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1、 電荷耦合器件,又稱電荷耦合器件,又稱CCDCCD圖象傳感器,是一種大圖象傳感器,是一種大規(guī)模集成電路光電器件電荷耦合器件。具有光電轉(zhuǎn)規(guī)模集成電路光電器件電荷耦合器件。具有光電轉(zhuǎn)換,信息存儲(chǔ)、延時(shí)、傳輸、處理等功能。換,信息存儲(chǔ)、延時(shí)、傳輸、處理等功能。 特點(diǎn):集成度高、尺寸小、電壓低(特點(diǎn):集成度高、尺寸小、電壓低(DC7DC712V12V)、)、功耗小。功耗小。 該技術(shù)的發(fā)展促進(jìn)了各種視頻裝置的普及和微型該技術(shù)的發(fā)展促進(jìn)了各種視頻裝置的普及和微型化,應(yīng)用遍及航天、遙感、天文、通訊、工業(yè)、農(nóng)化,應(yīng)用遍及航天、遙感、天文、通訊、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、軍用等各個(gè)領(lǐng)域。業(yè)、軍用等各個(gè)領(lǐng)域?;诨贑CDCC

2、D光電耦器件的輸入光電耦器件的輸入設(shè)備:數(shù)字?jǐn)z像機(jī)、數(shù)字相設(shè)備:數(shù)字?jǐn)z像機(jī)、數(shù)字相機(jī)、平板掃描儀、指紋機(jī)機(jī)、平板掃描儀、指紋機(jī)圖象傳感器發(fā)展趨勢(shì) CCD CCD基本結(jié)構(gòu)分兩部分:基本結(jié)構(gòu)分兩部分: MOSMOS(金屬(金屬氧化物氧化物半導(dǎo)體)半導(dǎo)體) 光敏元陣列;光敏元陣列; 讀出移位寄存器。讀出移位寄存器。電荷耦合器件是在半導(dǎo)體硅片上電荷耦合器件是在半導(dǎo)體硅片上制作成百上千(萬(wàn))個(gè)光敏元,制作成百上千(萬(wàn))個(gè)光敏元,一個(gè)光敏元又稱一個(gè)像素,在半一個(gè)光敏元又稱一個(gè)像素,在半導(dǎo)體硅平面上光敏元按線陣或面導(dǎo)體硅平面上光敏元按線陣或面陣有規(guī)則地排列。陣有規(guī)則地排列。CCDCCD結(jié)構(gòu)示意圖結(jié)構(gòu)示意圖

3、顯微鏡下的MOS元表面v 電荷存儲(chǔ)原理:電荷存儲(chǔ)原理:當(dāng)金屬電極上加正電壓時(shí),由于電場(chǎng)作用,電極下當(dāng)金屬電極上加正電壓時(shí),由于電場(chǎng)作用,電極下P P型硅區(qū)里空穴被排斥入地成耗盡區(qū)。對(duì)電子而言,型硅區(qū)里空穴被排斥入地成耗盡區(qū)。對(duì)電子而言,是一勢(shì)能很低的區(qū)域,稱是一勢(shì)能很低的區(qū)域,稱“勢(shì)阱勢(shì)阱”。有光線入射到硅。有光線入射到硅片上時(shí),光子作用下產(chǎn)生片上時(shí),光子作用下產(chǎn)生電子電子空穴對(duì),空穴被電空穴對(duì),空穴被電場(chǎng)作用排斥出耗盡區(qū),而場(chǎng)作用排斥出耗盡區(qū),而電子被附近勢(shì)阱(俘獲),電子被附近勢(shì)阱(俘獲),此時(shí)勢(shì)阱內(nèi)吸的光子數(shù)與此時(shí)勢(shì)阱內(nèi)吸的光子數(shù)與光強(qiáng)度成正比。光強(qiáng)度成正比。一個(gè)一個(gè)MOSMOS光敏元結(jié)

