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文檔簡介
1、 靜電防護(hù)管理程序編 號: WI-ED-001版 本: B第11頁 共11頁1.0 目的1.1 建立一個(gè)良好的ESD控制工作環(huán)境,減少或消除ESD對電性產(chǎn)品的破壞。1.2 提高產(chǎn)品在客戶端的信賴性,維護(hù)公司在客戶端的信譽(yù),保證產(chǎn)品的品質(zhì)。 1.3 維護(hù)公司員工的身體健康。2.0 范圍適用于XXX事業(yè)部,保護(hù)ESD敏感性電子元件及產(chǎn)品之全過程,具體包括材料或產(chǎn)品之來料檢查、制造、測試、組裝、包裝、檢查、運(yùn)輸及存儲等。3.0 權(quán)責(zé)3.1 工程部:負(fù)責(zé)公司ESD控制之技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的建立,并針對重大ESD事件進(jìn)行追蹤,同時(shí)提出改善措施,負(fù)責(zé)員工的ESD培訓(xùn)。3.2 質(zhì)量部:負(fù)責(zé)對ESD控制之執(zhí)行品質(zhì)進(jìn)行督
2、導(dǎo)及稽核。3.3 計(jì)劃部:負(fù)責(zé)在倉儲期間及發(fā)料過程對ESD敏感性元器件進(jìn)行重點(diǎn)防護(hù)以及防靜電輔材(7.4.2.5中規(guī)定)的來料檢查與管控。3.4 生產(chǎn)部:負(fù)責(zé)ESD控制標(biāo)準(zhǔn)的執(zhí)行及日常點(diǎn)檢與測量。3.5 企管部:負(fù)責(zé)安排ESD人員培訓(xùn)和認(rèn)證考核,及相關(guān)資料歸檔。4.0 參考文件4.1 ANSI/ESD S20.20-20074.2 IEC 613404.3 ANSI/EIA-6255.0 定義及相關(guān)術(shù)語5.1 ESD(Electrostatic Discharge):靜電放電由于電子不均勻分布使電荷在不同電位物體間相互轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。5.2 EOS(Electrical Over Stress):
3、電壓過應(yīng)力 即當(dāng)外加電壓超過零件所能承受的電壓范圍時(shí),造成零件的崩潰。5.3 導(dǎo)電材料:材料表面電阻率低于1.0x105/SQ或體電阻系數(shù)低于1.0x105/CM的材料。5.4 絕緣材料:材質(zhì)表面阻值至少是1.0x1012/SQ或電阻系數(shù)至少是1.0x1012/CM的材料。5.5 靜電耗散材料:一個(gè)材料其表面電阻率大于1.0x106/SQ,小于1.0x109/SQ.(如防靜電手套、防靜電工作臺等)。5.6 抗靜電材料:指表面電阻率大于1.0x109/SQ,小于1.0x1011/SQ的材質(zhì)。5.7 CPG(Common Ground Point)共同接地點(diǎn)5.8 EPA(ESD Protecte
4、d Area)靜電防護(hù)區(qū)域5.9 ESD接地:靜電充電物(人)經(jīng)由匯流排、金屬支板或系統(tǒng)傳導(dǎo)至地面。5.10 設(shè)備接地:從電子設(shè)備到硬接地電極之低阻抗路徑。6.0 流程圖靜電防護(hù)管理程序流程圖7.0 內(nèi)容7.1 長城電腦電源事業(yè)部ESD組織結(jié)構(gòu)7.1.1 主要職責(zé)7.1.1.1 解決本公司重要的ESD事件,對ESD執(zhí)行進(jìn)行技術(shù)性指導(dǎo)。7.1.1.2 每月對本公司ESD控制環(huán)境進(jìn)行考核評估。7.1.1.3 按國際標(biāo)準(zhǔn)和客戶要求,保證ESD防護(hù)設(shè)施的導(dǎo)入。7.1.1.4 定期對本公司員工進(jìn)行ESD教育訓(xùn)練和考核,加強(qiáng)員工的ESD意識。7.1.2 組織結(jié)構(gòu)7.1.2.1 ESD管控區(qū)域分布7.1.2
