ITO玻璃淺顯的知識(shí)講解

1、11ITO玻璃入門知識(shí)玻璃入門知識(shí)12 ITO( ITO(Indium Tin Oxide) )玻璃簡(jiǎn)介玻璃簡(jiǎn)介 在普通玻璃的一個(gè)表面鍍上一層氧化銦錫的在普通玻璃的一個(gè)表面鍍上一層氧化銦錫的導(dǎo)電膜，就形成了導(dǎo)電膜，就形成了LCD常用的氧化銦錫玻璃，通常用的氧化銦錫玻璃，通常簡(jiǎn)稱為常簡(jiǎn)稱為ITO玻璃。玻璃。特點(diǎn)特點(diǎn)：不僅要求導(dǎo)電性能好，而且還要具有玻：不僅要求導(dǎo)電性能好，而且還要具有玻璃一樣高的透明度璃一樣高的透明度一、什么是一、什么是ITO13ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu):基板基板sio2 ITO二、二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)14基板基板: 常用的基板厚度有常用的基板厚度有1

2、.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生產(chǎn)廠家有：板硝子、旭硝子、洛?；宓闹饕a(chǎn)廠家有：板硝子、旭硝子、洛玻 根據(jù)材料的不同根據(jù)材料的不同,通常分為鈉鈣玻璃和硼硅玻璃兩種通常分為鈉鈣玻璃和硼硅玻璃兩種;LCD行業(yè)行業(yè)中較常用的為鈉鈣型玻璃中較常用的為鈉鈣型玻璃.優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)缺點(diǎn)鈉鈣型玻璃鈉鈣型玻璃成本低成本低含有鈉、鉀等離子含有鈉、鉀等離子, ,易產(chǎn)易產(chǎn)生滲透生滲透, ,影響產(chǎn)品性能影響產(chǎn)品性能硼硅型玻璃硼硅型玻璃玻璃硬度高玻璃硬度高, ,透透過(guò)率好過(guò)率好成本較高成本較高二、二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)15（1）Si02層的作用層的作用:主要是防止

3、鈉鈣型基板中的金屬離子擴(kuò)散滲透到主要是防止鈉鈣型基板中的金屬離子擴(kuò)散滲透到ITO層中層中,影響影響ITO層的導(dǎo)電能力層的導(dǎo)電能力.（2）SiO2層的膜厚層的膜厚: 標(biāo)準(zhǔn)膜厚一般為標(biāo)準(zhǔn)膜厚一般為20-30nm二、二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)Si02層：層：16ITO(Indium Tin Oxid)層層:為氧化銦錫的透明導(dǎo)電層為氧化銦錫的透明導(dǎo)電層,其中其中I表示表示In2O3，T表示表示SnO2,一般一般Sn（即即Tin)的含量約為的含量約為10%。隨著隨著ITO層厚度的增加層厚度的增加,ITO層的厚度逐漸減小層的厚度逐漸減小.-應(yīng)改為應(yīng)改為“隨著隨著ITO電阻值的增加電阻值的增加,

4、ITO層的厚度逐漸減小。層的厚度逐漸減小?！倍⒍?、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)17三、三、ITO玻璃的分類玻璃的分類根據(jù)基板玻璃表面狀態(tài)的不同，通常分為以下三種類型：根據(jù)基板玻璃表面狀態(tài)的不同，通常分為以下三種類型：類型類型說(shuō)明說(shuō)明TNTN未拋光型未拋光型直接在玻璃的浮法面進(jìn)行鍍膜HTNHTN簡(jiǎn)單拋光型簡(jiǎn)單拋光型/TN/TN精選玻璃精選玻璃將玻璃的浮法面進(jìn)行簡(jiǎn)單的拋光后,在拋光面進(jìn)行鍍膜STNSTN超拋光型超拋光型將玻璃的浮法面進(jìn)行精細(xì)的拋光后,在拋光面進(jìn)行鍍膜18四、四、ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程玻璃的生產(chǎn)工藝流程ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程主要分為以下三個(gè)步驟：玻璃的生產(chǎn)工藝流程主要分為