4、構(gòu)光敏元結(jié)構(gòu) 一個(gè)一個(gè)MOSMOS結(jié)構(gòu)元為結(jié)構(gòu)元為MOSMOS光敏元光敏元或或一個(gè)一個(gè)像素像素,把一個(gè)勢(shì)阱所收集的光生電子稱為一個(gè)把一個(gè)勢(shì)阱所收集的光生電子稱為一個(gè)電荷包;電荷包; CCDCCD器件內(nèi)是在硅片上制作成百上千的器件內(nèi)是在硅片上制作成百上千的MOSMOS元,元,每個(gè)金屬電極加電壓,就形成成百上千個(gè)勢(shì)阱;每個(gè)金屬電極加電壓,就形成成百上千個(gè)勢(shì)阱; 如果照射在這些光敏元上是一幅明暗起伏的圖象,如果照射在這些光敏元上是一幅明暗起伏的圖象,那么這些光敏元就感生出一幅與光照度響應(yīng)的光生那么這些光敏元就感生出一幅與光照度響應(yīng)的光生電荷圖象。電荷圖象。這就是電荷耦合器件的光電物理效應(yīng)基本原理。這

5、就是電荷耦合器件的光電物理效應(yīng)基本原理。26526518018013313390906666454533332222分辨率不同的圖象比較分辨率不同的圖象比較在在MOS電容金屬電極上,加以脈沖電壓,排斥掉半電容金屬電極上,加以脈沖電壓,排斥掉半導(dǎo)體襯底內(nèi)的多數(shù)載流子,形成導(dǎo)體襯底內(nèi)的多數(shù)載流子,形成“勢(shì)阱勢(shì)阱”的運(yùn)動(dòng),的運(yùn)動(dòng),進(jìn)而達(dá)到信號(hào)電荷(少數(shù)載流子)的轉(zhuǎn)移。進(jìn)而達(dá)到信號(hào)電荷(少數(shù)載流子)的轉(zhuǎn)移。 圖像傳感器:轉(zhuǎn)移的信號(hào)電荷是由光像照射產(chǎn)生;圖像傳感器:轉(zhuǎn)移的信號(hào)電荷是由光像照射產(chǎn)生;若所轉(zhuǎn)移的電荷通過(guò)外界諸如方式得到,則其可以若所轉(zhuǎn)移的電荷通過(guò)外界諸如方式得到,則其可以具備延時(shí)、信號(hào)處理、

6、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)以及邏輯運(yùn)算等功具備延時(shí)、信號(hào)處理、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)以及邏輯運(yùn)算等功能。能。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回光電耦合器演示的形成勢(shì)阱4.3.1 電荷耦合器件的結(jié)構(gòu)和工作原理電荷耦合器件的結(jié)構(gòu)和工作原理4.3.2 CCD圖像傳感器圖像傳感器4.3.3 圖像傳感器的應(yīng)用圖像傳感器的應(yīng)用上一頁(yè)下一頁(yè)返 回lCCD是一種半導(dǎo)體器件是一種半導(dǎo)體器件 圖圖4.3.1 MOS電容的結(jié)構(gòu)電容的結(jié)構(gòu)1金屬電極金屬電極 2絕緣層絕緣層SiO2上一頁(yè)下一頁(yè)返 回Ec導(dǎo)帶底能量導(dǎo)帶底能量Ei禁帶中央能級(jí)禁帶中央能級(jí)Ef費(fèi)米能級(jí)費(fèi)米能級(jí)Ev價(jià)帶頂能量?jī)r(jià)帶頂能量 平帶條件:平帶條件:當(dāng)當(dāng)MOS電容的極板上無(wú)外加電壓時(shí),在理想情況下,半

7、導(dǎo)體從電容的極板上無(wú)外加電壓時(shí),在理想情況下,半導(dǎo)體從體內(nèi)到表面處是電中性的,因而能帶體內(nèi)到表面處是電中性的,因而能帶(代表電子的能量代表電子的能量)從表面到從表面到內(nèi)部是平的。內(nèi)部是平的。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回(a)柵壓柵壓UG較小時(shí),較小時(shí),MOS電容器處于耗盡狀態(tài)。電容器處于耗盡狀態(tài)。 (b)柵壓柵壓UG增大到開(kāi)啟電壓增大到開(kāi)啟電壓 Uth時(shí)時(shí) ,半導(dǎo)體表面的費(fèi)米能級(jí)半導(dǎo)體表面的費(fèi)米能級(jí) 高于禁帶中央能極高于禁帶中央能極, 半導(dǎo)體表面上的電子層稱為反型層。半導(dǎo)體表面上的電子層稱為反型層。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回l當(dāng)當(dāng)MOS電容器柵壓大于開(kāi)啟電壓電容器柵壓大于開(kāi)啟電壓UG,周?chē)娮友杆俚兀車(chē)?/p>

