激光干涉儀檢測(cè)與調(diào)整過(guò)程講解

1、激光干涉儀檢測(cè)與調(diào)整過(guò)程7.1檢測(cè)前工作7.1.1檢測(cè)前應(yīng)該設(shè)置什么參數(shù)、檢測(cè)程序怎么生成？一、目標(biāo)位置：當(dāng)選擇目標(biāo)位置以進(jìn)行機(jī)床軸的校準(zhǔn)時(shí)，目標(biāo)位置通常應(yīng)橫跨該軸的工作區(qū)域。下面我們以目標(biāo)為從 0到450MM并使間隔為30MM為間距如圖所示：在軟件中如下設(shè)置目標(biāo)：選擇目標(biāo)點(diǎn)中的等距定義目標(biāo)，如下圖所示ZJ也丸幻<cl3接著彈出如圖2的窗口接著我們?cè)趦?nèi)部設(shè)置數(shù)據(jù)如圖三所示至U這里的時(shí)候我們將目標(biāo)點(diǎn)設(shè)置完畢，接下來(lái)我們要上生成。二、生成檢測(cè)程序：激光干涉儀在檢測(cè)的時(shí)候時(shí)按照我們?cè)诘谝徊皆O(shè)定的目標(biāo)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)的，即從0到450MM每30MM為一個(gè)點(diǎn)，因此機(jī)床在運(yùn)動(dòng)的時(shí)候必須和軟件設(shè)置的一致，所 以

2、我們必須生成檢測(cè)程序。程序的生成方法圖下：選擇定義工具欄下的零件程序下的產(chǎn)生按鍵，如下圖所示：軟件根塊 機(jī)床逍訊 打印窗口 簾助越工具欄另件程序觀看 輛輯 軟盤(pán)拷貝 搖收文件.在彈出的窗口中輸入文件名， 并且選擇程的序存放路徑按保存，會(huì)彈出下圖:REnisliaw程序號(hào)遠(yuǎn)行諛?lè)骍的幻百莒周期越趕另坤程號(hào)尖型珀才式定 |Alien EradleyBoschCincinnatiFanuc廣 Fanuc 0廠 Heidenhain r NOTr Si cm his 8r Siemens 800廣 Okum a廠 Dynapath廣 Vickers F Cus t OAA2L00廠 Mitsubish

3、i廣 Mazak圖1t圖2在圖1中需要我們選擇的為：數(shù)控系統(tǒng)的型號(hào)。我們針對(duì)我們當(dāng)前檢測(cè)機(jī)床的數(shù)控系統(tǒng)型號(hào)作正確的選擇，接著彈出圖2的窗口，這個(gè)窗口要求我們填寫(xiě)與程序相關(guān)的數(shù)據(jù)，我們?nèi)缦聢D所示填寫(xiě)：- 5 -程序號(hào)：0001軸名為：Y 運(yùn)行次數(shù)為：3 選擇方向?yàn)椋弘p向暫停周期為：4秒 越程為：4.0000毫米零件程序類型：線性 進(jìn)給量：1500 ;軸方式為：普通名詞解釋：程序號(hào)：該程序的序號(hào)軸名：待校準(zhǔn)軸的名稱 這里記住是大寫(xiě)運(yùn)行次數(shù)：我們希望該程序運(yùn)行多少次選擇方向：在軸上行走的方向時(shí)一來(lái)一回的間隔點(diǎn)還是只去這樣走回時(shí)不走暫停周期：等待軟件記錄數(shù)據(jù)的時(shí)間，這里要根據(jù)電腦的性能作調(diào)整 越程：這

4、里是為了消除方向間隙而設(shè)置的，一般選擇默認(rèn)，也可以自行設(shè)置零件程序類型：選擇運(yùn)行的方式，因?yàn)槲覀兪亲咧本€的所以我們選擇線性 進(jìn)給量：機(jī)床運(yùn)動(dòng)的速度到這里的時(shí)候我們已經(jīng)完成了程序的生成,我們使用文本格式打開(kāi)文件可以看到程序如下:(PGM, NAME="0001")G01 Y-060.000:G71 G94G04 F4.(MSG, "RENISHAW ERRORG01 Y-090.000COMPENSATION")G04 F4.G90 F1500G01 Y-120.000COUNT=0G04 F4.RUNS=3G01 Y-150.000(DO)G04 F4.

