微電子學專業(yè)介紹

1、微電子學專業(yè)介紹內容什么是微電子學？我們的條件是什么？學習什么知識？畢業(yè)后去哪里？什么是微電子學？ 微（微小、微觀）電子學 micro-electronics micro-meter(m) 微電子學的特點包括:（1） 它是電子學的一門分支學科（2） 以實現(xiàn)電路和系統(tǒng)的集成為目的，故實用性極強（3） 其空間尺度通常是以微米（um，1um = 10-6m）和納米（nm， 1nm = 10-9m）為單位的（4） 它是信息領域的重要基礎學科（5） 微電子學是一門綜合性很強的邊緣學科,涉及物理、化學、電路理論、信號處理、和計算機等多個學科（6） 微電子學是一門發(fā)展極為迅速的學科，高集成度、低功耗、高可靠

2、性是微電子學的發(fā)展方向（7） 微電子學的滲透性極強，它可以與其它學科結合而誕生出一系列新的交叉學科，例如微機電系統(tǒng)（MEMS）、生物芯片等微電子學 學科：理學 門類：電子信息科學類 專業(yè)名稱：微電子學 業(yè)務培養(yǎng)目標：本專業(yè)培養(yǎng)掌握微電子學專業(yè)所必需的基礎知識、基本理論和基本實驗技能，能在微電子學及相關領域從事科研、教學、科技開發(fā)、工程技術、生產管理與行政管理等工作的高級專門人才。 業(yè)務培養(yǎng)要求：本專業(yè)學生主要學習微電子學的基本理論和基本知識，受到科學實驗與科學思維的基本訓練，具有良好科學素養(yǎng)，掌握大規(guī)模集成電路及新型半導體器件的設計、制造及測試所必需的基本理論和方法，具有電路分析、工藝分析、器

3、件性能分析和版圖設計等的基本能力。畢業(yè)生應獲得以下幾方面的知識和能力： 1掌握數(shù)學、物理等方面的基本理論和基本知識； 2掌握固體物理學、電子學和VLSI設計與制造等方面的基本理論和基本知識，掌握集成電路和其它半導體器件的分析與設計方法，具有獨立進行版圖設計、器件性能分析和指導VLSI工藝流程的基本能力； 3了解相近專業(yè)的一般原理和知識； 4熟悉國家電子產業(yè)政策、國內外有關的知識產權及其它法律法規(guī)； 5了解VLSI和其它新型半導體器件的理論前沿、應用前景和最新發(fā)展動態(tài)，以及電子產業(yè)發(fā)展狀況； 6掌握資料查詢、文獻檢索及運用現(xiàn)代信息技術獲取相關信息的基本方法；具有一定的實驗設計，創(chuàng)造實驗條件，歸納

4、、整理、分析實驗結果，撰寫論文，參與學術交流的能力。 主干學科：電子科學與技術 主要課程：半導體物理及實驗、半導體器件物理、集成電路設計原理、集成電路工藝原理、集成電路CAD、微電子學專業(yè)實驗和集成電路工藝實習等。 主要實踐性教學環(huán)節(jié)：包括生產實習、畢業(yè)論文(設計)等，一般安排10-20周。 修業(yè)年限：四年 授予學位：理學或工學學士 微電子專業(yè)內容專業(yè)內容半導體材料：半導體材料：SiSi、GaAsGaAs、ZnSeZnSe半導體物理：半導體物理：半導體器件：元器件半導體器件：元器件( (電子和光電子）、集成電路電子和光電子）、集成電路半導體工藝：制造工藝、測試技術、微機械半導體工藝：制造工藝、

5、測試技術、微機械計算機輔助器件、工藝模擬計算機輔助器件、工藝模擬新型器件、微系統(tǒng)的開發(fā)新型器件、微系統(tǒng)的開發(fā)1.1.設計軟件的開發(fā)設計軟件的開發(fā)用什么做？做什么？怎么做？內容什么是微電子學？我們的條件是什么？畢業(yè)后去哪里？學習什么知識？我們的條件 50th 五校聯(lián)辦 半導體專業(yè) 80th 第一批博士點：半導體物理與半導體器件物理 90th 凝聚態(tài)物理（理科二級） 03年 微電子學與固體電子學（工科 二級） 211第一批重點學科（一期二期） 985第一批重點學科（1/9) 1956年，國家制定了年，國家制定了12年科學發(fā)展規(guī)劃，將半導體列為重要發(fā)展技術之一。同年在北京大學成立了由北京大學年科學發(fā)

