雷尼紹XL80激光干涉儀操作手冊(cè)匯總

1、鐳射干預(yù)儀操作手冊(cè)手冊(cè)內(nèi)容一.RENISHAW公司簡介1二.鐳射干預(yù)儀原理2(1)波的速度3(2)干預(yù)量測原理3(3)鐳射干預(yù)儀4(4)鐳射干預(yù)儀一般量測工程4三.考前須知5四.鐳射干預(yù)儀預(yù)防誤差及保養(yǎng)5(1)鐳射干預(yù)儀預(yù)防誤差5(2)鐳射干預(yù)儀保養(yǎng)方法65 .平安及考前須知66 .鐳射光原理及特性77 .鐳射硬件介紹88 .鐳射架設(shè)流程圖159 .定位量測原理及操作16(1)線性定位量測原理16(2)量測方式17十.鐳射易發(fā)生之人為架設(shè)誤差20(1)死徑誤差20(2)余弦誤差21(3)阿倍平移誤差21十一.鐳射操作之步驟22(1)軟件安裝之步驟22(2)執(zhí)行量測軟件22(3)定位量測硬件架設(shè)

2、之操作23(4)鏡組架設(shè)前之考前須知24(5)鏡組架設(shè)之步驟24十二.定位量測之程序范例29十三.定位量測之軟件操作步驟30熱漂移量測38快速功能鍵44十四.動(dòng)態(tài)軟件量測之操作45(1)動(dòng)態(tài)量測硬件之架設(shè)45(2)執(zhí)行量測之軟件46(3)位移與時(shí)間48(4)速度與時(shí)間49(5)加速度與時(shí)間50十五.角度量設(shè)之操作52(1)考前須知52(2)鏡組架設(shè)的種類53(3)鏡組架測之步驟54(4)角度量測之軟件操作步驟57十六.RX10旋轉(zhuǎn)軸之量測62(1)說明62(2)硬件配件之介紹62(3)硬件操作之步驟64(4)軟件操作之步驟67十七.直度量測之操作75(1)直度之分類75(2)直度量測之硬件架設(shè)

3、75(3)鏡組架設(shè)之步驟75(4)直度軟件之操作步驟80十八.Z軸直度鏡組織架設(shè)方法85十九.垂直度量測之操作89(1)垂直度鏡組架設(shè)之步驟89(2)軟件操作之步驟95二十.平面度量測之原理與操作101(1)硬設(shè)備101(2)操作之原理102(3)鏡組架設(shè)之步驟102(4)軟件操作之步驟110RENISHAW公司簡介RENISHAW為一家英國公司,產(chǎn)品營銷全世界,主要產(chǎn)品有三次元量床之測頭、測針、BALLBAR循圓測試儀、鐳射干預(yù)儀?等等及產(chǎn)品經(jīng)NPL(英國國家標(biāo)準(zhǔn))認(rèn)證為ISO9001之合格廠商RENISHAW公司為機(jī)器設(shè)備制造商提供量測檢驗(yàn)系統(tǒng)的儀器,提供各種用于機(jī)器精度檢定的量測設(shè)備進(jìn)而

4、改善機(jī)器的精度RENISHAWXL80高性能鐳射干預(yù)儀是機(jī)床、三次元坐標(biāo)量床及其它定位裝置精度校準(zhǔn)用的高性能儀器,由于最新電子技術(shù)的應(yīng)用,使其鐳射波長非常穩(wěn)定并保持了低本錢高效率的工作流程RENISHAW產(chǎn)品介紹：三次元測頭測針系列循圓測試儀器(BALLBAR)量測系統(tǒng)黏貼式光學(xué)尺系列鐳射干預(yù)儀量測原理MICHELSONE0干預(yù)原理兩個(gè)頻率振幅波長相同的鐳射光波因相位變化而發(fā)生不同程度的干預(yù)a.b.相長干預(yù)建設(shè)性干預(yù)相消干預(yù)破壞性干預(yù)相消干預(yù)1 .波的速度V=f入假設(shè)f,入const那么Vconst常起始黠典接收黑部目蹄相差n他整數(shù)波日寺,起始黠典接收黑占相位相同常起始黠典接收黠距雕相差n+0

5、,2511固整數(shù)波H寺,起始黠典接收黠相位相差90度常起始黠典接收黠距施相差計(jì)05固整數(shù)波畤,起始黠典接收黠相位相差180度2 .干預(yù)量測原理稱射黠接收黠性干預(yù)倭反射參考踣彳基量測踣彳空3 .鐳射干預(yù)儀：一般鐳射干預(yù)儀均為氨覆鐳射,其鐳射光為紅色波長0.6329長期穩(wěn)定誤差0.05ppm以下10個(gè)波長相差0.5個(gè)波其優(yōu)點(diǎn):a.測量范圍大b.簡化以往光學(xué)儀器結(jié)構(gòu)c.測量速度快缺點(diǎn):易受大氣環(huán)境影響因波長常會(huì)隨溫度、氣壓、濕度而變化因鐳射光以空氣為傳遞介質(zhì)4 .鐳射干預(yù)儀一般量測工程：一定位精度、距離量測、重復(fù)性二速度、加速度、動(dòng)態(tài)量測三角度量測：a.垂直方向角度pitchb.水平方向角度yaw四