5、以下三個(gè)步驟：（1）切割倒角；（2）拋光；（3）鍍膜注：注：TN型玻璃不需要拋光。生產(chǎn)工藝流程更簡(jiǎn)單。型玻璃不需要拋光。生產(chǎn)工藝流程更簡(jiǎn)單。19ITO玻璃簡(jiǎn)要生產(chǎn)工藝流程如下：玻璃簡(jiǎn)要生產(chǎn)工藝流程如下：原片來(lái)原片來(lái)料檢驗(yàn)料檢驗(yàn)切割切割磨邊磨邊倒角倒角清洗清洗檢驗(yàn)檢驗(yàn)清洗清洗拋光拋光檢查檢查SI02鍍膜鍍膜ITO鍍膜鍍膜檢驗(yàn)檢驗(yàn)包裝包裝入庫(kù)入庫(kù)四、四、ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程玻璃的生產(chǎn)工藝流程TN型玻璃不需經(jīng)此流程110五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)5.1透過(guò)率：透過(guò)率：在波長(zhǎng)為在波長(zhǎng)為550nm的光波照射下，具有的光波照射下，具有SI02阻檔層玻璃的透過(guò)率不阻檔層玻璃的透過(guò)率不小于

6、小于80%，其主要取決于玻璃材料、，其主要取決于玻璃材料、ITO厚度和折射率。厚度和折射率。 透過(guò)率定義：透過(guò)率定義：透過(guò)玻璃的光通量透過(guò)玻璃的光通量T2與入射光通量與入射光通量T1之比的百分率之比的百分率Tt=T2/T1X100%。1115.2方塊電阻方塊電阻:如圖如圖d為膜厚，為膜厚，I為電流，為電流，L1為膜厚在電流方向上的長(zhǎng)度，為膜厚在電流方向上的長(zhǎng)度，L2為膜層在垂為膜層在垂直電流方向的長(zhǎng)度，直電流方向的長(zhǎng)度，為導(dǎo)電膜的體電阻率。為導(dǎo)電膜的體電阻率。和和d可以認(rèn)為是不變的可以認(rèn)為是不變的定值，當(dāng)定值，當(dāng)L1=L2時(shí)，為正方形的膜層，無(wú)論方塊大小如何，其電阻率時(shí)，為正方形的膜層，無(wú)論方

7、塊大小如何，其電阻率為定值為定值/ d，這就是方塊電阻的定義，即，這就是方塊電阻的定義，即R= / dL2L1dIR=L1/(dL2)五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)1125.3平整度平整度:平整度可用平整度可用h/1表示，意思為在長(zhǎng)度為表示，意思為在長(zhǎng)度為L(zhǎng)的范圍內(nèi)，表面最高點(diǎn)與最低的范圍內(nèi)，表面最高點(diǎn)與最低點(diǎn)的差值為點(diǎn)的差值為h。 Lh玻璃微玻璃微觀表面觀表面ITO玻璃基板平整度參數(shù)包括：玻璃基板平整度參數(shù)包括： 1、玻璃表面粗糙度；、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波紋度；、基板表面波紋度； 3、基板翹曲度；、基板翹曲度； 4、基板垂直度；、基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度；

8、膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均勻度。玻璃基板、膜厚均勻度。 五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)1135.3.2基板翹曲度基板翹曲度:用用h/L表示表示(如圖如圖) 即翹曲的高度與翹起邊的長(zhǎng)度之比即翹曲的高度與翹起邊的長(zhǎng)度之比Lh 其中要求如下其中要求如下: 厚度厚度0.7mm的基片玻璃，的基片玻璃， 翹曲度（翹曲度（h/L）0.1%。 厚度厚度0.55mm的基片玻璃，翹曲度（的基片玻璃，翹曲度（h/L）0.15%。 不允許有不允許有S形翹曲形翹曲五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)1145.3.3基板垂直度基板垂直度:用用a/L表示表示(如圖如圖) 用來(lái)描述玻璃基板四

9、條邊互相垂直的程度用來(lái)描述玻璃基板四條邊互相垂直的程度La通常通常a/L0.1%五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)1155.4化學(xué)穩(wěn)定性化學(xué)穩(wěn)定性:ITO鍍膜層的耐化學(xué)性能應(yīng)符合表鍍膜層的耐化學(xué)性能應(yīng)符合表2中技術(shù)要求。中技術(shù)要求。a) 耐堿性耐堿性 鍍層在溫度為鍍層在溫度為602, 濃度為濃度為10%的氫氧化鈉的氫氧化鈉(分析純分析純)溶液中浸泡溶液中浸泡5分分鐘鐘, ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過(guò)膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過(guò)110%。b) 耐酸性耐酸性 在在252, 6%鹽酸鹽酸(分析純分析純)溶液中浸泡溶液中浸泡2分鐘分鐘, ITO膜的方電阻與浸泡膜的方電