5、.2 ESD team 組織圖7.2 ESD教育培訓(xùn) 7.2.1 所有從事處理或接觸靜電敏感器件的工作人員,都必須接收ESD培訓(xùn),并經(jīng)檢定考試合格者方可從事該項(xiàng)工作。7.2.2 認(rèn)證共分為A,B,C三級A級-公司培訓(xùn)講師,稽核員及各工作區(qū)主管級以上干部皆屬之。B級-工作區(qū)之工程師,技術(shù)員,領(lǐng)班,線組長,QC人員需具備之。C級-一般作業(yè)人員及新進(jìn)人員。 7.2.3 培訓(xùn)計(jì)劃的安排及每次個(gè)人培訓(xùn)檔案的收集,匯總將由企管部做統(tǒng)一統(tǒng)籌。7.2.4 重新培訓(xùn)認(rèn)證:凡經(jīng)認(rèn)定為認(rèn)證資格已失效者(違反ESD規(guī)定二次以上者)及所有人員每年都必須接收一次重新培訓(xùn)及認(rèn)證(公司內(nèi)部講師每年不需要重新受訓(xùn)一次)7.3
6、ESD、設(shè)備接地之要求 7.3.1 靜電ESD接地采用2mm*4cm的扁鐵埋入地表面以下0.8m深度,接地極與接地線必須用高溫熔接保證電性連接良好,且用50mm2的電線接出引至廠房各控制區(qū)域,再用6mm2的電線連接至各線體;設(shè)備接地線由三相五線制的保護(hù)地線引出,連接至各區(qū)域線體作為設(shè)備接地使用,起到雙重接地保護(hù)作用。7.3.2 為確保人員的安全性,車間設(shè)備地線必須為獨(dú)立,不可與ESD地線共用。工程部ME組技術(shù)員須每半年對廠區(qū)設(shè)備地進(jìn)行全規(guī)模檢測,用一根6m2電纜線一端牢固接在廠房配電箱主設(shè)備地,一端接在萬用表一端,萬用表另一端接在各線體設(shè)備地末端進(jìn)行檢測,此時(shí)用萬用表“”檔位進(jìn)行測量,測量阻值
7、應(yīng)<4;ESD接地需ME技術(shù)員每半年檢查一次,用一根6m2電纜線一端牢固接在靜電接地主線,一端接在萬用表一端,萬用表的另一端接在各線體ESD接地末端檢測點(diǎn)進(jìn)行檢測,此時(shí)用萬用表“”檔位進(jìn)行測量,測量阻值應(yīng)<10。檢測結(jié)果記錄于接地線點(diǎn)檢記錄表中。7.3.3生產(chǎn)線的ESD、設(shè)備接地末端接地電阻均需小于10,此設(shè)備接地與ESD接地狀況的檢測由使用部門各負(fù)責(zé)人每月自行測量一次,并分別記錄于ESD接地檢測記錄和設(shè)備接地檢測記錄中。7.3.4 為避免ESD/EOS的發(fā)生,所有設(shè)備(AI/RI/SMD,加工成型機(jī)、測試設(shè)備、錫爐、烙鐵電動(dòng)起子等)請一律使用美式或歐式三芯電源插頭,確保設(shè)備工具良
8、好接地,同時(shí),為了確保設(shè)備的接地可靠性與避免EOS的發(fā)生,所有的帶電儀器設(shè)備與電動(dòng)治工具都需連接設(shè)備接地線。7.3.5 所有測試治具(ICT、INT與保護(hù)站)需采用抗靜電材料如電木制成,外加工治具一律用防靜電或抗靜電材料制成,且機(jī)臺需做好接地處理。7.3.6 ESD接地主線尾端需貼ESD共同接地測試點(diǎn)標(biāo)簽見標(biāo)識圖C。7.4 ESD防護(hù)區(qū)域及ESD防護(hù)工作站要求7.4.1 ESD防護(hù)區(qū)域的要求:7.4.1.1 凡是有對半導(dǎo)體材料進(jìn)行存放、加工、組裝、包裝與檢驗(yàn)的區(qū)域均為ESD防護(hù)區(qū)域,包括:IQC、IC倉、AI、HI、T/H段、組裝段與維修站等。7.4.1.2 ESD防護(hù)區(qū)域內(nèi)如有鋪設(shè)導(dǎo)電地板,
9、其接地阻抗需保持在2.5x104/SQ至1.0x106/SQ之間;且需每月對其進(jìn)行清潔及檢測,并落實(shí)填寫記錄于導(dǎo)電地板檢測記錄表上。7.4.1.3 所有人員(包括間接人員、來賓)進(jìn)入鋪設(shè)導(dǎo)電地板之ESD防護(hù)區(qū)時(shí),必須穿靜電鞋,且經(jīng)檢測合格后,方可進(jìn)入。7.4.1.4 所有人員(包括間接人員、來賓)進(jìn)入ESD防護(hù)區(qū)時(shí)應(yīng)依靜電環(huán)點(diǎn)檢說明書自覺點(diǎn)檢,并落實(shí)填寫點(diǎn)檢記錄表。7.4.1.5 為避免檢測儀器不良引起人員誤測,故各部門負(fù)責(zé)人應(yīng)每日對儀器進(jìn)行檢查,使其處于設(shè)備良好狀態(tài)。(如接法是否良好,電量是否足夠)7.4.1.6 所有人員進(jìn)入生產(chǎn)線之ESD管制區(qū)域時(shí)頭發(fā)過肩的人員必須將其放入靜電帽內(nèi),頭發(fā)過