6、展規(guī)劃，將半導體列為重要發(fā)展技術之一。同年在北京大學成立了由北京大學、廈門大學、南京大學、復旦大學和吉林大學組成的半導體培訓班。、廈門大學、南京大學、復旦大學和吉林大學組成的半導體培訓班。1958年，劉士毅、吳伯僖、陳金富老師，年，劉士毅、吳伯僖、陳金富老師，以及黃美純、鄭健生、周必忠等幾位首屆畢業(yè)生回校建立了半導體專業(yè)。以及黃美純、鄭健生、周必忠等幾位首屆畢業(yè)生回校建立了半導體專業(yè)。1966年由高教部批準成立了半導體研究室。承擔了許多科研項目，國家和地方的重點或重大科研任務，年由高教部批準成立了半導體研究室。承擔了許多科研項目，國家和地方的重點或重大科研任務，培養(yǎng)了一批又一批的學生培養(yǎng)了一批

7、又一批的學生 1976年后還培養(yǎng)了相當數(shù)量的年后還培養(yǎng)了相當數(shù)量的“半導體物理與器件物理半導體物理與器件物理”的碩士生和博士生，的碩士生和博士生，1996年年 “半導體物理與器件半導體物理與器件”專業(yè)改為專業(yè)改為“凝聚態(tài)物理凝聚態(tài)物理”專業(yè)專業(yè) 2006年年 批準設立批準設立“微電子學與固體電子學微電子學與固體電子學”博士點博士點物理系物理系“微電子學微電子學”專業(yè)的基礎和優(yōu)勢專業(yè)的基礎和優(yōu)勢2001年獲得年獲得“微電子學與固體電子學微電子學與固體電子學”碩士學位授予權，碩士學位授予權，2006年獲得的年獲得的博士授予權，確定了三個具有特色和優(yōu)勢的研究方向：博士授予權，確定了三個具有特色和優(yōu)勢

8、的研究方向： 半導體物理半導體物理 集成電路與微電子系統(tǒng)設計、集成電路與微電子系統(tǒng)設計、 信息光電子學，信息光電子學， 研究隊伍中以獲得博士學位的年輕人占多數(shù)，主要成員有豐富的經驗積累研究隊伍中以獲得博士學位的年輕人占多數(shù)，主要成員有豐富的經驗積累和較高的學術水平，已完成一批國內領先、意義重大的研究成果；實驗設和較高的學術水平，已完成一批國內領先、意義重大的研究成果；實驗設備和實驗室條件良好，軟件工具豐富，圖書資料齊全。備和實驗室條件良好，軟件工具豐富，圖書資料齊全。近五年，在科研方面，物理系在微電子領域承擔有國家近五年，在科研方面，物理系在微電子領域承擔有國家“973”和和“863”計劃課題

9、、國家半導體照明工程計劃課題、國家半導體照明工程“十五十五”攻關計劃重大任務、國家自然科攻關計劃重大任務、國家自然科學基金重大、重點課題和面上項目、福建省重大和重點基金項目等學基金重大、重點課題和面上項目、福建省重大和重點基金項目等90多多項項研究任務，總經費達研究任務，總經費達2000多萬元，取得許多重要成果。其中有的多萬元，取得許多重要成果。其中有的獲獲得省部級獎勵得省部級獎勵6項、項、省部級省部級以上鑒定以上鑒定7項、專利項、專利18項、實現(xiàn)產業(yè)化項、實現(xiàn)產業(yè)化6項，取得顯著的經濟效益。在國內外重要學術刊物上正式發(fā)表論文約項，取得顯著的經濟效益。在國內外重要學術刊物上正式發(fā)表論文約100

