激光干涉儀線性測量操作規(guī)程

1、激光干涉儀線性測量操作規(guī)程激光干涉儀線性測量操作規(guī)程一、本規(guī)程適用范圍：適用于專職從事激光干涉儀的測量工作。二、作業(yè)前的準(zhǔn)備：1、熟悉激光干涉儀的正確操作步驟。2、檢查激光干涉儀機箱中的各個部件、相關(guān)配套裝置和所需工具是否齊全。3、檢查供給電源是否為220v,防止缺項、短路的情況發(fā)生。4、測量前，必須先將機床的參數(shù)數(shù)據(jù)等備份，最好能在硬盤上備份 一份，在移動設(shè)備上備用一份，以防丟失。嚴禁對未備份的機床 進行補償。二、操作規(guī)程：1、 三腳架安裝：將三腳架（見圖一）從箱中取出，三條支撐腿撐開，中間一節(jié)拉出、旋緊，放在被測元素前方平整位置，如地面不平，將地面進行處 理；如果地面很光滑，則需要用粗糙的

2、麻布墊在三腳架的下面。 用鑰 匙打開儀器箱，從機箱中取出云臺自鎖螺母旋到三腳架上。圖一：三腳架2、XL-80激光頭的安裝、調(diào)整: 、用右手拇指與其余四指分開，正確抓住XL-80激光頭（見圖二）， 左手配合將激光頭和云臺從機箱中取出，左手將云臺下方自鎖手柄推 到松開位置后，置于三腳架的云臺（見圖三）自鎖螺母上，慢慢轉(zhuǎn)動 激光頭，使自鎖手柄與云臺自鎖螺母正確結(jié)合， 鎖緊手柄自鎖。要求:圖三：云臺激光頭射出的光束應(yīng)與被測元素相對運動方向平行或一致。圖二：XL-80激光頭 、釋放云臺所有旋緊螺釘，使云臺各方向行程處于中間位置，鎖緊。 、從機箱中拿出微型水平儀（見圖四），置于激光頭中間位置，通過三腳架調(diào)

3、節(jié)激光頭的整體水平。圖四:微水平儀5、預(yù)熱激光頭：從機箱中取出激光頭電源線和一條 XL-XC USB電纜組件數(shù)據(jù) 線，將其正確插入相應(yīng)接口，電源插頭插入電源，數(shù)據(jù)線另一端口插 入電腦USB接口。打開電源開關(guān)，激光頭進入預(yù)熱狀態(tài)。將激光頭 的光閘旋轉(zhuǎn)到找正光源狀態(tài)位置。 激光頭發(fā)射出激光束，但此時的激 光束是頻閃不穩(wěn)定狀態(tài)。6、安裝補償單元： 、從箱中取出強磁力吸盤（見圖五），將其安裝在被測元素固定 部位處（安裝時注意安全，防止吸盤磁力夾手）。圖五：強磁力吸盤 、取出材料溫度傳感器（M ）（見圖六）和空氣溫度傳感器（A（見圖七）圖六：材料溫度傳感器圖七：空氣溫度傳感器 、將材料溫度傳感器（M ）

4、帶有傳感器一端通過永磁體固定到被測元素的被測材料上，另一端接口通過 XC-80補償器（見圖八）的第二、第三或第四個接口與 XC-80補償器相連接，接 口插孔一定要正確對正再慢慢旋入。圖八：補償器和兩個溫度傳感器 、將空氣溫度傳感器（A）帶有傳感器一端通過永磁體固定到被測元素固定表面上，另一端接口與 XC-80補償器的第一個接 口（標(biāo)志為？）相連接，接口插孔一定要正確對正再慢慢旋入。 、XC-80補償器正確卡入在強磁力吸盤上 、取出另一條XL-XC USB電纜組件數(shù)據(jù)線（見圖九）正確連接到XC-80補償器和電腦USB接口上。電纜組件數(shù)據(jù)線圖十：永磁體座圖九：電纜組件數(shù)據(jù)線7、安裝光學(xué)鏡組件： 、

5、從箱中取出兩塊永磁體座（見圖十）和三個連接桿（見圖一）將連接桿分成兩組分別旋在兩塊永磁體座上，用加力桿旋緊，備用。圖十一：連接桿 、將一永磁體座固定在被測元素相對主體運動部分的適合位置上， 另一永磁體座固定在被測元素相對主體靜止部分的適合位置上。要 求：相對主體運動部件永磁體座在相對主體靜止部件永磁體座與激光 頭之間的位置，并且一定靠近對主體靜止部分的最近位置處。 、取出線性干涉鏡（見圖十二）、參考反射鏡（見圖十三）和干涉 鏡固定架（見圖十四），待激光頭發(fā)出激光后，將其正確組合后固定 在被測元素相對主體運動部分永磁體座的連接桿上，高度是激光頭發(fā) 射的激光剛好從中心穿過的高度。要求：1、干涉鏡箭

6、頭方向就是激 光行進方向，一定正確組合干涉鏡組。 2、干涉鏡的一條邊棱與永磁 體座盡量平行或垂直，這將為后面進行找正光源做好基礎(chǔ)。圖十二：干涉鏡圖十三：反射鏡圖十四：固定架 、箱中取出線性反射鏡（見圖十三）及反射鏡固定架（見圖十四） 將其正確組合后固定在被測元素相對主體靜止部分永磁體座的連接 桿上，高度是反射鏡中心剛好能夠反射激光的位置高度。要求：1、線性反射鏡箭頭方向就是激光行進方向，一定正確組合線性反射鏡 組。2、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直，這將為后 面進行找正光源做好基礎(chǔ)。6、找正光源 、被測元素位置確認。確認被測元素相對主體運動部分上面的線性 干涉鏡組距離被測元素相對主

