半導體測試基礎(chǔ)要點

1、第1章 半導體測試基礎(chǔ)第 1節(jié) 基礎(chǔ)術(shù)語描述半導體測試的專業(yè)術(shù)語很多，這里只例舉部分基礎(chǔ)的：1 DUT需要被實施測試的半導體器件通常叫做DUT （Device Under Test,我們常簡稱“被測器件”），或者叫 UUT （Unit Under Test）。首先我們來看看關(guān)于器件引腳的常識，數(shù)字電路期間的引腳分為“信號”、“電源”和“地”三部分。信號腳，包括輸入、輸出、三態(tài)和雙向四類，輸入：在外部信號和器件內(nèi)部邏輯之間起緩沖作用的信號輸入通道；輸入管腳感應其上的電壓并將它轉(zhuǎn)化為內(nèi)部邏輯識別的“0”和“1”電平。輸出：在芯片內(nèi)部邏輯和外部環(huán)境之間起緩沖作用的信號輸出通道；輸出管腳提供正確的邏輯

2、“0”或“1”的電壓，并提供合適的驅(qū)動能力（電流）。三態(tài)：輸出的一類，它有關(guān)閉的能力（達到高電阻值的狀態(tài)）。雙向：擁有輸入、輸出功能并能達到高阻態(tài)的管腳。電源腳，“電源”和“地”統(tǒng)稱為電源腳，因為它們組成供電回路，有著與 信號引腳不同的電路結(jié)構(gòu)。VCC ： TTL 器件的供電輸入引腳。VDD ： CMOS 器件的供電輸入引腳。VSS:為VCC或VDD提供電流回路的引腳。GND:地，連接到測試系統(tǒng)的參考電位節(jié)點或VSS,為信號引腳或其他電路節(jié)點提供參考0 電位；對于單一供電的器件，我們稱VSS 為GND。2 測試程序半導體測試程序的目的是控制測試系統(tǒng)硬件以一定的方式保證被測器件達到或超越它的那些

3、被具體定義在器件規(guī)格書里的設計指標。測試程序通常分為幾個部分，如 DC 測試、功能測試、 AC 測試等。 DC 測試 驗證電壓及電流參數(shù)；功能測試驗證芯片內(nèi)部一系列邏輯功能操作的正確性；AC 測試用以保證芯片能在特定的時間約束內(nèi)完成邏輯操作。程序控制測試系統(tǒng)的硬件進行測試，對每個測試項給出pass或fail的結(jié)果。Pass指器件達到或者超越了其設計規(guī)格；Fail則相反，器件沒有達到設計要求， 不能用于最終應用。 測試程序還會將器件按照它們在測試中表現(xiàn)出的性能進行相 應的分類，這個過程叫做“ Binning ”，也稱為“分Bin ” .舉個例子，一個微處理器， 如果可以在150MHz 下正確執(zhí)行

4、指令， 會被歸為最好的一類， 稱之為 “Bin 1 ” ；而它的某個兄弟， 只能在 100MHz 下做同樣的事情， 性能比不上它， 但是也不是一無是處應該扔掉，還有可以應用的領(lǐng)域，則也許會被歸為“ Bin 2 ”，賣給只 要求 100MHz 的客戶。程序還要有控制外圍測試設備比如 Handler 和 Probe 的能力；還要搜集和提供摘要性質(zhì) （或格式） 的測試結(jié)果或數(shù)據(jù)， 這些結(jié)果或數(shù)據(jù)提供有價值的信息給測試或生產(chǎn)工程師，用于良率（Yield） 分析和控制。第 2節(jié) 正確的測試方法經(jīng)常有人問道： “怎樣正確地創(chuàng)建測試程序？”這個問題不好回答，因為對于什么是正確的或者說最好的測試方式， 一直沒

5、有一個單一明了的界定， 某種情形下正確的方式對另一種情況來說不見得最好。 很多因素都在影響著測試行為的構(gòu)建方式，下面我們就來看一些影響力大的因素。測試程序的用途。下面的清單例舉了測試程序的常用之處，每一項都有其特殊要求也就需要相應的測試程序：Wafer Test測試晶圓（wafer）每一個獨立的電路單元（Die）,這是半導體后段區(qū)分良品與不良品的第一道工序，也被稱為“Wafer Sort”、CP 測試等 .Package Test 晶圓被切割成獨立的電路單元，且每個單元都被封裝出來后，需要經(jīng)歷此測試以驗證封裝過程的正確性并保證器件仍然能達到它的設計指標，也稱為“ Final Test”、FT