8、子迅速地聚集到電極下的半導(dǎo)體表面處,形成對(duì)于電子的勢(shì)阱。聚集到電極下的半導(dǎo)體表面處,形成對(duì)于電子的勢(shì)阱。 勢(shì)阱:深耗盡條件下的表面勢(shì)。勢(shì)阱:深耗盡條件下的表面勢(shì)。勢(shì)阱填滿:電子在半導(dǎo)體表面堆積后使平面勢(shì)下降。勢(shì)阱填滿:電子在半導(dǎo)體表面堆積后使平面勢(shì)下降。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回lCCD的基本功能是存儲(chǔ)與轉(zhuǎn)移信息電荷的基本功能是存儲(chǔ)與轉(zhuǎn)移信息電荷l為實(shí)現(xiàn)信號(hào)電荷的轉(zhuǎn)換為實(shí)現(xiàn)信號(hào)電荷的轉(zhuǎn)換: 1、必須使、必須使MOS電容陣列的排列足夠緊密,以致相電容陣列的排列足夠緊密,以致相鄰鄰MOS電容的勢(shì)阱相互溝通,即相互耦合。電容的勢(shì)阱相互溝通,即相互耦合。2、控制相鄰、控制相鄰MOS電容柵極電壓高低來(lái)調(diào)節(jié)勢(shì)阱

9、深電容柵極電壓高低來(lái)調(diào)節(jié)勢(shì)阱深淺,使信號(hào)電荷由勢(shì)阱淺的地方流向勢(shì)阱深處。淺,使信號(hào)電荷由勢(shì)阱淺的地方流向勢(shì)阱深處。3、在、在CCD中電荷的轉(zhuǎn)移必須按照確定的方向。中電荷的轉(zhuǎn)移必須按照確定的方向。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回l在在CCD的的MOS陣列上劃分成以幾個(gè)相鄰陣列上劃分成以幾個(gè)相鄰MOS電荷為電荷為一單元的無(wú)限循環(huán)結(jié)構(gòu)。每一單元稱為一位,將每一單元的無(wú)限循環(huán)結(jié)構(gòu)。每一單元稱為一位,將每位中對(duì)應(yīng)位置上的電容柵極分別連到各自共同電極上,位中對(duì)應(yīng)位置上的電容柵極分別連到各自共同電極上,此共同電極稱相線。此共同電極稱相線。一位一位CCD中含的電容個(gè)數(shù)即為中含的電容個(gè)數(shù)即為CCD的相數(shù)。每相電極的相數(shù)。每

10、相電極連接的電容個(gè)數(shù)一般來(lái)說(shuō)即為連接的電容個(gè)數(shù)一般來(lái)說(shuō)即為CCD的位數(shù)。的位數(shù)。通常通常CCD有二相、三相、四相等幾種結(jié)構(gòu),它們所施有二相、三相、四相等幾種結(jié)構(gòu),它們所施加的時(shí)鐘脈沖也分別為二相、三相、四相。加的時(shí)鐘脈沖也分別為二相、三相、四相。當(dāng)這種時(shí)序脈沖加到當(dāng)這種時(shí)序脈沖加到CCD的無(wú)限循環(huán)結(jié)構(gòu)上時(shí),將實(shí)的無(wú)限循環(huán)結(jié)構(gòu)上時(shí),將實(shí)現(xiàn)信號(hào)電荷的定向轉(zhuǎn)移?,F(xiàn)信號(hào)電荷的定向轉(zhuǎn)移。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回三相三相CCD信息電荷傳輸原理圖信息電荷傳輸原理圖 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 電荷轉(zhuǎn)移原理(讀出移位寄存器)電荷轉(zhuǎn)移原理(讀出移位寄存器) 光敏元上的電荷需要經(jīng)過(guò)電路進(jìn)行輸出,光敏元上的電荷需要經(jīng)過(guò)電路進(jìn)行

