車間ESD防靜電控制程序

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上1/51.目的: 對公司電子產(chǎn)品制造工藝進行防靜電保護，減少或消除靜電放電對產(chǎn)品的損傷，提高客戶的滿意度。2.範圍:本文中的各項要求適用于防靜電敏感區(qū)域；當客戶的產(chǎn)品有特殊要求時，采用客戶要求。3. 職能分工 4.1 生產(chǎn)部門指導ESD設備、設施的主要設置項目做維護、點檢。 4.2 各制程操作人員每天對工作臺面的接地線是否連接良好做點檢。 4.3 IPQC負責依據(jù)車間ESD稽核檢查表進行ESD點檢稽核。4.4 各職能部門負責按ESD控制文件要求實施。4.0 參考文件 ESD控制國際標準5. 術(shù)語： 靜電放電(ESD) 當帶電體周圍的場強超過周圍介質(zhì)的絕緣擊穿

2、場強時,因介質(zhì)產(chǎn)生電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。靜電敏感元器（SSD ）凡對靜電敏感的電子元器件一般稱為靜電敏感元器件或簡稱SSD。靜電保護材料具有以下一種或多種能力的材料,被稱作靜電保護材料:限制產(chǎn)生靜電,迅速耗散材料表面或體積上的靜電荷,屏蔽靜電放電、火花放電、靜電場。靜電保護材料根據(jù)其表面電阻率的大小(或?qū)щ娦?分為導電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料. 人體靜電人體由于自身行動或與其它的帶電物體相接觸或相接近而在人體上產(chǎn)生并積聚的靜電。 人體電阻人的體內(nèi)電阻與皮膚電阻之總和?？轨o電材料表面電阻率大于109 、小于或等于 1014的靜電放電保護材料。

3、60;防靜電服為了防止人體和衣物的靜電積聚,用防靜電織物為衣料而縫制的工作服。防靜電鞋具有良好的導電性能,因此可在盡可能短的時間內(nèi)消除人體靜電積聚,但不能防止因偶然觸及工頻電(220V以下)而導致人體遭受電擊的鞋類。防靜電工作區(qū)為保障靜電敏感器件(SSD)免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設備建立和裝備起來的區(qū)域,通常有明顯的防靜電警示標志。進入防靜電工作區(qū)域的人員,必須嚴格遵循防靜電作業(yè)規(guī)范。人體靜電防護系統(tǒng) 人體靜電防護系統(tǒng)主要由防靜電工作服、腕帶、鞋襪、帽、手套或指套等組成。這種整體的防護系統(tǒng)兼具有靜電泄露、中和與屏蔽的功能。2/56.0程序說明 6.1 ESD保護由設計來源

4、或零件供應商提供組件及產(chǎn)品之防護等級。范圍涉及采購、收料、儲存、運送、制程、測試及可靠性實驗。生產(chǎn)部門匯總ESD防護要求，相關(guān)環(huán)節(jié)必須嚴格按ESD控制要求規(guī)范作業(yè)。 6.2 采購ESD 控制 6.2.1依據(jù)規(guī)定，物料采購按零件承認書對SSD組件采購時，須在采購單注明ESD防護要求；其它ESD防護器材采購時，須按測試工程師制定的標準進行采購。 6.2.2 須向經(jīng)認可的ESD產(chǎn)品供貨商采購，并保持最新的ESD認可供應商清單。 6.2.3 要求供貨商提供合乎規(guī)格之包裝、標示及正確的發(fā)票。 6.3 收貨部門防ESD控制 6.3.1 依據(jù)采購訂單，對ESD零件進行清點驗收，檢查是否有外包裝或(及)發(fā)票確

5、認為ESD組件。 6.3.2 ESD組件與非SSD應分區(qū)堆放，并做顯著標示。 6.3.3 檢查ESD組件的包裝與標示是否正確。6.3.4 開啟ESD組件包裝的區(qū)域應配置適當?shù)腅SD防護設備，如防靜電桌墊，ESD手環(huán)等。6.3.5 ESD防護器材收貨時除數(shù)量正確外，還應對其ESD防護等級用專用的儀表進行檢測，確定進貨靜電防護等級與標準是否相符，禁止不合格ESD防護產(chǎn)品進入工廠。 6.4 進料檢驗(IQC)的ESD控制6.4.1 IQC需依零件承認書上之要求進行檢驗，確認靜電防護及標示是否正確。6.4.2 IQC在做檢驗時要求在靜電防護良好的區(qū)域(工作場所)進行，須有ESD手環(huán)，ESD工作衣、手套