6、真直度量測：a.垂直方向b.水平方向五直角度量測六平面度量測七平行度量測八旋轉(zhuǎn)角度量測考前須知:(1)三腳架置于待測物適當(dāng)位置,地基穩(wěn)固不可搖晃及預(yù)防人員和機(jī)器碰觸的地方(2)三腳架之水平氣泡調(diào)至中央位置固定(3)信號(hào)線之插頭,紅點(diǎn)表示向上,各線接頭缺口部份確實(shí)吻合方可插入(4)各電源線、信號(hào)線連接或拔除時(shí),各儀器需均在OFF狀態(tài),否那么會(huì)對(duì)儀器造成傷害(5)給予穩(wěn)定獨(dú)立電源,確實(shí)不漏電環(huán)境中使用(6)短距離量測(50mm內(nèi))亦產(chǎn)生余弦誤差,先校直度再作定位(6)對(duì)焦時(shí)預(yù)防反射回來的鐳射光打在鐳射光射出口處(7)鐳射先熱機(jī)穩(wěn)定后,再做鐳射量測(8)操作中確認(rèn)XC80(環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng))是監(jiān)控中,每

7、7秒各偵測一項(xiàng),以42秒為一次循環(huán)(9)鐳射干預(yù)儀設(shè)備存放地點(diǎn)盡量保持枯燥鐳射干預(yù)儀預(yù)防誤差及保養(yǎng)1鐳射干預(yù)儀預(yù)防誤差(1)量測周圍環(huán)境應(yīng)盡量預(yù)防太陽光直接照射或忽然流動(dòng)的風(fēng)產(chǎn)生擾流現(xiàn)象(2)裝設(shè)干預(yù)鏡及反射鏡在被測機(jī)臺(tái)上時(shí),必須牢固,否那么機(jī)臺(tái)移動(dòng)會(huì)造成不可預(yù)期的量測誤差(3)環(huán)境偵測感應(yīng)器與材料溫度感應(yīng)器是否作動(dòng),必須于量測前確實(shí)檢查,以免造成不必要的誤差(4)要獲得最正確精度并減少誤差,建議遵守以下規(guī)定：a.在校驗(yàn)環(huán)境條件中執(zhí)行量測b.激光束需作確實(shí)校直c.需注意量測時(shí)的周圍條件d牢固地裝設(shè)鏡組(3)在量測執(zhí)行中不可因其它因素而中斷,量測必須一次完成檢驗(yàn),假設(shè)發(fā)生量測中斷情形,必須重新執(zhí)

8、行檢驗(yàn)2.鐳射干預(yù)儀保養(yǎng)方法(1)使用時(shí)應(yīng)預(yù)防碰撞及震動(dòng)(2)工作完畢應(yīng)循操作方法反順序逐一拆卸并且擦拭干凈置回儀器盒內(nèi)(3)金屬平臺(tái)在使用完后應(yīng)擦拭干凈(4)干預(yù)鏡及反射鏡片應(yīng)使用光學(xué)鏡片專用擦拭紙做圓形回轉(zhuǎn)擦拭(注意嚴(yán)禁使用酒精或具有揮化性及腐蝕性之清潔液擦拭,請(qǐng)干擦,因鏡面有鍍一層藍(lán)色薄墨,而激光束是靠此薄墨產(chǎn)生折射與反射,如果使用具有揮化性或腐蝕性之清潔液會(huì)將此薄墨破壞,如果鏡面沒有薄墨折射率既減弱而影響光強(qiáng),且無法再鍍上此薄墨,請(qǐng)注意小心使用)(5)應(yīng)小心搬運(yùn)尤其對(duì)鏡片類應(yīng)有適當(dāng)防護(hù)與防震,暫不用時(shí)以干凈東西覆蓋平安考前須知1 .鐳射光屬二級(jí)鐳射,建議勿長時(shí)間直視鐳射光2 .鐳射預(yù)熱

9、時(shí)可將鐳射光閘暫時(shí)關(guān)閉,鏡組對(duì)焦時(shí)再予以翻開3 .對(duì)焦時(shí)盡量預(yù)防反射之鐳射光打在鐳射頭的鐳射發(fā)射出口處,以免鐳射造成不良影響4 .架設(shè)鏡組前,先將機(jī)器欲測軸全行程往返移動(dòng),觀察機(jī)器移動(dòng)空間并決定鏡組架設(shè)位置,當(dāng)鏡組架設(shè)至機(jī)臺(tái)后,使用手動(dòng)慢速移動(dòng)機(jī)器確定移動(dòng)空間無其它干預(yù)物后,機(jī)器才可改為自動(dòng)移動(dòng)5 .架設(shè)或操作鐳射干預(yù)儀時(shí),閑雜人等預(yù)防靠近,以免拌到電源線或傳輸線6 .確認(rèn)電壓伏特是否正確,并且所使用的電力來源盡量能夠獨(dú)立,并加穩(wěn)壓器.鐳射光原理及特性1 .光的相關(guān)原理光為一種無質(zhì)量的微粒子牛頓光為一種電磁波馬克士威爾光具有粒子與波動(dòng)的性質(zhì)2 .光的特性方向性直線性波動(dòng)性3 .波的根本物理量頻