10、0篇，其中被篇，其中被SCI收錄收錄300多多篇篇、被、被EI收錄收錄200多多篇篇。出版專著幾部。出版專著幾部。我校進入“211工程” 500萬元 “信息光電子材料與信息技術”被確定為重點學科之一，在“211工程”建設基金的資助下，物理系建立了“211工程”重點實驗室，主要建設微電子材料和器件的設計、制備、測試研究?！?11工程”二期，1100萬元， 用于“信息光電子材料與信息技術”的補充“211工程”十一五 投入是2000萬元，形成微電子的完善工藝“985” 投入 “薩本棟微機電研究中心”， 一期（2000年-2003年）3500多萬， 中心建立以硅為基礎的微電子機械加工工藝實驗室和微電子

11、設計研究室，有先進的集成電路平面工藝和測試所需的設備及設計環(huán)境和軟件工具，為微電子學科研和教學提供了一 個良好的基地。 “985”第二期（2004年-2006年） 計劃投 入建設經費3000萬。 “光子學研究中心” ，已投入2100多萬元建設經費， 建設有英國Thomas Swan科學儀器公司GaN 金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)（MOCVD）、國內組裝的激光誘導雙生長室超高精度化學氣相沉積系統(tǒng)（UHV-CVD）、德國Omicro公司分子束外延（MBE）、美國的高精度光學鍍膜機等半導體光電子材料與器件生長系統(tǒng)。以 “光子學研究中心”為依托的“光電信息材料與器件”已批準列為“985”第二期重點項目，計

12、劃投入建設經費6000萬。近幾年微電子的投入，“211”和“985” 在物理系系從事半導體工作的在職教師和實驗技在物理系系從事半導體工作的在職教師和實驗技術人員術人員30多位，其中近二分之一是獲得博士學位多位，其中近二分之一是獲得博士學位的年輕教師。的年輕教師。 目前在物理系從事微電子領域教學與科目前在物理系從事微電子領域教學與科 研的主要教授有：研的主要教授有： 王啟明教授王啟明教授 院士。自70年代以來，一直致力于半導體光電子學領域的研究?，F(xiàn)正參與主持國家自然科學基金委重大研究計劃項目“網絡與信息安全”和承擔國家重點基礎研究規(guī)劃“支撐高速率、大容量信息光網絡系統(tǒng)的光子集成基礎研究”項目課題

13、。 余金中教授，余金中教授，博士生導師目前從事的研究領域為：半導體光電子集成和Si基光電子學，正在研究的課題有國家重大基金項目、“863” 項目、“973” 項目等。張保平教授，閩江學者， 吳正云教授，吳正云教授，博士生導師主要從事納米低維半導體材料及器件的研制和光電性質的研究?？悼∮陆淌?，康俊勇教授，博士生導師。從事半導體光電信息材料科研。 朱賢方教授朱賢方教授 博士生導師。主要研究方向為通過非平衡熱力學過程來制備、改性、組裝納米結構和器件。朱梓忠教授朱梓忠教授 博士生導師。研究方向：計算凝聚態(tài)物理，主要是從量子力學基本原理的角度出發(fā)對材料，特別是各類新材料的物理性質進行理論計算以及計算機的

14、模擬 劉寶林教授劉寶林教授博士生導師。主要從事半導體光電材料和器件的研究，用于半導體照明相關的器件。 陳松巖教授陳松巖教授 主要研究方向為光電集成器件。李成教授李成教授 主要研究方向為Si基發(fā)光和光電集成器件。專業(yè)發(fā)展的主要方向專業(yè)發(fā)展的主要方向 根據(jù)我系的基礎和優(yōu)勢，以及對學生業(yè)務的培養(yǎng)目標，本專業(yè)規(guī)劃三個主要發(fā)根據(jù)我系的基礎和優(yōu)勢，以及對學生業(yè)務的培養(yǎng)目標，本專業(yè)規(guī)劃三個主要發(fā)展方向：展方向：1. 1. 半導體的材料研究半導體的材料研究 Si GaN ZnO Si GaN ZnO 在微電子技術發(fā)展的過程中，半導體材料一直扮演著一個主要的角色，材料在微電子技術發(fā)展的過程中，半導體材料一直扮演