10、腰的人員可將頭發(fā)盤起或放入靜電衣內(nèi),否則嚴(yán)禁進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)。7.4.1.7 所有需穿靜電衣的人員(包括間接人員、廠商及參觀者)在穿靜電衣時(shí)其袖子嚴(yán)禁挽起,靜電衣之扣子或拉鏈必須系好,且所穿的便裝之衣領(lǐng)/衣帽嚴(yán)禁外露。7.4.1.8 靜電衣清洗時(shí)需使用小于30的中性水配合中性洗潔劑輕揉后晾干即可;其標(biāo)準(zhǔn)阻抗值為106109之間;需每月抽檢一次并記錄于靜電衣檢測記錄上。7.4.2 ESD防護(hù)工作站要求:7.4.2.1 ESD防護(hù)工作站指ESD防護(hù)區(qū)域內(nèi)所有具有防靜電功效之工作站。7.4.2.2 ESD安全工作站之靜電環(huán)、靜電桌墊接地方式必須并聯(lián),絕不能串聯(lián)于ESD主線上。且必須接到ESD接地線上,不可
11、夾在設(shè)備接地線或各種被誤認(rèn)為已接地設(shè)備上。7.4.2.3 靜電桌墊需經(jīng)串聯(lián)1M電阻的接地扣接至ESD地,而非設(shè)備地;且接地采用之鱷魚夾與香蕉插頭不能混合使用。 7.4.2.4 防靜電桌墊需每月進(jìn)行點(diǎn)檢一次,貼點(diǎn)檢標(biāo)簽如標(biāo)識圖D,并將檢測結(jié)果記錄于防靜電桌墊點(diǎn)檢記錄中;標(biāo)簽應(yīng)橫向貼在工作臺靠近靜電接地扣處。7.4.2.5 公司所有新購之防靜電輔材(防/抗靜電袋、靜電手腕帶、靜電手套、靜電衣/鞋/帽、導(dǎo)電桌墊、靜電車、靜電盒/箱/框、PCB掛籃、靜電泡棉、靜電毛刷、導(dǎo)電鑷子、防靜電溶劑瓶等)進(jìn)廠或鋪設(shè)時(shí),必須經(jīng)由倉庫ESD人員對來料進(jìn)行抽檢(抽檢比例:樣品數(shù)N<100時(shí),抽檢20%;100N
12、<500時(shí),抽檢10%;N500時(shí),抽檢5%),待檢驗(yàn)合格后,方可導(dǎo)入使用,檢測報(bào)告記錄于防靜電材料來料檢測記錄表中,且所有防靜電材料在使用前由各使用部門負(fù)責(zé)全檢。7.4.2.6 靜電安全工作站30cm以內(nèi)的所有物體、材料表面及人體所帶靜電量(即放電模式)應(yīng)小于100V。7.4.2.7 對于生產(chǎn)線上具有靜電發(fā)生源之工位(如:撕貼膠紙、HI處物料之絕緣包裝盒)等,應(yīng)增設(shè)離子風(fēng)扇有效中和靜電。7.4.2.8 針對已組裝好外殼的成品所進(jìn)行的操作,原則上操作人員不需要佩戴靜電環(huán);但針對個(gè)別使用高靜電物料的工位(如包裝塑料袋等),需要用離子風(fēng)機(jī)對吹,以消除靜電。離子風(fēng)機(jī)每班巡檢一次,結(jié)果記錄于離子
13、風(fēng)扇巡檢記錄表中;領(lǐng)班應(yīng)每周對離子風(fēng)機(jī)平衡電壓進(jìn)行檢測,平衡電壓應(yīng)小于100V,檢測結(jié)果記錄于離子風(fēng)機(jī)平衡電壓測試記錄表中,同時(shí),為保證離子風(fēng)扇使用之可靠性應(yīng)每兩個(gè)月進(jìn)行一次校準(zhǔn),校準(zhǔn)結(jié)果記錄于離子風(fēng)扇校準(zhǔn)記錄表中。7.4.2.9 工作站使用之測試治具、電動(dòng)工具需每班在上班前對其進(jìn)行設(shè)備接地電阻及EOS對地電壓檢測,結(jié)果分別記錄于EOS檢測記錄表及機(jī)器設(shè)備/電動(dòng)治工具接地檢測記錄表中。7.5 工作現(xiàn)場ESD之要求7.5.1 靜電環(huán)佩戴須知7.5.1.1 作業(yè)員在作業(yè)時(shí)必須依MOI要求佩戴靜電環(huán)、靜電手套或靜電手指套,且靜電環(huán)腕帶之金屬片必須與手腕皮膚緊密接觸,不可松脫或套于衣袖上。7.5.1.