5、G01 Y004.000G01 Y-180.000G04 F1.G04 F4.G01 Y000.000G01 Y-210.000G04 F4.G04 F4.G04 F4.G01 Y-240.000G01 Y-030.000G04 F4.G04 F4.第頁(yè)G01 Y-270.000第二頁(yè)G04 F4.G01 Y-270.000G01 Y-300.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-240.000G01 Y-330.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-210.000G01 Y-360.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-180.000G01 Y-390.000G04

6、F4.G04 F4.G01 Y-150.000G01 Y-420.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-120.000G01 Y-450.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-090.000G01 Y-454.000G04 F4.G04 F1.G01 Y-060.000G01 Y-450.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-030.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-420.000G01 Y000.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-390.000COUNT=(COUNT+1)G04 F4.G01 Y-360.000G04 F4.G01 Y-330

7、.000G04 F4.G01 Y-300.000G04 F4.第三頁(yè)(LOOP WHILE COUNT < RUNS)M02第四頁(yè)這個(gè)程序是適用于三菱系統(tǒng)的，但這樣的程序在沒(méi)有支持宏程序的系統(tǒng)中不定能用得上，所以我們統(tǒng)一使用以下修改過(guò)的程序作為標(biāo)準(zhǔn):G90 G54 G01 Y004.000 F1500G04 X4.G04 X1.G01 Y-360.000G01 Y000.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-390.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-030.000G01 Y-420.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-060.000G01 Y-450.000

8、G04 X4.G04 X4.G01 Y-090.000G01 Y-454.000G04 X4.G04 X1.G01 Y-120.000G01 Y-450.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-150.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-420.000G01 Y-180.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-390.000G01 Y-210.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-360.000G01 Y-240.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-330.000G01 Y-270.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-300.000G01 Y-

9、300.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-270.000G01 Y-330.000第一頁(yè)G04 X4.第二頁(yè)G01 Y-240.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-090.000G01 Y-210.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-060.000G01 Y-180.000G04 X4.G04 X4.G01 Y-030.000G01 Y-150.000G04 X4.G04 X4.G01 Y000.000G01 Y-120.000G04 X4.第三頁(yè)M99第四頁(yè)這樣的格式在操作上可能麻煩點(diǎn)，就是等軟件已經(jīng)檢測(cè)完三次以后自行停止機(jī)床，但它在系統(tǒng)中的適應(yīng)度比較強(qiáng)。到這

10、里，我們已經(jīng)可以將程序輸入系統(tǒng)中了，下一步為開(kāi)始檢測(cè)。7.1.2開(kāi)始檢測(cè)數(shù)據(jù)時(shí)該做些什么?F面時(shí)開(kāi)始檢測(cè)數(shù)據(jù)時(shí)的操作:定位方式測(cè)呈次數(shù)1998J選捧方向|o. 0坤迄|標(biāo)題信息取消i在軟件中選擇采集數(shù)據(jù)選項(xiàng)下的開(kāi)始如圖1:采集數(shù)據(jù)在彈出的窗口中我們只須設(shè)定測(cè)量次數(shù)為3即可，接著會(huì)彈出另一個(gè)窗口如F圖這里我們只須修改停止周期為4.00越程為4.00即可，其實(shí)默認(rèn)也沒(méi)問(wèn)題。隨后我們會(huì)發(fā)祥軟件右下腳改變成數(shù)據(jù)記錄畫(huà)面：- 10 -Iflbsrzl越It%*TN4flT !l-zlllILMUDIIIn.nn 的 n征 M整f.dTmomoqapply Inriv-aticiirk1F5-30. MQ

11、OQOI-5Q. WODCflK-J-90. (XXMOOJi-J-L20, (WflOO：-?-L50. C-ViDDC1(-J-IlBO. OOOflOO3(-)-23 o. ooooqoTTTrm 期 J? JJ 打 J1釆黑辦丟I接下來(lái)的工作就是用單步的形式運(yùn)行檢測(cè)程序,單程序運(yùn)行到G01 Y000.000（清零），之后則自動(dòng)開(kāi)始檢測(cè)。- 11 -7.2如何分析測(cè)得的數(shù)據(jù)？程序會(huì)自動(dòng)檢測(cè)和記錄數(shù)據(jù)，檢測(cè)完畢后我們的任務(wù)是分析數(shù)據(jù)，下圖是我 們檢測(cè)Y軸得到的數(shù)據(jù)圖：- 12 -沉器窯際：珀：崇刑丹 :q*!15;4k9 肛7 11 2006文件名.123. KTLX誌:窖：取向首先我們先