10、率f、周期T、振幅A、波長入、其中波長是長度單位4 .何謂鐳射光對(duì)某種元素施予能量,使其原來穩(wěn)定的基態(tài)低能階變?yōu)椴环€(wěn)定的激態(tài)高能階,元素會(huì)由激態(tài)高能階釋放出能量后變回原來的基態(tài)低能階再釋放能量的過程中會(huì)產(chǎn)生一種光,我們謂之鐳射光高能陷激憩一T吸伙量低能B普基熊高能陷激熊出耀嬴*量低能陷一-一J5 .鐳射光之特性A.高單頻性：光的頻率即是色,高純頻率即是高單色,一般可見光包含紅、澄、黃、綠、藍(lán)、靛、紫、頻率純度較低B.高方向性：鐳射光配合聚光鏡的發(fā)散角度非常小,而一般光線其擴(kuò)散角度都非常大C.高亮度性：其光線亮度比一般光線亮度大數(shù)倍視鐳射而定硬件介紹XC80環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)材料溫度感磨器空氧溫度感鷹

11、器大氫屢力測§8校正日期XC80環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)插梢示意圖不痛痛倒柱夾持器組綠性反射綜性分光短線性定位量測鏡組角度反射角度分光ee槨靶角度量測鏡組Z軸直度量測鏡組及附件垂直度量測鏡基板平面度平坦度量測鏡組旋轉(zhuǎn)軸量測系統(tǒng)固定式粉折箱360度粉折斜臂式章床用LS35C®塞tiaMS手控紀(jì)綏器詞颼費(fèi)器LXlMt畫食旋幅鐳射頭微調(diào)平臺(tái)平臺(tái)配接器高度飄前曲柄支e仲晨定支曹的角度箱定中央柱防滑穆哮肝重負(fù)荷三腳架鐳射架設(shè)聯(lián)機(jī)流程圖1.鐳射架設(shè)及量測流程表定位量測原理及操作1.線性定位量測原理：一架設(shè)方式：干預(yù)鏡不動(dòng),移動(dòng)反射鏡反射鏡不動(dòng),移動(dòng)干預(yù)鏡接收黠盤性干預(yù)俄反射袋二何謂線性定位精度：C

12、NC機(jī)器執(zhí)行時(shí),程序之坐標(biāo)點(diǎn)未必是機(jī)器的坐標(biāo)點(diǎn),程序坐標(biāo)點(diǎn)為理想值,機(jī)器坐標(biāo)點(diǎn)為實(shí)際值,兩者之間差為機(jī)器的定位精度三線性定位誤差原因：誤差原因可能是導(dǎo)程誤差、限制器誤差、機(jī)器幾何誤差及震動(dòng)等原因四線性定位量測的目的：量測出機(jī)臺(tái)可能因零件和組裝所造成的誤差,可利用機(jī)器參數(shù)補(bǔ)償或重新組裝改良機(jī)器加工機(jī)精度,保證機(jī)器加工的質(zhì)量五鐳射干預(yù)儀定位量測發(fā)生誤差的原因：a.空氣、溫度、濕度、氣壓等影響b.待測物之熱膨脹系數(shù)c-電子誤差d.死徑誤差圖一e.阿倍ABBE誤差圖二f.余弦COS誤差圖三g-震動(dòng)誤差h.鏡組熱膨脹飄移鐳射干預(yù)儀量測數(shù)據(jù)是以數(shù)值方式顯示,并沒有一般量測時(shí)有人為讀值判定所產(chǎn)生的誤差2.量

13、測方式a線性(linear)方式-單向-2次第一串目糕雌-4日檬起.b線性(linear)方式雙向2次第T目糕最貧,目修C.朝圣(pilgrim)方式-單向-2次第一站目參起鉆卜第一姻目糕d朝圣(pilgrim)方式-雙向-2次最接一號(hào)自律1越程量18e.鐘擺pendulum方式-單向-2次第一智目襟f鐘擺pendulum方式-單向-2次第一總目糕最鏤一國目槨越行程鐳射架設(shè)易發(fā)生之誤差1死徑誤差如圖一所示.死徑誤差是一種與使用XC80自動(dòng)補(bǔ)償?shù)木€性量測過程中的環(huán)境因子變化有關(guān)的誤差.在正常情況下,死徑誤差很小并且僅在恢復(fù)為基準(zhǔn)值之后和量測期間發(fā)生環(huán)境變化時(shí)出現(xiàn).鐳射光波經(jīng)過干預(yù)鏡后開始計(jì)算位移