15、著一個主要的角色，材料特性是器件特性的基礎。本方向培養(yǎng)學生掌握半導體材料的基本物理問題：新特性是器件特性的基礎。本方向培養(yǎng)學生掌握半導體材料的基本物理問題：新型材料，如微結構材料、光電集成材料的結構設計、制備方法與工藝原理；材型材料，如微結構材料、光電集成材料的結構設計、制備方法與工藝原理；材料特殊性能和新型材料的開發(fā)與應用；材料測試與分析；材料制備與加工過程料特殊性能和新型材料的開發(fā)與應用；材料測試與分析；材料制備與加工過程對材料物理特性的影響；材料特性與器件特性之間的聯(lián)系；在器件制造過程中對材料物理特性的影響；材料特性與器件特性之間的聯(lián)系；在器件制造過程中常用的一些材料特性檢測方法與技術。

16、同時，培養(yǎng)學生掌握一些現(xiàn)代材料制備常用的一些材料特性檢測方法與技術。同時，培養(yǎng)學生掌握一些現(xiàn)代材料制備與測試設備的基本原理與使用方法，例如：磁控濺射機、金屬有機化學汽相沉與測試設備的基本原理與使用方法，例如：磁控濺射機、金屬有機化學汽相沉積系統(tǒng)（積系統(tǒng)（MOCVD）、）、低壓化學汽相沉積系統(tǒng)（低壓化學汽相沉積系統(tǒng)（LPCVD）、）、等離子化學汽相沉積等離子化學汽相沉積系統(tǒng)（系統(tǒng)（PECVD）、）、真空鍍膜機、拉普拉斯缺陷譜儀、光伏譜儀、電化學真空鍍膜機、拉普拉斯缺陷譜儀、光伏譜儀、電化學C-V測試儀、測試儀、X光電子能譜儀（光電子能譜儀（XPS）、）、掃描電子顯微鏡（掃描電子顯微鏡（SEM）等

17、等。等等。 2.2.集成電路技術集成電路技術 集成電路技術是微電子技術領域中的最重要的技術，它主要包含設計和制造技術。集成電路技術是微電子技術領域中的最重要的技術，它主要包含設計和制造技術。集成電路的迅速發(fā)展，除了工藝技術、設備、原材料等方面的不斷改進以外，采用計算集成電路的迅速發(fā)展，除了工藝技術、設備、原材料等方面的不斷改進以外，采用計算機輔助設計（機輔助設計（CAD）或設計自動化（或設計自動化（DA）技術也是重要的原因之一。本方向培養(yǎng)學生掌握專用集技術也是重要的原因之一。本方向培養(yǎng)學生掌握專用集成電路和其他集成器件的成電路和其他集成器件的CAD技術，包含器件模擬、電路設計、版圖設計、驗證和

18、測試；掌握技術，包含器件模擬、電路設計、版圖設計、驗證和測試；掌握集成電路電子設計自動化（集成電路電子設計自動化（EDA）軟件系統(tǒng)。同時培養(yǎng)學生掌握工藝原理、工藝設備原理和軟件系統(tǒng)。同時培養(yǎng)學生掌握工藝原理、工藝設備原理和制造方法。制造方法。 近年來，除了在學校近年來，除了在學?！?11工程工程”建設基金資助下引進了可實現(xiàn)全定制集成電路（建設基金資助下引進了可實現(xiàn)全定制集成電路（IC）設設計的美國計的美國Mentor公司公司EDA軟件工具外（內含版圖設計輸入、自動布線及版圖驗證等工具），我系軟件工具外（內含版圖設計輸入、自動布線及版圖驗證等工具），我系技術物理所技術物理所“EDA研究室研究室”

19、積極加強同國外大學和公司合作，先后獲得各種捐贈的價值約積極加強同國外大學和公司合作，先后獲得各種捐贈的價值約400多萬多萬元的元的EDA工具，擁有的工具，擁有的EDA工具與國內高校中從事相同方向研究的實驗室比較，相對齊工具與國內高校中從事相同方向研究的實驗室比較，相對齊全而且比較先進，例如：復旦大學專用集成電路與系統(tǒng)國家重點實驗室、清華大學微波全而且比較先進，例如：復旦大學專用集成電路與系統(tǒng)國家重點實驗室、清華大學微波數(shù)字通訊國家重點實驗室、北京大學電子設計自動化實驗室、國防科技大學電子系統(tǒng)數(shù)字通訊國家重點實驗室、北京大學電子設計自動化實驗室、國防科技大學電子系統(tǒng)CAD實驗室。實驗室?！癊DA