11、輸出,CCDCCD電荷電荷 耦合器件是以電荷為信號(hào)而不是電壓電流。耦合器件是以電荷為信號(hào)而不是電壓電流。 讀出移位寄存器也是讀出移位寄存器也是MOSMOS結(jié)構(gòu),由金屬電極、氧化結(jié)構(gòu),由金屬電極、氧化 物、半導(dǎo)體三部分組成。物、半導(dǎo)體三部分組成。 它與它與MOSMOS光敏元的區(qū)別在于,半導(dǎo)體底部覆蓋了一光敏元的區(qū)別在于,半導(dǎo)體底部覆蓋了一 層遮光層,防止外來(lái)光線干擾。層遮光層,防止外來(lái)光線干擾。 由三個(gè)十分鄰近的電極組成一個(gè)耦合單元;由三個(gè)十分鄰近的電極組成一個(gè)耦合單元; 在三個(gè)電極上分別施加脈沖波三相時(shí)鐘脈沖在三個(gè)電極上分別施加脈沖波三相時(shí)鐘脈沖 123123。 當(dāng)當(dāng)t = t1t = t1時(shí)

12、刻,時(shí)刻,11電極下出現(xiàn)勢(shì)阱存入光電荷電極下出現(xiàn)勢(shì)阱存入光電荷當(dāng)當(dāng)t = t2t = t2時(shí)刻,兩個(gè)勢(shì)阱形成大的勢(shì)阱存入光電荷。時(shí)刻,兩個(gè)勢(shì)阱形成大的勢(shì)阱存入光電荷。當(dāng)當(dāng)t = t3t = t3時(shí)刻,時(shí)刻,11中電荷全部轉(zhuǎn)移至中電荷全部轉(zhuǎn)移至22。當(dāng)當(dāng)t = t4t = t4時(shí)刻,時(shí)刻,22中電荷向中電荷向33勢(shì)阱轉(zhuǎn)移。勢(shì)阱轉(zhuǎn)移。當(dāng)當(dāng)t = t5t = t5時(shí)刻,時(shí)刻,33中電荷向下一個(gè)中電荷向下一個(gè)11勢(shì)阱轉(zhuǎn)移勢(shì)阱轉(zhuǎn)移。 讀出移位寄存器三相時(shí)鐘脈沖讀出移位寄存器三相時(shí)鐘脈沖 CCD在用作信號(hào)處在用作信號(hào)處理或存儲(chǔ)器件時(shí),理或存儲(chǔ)器件時(shí),電荷輸入采用電注電荷輸入采用電注入。入。 CCD通過(guò)輸入

13、通過(guò)輸入結(jié)構(gòu)對(duì)信號(hào)電壓或結(jié)構(gòu)對(duì)信號(hào)電壓或電流進(jìn)行采樣,將電流進(jìn)行采樣,將信號(hào)電壓或電流轉(zhuǎn)信號(hào)電壓或電流轉(zhuǎn)換為信號(hào)電荷。換為信號(hào)電荷。 l 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回光信號(hào)注入光信號(hào)注入 CCD用作固態(tài)圖像傳感器時(shí), 接收的是光信號(hào), 即光信號(hào)注入法。當(dāng)光信號(hào)照射到CCD硅片表面時(shí), 在柵極附近的半導(dǎo)體體內(nèi)產(chǎn)生電子-空穴對(duì), 其多數(shù)載流子(空穴)被排斥進(jìn)入襯底, 而少數(shù)載流子(電子)則被收集在勢(shì)阱中, 形成信號(hào)電荷, 并存儲(chǔ)起來(lái)。存儲(chǔ)電荷的多少正比于照射的光強(qiáng)背面光注人(a) 選通電荷積分輸出電路選通電荷積分輸出電路 (b) 驅(qū)動(dòng)時(shí)鐘波形和輸出波形驅(qū)動(dòng)時(shí)鐘波形和輸出波形CCD的信號(hào)輸出結(jié)構(gòu)的信號(hào)輸出結(jié)構(gòu)