6、、防靜電桌墊，工作桌須接靜電地。 6.4.3 檢驗員需對不當標示或不當包裝的組件，依不合格品處理程序執(zhí)行。 6.4.4 檢驗員對防靜電袋、靜電桌面、靜電手套、周轉(zhuǎn)車、料箱、料盒等防靜電材料需按要求對其進行靜電檢測，并如實在防靜電材料IQC檢驗記錄表中記錄好檢測數(shù)據(jù)，如檢測到不良即依不合格品處理程序執(zhí)行。6.5 零件材料儲存,暫存部門的ESD控制 6.5.1 在倉庫存放SSD須在存放區(qū)加以標示清楚。 6.5.2 存放架要接地處理。 6.5.3 不可在存放區(qū)直接拆開組件包裝，直接接觸組件須在有良好的靜電防護下方可接觸組件。 6.5.4 在存放區(qū)搬運SSD須使用專用工具(防靜電車)，并使包裝完整。

7、6.5.5 物料周轉(zhuǎn)區(qū)須嚴格按材料存放區(qū)ESD控制規(guī)范進行作業(yè)。 6.5.6 對磁帶/磁盤及其它軟件或資料儲存的媒體，應裝在防靜電的包裝袋內(nèi)，并存放有明顯標志且有良好接地的料架或柜內(nèi)，取放時應佩戴好接地良好的防靜電環(huán)。 6.6 物料運送ESD控制:6.6.1 對SSD須使用專用防護工具運送。 6.6.2 搬運人員須戴防靜電手套、防靜電腳環(huán)，穿防靜電衣、鞋等。 6.6.3 運送過程中須有正確ESD包裝。 6.6.4 依據(jù)物料運送規(guī)范，不得使SSD材料相互碰撞、摩擦、堆棧。 6.7 制造過程中的ESD控制: 6.7.1 SSD加工區(qū)域，作業(yè)員須穿好防靜電衣、防靜電鞋，戴好靜電帽，戴好防靜電手環(huán)，并

8、確保防靜電手環(huán)可靠接地；未做好靜電防護者不能接觸SSD；工作臺鋪防靜電桌墊，靜電接地良好，作業(yè)中正確使用防靜電各種工具。(如ESD電烙鐵，靜電排除裝置等)。6.7.2 對SSD加工中若須離開原包裝，操作人員須做靜電防護，戴好接地良好靜電手環(huán)并于加工后放回原包裝或其它防靜電容器內(nèi)。6.7.3 SSD在組裝中，依據(jù)工程師作業(yè)指導書進行特殊防護及使用其規(guī)定工具，并定期點檢其有效性。3/56.7.4 制程工作人員所使用的靜電環(huán)和防靜電鞋均需每天二次用“人體靜電綜合測試儀”加以測試，確認功能正常，并作好記錄。6.7.5 定期對操作員工進行使用ESD工具、設施及取用SSD程序的完整訓練，并作記錄。 6.7

9、.6 每個工作臺須有ESD防護料件(如袋、乳棉海綿、箱等)。 6.7.7 所有進入車間人員，必須經(jīng)過ESD靜電鞋測試儀測試人體綜合阻值，通過方可進入，否則一律不準進入“ESD無塵車間”，生產(chǎn)作業(yè)人員每天上班測二次防靜電鞋，以確定防靜電鞋的有效性，并做好記錄； 6.7.8 做好每日的日常點檢工作,并將點檢情況記錄在靜電卡扣線及靜電線末端點檢表中。6.8 IPQC稽核：6.8.1 IPQC須協(xié)助生產(chǎn)單位檢查作業(yè)員靜電防護措施是否正確及抽測各防靜電設施是否正常；6.8.2 IPQC依車間ESD稽核檢查表進行ESD點檢稽核，并記錄好數(shù)據(jù);6.8.3 IPQC每日上班前監(jiān)督員工進行靜電鞋和靜電手腕帶的測

