無塵室培訓(xùn)資料范文

1、潔凈室簡介提綱一、潔凈室之定義二、潔凈室的等級三、潔凈室所要控制的內(nèi)容四、潔凈室之分類五、潔凈室氣流之流動(dòng)六、潔凈室之構(gòu)成一、潔凈室之定義潔凈室（CleanRoom）,也叫無塵室。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫、濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間

2、我們稱之為潔凈室。污染源知識1、發(fā)塵量潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下,發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵絕對量也不斷減少。A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少；C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍；D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為

3、準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。2、發(fā)菌量分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為：(1)潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí)：靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為150-1000個(gè)/min.人快步行走時(shí)的發(fā)菌量為900-2500個(gè)/min.人(2)咳嗽一次一般為70700個(gè)/min.人噴嚏一次一般為400062000個(gè)/min.人(3)穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量330062000個(gè)/min.人(4) 無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量1:71:14(5) 發(fā)菌量：發(fā)塵量1:5001:1000據(jù)國內(nèi)事例：(6) 手術(shù)中人員發(fā)菌量878個(gè)/min.人所以，可知潔凈室內(nèi)

4、無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/min.人，動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/min/人，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。二、潔凈室的等級世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以'Mf字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3;.依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中=0.5wm之微塵粒子數(shù)目字以10的哥次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全哥次方之間，則以1.5、2.5、3

5、.5衷不。美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1pm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class1,Class2,Class3Class8表示,最好的等級為Class1,最差則為Class8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的哥次方，取其指數(shù)而得。人發(fā)|4徑00|tn】呼見粒子5011m.5P-IH3S34聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209分級限值廿02Pme咐im5Gpmt357531無場龍10350753。10無疑走10Q元批定750300先也宣1,000無規(guī)定無規(guī)定無規(guī)定i,m710h000無規(guī)宏無彘定尤嵬龍i(um70100.000無妮定無

6、燃定無版定1rm#阿700粒子，英尺,萩不,表83聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)2典£分城限值分馥京借容糠X)JfirA江口3Pm>0.5pm單住單惟單位單也其位為利其利陛幻佛。收八同、前樣*)尊裔M1上50154工10id5as?i0.1W一一M1.$I!24C55n2657JD1063.0035.J1.00Ml330099,1例如4509K73IW2.W一-M2.510124)0350265075DI帆030D353100«MM35ODO岫737tl2143041)H7_51踴ia.i一M3J100壞500淑1(1400«X1“如師.M4一7370023。愉37510000呻

7、一M4JI000'MC33301Jtxx>1477.00MS一一一11000002S3O&陋1工5M5510W)一一JS3CD010onft147D71),bmn«««jHr一1DOO<XX>6IftD175Mb；11*0X1一一33JO000lOOOCO14700700M7H-f*.1.一一10(100DOO駕300061BW1750ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO正在制定潔凈室的系列標(biāo)準(zhǔn)，它涵蓋了潔凈室的重要項(xiàng)目，例如設(shè)計(jì)、測試、運(yùn)行、生物污染等。1999年出版了其第一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1,題為空氣潔凈度等級

8、并給出了潔凈室分級方法。ISO的潔凈室級別按下述公式計(jì)算：01=10八昭工姐（3.1）其中：Cn為大于等于選定粒徑之粒子的最大允許濃度（粒子數(shù)量/每立方米空氣）Cn四舍五入至整數(shù)，非零有效數(shù)字不超過3個(gè)。N是ISO的級別數(shù)字，不大于9?？梢?guī)定ISO的中等級別，等級差最小為0.1。D是所選定的粒徑，以為量綱的常數(shù)。任何選定粒徑的懸浮粒子之最大允許濃度，也就是級別，都可以按3.1的公式算出。為說明分級限制，表3.3給出了ISO14644-1的分級級別。應(yīng)當(dāng)注意的是，潔凈室的ISO14644-1級別與聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209的級別可以轉(zhuǎn)換。如果ISO標(biāo)準(zhǔn)的每立方米粒子濃度被35.2除，就轉(zhuǎn)換成沒立方英尺的粒子

9、計(jì)數(shù)。就可以在表3.3中找到聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)2090.5粒徑的相應(yīng)級別。例如，ISO5級相當(dāng)于聯(lián)邦209的100級或M3.5級。表3,3潔凈室和潔凈區(qū)懸浮粒子潔凈度ISO14644-1等級ISO尊'揚(yáng)數(shù)字大于等千所定他植史粒子朝最大死作濃度限值I粽子Ar?空、）S0,1prn二0,21W203pm注1Pm學(xué)5聲0ISO1版102【so2燥10024】44ISOJ蟆IOQO237102招SO4罐to0002370IOlflJ52E3tsn5負(fù)IOO000237001。劉0352。K1229SO6級I00D000237OCOKJ200035200S320293ISO7駛352000XI200293

10、0法。3嫌J520ooa8320002930口15Q9筑35200nooS3200092W000三、潔凈室所要控制的內(nèi)容1 .能除去空氣中飄游之微塵粒子。2 .能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3 .溫度和濕度之控制。4 .壓力之調(diào)節(jié)。5 .有害氣體之排除。6 .結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。7 .靜電之防制。8 .電磁干擾預(yù)防。9 .安全因素之考慮。10 .節(jié)能的考慮。四、潔凈室之分類潔凈室按用途分類（可分為兩大類）（1）、工業(yè)潔凈室一一以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、

11、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。（2）、生物潔凈室，主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為A、一般生物潔凈室：主要控制微生物（細(xì)菌）對象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。B、生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）按氣流方

12、向分3類1 .舌L流式（TurbulentFlow）:空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制成的產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)到需要之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）（

13、1）、自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級別的時(shí)間。1,000級希望不超過20min（分鐘）（可取15min計(jì)算）10,000級希望不超過30min（分鐘）（可取25min計(jì)算）100,000級希望不超過40min（分鐘）（可取30min計(jì)算）（2）、換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級43.5-55.3次/小時(shí)（規(guī)范:50次/小時(shí)）10,000級23.828.6次/小時(shí)（規(guī)范:25次/小時(shí)）100,000級14.419.2次/小時(shí)（規(guī)范:15次/小時(shí)）2 .層流式（Laminar）:層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100

14、%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為其型式可分為二種：Class1100。(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)的污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程造過程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺

15、點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。3 .復(fù)合式(MixedType):復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理

16、，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為101000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class1-100級。潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間，具等級為101000級，高度在2.5米左

17、右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。五、潔凈室氣流之流動(dòng)潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.9799.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.250.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂

18、、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s,0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.250.5m/s之間。影響潔凈室的氣流因素很多，如制造設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列