈敏度嚴重衰減， Vesper MIC: 測試后靈敏度無衰減WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風氣流測試 垂直氣流沖擊測試1.出風口徑針管型號19#2.壓力及時間設定氣壓范圍0.3Mpa0.6Mpa，每0.1Mpa遞增測試，每次打壓0.5s。3.測試距離固定距離0mm,4.重復測試每unit/3cycleVesper MIC: 測試后靈敏度無衰減WeiFang XinGang Electronics Co.,LTDMEMS麥克風SNR研發(fā)WeiFang XinGang Elect