14、 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回l利用利用CCD的光電轉(zhuǎn)移和電荷轉(zhuǎn)移的雙重功能,的光電轉(zhuǎn)移和電荷轉(zhuǎn)移的雙重功能,得到幅度與各光生電荷包成正比的電脈沖序列,得到幅度與各光生電荷包成正比的電脈沖序列,從而將照射在從而將照射在CCD上的光學(xué)圖像轉(zhuǎn)移成了電信上的光學(xué)圖像轉(zhuǎn)移成了電信號(hào)號(hào)“圖像圖像”。l由于由于CCD能實(shí)現(xiàn)低噪聲的電荷轉(zhuǎn)移,并且所有能實(shí)現(xiàn)低噪聲的電荷轉(zhuǎn)移,并且所有光生電荷都通過(guò)一個(gè)輸出電路檢測(cè),且具有良光生電荷都通過(guò)一個(gè)輸出電路檢測(cè),且具有良好的好的致性,因此,對(duì)圖像的傳感具有優(yōu)越的致性,因此,對(duì)圖像的傳感具有優(yōu)越的性能。性能。lCCD圖像傳感器有圖像傳感器有線列和面陣線列和面陣上一頁(yè)下一頁(yè)返 回1

15、CCD轉(zhuǎn)移寄存器轉(zhuǎn)移寄存器 2轉(zhuǎn)移控制柵轉(zhuǎn)移控制柵 3積蓄控制電極積蓄控制電極 4PD陣列陣列 SH轉(zhuǎn)移控制柵輸入端轉(zhuǎn)移控制柵輸入端 RS復(fù)位控制復(fù)位控制 VOD漏極輸出漏極輸出 OS圖像信號(hào)輸出圖像信號(hào)輸出 OG輸出控制柵輸出控制柵線型圖像傳感器結(jié)構(gòu)線型圖像傳感器結(jié)構(gòu)上一頁(yè)下一頁(yè)返 回(a)x-y 選址選址 (b)行選址行選址 (c)幀場(chǎng)傳輸式幀場(chǎng)傳輸式 (d)行間傳輸式行間傳輸式上一頁(yè)下一頁(yè)返 回(a)x-y 選址選址 (b)行選址行選址 (c)幀場(chǎng)傳輸式幀場(chǎng)傳輸式 (d)行間傳輸式行間傳輸式光電耦合器演示 對(duì)不同型號(hào)的對(duì)不同型號(hào)的CCDCCD器件而言,其工作機(jī)理是相同器件而言,其工作機(jī)理

16、是相同的。的。 不同型號(hào)的不同型號(hào)的CCDCCD器件具有完全不同的外型結(jié)構(gòu)和器件具有完全不同的外型結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)時(shí)序,在實(shí)際使用時(shí)必須加以注意。驅(qū)動(dòng)時(shí)序,在實(shí)際使用時(shí)必須加以注意。 我們可以通過(guò)器件供貨商或直接向生產(chǎn)廠家索我們可以通過(guò)器件供貨商或直接向生產(chǎn)廠家索取相關(guān)資料,為取相關(guān)資料,為CCDCCD器件的應(yīng)用提供技術(shù)支持。器件的應(yīng)用提供技術(shù)支持。 CCDCCD產(chǎn)品產(chǎn)品以以TCD142DTCD142D型型CCDCCD為例做簡(jiǎn)單介紹,其它型號(hào)的器件為例做簡(jiǎn)單介紹,其它型號(hào)的器件大同小異。大同小異。TCD142DTCD142D是一種具有是一種具有20482048位像元的兩相線陣位像元的兩相線陣CCDC

17、CD器件,器件,TCD142DTCD142D有有2222個(gè)引腳,其中個(gè)引腳,其中1212個(gè)是空腳;個(gè)是空腳;1A1A、2A2A、1B1B、2B2B 均為時(shí)鐘端,均為時(shí)鐘端,SHSH為轉(zhuǎn)移柵,為轉(zhuǎn)移柵, RSRS為復(fù)位柵,為復(fù)位柵,OSOS為信號(hào)輸為信號(hào)輸 出端,出端,DOSDOS為補(bǔ)償輸出端,為補(bǔ)償輸出端, SSSS為地,為地,NCNC空閑??臻e。TCD142DTCD142D引腳引腳 TCD142D TCD142D的驅(qū)動(dòng)電路可分為兩部分:的驅(qū)動(dòng)電路可分為兩部分: 一部分是脈沖產(chǎn)生電路;一部分是脈沖產(chǎn)生電路; 另一部分是驅(qū)動(dòng)電路。另一部分是驅(qū)動(dòng)電路。脈沖電路產(chǎn)生脈沖電路產(chǎn)生HSHS、11、22、