12、介紹一下數(shù)據(jù)分析軟件各按鈕的功能:打開(kāi)一個(gè)文件進(jìn)行分析。- # - # -打印出選中的分析圖。- # -個(gè)文件，如在復(fù)制一個(gè)選中的分析圖或數(shù)據(jù)表頁(yè)，將它粘貼入另Microsoft Word內(nèi)創(chuàng)建的文本報(bào)告。繪制圖按鈕用分析菜單選中的類型顯示一個(gè)分析圖副件。-若按下單一 /多重繪制圖按鈕，您可以顯示一個(gè)以上的分析圖副本，如您可以同時(shí)顯示一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)ISO 230-2 1997分析圖以及一個(gè)ISO230-2 1997 三聯(lián)體繪制圖。按下時(shí)，會(huì)激活鼠標(biāo)的“抓取最靠近的目標(biāo)”光標(biāo)功能。讓您設(shè)定X和Y軸的顯示單位 類型。讓您設(shè)定X軸和Y軸的刻度值。這些都是縮放按鈕，可用來(lái)設(shè)定顯示選中繪制圖的放大倍數(shù)。-會(huì)顯

13、示一個(gè)幫助窗口，其中包含本Reni shaw LaserlO校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶手冊(cè)的信息庫(kù)。退出分析軟件。數(shù)據(jù)分析軟件位于 Reni shaw LaserlO 文件夾中我們分析速據(jù)的時(shí)候在軟件中的操作如下：先打開(kāi)保存好的數(shù)據(jù)文件，之后選擇菜單欄上的數(shù)據(jù)分析如下圖所示：，定義工具攔 配置樂(lè)統(tǒng) 窗口 幫助150 230-2 1997分析曲線ISO 230-2 1997統(tǒng)計(jì)毅表ISO 230'2 1997三合曲耀GB/T 17421.2_2000 析曲縫GB/T 1721.2_20Da*S 計(jì)數(shù)義<SB/T 17*21.2_2口（三合曲tftrqri 利n-7 血二心駅 Pint-繪斯有數(shù)曙

14、曲線FIE卩原始救據(jù) 砸選幾次對(duì)堆雜團(tuán) n印或觀亙誤差表*誤差補(bǔ)償昭表 打印環(huán)Wfi之后我們選擇速據(jù)分析欄下的誤差補(bǔ)償圖標(biāo)，如上圖所示，接著會(huì)彈出一個(gè) 窗口如下圖：名詞解釋圖表型選擇：各點(diǎn)的補(bǔ)償值以什么形式出現(xiàn)補(bǔ)償類型選擇：這個(gè)是根據(jù)數(shù)控系統(tǒng)自身的情況定的 補(bǔ)償分辨率：最小數(shù)值顯示到多少位正負(fù)符號(hào)轉(zhuǎn)換：選擇顯示的為補(bǔ)差值還是誤差值參考點(diǎn)位置：我們作為參考點(diǎn)的位置離開(kāi)始點(diǎn)多遠(yuǎn)補(bǔ)償起點(diǎn)：從什么地方開(kāi)始補(bǔ)償補(bǔ)償終點(diǎn)：補(bǔ)償?shù)慕K止點(diǎn)補(bǔ)償間隔：這個(gè)和我們的移動(dòng)間隔是一致的我們這里將這里的數(shù)據(jù)設(shè)置為: 圖表型選擇：各自補(bǔ)償補(bǔ)償類型選擇：絕對(duì)補(bǔ)償 補(bǔ)償分辨率：1正負(fù)符號(hào)轉(zhuǎn)換：誤差值參考點(diǎn)位置：0補(bǔ)償起點(diǎn)：0補(bǔ)