14、2 為確保1M電阻之有效性,嚴(yán)禁用力拉扯靜電環(huán)的導(dǎo)線。 7.5.1.3 所有人員(含間接人員、流動(dòng)員)接觸ESD敏感性零組件時(shí)均須佩戴靜電環(huán),且靜電環(huán)須處于接地良好狀態(tài)。7.5.2 所有人員每日上班前應(yīng)主動(dòng)檢測靜電環(huán)/鞋接地狀況,每日點(diǎn)檢兩次,加班需另進(jìn)行點(diǎn)檢一次,點(diǎn)檢完畢后如實(shí)記錄點(diǎn)檢結(jié)果于靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄和靜電鞋點(diǎn)檢記錄上,且由各區(qū)域線長或區(qū)域ESD負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn);如點(diǎn)檢失敗,應(yīng)及時(shí)找線長更換新的靜電環(huán),并重新點(diǎn)檢合格方可上線作業(yè)。7.5.3 使用靜電環(huán)自動(dòng)測試儀的工位,采用自主點(diǎn)檢和線長檢查的方式,自主點(diǎn)檢方法為:不戴靜電環(huán),打開電源開關(guān),此時(shí)測試儀上紅燈亮,蜂鳴器叫;佩戴靜電環(huán)后,只有綠
15、燈亮。以上測試結(jié)果符合,表示靜電環(huán)自動(dòng)測試儀處于良好的實(shí)時(shí)監(jiān)控狀態(tài),人員可靠接地。每日三次(上午、下午、晚上)需要點(diǎn)檢,員工在自主點(diǎn)檢的同時(shí),線長進(jìn)行確認(rèn),并填寫靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄。7.5.4 未使用靜電環(huán)自動(dòng)測試儀的工位,由線長使用靜電環(huán)測試儀器逐工位進(jìn)行點(diǎn)檢,點(diǎn)檢方法為:先將靜電環(huán)測試儀器的接地線接地,讓員工用手觸摸靜電環(huán)測試儀器的金屬面蓋,如綠色燈持續(xù)亮,表示人員可靠接地;其它燈亮表示接地不良。線長對點(diǎn)檢結(jié)果作記錄并填寫靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄。7.5.5 對于操作靜電敏感性零組件之工位除以上點(diǎn)檢外還應(yīng):7.5.5.1 所有ESD敏感零組件,應(yīng)使用防靜電盒/框或防靜電容器盛裝。7.5.5.2 取放ES
16、D敏感零件時(shí),請使用防靜電手套/鑷子進(jìn)行操作;對PCB清潔時(shí)必須使用防靜電刷方可;裝PCB清洗溶劑所使用的容器必須為防靜電容器;以上使用之治工具需每月對其ESD功能進(jìn)行檢測并記錄于ESD治工具點(diǎn)檢記錄。7.5.5.3 防靜電盒/防靜電桌墊等各種ESD材料上必須有ESD點(diǎn)檢標(biāo)簽存在。 7.5.5.4 工作臺上嚴(yán)禁張貼膠帶或防止普通塑料盒、塑料袋等絕緣材料;生產(chǎn)線使用的絕緣廢棄物應(yīng)及時(shí)清掃處理。7.6 ESD敏感性材料之來料檢驗(yàn)、包裝、儲存、運(yùn)輸搬運(yùn)過程中ESD控制要求7.6.1 所有ESD敏感材料或產(chǎn)品在靜電防護(hù)區(qū)域外應(yīng)完好封裝于靜電屏蔽IC管或靜電屏蔽袋內(nèi),不可打開包裝;不能使用易產(chǎn)生靜電和放