6、測試、成品測試等。Quality Assurance Test 質(zhì)量保證測試，以抽樣檢測方式確保 Package Test 執(zhí)行的正確性，即確保pass 的產(chǎn)品中沒有不合格品。Device Characterization 器件特性描述，決定器件工作參數(shù)范圍的極限值。Pre/Post Burn-In 在器件“ Burn-in ”之前和之后進行的測試，用于驗證老化過程有沒有引起一些參數(shù)的漂移。這一過程有助于清除含有潛在失效（會在使用一段問后暴露出來）的芯片Miliary Test軍品測試，執(zhí)行更為嚴格的老化測試標準，如擴大溫度范圍，并對測試結(jié)果進行歸檔。Incoming Inspection 收

7、貨檢驗，終端客戶為保證購買的芯片質(zhì)量在應用之前進行的檢查或測試。Assembly Verification 封裝驗證， 用于檢驗芯片經(jīng)過了封裝過程是否仍然完好并驗證封裝過程本身的正確性。這一過程通常在FT 測試時一并實施。Failure Analysis 失效分析，分析失效芯片的故障以確定失效原因，找到影響良率的關(guān)鍵因素，并提高芯片的可靠性。測試系統(tǒng)的性能。測試程序要充分利用測試系統(tǒng)的性能以獲得良好的測試覆蓋率，一些測試方法會受到測試系統(tǒng)硬件或軟件性能的限制。高端測試機：高度精確的時序精確的高速測試大的向量存儲器不需要去重新加載測試向量復合 PMU (Parametric Measuremen

8、t Uni)t可進行并行測試，以減少測試時間可編程的電流加載 簡化硬件電路，增加靈活性PerPin 的時序和電平 簡化測試開發(fā)，減少測試時間低端測試機：也許不能充分滿足測試需求低速、低精度小的向量存儲器 也許需要重新加載向量，增加測試時間單個 PMU 只能串行地進行DC 測試， 增加測試時間均分資源（時序/ 電平） 增加測試程序復雜度和測試時間測試環(huán)節(jié)的成本。這也許是決定什么需要被測試以及以何種方式滿足這些測試的唯一的最重要的因素， 測試成本在器件總的制造成本中占了很大的比重， 因此許多與測試有關(guān)的決定也許僅僅取決于器件的售價與測試成本。 例如， 某個器件可應用于游戲機，它賣 15 元；而同樣

9、的器件用于人造衛(wèi)星，則會賣 3500元。每種應用有其獨特的技術(shù)規(guī)范，要求兩種不同標準的測試程序。 3500元的器件能支持昂貴的測試費用，而15 元的器件只能支付最低的測試成本。測試開發(fā)的理念。測試理念只一個公司內(nèi)部測試人員之間關(guān)于什么是最優(yōu)的測試方法的共同的觀念， 這卻決于他們特殊的要求、 芯片產(chǎn)品的售價， 并受他們以往經(jīng)驗的影響。 在測試程序開發(fā)項目啟動之前， 測試工程師必須全面地上面提到的每一個環(huán)節(jié)以決定最佳的解決方案。開發(fā)測試程序不是一件簡單的正確或者錯誤的事情，它是一個在給定的狀況下尋找最佳解決方案的過程。第 3節(jié) 測試系統(tǒng)測試系統(tǒng)稱為 ATE ，由電子電路和機械硬件組成，是由同一個主