18、RSRS四路脈沖四路脈沖 由非門(mén)及晶體振蕩器構(gòu)成的晶體振蕩電路輸出頻由非門(mén)及晶體振蕩器構(gòu)成的晶體振蕩電路輸出頻率為率為4MHz4MHz的方波;的方波;經(jīng)經(jīng)JKJK觸發(fā)器分頻,得到頻率為觸發(fā)器分頻,得到頻率為2MHz2MHz的方波,將的方波,將4MHz4MHz與與2MHz2MHz脈沖相與,形成脈沖相與,形成RSRS脈沖。脈沖。將將RSRS經(jīng)經(jīng)JKJK觸發(fā)器分頻,產(chǎn)生頻率為觸發(fā)器分頻,產(chǎn)生頻率為1MHz1MHz的的11脈沖,脈沖,11脈沖送入分頻器;脈沖送入分頻器;經(jīng)譯碼電路產(chǎn)生轉(zhuǎn)移脈沖經(jīng)譯碼電路產(chǎn)生轉(zhuǎn)移脈沖SHSH,并且使,并且使SHSH周周期期TSHTSH1061s1061s;將將SHSH和和

19、11相與產(chǎn)生相與產(chǎn)生2,1=22,1=2,至此,就,至此,就產(chǎn)生了四路脈沖。產(chǎn)生了四路脈沖。將這四路脈沖經(jīng)反相器反相,再經(jīng)阻容加加速將這四路脈沖經(jīng)反相器反相,再經(jīng)阻容加加速電路送至電路送至H0026H0026驅(qū)動(dòng)器,放大至一定量以后驅(qū)動(dòng)器,放大至一定量以后用以驅(qū)動(dòng)用以驅(qū)動(dòng)TCD142DTCD142D。 CCDCCD傳感器應(yīng)用時(shí)是將不同光源與透鏡、鏡頭、光導(dǎo)傳感器應(yīng)用時(shí)是將不同光源與透鏡、鏡頭、光導(dǎo)纖維、濾光鏡及反射鏡等各種光學(xué)元件結(jié)合,主纖維、濾光鏡及反射鏡等各種光學(xué)元件結(jié)合,主要用來(lái)裝配輕型攝像機(jī)、攝像頭、工業(yè)監(jiān)視器。要用來(lái)裝配輕型攝像機(jī)、攝像頭、工業(yè)監(jiān)視器。CCDCCD應(yīng)用技術(shù)是光、機(jī)、電

20、和計(jì)算機(jī)相結(jié)合的高新技應(yīng)用技術(shù)是光、機(jī)、電和計(jì)算機(jī)相結(jié)合的高新技術(shù),作為一種非常有效的非接觸檢測(cè)方法,術(shù),作為一種非常有效的非接觸檢測(cè)方法,CCDCCD被廣泛用于再線檢測(cè)尺寸、位移、速度、定位和被廣泛用于再線檢測(cè)尺寸、位移、速度、定位和自動(dòng)調(diào)焦等方面。自動(dòng)調(diào)焦等方面。利用利用CCDCCD測(cè)量幾何量,測(cè)量幾何量,CCDCCD誕生后,首先在工業(yè)檢測(cè)誕生后,首先在工業(yè)檢測(cè)中制成測(cè)量長(zhǎng)度的光電傳感器,物體通過(guò)物鏡在中制成測(cè)量長(zhǎng)度的光電傳感器,物體通過(guò)物鏡在CCDCCD光敏元上造成影像,光敏元上造成影像,CCDCCD輸出的脈沖表征測(cè)量輸出的脈沖表征測(cè)量工件的尺寸或缺陷;工件的尺寸或缺陷;用于傳真技術(shù),文