17、電的物質(zhì)進(jìn)行包裝和儲存。 7.6.2 ESD敏感器件來料檢驗(yàn)之ESD控制要求:7.6.2.1 檢驗(yàn)靜電敏感器件的人員必須佩戴靜電環(huán),并由組長用靜電環(huán)測試儀器測試,每日三次(上午、下午、晚上加班),并填寫靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄。7.6.2.2 檢驗(yàn)治工具和設(shè)備(電烙鐵、電批等)必須接地,并用萬用表測試其接地電阻及EOS電壓,每日三次(上午、下午、晚上加班),接地電阻要小于10,EOS電壓要小于0.3V, 并填寫EOS檢測記錄表與機(jī)器設(shè)備/電動(dòng)治工具接地檢測記錄表。7.6.2.3 檢驗(yàn)靜電敏感器件如有接觸IC、晶體管及PCB板時(shí)要戴防靜電手套,防止手汗中的有機(jī)物氧化元器件、PCB板等。7.6.3 ESD敏
18、感性材料之包裝過程中ESD控制要求:7.6.3.1 ESD敏感元件的包裝材料應(yīng)為抗靜電或靜電消散材質(zhì),包裝好的ESD敏感材料其靜電盒(袋)應(yīng)處于密封狀態(tài),同時(shí)包裝上應(yīng)有靜電敏感性標(biāo)識。7.6.3.2 拆裝過后的散裝ESD敏感材料需放于密閉的靜電料袋(IC管)內(nèi),不能放于普通塑料容器或保麗龍容器中。7.6.3.3 ESD敏感材料在進(jìn)行包裝時(shí),應(yīng)排列整齊,不能堆積擺放,不允許有產(chǎn)生靜電的材料(泡沫、尼龍、帶狀物等)在包裝袋中。7.6.4 本廠常見的防靜電包裝容器及其要求:7.6.4.1 抗靜電(抗強(qiáng)化液處理)IC管、IC料盤、料盒、零件袋及靜電箱(通常為黑色、銀灰色) 7.6.4.2 靜電屏蔽袋的
19、表面電阻率在1061011/Square之間。7.6.4.3 靜電消散搬運(yùn)箱表面電阻率需在106109/Square之間。7.6.4.4 導(dǎo)電料盒/隔板表面阻抗需在106109/Square之間則有效。 7.6.4.5 導(dǎo)電容器需有靜電防護(hù)標(biāo)簽做有效管控,且需每三個(gè)月進(jìn)行全檢一次,并填寫導(dǎo)電容器檢測記錄。7.6.5 ESD敏感性材料儲存過程中的ESD控制要求:7.6.5.1 存放靜電敏感性材料的倉庫,需用溫濕度計(jì)進(jìn)行監(jiān)控,檢查溫度應(yīng)在5-28度,濕度應(yīng)在40%-75%,每兩小時(shí)記錄一次(8:20-22:20),并填寫庫房溫濕度記錄表。7.6.5.2 公司ESD產(chǎn)品進(jìn)行存放,應(yīng)使用石墨型褐色導(dǎo)電
20、盒/箱/隔板;其有廠商提供之品質(zhì)證明,具有永久性防靜電之功能。 7.6.5.3 存放ESD敏感材料所使用之固定或移動(dòng)的物料架須具備良好接地(如:使用接地鏈或?qū)щ娸啠?.6.5.4 對與晶體管、IC等具有ESD敏感之電子零件均需作好ESD防護(hù)動(dòng)作(如擺放時(shí)的物料架鋪設(shè)防靜電桌墊)。7.6.6 ESD敏感性材料運(yùn)輸搬運(yùn)過程中ESD控制要求:7.6.6.1 靜電敏感性材料的運(yùn)輸,必須使用用防靜電包裝袋或防靜電料盒盛裝,防靜電料盒必須每季度點(diǎn)檢一次, 使用表面阻抗測試儀,表面阻抗為106109,點(diǎn)檢結(jié)果記錄在標(biāo)簽上并粘貼在對應(yīng)的料盒上,并填寫導(dǎo)電容器檢測記錄。7.6.6.2 所有ESD敏感材料或產(chǎn)品必