10、控制器指揮下的電源、計量儀器、信號發(fā)生器、模式（pattern）生成器和其他硬件項目的集合體， 用于模仿被測器件將會在應用中體驗到的操作條件， 以發(fā)現(xiàn)不合格的產(chǎn) 品。測試系統(tǒng)硬件由運行一組指令（測試程序）的計算機控制，在測試時提供合適的電壓、電流、時序和功能狀態(tài)給DUT 并監(jiān)測 DUT 的響應，對比每次測試的結(jié)果和預先設定的界限，做出pass或fail的判斷。測試系統(tǒng)的內(nèi)臟圖 2-1 顯示所有數(shù)字測試系統(tǒng)都含有的基本模塊，雖然很多新的測試系統(tǒng)包含了更多的硬件，但這作為起點，我們還是拿它來介紹?！癈PU是系統(tǒng)的控制中心，這里的CPU不同于電腦中的中央處 理器，它由控制測試系統(tǒng)的計算機及數(shù)據(jù)輸入輸

11、出通道組成。許多新的測試Memory用來存儲系統(tǒng)提供一個網(wǎng)絡接口用以傳輸測試數(shù)據(jù)；計算機硬盤和 本地數(shù)據(jù)；顯示器及鍵盤提供了測試操作員和系統(tǒng)的接口Basic Test System ComponentsnMemo*Tintingfoi Parallel nnd SennVecwi 今Fornvittmg, Masking and MenwiySpecial Tester OptionsUPS andReferent eSupplies ffof VDD. ViLCPU withEternalSystemHard Disk.ControllerPoweiTapeDTive.CPU Supplie

12、sKeyboardTestPin Electronics Drivers,Comparers,Extefnal CunemLoads. InslrumeiYt etc* InterfaceNetwork interfaceSystemClocks andPMU Precision Mea 機 irenieni UnitLoq(|Circ ute& VideoVIH. VOL. VOH|圖2-1.通用測試系統(tǒng)內(nèi)部結(jié)構(gòu)DC子系統(tǒng)包含有 DPS （Device Power Supplies器件供電單元）、RVS （Reference Voltage Supplies 參考電壓源）、PMU （

13、Precision Measurement Unit,精密測量單元）。DPS為被測器件的電源管腳提供電壓和電流；RVS為系統(tǒng)內(nèi)部管腳測試單元的驅(qū)動和比較電路提供邏輯0和邏輯1電平提供參考電壓，這些電壓設置包括：VIL、VIH、VOL和VOH。性能稍遜的或者老 一點的測試系統(tǒng)只有有限的RVS,因而同一時間測試程序只能提供少量的輸 入和輸出電平。這里先提及一個概念，“tester pin”，也叫做“tester channeI , 它是一種探針，和Loadboard背面的Pad接觸為被測器件的管腳提供信號。 當測試機的pins共享某一資源，比如RVS,則此資源稱為“Shared Resource。

14、 一些測試系統(tǒng)稱擁有“ per pin”的結(jié)構(gòu)，就是說它們可以為每一個 pin獨立 地設置輸入及輸出信號的電平和時序。DC子系統(tǒng)還包含 PMU （精密測量單元，Precision Measurement Unit電 路以進行精確的DC參數(shù)測試，一些系統(tǒng)的PMU也是per pin結(jié)構(gòu)，安裝在 測試頭（Test Head）中。（PMU我們將在后面進行單獨的講解）每個測試系統(tǒng)都有高速的存儲器稱為“ pattern memory/"或"vectormemory”去存儲測試向量（vector 或 pattern） 。 Test pattern （注：本人駑鈍，一直不知道這個patte

15、rn 的準確翻譯，很多譯者將其直譯為“模式”，我認為有點欠妥，實際上它就是一個二維的真值表；將“ test patted翻譯 成“測試向量”吧，那“ vector”又如何區(qū)別？呵呵，還想聽聽大家意見） 描繪了器件設計所期望的一系列邏輯功能的輸入輸出的狀態(tài)，測試系統(tǒng)從pattern memory中讀取輸入信號或者叫驅(qū)動信號（Drive）的pattern狀態(tài)，通 過tester pin輸送給待測器件的相應管腳；再從器件輸出管腳讀取相應信號的 狀態(tài)，與pattern中相應的輸出信號或者叫期望（Expect）信號進行比較。進 行功能測試時，pattern為待測器件提供激勵并監(jiān)測器件的輸出，如果器件輸