14、量,故干-反鏡組間隙越大,光波暴露大氣環(huán)境越多,受外在因素影響越大,如果干預(yù)儀與反射鏡之間沒有移動(dòng),并且激光光束周圍的環(huán)境條件發(fā)生變化,那么波長在空氣中將在整個(gè)路徑Li+L2上發(fā)生變化,但是鐳射量測系統(tǒng)僅在L2距離上得到補(bǔ)償.因此將引進(jìn)死路量測誤差,由于光束路徑Li沒有得到補(bǔ)償.XL80LASER干預(yù)俵?固定光季接組圖一死徑誤差死躇量涕路授,.但是,如果在恢復(fù)為基準(zhǔn)值時(shí)固定光學(xué)鏡組和移動(dòng)光學(xué)鏡組彼此相接,那么死路誤差可以忽略不計(jì),如以下圖所示.基型位置健勒2 .余弦誤差如圖二所示.架設(shè)鐳射頭沒有真正與干-反射鏡成一直線所造成的誤差,即激光光束路徑與運(yùn)動(dòng)軸線之間有校直的偏差,而導(dǎo)致量測距離與實(shí)際

15、移動(dòng)距離之間有差異.蕾射光束XL80LASER圖二余弦誤差3 .阿倍平移誤差如圖三所示.激光束軸線不在行程軸在線,意即當(dāng)光束與預(yù)定校準(zhǔn)軸線平行但有一個(gè)偏移距離,進(jìn)行測量時(shí)會(huì)因俯仰或偏角引致Abbe偏置誤差.平面目XL80LASER雷射光束勃掾(100mm)行程軸維支助ABBE差24微米反射僚兼光學(xué)箱組圖三阿倍平移誤差MkiuaottWordAdobeR«uier7.0魄性司提跟性胤屬VfiodowsMediaPla)：$WindowsMcsscngtr四鹵.西西一M/jpwftDevekperNet#orX所相程式D01岡RcoishavLaterXL圖二鐳射操作之步驟一軟件安裝步驟

16、：1將原廠Laser光盤軟件放入磁盤驅(qū)動(dòng)器中,即會(huì)自動(dòng)執(zhí)行安裝AUTORUN完成安裝,假設(shè)計(jì)算機(jī)無法執(zhí)行自動(dòng)安裝,請(qǐng)點(diǎn)選軟件中Setup.exe執(zhí)行安裝,軟件安裝完成后,計(jì)算時(shí)機(jī)要求重新開機(jī),請(qǐng)點(diǎn)選稍后重新開機(jī)2接著安裝Laser在線輔助說明,軟件安裝完成后,計(jì)算時(shí)機(jī)要求重新開機(jī),請(qǐng)點(diǎn)選重新開機(jī)3軟件安裝完成后請(qǐng)將XL80連結(jié)到計(jì)算機(jī)上,此時(shí)會(huì)出現(xiàn)找到新硬件,請(qǐng)選擇自動(dòng)安裝軟件先確認(rèn)XL80之鐳射軟件光盤有在計(jì)算機(jī)內(nèi),開始安裝驅(qū)動(dòng)程序4XC80只要有安裝鐳射軟件即可自動(dòng)搜尋到驅(qū)動(dòng)程序注:適用WINXP,WINVista操作系統(tǒng).二執(zhí)行量測軟件：1由開始工具列中選擇RenishawLaserXL

17、進(jìn)入如圖一所示2點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件：有線性測長定位量測、角度測量、長距離直線度測量、短距離直線度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度測量、平面度測量、動(dòng)態(tài)測量、雙軸線測量、數(shù)據(jù)分析如圖二所示以上所有軟件均附上：但測量時(shí)須搭配鏡組.3除上述方法之外,亦可將快捷方式至于Windows桌面上,直接點(diǎn)選即可IReiwhwL雌續(xù)LLSHP淘1岫q口口湎rACiLkMauASUSUidiiyBlujetaoth聯(lián)機(jī)模式口USB2.0PCCanue-mC3附圖癌用程式Q國勤口遁柒埸0AdobsRsadsr7.0MMSNExplnwi逢端堀助RENI5HA科B皿跟5PC-DMISST1+NeroStartup埃Pa3nMe7Q

18、圖一(三)定位量測系統(tǒng)架設(shè)操作：步驟一：將所有硬件依圖所示,完成接線及架設(shè)雷源裝置三腳架移勤方向遑行校型歉件的電躺光學(xué)短抵安裝配件XC80輔信里元XL30雷射棉性干預(yù)俄狼性反射材料溫度量港豚氧溫量冽殖鏡組架設(shè)前之考前須知(1)先空跑預(yù)量測軸的行程,確實(shí)了解機(jī)床起點(diǎn)與終點(diǎn),再架設(shè)鏡組(2)減低死徑誤差,干預(yù)鏡與反射鏡架設(shè)越近越好(3)干-反鏡組需架于機(jī)臺(tái)的床臺(tái)與主軸上,因其是相對(duì)移動(dòng)物體(4)對(duì)焦時(shí)預(yù)防反射回來的鐳射光打在鐳射光射出口處(5)對(duì)焦時(shí)近端調(diào)平移、遠(yuǎn)程調(diào)角度步驟二：鏡組架設(shè)之步驟(1)干預(yù)鏡需置于鐳射頭與反射鏡之間,而當(dāng)中有一塊反射鏡是鎖在干預(yù)鏡上(如圖一所示)俱忻同圜XL80雷射基