10、阻與浸泡前的方電阻相比不得超過(guò)前的方電阻相比不得超過(guò)110%。c) 耐溶劑性能耐溶劑性能 將鍍膜玻璃放入丙酮將鍍膜玻璃放入丙酮(分析純分析純)、無(wú)水乙醇、無(wú)水乙醇(分析純分析純) 中浸泡中浸泡5分鐘后，分鐘后，ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過(guò)膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過(guò)110%。五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)1165.5熱穩(wěn)定性熱穩(wěn)定性:在空氣中經(jīng)在空氣中經(jīng)30分鐘分鐘3005（觸摸屏用（觸摸屏用ITO玻璃是在玻璃是在2005）高）高溫后，溫后，ITO膜的方阻的變化率小于膜的方阻的變化率小于300% 5.6附著力附著力:用用3M膠帶粘在玻璃表面迅速撕開(kāi)膠帶粘在

11、玻璃表面迅速撕開(kāi),ITO層無(wú)明顯開(kāi)裂現(xiàn)象層無(wú)明顯開(kāi)裂現(xiàn)象五、五、ITO玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)玻璃的評(píng)價(jià)參數(shù)117六、六、ITO膜面的判定膜面的判定拉伸浮法方向相關(guān)定義相關(guān)定義:浮法方向浮法方向:在基板玻璃制造過(guò)程中在基板玻璃制造過(guò)程中,液態(tài)玻璃流動(dòng)的方向液態(tài)玻璃流動(dòng)的方向.118ITO膜面主要判定方法膜面主要判定方法:(1)將萬(wàn)用表打至歐姆檔將萬(wàn)用表打至歐姆檔,用探針?lè)謩e測(cè)試兩個(gè)點(diǎn)用探針?lè)謩e測(cè)試兩個(gè)點(diǎn),如果顯示不為如果顯示不為”1”,則則所測(cè)試面為所測(cè)試面為ITO膜面膜面;(2)用方塊電阻測(cè)試儀測(cè)試面電阻用方塊電阻測(cè)試儀測(cè)試面電阻,如果顯示電阻值無(wú)窮大如果顯示電阻值無(wú)窮大,測(cè)所測(cè)面為測(cè)所測(cè)面為非非IT

12、O膜面膜面(3)通過(guò)大角識(shí)別通過(guò)大角識(shí)別:以以1614英寸的玻璃為例英寸的玻璃為例六、六、ITO膜面的判定膜面的判定119七、七、ITO玻璃使用常見(jiàn)問(wèn)題玻璃使用常見(jiàn)問(wèn)題ITOITO玻璃異常玻璃異常LCDLCD的影響的影響基板中的鈉離子發(fā)生滲透字肥基板的波紋度較差排骨彩虹基板的粗糙度較差涂膜的均勻性；點(diǎn)狀彩虹面電阻不均蝕刻易發(fā)生斷短路玻璃表面較臟內(nèi)污,短斷路ITO測(cè)射不均上下短路翹曲度差LCD生產(chǎn)中定位不準(zhǔn)表面?zhèn)?、異物、氣泡LCD顯示效果異常磨邊倒角粗糙制程中易破損常見(jiàn)常見(jiàn)ITO玻璃異常對(duì)玻璃異常對(duì)LCD產(chǎn)品的影響產(chǎn)品的影響:120八、八、ITO玻璃的使用注意事項(xiàng)玻璃的使用注意事項(xiàng)主要注意事項(xiàng)主要注意事項(xiàng):1、ITO玻璃連同包裝應(yīng)存放在干燥、陰涼、清潔的環(huán)境中，玻璃連同包裝應(yīng)存放在干燥、陰涼、清潔的環(huán)境中，溫度溫度28度以下，濕度不大于度以下，濕度不大于70%RH為宜；為宜；2、ITO玻璃的貯存期不應(yīng)超過(guò)半年，包裝打開(kāi)后應(yīng)盡快用完，玻璃的貯存期不應(yīng)超過(guò)半年，包裝打開(kāi)后應(yīng)盡快用完，如不能盡快用完，應(yīng)重新密封；如不能盡快用完，應(yīng)