21、須用防靜電(導(dǎo)電)車來運(yùn)送。7.6.6.3 導(dǎo)電車接地阻抗正常在106109/ SQ之間,需每月檢測一次貼上點(diǎn)檢標(biāo)簽并記錄于<到電車檢測記錄表或須有廠商提供材質(zhì)的有效性證明,以作時(shí)間管制。 7.6.6.4 推車上之產(chǎn)品盡可能不要重疊放置,如需重疊放置時(shí),層與層之間須使用靜電隔板隔開。7.6.6.5 推車進(jìn)入非ESD區(qū)域進(jìn)行產(chǎn)品零件的運(yùn)輸時(shí),需使用靜電防護(hù)罩(袋)做屏蔽。7.6.7 在使用普通紙箱包裝、儲存、運(yùn)輸搬運(yùn)ESD敏感性材料時(shí),箱內(nèi)需設(shè)置防靜電防護(hù)(如鋪設(shè)抗靜電袋、靜電泡棉及靜電隔板)。 7.6.8 所有人員在發(fā)料、點(diǎn)料、配料、包裝及取放ESD敏感性材料時(shí)均須佩戴靜電環(huán)并確保良好接
22、地;在使用修理料時(shí)ESD敏感性材料應(yīng)放于抗靜電料盒內(nèi)。7.7 標(biāo)識7.7.1 靜電警示標(biāo)簽說明:7.7.1.1 圖A為靜電敏感標(biāo)識(ESD Susceptibility Symbol),主要用于ESD敏感元件之外包裝及ESD敏感區(qū)。7.7.1.2 圖B為靜電防護(hù)標(biāo)識(ESD Protective Symbol),用于靜電安全區(qū)域或ESD安全工作站。7.7.1.3 圖C為ESD共同接地測試點(diǎn)(ESD Common Ground Point Symbol),用于ESD接地線末端。7.7.1.4 圖D為ESD點(diǎn)檢標(biāo)簽,使用作為各種ESD材料檢測標(biāo)識;標(biāo)簽日期的填寫格式需均為:XX年XX月XX日,標(biāo)簽
23、統(tǒng)一為淺藍(lán)色底紙制作,并貼于ESD材料之顯眼處。7.7.1.5 圖E為靜電敏感區(qū)標(biāo)識(ESD Susceptible Area Symbol),主要用于全廠各ESD敏感區(qū)域。7.7.2 ESD注意標(biāo)識應(yīng)明確標(biāo)識于ESD防護(hù)區(qū)及工作站告知所有進(jìn)入人員;一般視力下標(biāo)識應(yīng)在1米內(nèi)可讀見。7.7.3 在ESD敏感性零組件作業(yè)工位上,其防靜電零件盒和防靜電盒/板、晶體元件之料盒及MOI上都應(yīng)由靜電敏感性標(biāo)識。7.8 各種元器件的靜電敏感度(以人體模型HBM為例)7.9 稽核7.9.1 每月內(nèi)部稽核7.9.1.1 稽核小組分別由AI、生產(chǎn)部、工程維修、售后、IC倉庫、質(zhì)量部&IQC與DQA各派一員組成,且ESD稽核人員須經(jīng)培訓(xùn)考核并有ESD稽核經(jīng)驗(yàn)。7.9.1.2 稽核時(shí)依據(jù)稽核計(jì)劃進(jìn)行,稽核項(xiàng)目依ESD內(nèi)部稽核查檢表為參考依據(jù)。7.9.1.3 對稽核不符合項(xiàng)目由ESD Team發(fā)出稽核不符合項(xiàng)目報(bào)告,請各責(zé)任部門及時(shí)提出整改措施,最后由部門ESD負(fù)責(zé)人報(bào)告,存檔保存。7.9.2 對ESD稽核過程中發(fā)現(xiàn)因人為因素違反ESD規(guī)定者,將按員工獎(jiǎng)懲管理辦法對其責(zé)任人進(jìn)行處罰。7.10 ESD規(guī)劃項(xiàng)目種 類檢測周期檢測責(zé)任人標(biāo)準(zhǔn)范圍1靜電環(huán)每天所有人員萬用表測靜電環(huán)內(nèi)阻:1.0M±10%人體綜合測試儀: 750K10M2靜電鞋每天所有人員750K35M3離子風(fēng)機(jī)巡檢
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