19、隼光束東泉性干預(yù)倭東泉性反射量測光束一、泉性分光行程觸糠4棉性反射圖一注意干預(yù)鏡上所畫的箭頭,必須兩個(gè)箭頭分別指向兩個(gè)反射鏡上(如圖二所示)本泉性干預(yù)倭行程申解泉性反射箱生泉性反射雷射光束的另外人口1泉性分光XL80雷射圖二水平軸向量測鏡組架設(shè)圄基舉反射東泉性干預(yù)倭XL80雷射量刑反射(4)垂直軸向量測鏡組架設(shè)圄量冽反射行程獨(dú)一XL80雷射T基型反射棣性干預(yù)倭(5)斜背式車床量測鏡組架設(shè)旋轉(zhuǎn)鏡圖1一旋轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)鏡可以與線性、角度或真直度光學(xué)鏡組結(jié)合使用,量測機(jī)器的對(duì)角線或傾斜軸線.它可以安裝在光學(xué)鏡組上,使設(shè)定快速、簡便.旋轉(zhuǎn)鏡用于使激光光束在垂直面上偏轉(zhuǎn)0至135度.它的主要應(yīng)用是量測或校準(zhǔn)斜

20、床式車床或機(jī)器對(duì)角線.以下兩個(gè)圖顯示在斜床式車床上使用旋轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行線性量測的方法.圖2顯示的配置用于軸線與水平面的夾角大于45度的量測.旋轉(zhuǎn)鏡與斜軸之間的準(zhǔn)直誤差應(yīng)調(diào)整在±2度以內(nèi).可以使用量角器量測行程的斜角,并設(shè)定旋轉(zhuǎn)鏡與該斜角平行.ML1Q箍射量洌反射鏡展疆箱貌性干預(yù)俅行程觸泉基型反射箱圖2-斜軸與水平面的夾角大于45度時(shí)使用的旋轉(zhuǎn)鏡圖3所示的配置用于X軸與水平面的夾角小于45度的車床.ML10將射圖3-斜軸與水平面的夾角小于45度時(shí)使用的旋轉(zhuǎn)鏡俯視圖基型反射步驟三：鏡組調(diào)整(1)將鐳射光射出口轉(zhuǎn)至對(duì)焦用小孔射出口位置(如以下圖)較小光束孔檬靶(2)當(dāng)反射鏡及干預(yù)鏡皆準(zhǔn)備好后,將

21、要量測的軸回歸原點(diǎn)(起點(diǎn))或移動(dòng)到與原點(diǎn)相反的極限位置(終點(diǎn))(3)將干預(yù)鏡及反射鏡架到量測軸及另一輔助軸上(4)盡量將干預(yù)鏡及反射鏡之間的距離縮小,越靠近越好(預(yù)防死徑誤差,如以下圖)(5)兩鏡組靠近時(shí)可直接移動(dòng)反射鏡組使光點(diǎn)重迭,再利用腳架上升,平移機(jī)構(gòu)將重迭光點(diǎn)移到接收孔,此時(shí)檢查計(jì)算機(jī)里接收光線的強(qiáng)度(6)將反射鏡移動(dòng)至量測距離的極限,將偏離標(biāo)靶白點(diǎn)的激光束用上下左右角度調(diào)整調(diào)到白點(diǎn)上(如以下圖)糕靶鼓小雷射光束(7)將反射鏡標(biāo)靶取下檢視反射回來之光點(diǎn)的重迭度,假設(shè)光點(diǎn)不重迭,在近端不重迭時(shí)是兩鏡組上下或左右沒有在相同之位置高,必須調(diào)整分光鏡或反射鏡使之重迭,在遠(yuǎn)程不重迭時(shí)是因有角度偏

22、差,必須調(diào)整鐳射頭的偏擺及傾斜角度使光點(diǎn)重迭(如以下圖)?3購py(8)將重迭的光點(diǎn)利用腳架平移或上下調(diào)整,使光點(diǎn)落在鐳射頭對(duì)焦孔上(9)將鐳射頭對(duì)焦孔轉(zhuǎn)至接收孔位置上(如以下圖),檢視光線的強(qiáng)度(10)將反射鏡移到近端的位置檢視光線強(qiáng)度和遠(yuǎn)程的光線強(qiáng)度一樣即可(11)需注意光線強(qiáng)度超過50%即可量測,但近距離與遠(yuǎn)距離時(shí)光線強(qiáng)度需相同才可做量測限制器程序范例X軸方向例如X軸行程總共主程序0001O0001;G91G28X0.;M98P0250002;G01X-3.F500.;X3.;M98P0250003;M30;Y軸方向例如Y軸行程總共主程序0001O0001G91G28Y0.;M98P02

23、50002;G01Y-3.F500.;丫3.;M98P0250003;M30Z軸方向例如Z軸行程總共主程序0001O0001；G91G28Z0.;M98P0200002;G01Z-3.F500.;Z3.;M98P0200003;M30500mm,每20mm取一點(diǎn),共25次子程序0002鐳射去的行程O0002G91G01X-20.F5000.;G04X3.;M99子程序0003鐳射回的行程O0003G91G01X20.F5000.;G04X3.M99500mm,每20mm取一點(diǎn),共25次子程序0002鐳射去的行程O0002G91G01Y-20.F5000.;G04X3.M99子程序0003鐳射回