10、試. 6.9 生產(chǎn)測試及測試工程須使用ESD工作臺。 6.9.1 清除測試區(qū)內(nèi)靜電源。 6.9.2 定期檢查ESD設施，保證有效性。 6.9.3 SSD組件傳送至下一個工作區(qū)時，設有防護袋裝。 6.9.4 當施加工作電壓時，設備接地應良好。6.10 品管部ESD控制 6.10.1 定期審核各部門是否依照ESD控制程序進行作業(yè)，定期進行ESD點檢并做好記錄。6.10.2 定期審核供貨商是否符合ESD規(guī)定。6.10.3 ESD工作須經(jīng)QA檢驗確認。 6.10.4 定期審核ESD訓練計劃，工程圖是否有正確的ESD警告條文或警告。 6.11 ESD控制:6.11.1 定期檢查及測試ESD設備設施是否完

11、好、性能及可靠性,并將檢測數(shù)據(jù)準確填寫至車間ESD電阻電壓點檢表中。 6.11.2 須測試SSD組件，以對它們的ESD敏感度進行分類。 6.11.3 負責所有ESD測試項目之SOP及相關(guān)記錄表單的編寫。 6.12 ESD點檢 6.12.1 點檢條件: 全部點檢均在生產(chǎn)場地內(nèi)進行，環(huán)境溫度20-28， 相對濕度30%-65%。6.12.2 點檢儀器：表面阻抗測量儀。 6.12.3 點檢項目&周期: 成品的要在 6.12.3.1 防靜電地板表面電阻 (次/月) 6.12.3.2防靜鞋與人體綜合阻值 (2次/天) 6.12.3.3 ESD工作臺(臺墊)靜電電阻 (次/月)6.12.3.4 防

12、靜電母線接地電阻 (次/月)6.12.3.5 貨架靜電電阻 (次/月)6.12.3.6 料車臺面對車輪電阻 (次/月)6.12.3.7 周轉(zhuǎn)箱，零件料盒表面電阻 (次/月)6.12.3.8 工作服(工作帽，手套)表面電阻 (次/月，抽查)6.12.3.9 流水線傳送帶表面電阻 (次/月)6.12.3.10 防靜電手環(huán)連接電阻 (次/天)抽查項目抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查10個點，不合格率高于0%提出不良改善方案，抽查結(jié)果須做好記錄，填寫相應表單。6.12.4點檢方法4/56.12.4.1表面電阻測試時，對每車間靜電地板不得少于五點，接地電阻、傳送帶不得少于三點，周轉(zhuǎn)箱不少于三只，靜電鞋

13、不少于三雙，靜電衣不少于10件，工作臺不少于三張。6.12.4.2該點檢方法根據(jù)中華人民共和國電子行業(yè)標準(SJ/T10694-2006)電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法所制定。 6.13 ESD表面電阻測試&接地電阻測試 6.13.1 測試條件:全部測試均在場地內(nèi)進行，環(huán)境溫度20 - 28，相對濕度30% -65%。 6.13.2 測試儀器:采用表面阻抗測量儀，6.13.3 測試技術(shù)指標見6.15 6.13.4 測試項目 6.13.4.1 防靜電地板 (次/月) 6.13.4.1.1 在鋪設地面上隨機選定測試點。 6.13.4.1.2 測試地面對地級母線電阻。 6.13.4.1.3

14、測試地面表面電阻。6.13.4.1.4 測試步驟:測試時，將電極和被測物表面清潔，在電極下面加 一層濕濾紙墊，將正極接于被測物，負極接地，按下按鈕，讀出并記錄測量值。6.14.4.2 工作臺 (次/月) 隨機選定測試點，不少于三張工作臺。 6.14.4.2.1測試工作臺面表面電阻。 6.14.4.2.2測試工作臺面對手環(huán)插孔電阻。 6.14.4.2.3測試工作臺對地系統(tǒng)電阻。6.14.4.3綜合項目 6.14.4.3.1 測試鞋底體積電阻。 6.14.4.3.2 測試工位器具及物流傳遞器具 6.14.4.3.3 測試容器表面電阻。 6.14.4.3.4 測試手環(huán)。 6.14.4.3.5測試手環(huán)連接電纜系統(tǒng)電阻。6.14.4.3.6測試防靜電鞋和人體綜合電阻。6.14.4.4本測試規(guī)范依據(jù)中華人民共和國電子工業(yè)部SJ/T 10694-2006標準，以及An American National Standard Approved August ANSI/ESD S20.20-2014標準制定。6.15 ESD相關(guān)測試技術(shù)指標6.15.1 流水線防靜電輸送皮帶、工作臺墊