20、研究室研究室”有能力和條件培養(yǎng)學生的設計技術。有能力和條件培養(yǎng)學生的設計技術。 “薩本棟微機電研究中心薩本棟微機電研究中心”、 “光子學研究中心光子學研究中心”和我系的和我系的“211重點實驗室重點實驗室” 、 “半導體實驗室半導體實驗室”可以培養(yǎng)學生的工藝可以培養(yǎng)學生的工藝制造技術。制造技術。 3. 3. 半導體光電子學半導體光電子學 半導體光電子學是研究作為當今和未來信息社會的兩個主要微觀信息體，即光子和電子半導體光電子學是研究作為當今和未來信息社會的兩個主要微觀信息體，即光子和電子的運動與物質的相互作用及其信息的產生、傳輸、接收、處理、存儲和加工的科學。它在的運動與物質的相互作用及其信息

21、的產生、傳輸、接收、處理、存儲和加工的科學。它在信息領域中具有響應速度快、傳輸容量大、存儲密度高、誤碼率低、可靠性好、并易于集信息領域中具有響應速度快、傳輸容量大、存儲密度高、誤碼率低、可靠性好、并易于集成、微型化等一系列明顯的優(yōu)點。它是當今信息高科技發(fā)展的主流之一和熱點課題，它將成、微型化等一系列明顯的優(yōu)點。它是當今信息高科技發(fā)展的主流之一和熱點課題，它將與微電子技術相輔相成，直至互相滲入融為一體。與微電子技術相輔相成，直至互相滲入融為一體。 本方向可以作為培養(yǎng)學生了解本學科及本方向可以作為培養(yǎng)學生了解本學科及相關交叉學科的新成就的一個重要內容。相關交叉學科的新成就的一個重要內容。 LED和

22、光伏產業(yè)和光伏產業(yè)內容什么是微電子學？我們的條件是什么？學習什么知識？畢業(yè)后去哪里？物理系電子學專業(yè)大類教學計劃表物理系電子學專業(yè)大類教學計劃表（學學 制制 4 4 年年） 微電子學專業(yè)方向性課程微電子學專業(yè)方向性課程 半導體物理半導體物理半導體器件物理半導體器件物理集成電路原理與設計集成電路原理與設計 集成電路集成電路CAD 微電子學專業(yè)實驗微電子學專業(yè)實驗 微電子學專業(yè)方向性必修課程微電子學專業(yè)方向性必修課程 半導體材料半導體材料 微電子制造科學原理微電子制造科學原理 微電子學專業(yè)方向性任選課微電子學專業(yè)方向性任選課 電子設計電子設計 算法與數(shù)據(jù)結構算法與數(shù)據(jù)結構 單片機原理與實驗單片機原

23、理與實驗 物理學前沿專題物理學前沿專題 微電子專業(yè)實驗微電子專業(yè)實驗 微電子學專業(yè)實驗微電子學專業(yè)實驗 是微電子學專業(yè)學生的基礎課。根據(jù)物理系半導體是微電子學專業(yè)學生的基礎課。根據(jù)物理系半導體實驗室的基礎，實驗室的基礎， “微電子學專業(yè)微電子學專業(yè)”擬安排以下幾個實驗擬安排以下幾個實驗: 名 稱需要增添的儀器設備實驗一表面光電壓法測量硅少數(shù)載流子擴散長度鎖相放大器實驗二用橢圓偏振儀測量半導體表面介質薄膜的厚度和折射率橢圓偏振儀實驗三高頻MOS電容-電壓關系測量半導體CV參數(shù)測試系統(tǒng)實驗四硅單晶中晶體缺陷的腐蝕顯示Olympus顯微鏡實驗五四探針法測電阻率四探針電阻率測試儀實驗六真空鍍膜電子束鍍