21、字、圖象識(shí)別。例如用用于傳真技術(shù),文字、圖象識(shí)別。例如用CCDCCD識(shí)別集識(shí)別集成電路焊點(diǎn)圖案,代替光點(diǎn)穿孔機(jī)的作用;成電路焊點(diǎn)圖案,代替光點(diǎn)穿孔機(jī)的作用;自動(dòng)流水線裝置,機(jī)床、自動(dòng)售貨機(jī)、自動(dòng)監(jiān)視裝自動(dòng)流水線裝置,機(jī)床、自動(dòng)售貨機(jī)、自動(dòng)監(jiān)視裝置、指紋機(jī);置、指紋機(jī);CCDCCD固態(tài)圖像傳感器作為攝像機(jī)或像敏器件,固態(tài)圖像傳感器作為攝像機(jī)或像敏器件,取代攝像裝置的光學(xué)掃描系統(tǒng)(電子束掃描),取代攝像裝置的光學(xué)掃描系統(tǒng)(電子束掃描),與其它攝像器件相比,尺寸小、價(jià)廉、工作電與其它攝像器件相比,尺寸小、價(jià)廉、工作電壓低、功耗小,且不需要高壓壓低、功耗小,且不需要高壓; ;作為機(jī)器人視覺(jué)系統(tǒng);作為機(jī)

22、器人視覺(jué)系統(tǒng);M2AM2A攝影膠囊(攝影膠囊(Mouth anusMouth anus), ,由發(fā)光二極管做由發(fā)光二極管做光源,光源,CCDCCD做攝像機(jī),每秒鐘兩次快門(mén),信號(hào)做攝像機(jī),每秒鐘兩次快門(mén),信號(hào)發(fā)射到存儲(chǔ)器,存儲(chǔ)器取下后接入計(jì)算機(jī)將圖發(fā)射到存儲(chǔ)器,存儲(chǔ)器取下后接入計(jì)算機(jī)將圖像進(jìn)行下載。像進(jìn)行下載。 測(cè)量拉絲過(guò)程中絲的線徑、軋鋼的直徑、機(jī)械加工測(cè)量拉絲過(guò)程中絲的線徑、軋鋼的直徑、機(jī)械加工的軸類或桿類的直徑等等,這里以玻璃管直徑與壁的軸類或桿類的直徑等等,這里以玻璃管直徑與壁厚的測(cè)量為例。厚的測(cè)量為例。玻璃管玻璃管CCDCCD視頻信號(hào)視頻信號(hào)測(cè)量原理測(cè)量原理: : 在熒光燈的玻璃管生產(chǎn)

23、過(guò)程中,總是需要不斷測(cè)在熒光燈的玻璃管生產(chǎn)過(guò)程中,總是需要不斷測(cè)量玻璃管的外圓直徑及壁厚,并根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果對(duì)生量玻璃管的外圓直徑及壁厚,并根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行調(diào)整,以便提高產(chǎn)品質(zhì)量。產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行調(diào)整,以便提高產(chǎn)品質(zhì)量。 玻璃管的平均外徑玻璃管的平均外徑12mm,12mm,壁厚壁厚1.2mm,1.2mm,要求測(cè)量要求測(cè)量精度為外徑精度為外徑0.1mm,0.1mm,壁厚壁厚0.05mm0.05mm。利用。利用CCDCCD配合配合適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)系統(tǒng),對(duì)玻璃管相關(guān)尺寸進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)系統(tǒng),對(duì)玻璃管相關(guān)尺寸進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè), 用平行光照射玻璃管,成像物鏡將尺寸影像投影用平行光照射玻璃管,成像物鏡將尺寸

24、影像投影在在CCDCCD光敏像元陣列面上。光敏像元陣列面上。 由于玻璃管的透射率分布的不同,玻璃管成像由于玻璃管的透射率分布的不同,玻璃管成像的兩條暗帶最外邊界距離為玻璃管外徑大小,中間的兩條暗帶最外邊界距離為玻璃管外徑大小,中間亮帶反映了玻璃管內(nèi)徑大小,而暗帶則是玻璃管的亮帶反映了玻璃管內(nèi)徑大小,而暗帶則是玻璃管的壁厚像。壁厚像。 成像物鏡的放大倍率為成像物鏡的放大倍率為,CCDCCD相元尺寸為相元尺寸為t t,上壁厚、下壁厚分別為上壁厚、下壁厚分別為n1n1、n2 n2 ,外徑尺寸的脈沖,外徑尺寸的脈沖數(shù)(即像元個(gè)數(shù))為數(shù)(即像元個(gè)數(shù))為N N,測(cè)量結(jié)果有:,測(cè)量結(jié)果有: 1122/dnt