16、入與期望不相符，則一個功能失效產(chǎn)生了。有兩種類型的測試向量并行向量和掃描向量，大多數(shù)測試系統(tǒng)都支持以上兩種向量。Timing分區(qū)存儲有功能測試需要用到的格式、掩蓋（mask）和時序設置 等數(shù)據(jù)和信息，信號格式（波形）和時間沿標識定義了輸入信號的格式和對輸出信號進行采樣的時間點。Timing分區(qū)從pattern memory那里接收激勵狀態(tài)（“0”或者“1”），結(jié)合時序及信號格式等信息，生成格式化的數(shù)據(jù)送給電路的驅(qū)動部分，進而輸送給待測器件。Special Tester Options分包含一些可配置的特殊功能，如向量生成器、存儲器測試，或者模擬電路測試所需要的特殊的硬件結(jié)構(gòu)。The Syste

17、n Clocks為測試系統(tǒng)提供同步的時鐘信號，這些信號通常運行在比功能測試要高得多的頻率范圍； 這部分還包括許多測試系統(tǒng)都包含的時鐘校驗電路。第 4節(jié) PMUPMU （Precision Measurement Unit精密測量單元）用于精確的 DC參數(shù)測 量， 它能驅(qū)動電流進入器件而去量測電壓或者為器件加上電壓而去量測產(chǎn)生的電流。 PMU 的數(shù)量跟測試機的等級有關(guān)，低端的測試機往往只有一個PMU ，同過共享的方式被測試通道（test channe）逐次使用；中端的則有一組 PMU ,通常為 8 個或 16 個， 而一組通道往往也是8 個或 16 個， 這樣可以整組逐次使用； 而高端的測試機則

18、會采用per pin的結(jié)構(gòu)，每個channel配置一個PMU。Precision MeasurementUnit(PMU)FORCEDOSelectCurrent VoltageRangeMEASURE0650 VCurrent VoltageGRangeForceJiTI- PinSenseDual LimitsFAIL GT/LT/Disable圖2-2. PMU狀態(tài)模擬圖驅(qū)動模式和測量模式（Force and Measurement ModeS在ATE中，術(shù)語“驅(qū)動（Force） ”描述了測試機應用于被測 器件的一定數(shù)值的電流或電壓，它的替代詞是 Apply,在半導體測試專業(yè)術(shù) 語中，A

19、pply和Force都表述同樣的意思。在對PMU進行編程時，驅(qū)動功能可選擇為電壓或電流：如果 選擇了電流，則測量模式自動被設置成電壓；反之，如果選擇了電壓，則測 量模式自動被設置成電流。一旦選擇了驅(qū)動功能，則相應的數(shù)值必須同時被 設置。驅(qū)動線路和感知線路（Force and Sense LineS為了提升 PMU 驅(qū)動電壓的精確度，常使用 4 條線路的結(jié)構(gòu)：兩條驅(qū)動線路傳輸電流， 另兩條感知線路監(jiān)測我們感興趣的點 （通常是 DUT ）的電壓。這緣于歐姆定律，大家知道，任何線路都有電阻，當電流流經(jīng)線路會在其兩端產(chǎn)生壓降，這樣我們給到 DUT 端的電壓往往小于我們在程序中設置的參數(shù)。設置兩根獨立的

20、 （不輸送電流） 感知線路去檢測 DUT 端的電壓，反饋給電壓源，電壓源再將其與理想值進行比較，并作相應的補償和修正，以消除電流流經(jīng)線路產(chǎn)生的偏差。驅(qū)動線路和感知線路的連接點被稱作“開爾文連接點”。量程設置（ Range Settings）PMU 的驅(qū)動和測量范圍在編程時必須被選定， 合適的量程設定將保證測試結(jié)果的準確性。需要提醒的是， PMU 的驅(qū)動和測量本身就有就有范圍的限制，驅(qū)動的范圍取決于 PMU 的最大驅(qū)動能力，如果程序中設定PMU 輸出 5V 的電壓而 PMU 本身設定為輸出 4V 電壓的話，最終只能輸出4V 的電壓。同理，如果電流測量的量程被設定為 1mA ，則無論實際電路中電流