24、膜機，磁控濺射臺實驗七熱氧化氧化擴散系統(tǒng)實驗八二氧化硅光刻光刻機實驗九硼擴散氧化擴散系統(tǒng)實驗十晶體管特性參數(shù)測試晶體管IV圖示儀實驗十一超凈室實驗培訓（微機電研究中心）內容什么是微電子學？我們的條件是什么？學習什么知識？畢業(yè)后去哪里？ 微電子產業(yè)是當今世界上最富有生命力、增長最為迅速的微電子產業(yè)是當今世界上最富有生命力、增長最為迅速的產業(yè)之一，是現(xiàn)代工業(yè)的基礎產業(yè)之一，是現(xiàn)代工業(yè)的基礎 60年代開始，經歷了半個世紀的發(fā)展，半導體微電子應年代開始，經歷了半個世紀的發(fā)展，半導體微電子應用已深入到國民經濟及軍事應用的各個領域，微電子技術的用已深入到國民經濟及軍事應用的各個領域，微電子技術的發(fā)展日新月

25、異，使電子工業(yè)發(fā)生了革命性的變化，對整個人發(fā)展日新月異，使電子工業(yè)發(fā)生了革命性的變化，對整個人類產生了巨大的影響。當世界進入類產生了巨大的影響。當世界進入21世紀的今天，人類進入世紀的今天，人類進入了以微電子為基礎、計算機為核心、光纖和衛(wèi)星通訊為先了以微電子為基礎、計算機為核心、光纖和衛(wèi)星通訊為先導的信息時代。世界上發(fā)達國家都競相發(fā)展和提高信息技導的信息時代。世界上發(fā)達國家都競相發(fā)展和提高信息技術水平，大力發(fā)展信息產業(yè)，特別是微電子產業(yè)，從而獲術水平，大力發(fā)展信息產業(yè)，特別是微電子產業(yè)，從而獲得巨大的經濟利益。微電子產業(yè)是當今世界上最富有生命得巨大的經濟利益。微電子產業(yè)是當今世界上最富有生命力

26、、增長最為迅速的產業(yè)之一。力、增長最為迅速的產業(yè)之一。 福建廈門地區(qū)的微電子產業(yè)福建廈門地區(qū)的微電子產業(yè) 我校位于東南沿海開放城市我校位于東南沿海開放城市福建廈門。這個地區(qū)的福建廈門。這個地區(qū)的微電子產業(yè)正在蓬勃興起。微電子產業(yè)正在蓬勃興起。 福建建立了國家級的閩東南電子與信息產業(yè)基地，政府福建建立了國家級的閩東南電子與信息產業(yè)基地，政府批準在福州大學和廈門大學分別成立了集成電路設計中批準在福州大學和廈門大學分別成立了集成電路設計中心，并已計劃投入心，并已計劃投入大量的資金支助大量的資金支助。 廈門市又是臺灣微電子技術進入大陸的前沿陣地。廈門廈門市又是臺灣微電子技術進入大陸的前沿陣地。廈門經濟

27、特區(qū)的長遠規(guī)劃是發(fā)展成為教育城、信息港和電子經濟特區(qū)的長遠規(guī)劃是發(fā)展成為教育城、信息港和電子城，政府對發(fā)展微電子產業(yè)給予高度的重視和大力的支城，政府對發(fā)展微電子產業(yè)給予高度的重視和大力的支持，制定了許多優(yōu)惠政策。已興辦了微電子集成研究中持，制定了許多優(yōu)惠政策。已興辦了微電子集成研究中心，微電子科技園、元順微電子公司、三安電子公司、心，微電子科技園、元順微電子公司、三安電子公司、華聯(lián)電子公司等等微電子產業(yè)公司。華聯(lián)電子公司等等微電子產業(yè)公司。 福順公司已在福州建立了福順公司已在福州建立了6英寸片的集成電路生產線，英寸片的集成電路生產線， 集順集順公司正在廈門集美籌建年產公司正在廈門集美籌建年產3

28、6萬萬6英寸片的英寸片的0.35- 0.8微米集微米集成電路生產線。成電路生產線。 廈門市已成為國家照明工程基地之一。廈門市已成為國家照明工程基地之一。 廈門有良好的整機產業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，如廈廈門有良好的整機產業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，如廈華公司、廈新公司、華公司、廈新公司、Dell公司等電子企業(yè)，有些企業(yè)的小公司等電子企業(yè)，有些企業(yè)的小家用電器產量在世界上可以說是數(shù)一數(shù)二，但是缺少專家用電器產量在世界上可以說是數(shù)一數(shù)二，但是缺少專用集成電路芯片開發(fā)的能力，主要原因是缺乏這方面的用集成電路芯片開發(fā)的能力，主要原因是缺乏這方面的人才。人才。 畢業(yè)后的去向 福建省關于進一步促進福