7、體靜止部分上面的反射鏡組最近。 、反射鏡組的反射光源找正。輕微移動固定有反射鏡組的永磁體座， 使激光束進入反射鏡組后正確返回到激光頭接收位置點上。 、找正干涉鏡的干涉后光源。將固定有干涉鏡的永磁體座加入上步 調(diào)整好的激光束中使其產(chǎn)生干涉行為，輕輕移動永磁體座使干涉后的 激光束正確返回激光頭接收位置點上（此時干涉鏡與光束平行的邊棱 應(yīng)與干涉鏡的其中一個邊棱平行或垂直），找正光源第一步完成。 、遠離反射鏡組最大位置的光源找正。移動被測元素相對主體運動 部件遠離裝有反射鏡組相對主體靜止部件達到最遠處。用長度計量儀 器測量相對距離并記錄數(shù)據(jù)，為下一步測量做好基礎(chǔ)。根據(jù)該激光干 涉儀使用中“遠調(diào)激光，近

8、調(diào)鏡組”對光原則，觀察測量光束與參考 光束的不重合實際，采取相應(yīng)方法進行調(diào)整：兩束光束偏離較遠時調(diào) 整激光頭使其盡可能的重合到一起， 如達不到重合效果效果，再進一 步將干涉鏡組或反射鏡組沿著三維空間中與激光束垂直平面內(nèi)的兩 個方向進行移動，直至測量光束與參考光束重合并射入激光頭接收位置點上。（著重：此關(guān)鍵按步驟中，該儀器所配置的云臺和升降三腳 架起到關(guān)鍵作用，通過靈活運用云臺的左右移動、微動旋轉(zhuǎn)、俯仰及 三腳架的升降功能可以很快的調(diào)節(jié)找正光束。） 、測試行程中任意位置的光源找正。移動被測元素相對主體運動部 件返回到達中間處任一位置。觀察測量光束與參考光束是否重合并射 入激光頭接收位置點上。如未

9、重合，按照條款中光束找正方法進行 找正。 、校正測試行程內(nèi)的光源。先將激光頭的鏡頭旋轉(zhuǎn)至正常采集的工作位置。再次移動被測元素相對主體運動部件返回到反射鏡組最近、最遠和任意位置處進行光源校正。如果不是最好效果（激 光頭前部上方處五個LED燈全部亮起綠燈即為最好效果），請再 次按照項目步驟重新進行光源找正。 如果效果良好，即可進 行下一步的數(shù)據(jù)測量、采集工作。7、數(shù)據(jù)測量、采集、分析、輸出。 、設(shè)置測量參數(shù)。打開計算機，進入系統(tǒng)桌面。鼠標(biāo)左鍵單擊開始 按鈕進入“所有程序”菜單，找到程序中“ Renishaw LaserXL ”文 件夾，點擊“線性測長”文件進入測量軟件界面。點擊“等距定義目 標(biāo)&q

10、uot;按鈕螢!，在彈出對話框中設(shè)置相應(yīng)參數(shù)后進入數(shù)據(jù)自動采集 界面等待數(shù)據(jù)米集。 、數(shù)據(jù)采集。若被測元素通過系統(tǒng)控制，將該軟件自動生成的程序 修改后存入被測要素的系統(tǒng)，按照程序試運行，確認無誤后同測量程 序配合進行數(shù)據(jù)采集。 、數(shù)據(jù)分析。采集程序完成采集后，自動形成被測要素數(shù)據(jù)采集圖 表并分析各種誤差、位置精度和重復(fù)位置精度等數(shù)據(jù)，最后形成報告 以一個統(tǒng)一的格式存儲。如需打印連接打印機便可打印出紙質(zhì)報告。 、完成測試后的工作。測試完成后，應(yīng)先將激光頭電源關(guān)掉，關(guān)閉電腦。撤掉所有連線以防止收集儀器時產(chǎn)生絆線導(dǎo)致儀器跌落。撤線時手中拿一棉布，將棉布從一端包起，兩手輪換將線整齊收起的同時 將線擦拭

11、干凈，放入儀器箱中規(guī)定位置。收激光頭貴重組件時，先將 激光頭的鏡頭轉(zhuǎn)向關(guān)閉位置。用右手拇指與其余四指分開，正確抓住XL-80激光頭，左手配合打開三角架上的自鎖手柄將激光頭和云臺從 三角架上取下，放入儀器箱中固定位置。收集所有使用的各個部件恢 復(fù)原狀態(tài)后放入儀器箱中固定位置。認真清點核對儀器箱中的所有組 件及附件。確認無誤后關(guān)閉儀器箱并落鎖。&注意事項： 、激光頭預(yù)熱時間會根據(jù)氣溫的變化而變化，但總體時間不會超過15分鐘，因此在測量數(shù)據(jù)前一定要保證在激光波長穩(wěn)定后進行，如 需等待，請執(zhí)行。如果等待時間超過 15分鐘，聯(lián)系售后服務(wù)部門檢 修。 、切勿將傳感器放置在計算機磁盤或磁帶或任何可能被傳感器磁場 損壞的物體附近。 、安裝儀器時，請勿長時間使激光束射入眼睛，激光束會對眼睛造 成傷害。 、儀器開箱前，應(yīng)將儀器箱平放在地上，嚴禁手提或懷抱著儀器開 箱，以免儀器在開箱時儀