21、多大，能測到的讀數(shù)不會超過1mA 。值得注意的是， PMU 上無論是驅(qū)動的范圍還是測量的量程， 在連接到DUT 的時候都不應該再發(fā)生變化。這種范圍或量程的變化會引起噪聲脈沖（浪涌），是一種信號電壓值短時間內(nèi)的急劇變化產(chǎn)生的瞬間高壓，類似于ESD 的放電，會對DUT 造成損害。邊界設置（ Limit Settings ）PMU 有上限和下限這兩個可編程的測量邊界， 它們可以單獨使用（如某個參數(shù)只需要小于或大于某個值）或者一起使用。實際測量值大于上限或小于下限的器件，均會被系統(tǒng)判為不良品。鉗制設置（ Clamp Settings）大多數(shù) PMU 會被測試程序設置鉗制電壓和電流，鉗制裝置是在測試期間

22、控制 PMU 輸出電壓與電流的上限以保護測試操作人員、測試硬件及被測器件的電路。Current ClampWhen forcing 5V and current limit Is 20mA, set Iclamp at 25.0mA:When Rl = 250Q/ouT 20mAWhen Rl <= 200Q i0uT = 25mA (clamp current)圖2-2.電流鉗制電路模擬圖當PMU用于輸出電壓時，測試期間必須設定最大輸出電流鉗制。驅(qū)動電壓時，PMU會給予足夠的必須的電流用以支持相應的電壓，對DUT的某個管腳，測試機的驅(qū)動單元會不斷增加電流以驅(qū)動它達到程序中設定的電壓值。

23、如果此管腳對地短路（或者對其他源短路），而我們沒有設定電流鉗制，則通過它的 電流會一直加大，直到相關(guān)的電路如探針、ProbeCard相鄰DUT甚至測試儀的通道全部燒毀。圖2-3顯示PMU驅(qū)動5.0V電壓施加到250ohm負載的情況，在實際的 測試中，DUT是阻抗性負載，從歐姆定律I=U/R我們知道，其上將會通過20mA 的電流。器件的規(guī)格書可能定義可接受的最大電流為25mA,這就意味著我們程序中此電流上限邊界將會被設置為 25mA,而鉗制電流可以設置為30mA o如果某一有缺陷的器件的阻抗性負載只有 10ohm的話，在沒有設定電 流鉗制的情況下，通過的電流將達到 500mA,這么大的電流已經(jīng)足

24、以對測試系 統(tǒng)、硬件接口及器件本身造成損害；而如果電流鉗制設定在30mA,則電流會被鉗制電路限定在安全的范圍內(nèi)，不會超過 30mAo電流鉗制邊界（Clamp）必須大于測試邊界（Limit）上限，這樣當遇到 缺陷器件才能出現(xiàn)fail;否則程序中會提示“邊界電流過大”，測試中也不會出 現(xiàn) fail 了。Voltage ClampFor I fore e = 10.。mA.When 班二500K頻=&QVWhen R二 open, Vqjt = COMPLIANCE or CLAMP voltage.圖2-4.電壓鉗制電路模擬圖當PMU用于輸出電流時，測試期間則相應地需要進行電壓鉗制。電壓

25、鉗制和電流鉗制在原理上大同小異，這里就不再贅述了。第5節(jié)管腳電路管腳電路（The Pin Electronics,也叫 PinCard、PE、PEC或 I/O Card）是測 試系統(tǒng)資源部和待測器件之間的接口，它給待測器件提供輸入信號并接收待測器 件的輸出信號。每個測試系統(tǒng)都有自己獨特的設計但是通常其 PE電路都會包括：提供輸入信號的驅(qū)動電路驅(qū)動轉(zhuǎn)換及電流負載的輸入輸出切換開關(guān)電路檢驗輸出電平的電壓比較電路與PMU的連接電路（點）可編程的電流負載還可能包括：用于高速電流測試的附加電路Per pin的PMU結(jié)構(gòu)盡管有著不同的變種，但PE的基本架構(gòu)還是一脈相承的，圖2-5顯示了數(shù) 字測試系統(tǒng)的數(shù)字

26、測試通道的典型 PE卡的電路結(jié)構(gòu)。Pin ElectronicsDriver(Inputs)FZ4網(wǎng)SVector Data xF1%CurrentLoad(Outputs)High SpeedIfO Switch rlOLtorceVIL (Logic 0|F2Voltage Receiver(Outputs)PMU ConnectionHigh Speed Current ComparatorsVREFbrceCompintoFiPMU per pinF唯SensePHU.aufE,疝那 E a optional圖 2-5.典型的 Pin Electronics1. 驅(qū)動單元(The Dr