29、建省關于進一步促進LED和太陽能光伏產業(yè)發(fā)展和太陽能光伏產業(yè)發(fā)展的行動方案（的行動方案（20092014年）年）2008年全省LED和太陽能光伏產業(yè)實現(xiàn)產值約100億元，其中LED產值約70億元、太陽能光伏產值約30億元。全省LED和太陽能光伏企業(yè)已超過200家，生產產品涵蓋LED外延、芯片生產、LED器件及配套材料、LED道路照明、LED背光源、LED屏幕顯示等應用產品；多晶硅、單晶硅、薄膜太陽能電池及組件、太陽能光伏LED應用產品等?？偖a量占全國30%以上推進產學研合作，加快產業(yè)人才培養(yǎng)推進產學研合作，加快產業(yè)人才培養(yǎng)支持省內高等院校開設光電子專業(yè)和專業(yè)技能課程，為我省培養(yǎng)光電專業(yè)人才和高

30、技能人才。全國有6000家 LED產業(yè)，700億產值 ，并以40%以上速度增長 福順公司已在福州建立了福順公司已在福州建立了6英寸片的集成電路生產線，英寸片的集成電路生產線， 集順集順公司正在廈門集美籌建年產公司正在廈門集美籌建年產36萬萬6英寸片的英寸片的0.35- 0.8微米集微米集成電路生產線。成電路生產線。 廈門市已成為國家照明工程基地之一。廈門市已成為國家照明工程基地之一。 廈門有良好的整機產業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，如廈門有良好的整機產業(yè)，大大小小的電子企業(yè)逾百家，如廈華公司、廈新公司、廈華公司、廈新公司、Dell公司等電子企業(yè)，有些企業(yè)的小公司等電子企業(yè)，有些企業(yè)的小家用電器

31、產量在世界上可以說是數(shù)一數(shù)二，但是缺少專用集家用電器產量在世界上可以說是數(shù)一數(shù)二，但是缺少專用集成電路芯片開發(fā)的能力，主要原因是缺乏這方面的人才。成電路芯片開發(fā)的能力，主要原因是缺乏這方面的人才。 內容什么是微電子學？我們的條件是什么？畢業(yè)后去哪里？學習什么知識？廈門大學廈門大學薩本棟微機電研究中心薩本棟微機電研究中心 實驗室設施：實驗室設施： 具備體硅機械技術、表面硅機械技術和集成電路技術所需要的基本具備體硅機械技術、表面硅機械技術和集成電路技術所需要的基本條件，可以開展一些條件，可以開展一些MEMS中的單個微型結構、微型傳感器及微型中的單個微型結構、微型傳感器及微型電機的研制，也可以開展一

32、些微機械、微執(zhí)行器、微傳感器與中小電機的研制，也可以開展一些微機械、微執(zhí)行器、微傳感器與中小規(guī)模微電子線路合為一體的規(guī)模微電子線路合為一體的MEMS的研制。的研制。4473 四管微控擴散爐4371-LPCVD低壓化學汽相沉積系統(tǒng)PECVD-2型等離子體淀積臺ICP-2B刻蝕機JC500-3/D磁控濺射鍍膜機 JS-3X-100B 磁控濺射臺Karlsuss MA6/BA6光刻鍵合對準機ZXS-500A電子束鍍膜機純水間純水間氮氮/氧氧/氬純化系統(tǒng)氬純化系統(tǒng)廢氣廢氣/水處理水處理C63200/TJ 硅片拋光機單頭精縮機X61 385-1B 硅片磨片機初縮機精縮機四探針電阻測試多頭探針Dektak 3 測厚儀Olympus OLS1200激光掃描共聚焦顯微鏡 Nikon L150金相顯微鏡Keithley4200-SCS半導體參數(shù)測試儀Keithley590 C-V測試儀設計室基礎設施設計室