24、的行程O0003G91G01Y20.F5000.;G04X3.M99400mm,每20mm取一點(diǎn),共20次子程序0002鐳射去的行程O0002G91G01Z-20.F5000.;G04X3.;M99子程序0003鐳射回的行程O0003G91G01Z20.F5000.;G04X3.M99四進(jìn)入定位量測軟件1由開始工具列中選擇RenishawLaserXL進(jìn)入如圖一所示2點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件：線性測長定位量測如圖二所示由子郡件OutlaokEgress聯(lián)機(jī)捏式MkruaoEtWordAd0加Renier7.0蹤性測顯褊1由11度VfinflowsMediaPlfi):RenisJwLawrXL西HPS

25、oLubonCenterAmCJikMauAgUSUidityBliuetaothUSB2.0PCCanw-ra附星愿用程式曾1勤遁集塌AdobeRcodci7.Q%,MSNEKpkim工：$WindowsMessenger速端憤助由Nero口StartupUFo*sQue就PaixMhpnMa£370加MicrosoftDevehperNehFork所有睚式D*Reni&hawLft&erXL口-10刈械案目嘲掠祖國我的最愛因工具囚祝明囿VO上OX嗚曷住X9刀搜尊"用弁jD也QEJM值或注曲皿111級(jí)泡蠟功走晏姓式集表ewhtV格至T?、箜i蜥測量<

26、75回確蠟度精度睚海不,rx2KBZ角度i劇量詫惇t2KB(5C3REHISHAW041Ibai5PC-DM岱國距掰直棕度測星建工2KB短距能直播度測量jT朝螂助量度便2KB呢鵠tLFS?助捷徑1KB圖一圖二3點(diǎn)詵線性測長、進(jìn)入定位量測軟件窗口如圖三所示圖三工具列隹目卜酬國nusft明協(xié)生分析M另存新福IH魯K始H取平均ffism換廠1g示解析度凰更換差B位困r一更換S示罩位外ssf§定基型令樽換正ft方向%自勤定模式應(yīng)(4)點(diǎn)選檔案,開新文件選擇欲設(shè)定模式:自動(dòng)設(shè)定模式手動(dòng)設(shè)定模式隨機(jī)設(shè)定模式©©選擇:自動(dòng)設(shè)定模式或按工具列中方塊隨腺鴕模式手定模式營禧另存新植屆

27、性1D:VDocmTientsandSettmVAdministiatEiriWyDocunieiitsSRenisJieiwLaseil0vdi5441.rtl(5)選擇確定后DataC&fhmeSetap12,自動(dòng)講入目標(biāo)設(shè)定,輸入目標(biāo)設(shè)定:如以下圖第一定位粘一最經(jīng)定位黠rIW距值3目欖值r“曼黠最接位g區(qū)區(qū)第一定位黠:測量之起黠最毅定位黠;測量之最修黠距值:每定位黠之距雕目檄值行程之目腐直取消_»(6)完成后按?進(jìn)入抓取數(shù)據(jù)啟動(dòng)定位方式:直迤式朝娶式匐i式量測次數(shù):所要量測的次數(shù)逗攆方向:矍向(抓取去程跟回程之?dāng)?shù)擦)罩向(只抓取去程之敦撼)差帶微米定孤差公差帶(7)完成

28、后按=1輸入數(shù)據(jù)標(biāo)題ZllTestInformation(8)按后進(jìn)入自動(dòng)數(shù)據(jù)抓取設(shè)定Da1aCsptuieSetup123自勤抓取抓取方式最小停止周期錯(cuò)數(shù)穩(wěn)定性公差窗口越程量大4,12,0000亳米越程行勤展前取消IIAI且3自勤資料抓取言殳定自勤抓取:有效/蔡效抓取方式:位置/定位最小停止周期:限制器停止彳爰雷射於所定的畤到篌即迤行取黠定性:即雷射I殳定抓取此值畤所容粉之穩(wěn)定IA差公差窗口:雷射到逵抓取之位置接其it值篇所售殳定的公差內(nèi)即可挪取此黠之差值越程量大小:1殳定需小於限制器之程式越程行勤:箜/按維(9)設(shè)定完成后>>I定進(jìn)入數(shù)據(jù)抓取+0.000010-0.000010

29、次數(shù)(目才票飄差微1(+)1(+)1W1(+)0.0粥料打料知圜w®Mg咨>一O.OOOOO)10,00000020,00000030,00000040,00000()50.000000(ii)數(shù)據(jù)抓取結(jié)束后按完成跳出.點(diǎn)詵檔案-另存新槽或工具列中方塊H(12)設(shè)定儲(chǔ)存路徑后,輸入文件名稱：五資料分析1按數(shù)據(jù)點(diǎn)選分析進(jìn)入數(shù)據(jù)分析或按工具列中方塊必|W輻艷物行錯(cuò)果德翰目檄聾料分析以下圖為進(jìn)入分析系統(tǒng)畫面每次進(jìn)入分析都會(huì)先顯示所有數(shù)據(jù)曲線空副電|囤房|%|L|乳眼慳1%留可di®200KKSKJKBTO)-福住序就：日期：L口：第OQtg2005橫新者：岫同：到黯:他粘：