27、iver )驅(qū)動電路從測試系統(tǒng)的其他相應環(huán)節(jié)獲取格式化的信號， 稱為 FDATA ， 當 FDATA 通過驅(qū)動電路， 從參考電壓源( RVS) 獲取的 VIL/VIH 參考電平被施加到格式化的數(shù)據(jù)上。如果FDATA 命令驅(qū)動單元去驅(qū)動邏輯0，則驅(qū)動單元會驅(qū)動VIL參考電壓；VIL (Voltage In Low)指施加到DUT的input管腳仍能被 DUT 內(nèi)部電路識別為邏輯0 的最高保證電壓。如果 FDATA 命令驅(qū)動單元去驅(qū)動邏輯1，則驅(qū)動單元會驅(qū)動 VIH 參考電壓；VIH (Voltage In High)指施加到DUT的input管腳仍能被DUT內(nèi)部電路 識別為邏輯1 的最低保證電壓

28、。F1 場效應管用于隔離驅(qū)動電路和待測器件，在進行輸入-輸出切換時充當快速開關(guān)角色。當測試通道被程序定義為輸入(Input),場效應管F1導通，開關(guān)(通常是繼電器) K1 閉合，使信號由驅(qū)動單元( Driver )輸送至 DUT ；當測試通道被程序定義為輸出(Output)或不關(guān)心狀態(tài)(don' t care) , F1截止，K1 斷開，則驅(qū)動單元上的信號無法傳送到 DUT 上。 F1 只可能處于其中的一種狀態(tài)， 這樣就保證了驅(qū)動單元和待測器件同時向同一個測試通道送出電壓信號的I/O 沖突狀態(tài)不會出現(xiàn)。2. 電流負載單元(Current Load)電流負載(也叫動態(tài)負載)在功能測試時連

29、接到待測器件的輸出端充當負載的角色， 由程序控制， 提供從測試系統(tǒng)到待測器件的正向電流或從待測器件到測試系統(tǒng)的負向電流。電流負載提供IOH(Current Output High) 和 IOL(Current Output Low) 。IOH 指當待測器件輸出邏輯1 時其輸出管腳必須提供的電流總和； IOL 則相反，指當待測器件輸出邏輯0 時其輸出管腳必須接納的電流總和。當測試程序設定了 IOH 和 IOL ， VREF 電壓就設置了它們的轉(zhuǎn)換點。轉(zhuǎn)換點決定了 IOH 起作用還是IOL 起作用： 當待測器件的輸出電壓高于轉(zhuǎn)換點時，IOH 提供電流；當待測器件的輸出電壓低于轉(zhuǎn)換點時， IOL 提

30、供電流。F2 和 F1 一樣，也是一個場效應管，在輸入-輸出切換時充當高速開關(guān)，并隔離電流負載電路和待測器件。當程序定義測試通道為輸出，則 F2 導通，允許輸出正向電流或抽取反向電流；當定義測試通道為輸入，則 F2 截止，將負載電路和待測器件隔離。電流負載在三態(tài)測試和開短路測試中也會用到。3. 電壓比較單元( Voltage Receiver)電壓比較器用于功能測試時比較待測器件的輸出電壓和 RVS 提供的參考電壓。RVS為有效的邏輯1 (VOH)和邏輯0 (VOL)提供了參考：當器件的輸出電壓等于或小于 VOL ，則認為它是邏輯0 ；當器件的輸出電壓等于或大于VOH ，則認為它是邏輯1；當它大于VOL 而小于VOH ，則認為它是三態(tài)電平或無效輸出。4. PMU 連接點(PMU Connection)當 PMU 連接到器件管腳， K1 先斷開， 然后 K2 閉合， 用于將 PMU 和 Pin Electrics 卡的 I/O 電路隔離開來。5. 高速電流比較單元(High Speed Current Comparator)s相對于為每個測試通道配置PMU ， 部分測試系統(tǒng)提供了快速測量小電流的另一種方法，這就是可進行快速漏電流(Leakage)測試的電流比較器，開關(guān)K