15、償終點(diǎn)：-450補(bǔ)償間隔：30標(biāo)亦中卜償爭(zhēng)電型:沁償分辨率正伊符號(hào)特?fù)Q*-)斷肴點(diǎn)位宣補(bǔ)償起點(diǎn) 補(bǔ)償坨點(diǎn)、 樸償|司高之后點(diǎn)擊繪制誤差補(bǔ)差表得如下圖文件名:123. RTL正反方向分項(xiàng)圖表 維對(duì)值1徴米卞卜懐值-300. 0000 蠱米-300. QOQO 盍米C. COOO 立米30. 0000 宅米樸償散佰- 15 - # -I 23456 7 0901-3on. noon -270.OOCO -240.0000 -210.0000 -180.0000 -150.OOCQ -120.OOOO -90.00U0 -60.0000 -30.COCO 0. OOOO機(jī)(1O2S043230501

16、11112 2-2jlU機(jī)<19SG22S93449lil 11112 2 02-r2T- # - # -八、給數(shù)控系統(tǒng)設(shè)置檢測(cè)得到得數(shù)據(jù)本次使用得機(jī)床為三菱系統(tǒng)。第八章、認(rèn)識(shí)螺距誤差參數(shù)由于不同類型的數(shù)控系統(tǒng)都有自己獨(dú)特的地方，所以我在調(diào)試之前必須對(duì)該系統(tǒng)的螺距誤差的相關(guān)參數(shù)做一番研究和了解，這樣才能順利的完成。本次我們使用的主要研究西門(mén)子的螺距誤差參數(shù)。1.1 SIEMENS 802D螺距誤差有關(guān)的參數(shù)1、方向間隙補(bǔ)償參數(shù)數(shù)號(hào) 據(jù)數(shù)據(jù)名單位値數(shù)據(jù)說(shuō)明32450BacklashMM方向間隙，回參考點(diǎn)后補(bǔ)償 生效2、絲扛螺距誤差補(bǔ)償數(shù)號(hào) 據(jù)數(shù)據(jù)名單位值數(shù)據(jù)說(shuō)明38000MM_ENC_CO

17、MP_MAX_POINT125最大補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)3、坐標(biāo)數(shù)據(jù)數(shù)號(hào) 據(jù)數(shù)據(jù)名單位值數(shù)據(jù)說(shuō)明32700ENC_COMP_ENABLE絲扛螺距誤差補(bǔ)償生效4、補(bǔ)償原理圖- 16 -5、補(bǔ)償數(shù)組的結(jié)構(gòu)$AA_ENC_COMP0,0,AX3=0.0對(duì)應(yīng)于最小位置上的誤差值（毫米）$AA_ENC_COMP0,1,AX3=0.0對(duì)應(yīng)于最小位置+1間隔位置上 的誤差值（毫米）$AA_ENC_COMP0,2,AX3=0.0對(duì)應(yīng)于最小位置+2間隔位置上 的誤差值（毫米）$AA_ENC_COMP0,3,AX3=0.0對(duì)應(yīng)于最小位置+3間隔位置上 的誤差值（毫米）5$AA_ENC_COMPO,123,AX3=O.O對(duì)應(yīng)于最

18、小位置+123間隔位置 上的誤差值（毫米）$AA_ENC_COMPO,124,AX3=O.O對(duì)應(yīng)于最小位置+124間隔位置 上的誤差值（毫米）$AA_ENC_COMP_STEPO,AX3=O.O測(cè)量間隔（毫米）$AA_ENC_COMP_MIN0,AX3=0.0最小位置（絕對(duì)）（毫米）$AA_ENC_COMP_MAX0,AX3=0.0最大位置（絕對(duì)）（毫米）$AA_ENC_COMP_IS_MODULD0,AX3=(）（用于旋轉(zhuǎn)軸）此數(shù)組的編寫(xiě)和修改方式必須下載到PC機(jī)上，以文本的格式保存和打開(kāi)。1.2處理參數(shù)時(shí)應(yīng)該注意什么？從8.1中我們得知，與螺距離誤差有關(guān)的參數(shù)有3個(gè)和一個(gè)數(shù)組，但這幾個(gè)參數(shù)