30、槽名：1004-1.Ml餐向皓出所有幽撼以下圖為進(jìn)入分析系統(tǒng)畫面中的快速工具列骸示各量測他罩一圃形簿圄WK列印位例放大倍率明出省副電低苞%lhl義或L久窗k(2)選取分析標(biāo)準(zhǔn)分析ISO230-21997AnalyPlotISO230-21997StetsTableISO230-21997TripletPlotGB/T17421AnalysisHot(jBJI17421StateTableGRT17421TripletPlotISO230-2AnalysisPlotISO230-2StatisticalTableBS3800ReversaltripletBS3800AccuiecyBS3800S

31、tahsticalTableBS4656ReversaltripletBS4656AccuiiacyBS4656StatisticalTableNMTBA(Off.t)NMTBAStatisticalTableNMTBA(Standaid)ASMEB89.1.12MASMEB89.1.12MStetsTableASMEB5.54A面燦PlotASMEB5.54StatedTableVDI2617VDI2617TemplateVDI2617StettticalTabfeGB10931-89SteteTatleE60-099E60-099SteitkticalPrintRenishavAn

32、3;lysiRemshawStatisticalTableTrendAnalysisPlot精出所有教擄列印原始魁遮逗擇敷遮.槽圓抓取觸廢圓表差輔僧圄表列印瓚t競股擄手找新分析方法左圄舄分析系統(tǒng)內(nèi)RENISHAW原依照各閾分析規(guī)85所骰:定之分析方法包含RENEHAW原分析規(guī)箍VDI3441Axis:XMdPosition2.0407.132LocationU平均Ps平均目襟(毫米)反向差Uma4.860定位精度P:18.513重覆精度Psm12.007位置偏差Pa:11.080鐳射誤差補(bǔ)償圖表之范例以下圖為VDI3441之分析標(biāo)準(zhǔn),此標(biāo)準(zhǔn)為德國針對(duì)機(jī)床的運(yùn)行和定位精度校正的根本原理,為目前工

33、具機(jī)產(chǎn)業(yè)常用之標(biāo)準(zhǔn)(僅供參考)ErrorCompExampleVDI3441-性Machine:LinearExampleSerialNo:15345/LinDate:09:00Sep2'97By:R.T.S.U:反轉(zhuǎn)背隙(reversalerror)通稱背隙Ps:定位散布度(positionalscatter)表示沿測試軸各個(gè)位置隨意的偏差對(duì)定位誤差之影響,可能被視同方向重復(fù)性之測試P:定位不確定度(positionaluncertainty),沿測試軸之總偏差由定位偏差值,反轉(zhuǎn)誤差和在每一標(biāo)的點(diǎn)定位散布度計(jì)算得來Pa:定位偏差(positionaldeviation)沿測試軸各量測

34、點(diǎn)間平均定位誤差之最大差異鐳射誤差補(bǔ)償圖表操作之流程與范例分析GB1.9允的津電居TableE60D®Eb必Eta融切出PrintISO230*21997AruljrxPbtISO230-21997StasTftbkISO230-21997TnpistPlotGB/T17421uy$ePblGB仃E21SfetsTibkGBT17421TiiptetPlotISO笫MAnaijasPtotISO2302hbkBS3田口Rev«isaltnpletBS380cAecwcBS3800Siatdkd7»bbRW4656Rpveml出】LtBS4656Accwe國&

35、;皎$也殿iMT冊(cè)kNMTBA(Offset)NMTBA$幡由7獨(dú)hNMTBA(Standi)ASMEBS9.1.12MASMEBS9112MSWTahtASMEB554A匐甦HotRetishjsAnalysis；ta£bc&lTablelie堀AuaiysisPbt輸出所有微博列的原始觸搏溟擇觸楂圖抓取轂椽雕w需差搐值同疑列印那么蝴尊找新分祈方法1熟漫分析24占逗需差禱慎圈表三圄表瞪型璉攫綜合型4袖別增減值帽式害葛多M寺簫溟擺此工程絕封值世式者官02畤爵逗攆此嗔目5,正翼歌碑向什冷烝正箕方向的醇操依限制器而隹有差值典植僧值沿鑼堂理司表ASMEB554StoWnlTable

36、VDISfil?YDI2617加睢版鐳射誤差補(bǔ)償圖表之范例由上圖之誤差補(bǔ)償表設(shè)定完成后點(diǎn)詵繪制誤差補(bǔ)償圖表即會(huì)進(jìn)入補(bǔ)償數(shù)值如以下圖所示*靜蘆*甫1宣惠占冏B鬲卜叁1+7-叁智黑占位置書甫起黑占糟退中值的標(biāo)合畫去但封慎1微米O+OOOO套木0.OOOO毫米1500.QOOQ毫米150.OQOO率米1差««圖表之8?定2微小背隙之神僧教他12345678901聿由標(biāo)位曹(毫米)0.OOOO150.OOOO300.0000450.OOOO600.OOOO750.OOOO900.OOOO1050.OOOO1200.OOOO1350.OOOO15.QOOO1-C03323454543