25、dn tDN t 分別為上壁厚、分別為上壁厚、下壁厚,外徑尺寸。下壁厚,外徑尺寸。 1d2dD實(shí)例實(shí)例2 2: 實(shí)例實(shí)例3 3: 1尺寸測(cè)量尺寸測(cè)量2 用于光學(xué)文字識(shí)別裝置用于光學(xué)文字識(shí)別裝置上一頁(yè)下一頁(yè)返 回被測(cè)對(duì)象長(zhǎng)度被測(cè)對(duì)象長(zhǎng)度LpnfanpML) 1(1pnllL21l1 視場(chǎng)視場(chǎng)l2傳感器的長(zhǎng)度傳感器的長(zhǎng)度上一頁(yè)下一頁(yè)返 回光學(xué)文字識(shí)別裝置光學(xué)文字識(shí)別裝置(OCR)原理原理 上一頁(yè)返 回電荷轉(zhuǎn)移原理(讀出移位寄存器)電荷轉(zhuǎn)移原理(讀出移位寄存器)讀出移位寄存器結(jié)讀出移位寄存器結(jié)構(gòu)構(gòu) 電荷轉(zhuǎn)移原理電荷轉(zhuǎn)移原理 這一傳輸過(guò)程依次下去,信號(hào)電荷按設(shè)計(jì)好的這一傳輸過(guò)程依次下去,信號(hào)電荷按設(shè)計(jì)

26、好的方向,在時(shí)鐘脈沖控制下從寄存器的一端轉(zhuǎn)移到方向,在時(shí)鐘脈沖控制下從寄存器的一端轉(zhuǎn)移到另一端。另一端。 這樣一個(gè)傳輸過(guò)程,實(shí)際上是一個(gè)這樣一個(gè)傳輸過(guò)程,實(shí)際上是一個(gè)電荷耦合過(guò)電荷耦合過(guò)程程,所以稱電荷耦合器件,擔(dān)任電荷傳輸?shù)膯卧苑Q電荷耦合器件,擔(dān)任電荷傳輸?shù)膯卧Q移位寄存器稱移位寄存器。CCDCCD信號(hào)電荷的輸出的方式主要有信號(hào)電荷的輸出的方式主要有電流輸出、電壓輸出電流輸出、電壓輸出兩種兩種, ,以電壓輸出型為例:以電壓輸出型為例: 有浮置擴(kuò)散放大器(有浮置擴(kuò)散放大器(FDAFDA)、浮置柵放大器()、浮置柵放大器(FGAFGA) 由浮置擴(kuò)散區(qū)收集的信號(hào)電荷來(lái)控制放大管由浮置擴(kuò)散區(qū)收集的信號(hào)電荷來(lái)控制放大管VT2VT2的柵的柵極電位:極電位:/outFDUQ C式中,式中,F(xiàn)DC為浮置擴(kuò)散節(jié)點(diǎn)上的總電容為浮置擴(kuò)散節(jié)點(diǎn)上的總電容。 輸出信號(hào)電壓為輸出信號(hào)電壓為 :1mLoutmLgRUUgR 式中,式中,mg為為MOSMOS管管VT1VT1柵極與柵極與源極之間的跨源極之間的跨導(dǎo)導(dǎo)。 復(fù)位管復(fù)位管VT1VT1導(dǎo)通,導(dǎo)通,VT2VT2的溝道抽走浮置擴(kuò)散區(qū)的剩余電的溝道抽走浮置擴(kuò)散區(qū)的剩余電荷,直到下一個(gè)時(shí)鐘周期信號(hào)到來(lái)如此循環(huán)下去荷,直到下一個(gè)時(shí)鐘周期信號(hào)到來(lái)如此循環(huán)下去。 單單溝道溝道CCDCCD驅(qū)驅(qū)動(dòng)動(dòng)

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