37、六熱漂移以下圖為量測熱漂移之最典型的圖形鋸齒狀,以時(shí)間取點(diǎn),每趟往返為5分鐘,所以前5分鐘其誤差值比擬大寤去程的第二趟i享差逋於之?徽米蔚回程的第二趟.彳第差值彼25微米漂移至3.1微米馨第一豌.漂到踹米上圖量測是以設(shè)定點(diǎn)數(shù)用時(shí)間抓取(共500點(diǎn)每2秒抓一點(diǎn)),其方法如下:(1)選擇目標(biāo)點(diǎn)一手動(dòng)設(shè)定模式-設(shè)定定位目標(biāo)數(shù)一編輯目標(biāo)值一設(shè)定抓取數(shù)據(jù)啟動(dòng)-自動(dòng)數(shù)據(jù)抓取設(shè)定一開始量測自目目目目目目目目:«II1t事234367gg1OW目樣黠抓取省料自薊定挨式隨橫嵌定模式0.0000000,000000宅米0,000000毫米0,000000亳米0.000000毫米0.000000毫米0.0

38、00000毫米0.000000毫米0.000000毫米0.000000毫米nnmnnn百*碓定|摒取般拚音勤定位方式量測次數(shù)飾數(shù)19哭逗擇萬向取消面0.000000融科1(+)0：00.00.簸黃料“an.ncomo如沓料抓取完成(七)數(shù)據(jù)打印(1)按檔案選擇打印機(jī)設(shè)定(2)打印機(jī)設(shè)定中選擇所安裝的打印機(jī)(3)按打印印出所選擇的數(shù)據(jù)或按工具列中方塊S配置系虢瓷料梅案目St(八)其它功能設(shè)定說明(1)配置系統(tǒng)說明僮料槽案目1殳定瓷料儲(chǔ)存位置琮境定量那I位角度像數(shù)H具列裝置逗摩介面位址呼叫配置槽儲(chǔ)存配置棺系逗棒氧屋,溫度及膨服保數(shù)之罩位段定膨BE系費(fèi)J(ppm/aC)|1,70膨臏系敦軍位大氧屋里

39、位rnbsr空氟溫度單位據(jù)氏材料溫度單位期硅定角度保敦角度量定用量一罩位公英制切控及小戮黠接保存位數(shù)定工具列快速赳言殳定裝置逗攆逗攆所逋接的硬醴言殳借介面位址溟攆XL80&XC80l殳定(建標(biāo)完成彳爰藤:颼曾自勤搜早序虢)呼叫配置槽呼叫戟醴所有的1殳定存配置槽儲(chǔ)存戟颼所有的定系切換中英文切換(2)窗口功能切換設(shè)定說明MachineSerialNo12345Date|09WEbOl'90ByL.A.BattAisx-Location|TestMachineTITLElExampteVDIWlDa故障|ppm/aCj曾底-fl|997.60|mbar.MaterialExpansi

40、onCnmpensation卜一空二播氏警告信號(hào)及消除量洌罩位瀏量模式A: XL80NOTRESPONDING鐳射無反響,表示電源無送入檢查鐳射ON/OFF及不斷電器之ON/OFF及最初之外接電源插座ON/OFF是否在開的位置B: SIGNALLOW鐳射光線訊號(hào)太低表示對(duì)焦動(dòng)作沒做好1 重新做對(duì)焦動(dòng)作2 .請(qǐng)無相關(guān)人員離開C: HEATERFULLON鐳射加熱器正在運(yùn)作表示目前無法做量測,等待十分鐘再看其是否消失恢復(fù)正常D: BEAMOBSTRUCTED鐳射光線被阻隔表示曾被遮到或主軸頭滴油及工作臺(tái)附近之無塵紙報(bào)紙等飄起遮住光線1 .請(qǐng)無關(guān)人員離開2 .將主軸附近漏油擦干凈3 .去除工作臺(tái)附近

41、之報(bào)紙及無塵紙4 .按歸零鍵消除AlarmE: XL80NOTON但I(xiàn)為綠燈鐳射機(jī)不正常表示計(jì)算機(jī)連接信號(hào)有問題1 .將鐳射頭隔10秒后再啟動(dòng)2 .離開本系統(tǒng)再重新啟動(dòng)3 .檢查與鐳射頭相關(guān)之信號(hào)線4 .假設(shè)仍無法消除,那么請(qǐng)與RENISHAW公司技術(shù)人員聯(lián)絡(luò)F: XC80FAUL環(huán)境補(bǔ)償裝置失效檢查USB連結(jié)是否正常G: HIGHSPEEDERROR高速度誤差表示鐳射在擷取數(shù)據(jù)時(shí),鏡頭移動(dòng)太快或光線瞬間被擋到MOVEOVERRUN過行程移動(dòng)鏡頭移動(dòng)距離須超過OVERRUN設(shè)定,檢查程序是否有消除背隙H: PREHEAT鐳射正在預(yù)熱中表示剛開機(jī)之狀態(tài),大約6分鐘左右可恢復(fù)正常,與C之不同為量測中可能出現(xiàn)但仍可執(zhí)行量測動(dòng)作不過不見得準(zhǔn)確,歸零消除再等待10分鐘,假設(shè)仍無法消除,將鐳射OFF后再ONI:LASERUNSTABLE