19、應(yīng)該怎么處理呢？是否有先后的順序？答案是肯定的！我們?cè)跈z測(cè)螺距誤差時(shí)，必須先將反向間隙測(cè)出來(lái)，等補(bǔ)上反向誤差后再檢 測(cè)螺距誤差，這樣才能準(zhǔn)確卻的檢測(cè)螺誤差。注意：方向間隙在檢測(cè)的時(shí)候我們只雙向檢測(cè)一次，但螺距誤差我們一般是 雙向檢測(cè)3 5次取平均值。我們?cè)谘a(bǔ)正螺距誤差或者是反向間隙后，一般做兩次驗(yàn)證，看是否還存在誤 差，若在5個(gè)微米的范圍內(nèi)微正常數(shù)據(jù)。1.3 SIEMENS 802D螺距誤差補(bǔ)償方法此系統(tǒng)的數(shù)據(jù)和法拉克以及三菱的補(bǔ)償方法有較大的區(qū)別，補(bǔ)償點(diǎn)的輸入方法是通過(guò)一個(gè)編輯一個(gè)程序來(lái)實(shí)現(xiàn)的，其操作方法如下：方法一RS ! IC 方首先利用準(zhǔn)備好的“802 D調(diào)試電纜”將計(jì)算機(jī)和802-

20、18 -的C0M1連接起來(lái);數(shù)據(jù)從WINDOW的 “開(kāi)始”中找到通訊工具軟件WW inPCIN中選擇“文本”通訊方式Recervc DarainPCIN，并啟動(dòng);Text Format；然后選擇接受- # - # -進(jìn)入系統(tǒng)的通訊畫(huà)面，設(shè)定相應(yīng)的通訊參數(shù)，然后用鍵盤(pán)的光標(biāo)鍵選擇“數(shù)據(jù)，”，并選擇其中的“絲杠誤差補(bǔ)償”，按菜單鍵“讀出”啟動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸;按照預(yù)定的最小位置，最大位置和測(cè)量間隔移動(dòng)要進(jìn)行補(bǔ)償?shù)淖鴺?biāo);用激光干涉儀測(cè)試每一點(diǎn)的誤差;將誤差值編輯在剛剛傳- # - # -出的補(bǔ)償文件中;將編輯好的補(bǔ)償文件載傳回802D系統(tǒng)中;- # -同方法一，將計(jì)算機(jī)和設(shè)定軸參數(shù) MD32700=1然后返

21、回參考點(diǎn)。補(bǔ)償值生效;802 D傳到計(jì)算機(jī)上;編輯補(bǔ)償文件，修改文件頭文件尾（見(jiàn)下面的例子），將補(bǔ)償文件 改為加工程序格式;%_N_BUCHANG_MPF;$ PATH=/_N_MPF_DIR$ AA_ENC_COMP0,0,AX3=0.0$ AA_ENC_COMP0,1,AX3=0.0$ AA_ENC_COMP0,2,AX3=0.0$ AA_ENC_COMP_STEP0,AX3=0.0$ AA_ENC_COMP_MIN0,AX3=0.0$ AA_ENC_COMP_MAX0,AX3=0.0$ AA_ENC_COMP_IS_MODU0,AX3=0.0M02將修改過(guò)的文件在傳回802 D中，這時(shí)在

22、加工程序的- 19 - # -目錄中就可以看到名為“ BUCHAN”的加工程序;用激光干涉儀測(cè)試每一點(diǎn)的誤差;將誤差值編輯在加工程- # - # -序“ BUCHAN”中;按軟菜單鍵“執(zhí)行”選擇加工程序BUCHANG 802D進(jìn)入“自動(dòng)- # -方式”，然后按機(jī)床面板上的“ NC啟動(dòng)”鍵，執(zhí)行加工程序“ BUCHAN”后補(bǔ)償值 存入802D系統(tǒng)中；（此時(shí)會(huì)出現(xiàn)報(bào)警，有兩種情況。如果是數(shù)據(jù)寫(xiě)保護(hù)則是MD32700的參數(shù)置1 了；如果是無(wú)速度，則不用理會(huì)，屬正?，F(xiàn)象。）MD32700=1然后返回參考點(diǎn)。補(bǔ)償值生效;注意:1.只有在機(jī)床參數(shù)：MD32700=0時(shí)，補(bǔ)償文件才能寫(xiě)入 802D系統(tǒng)；MD

23、32700=0時(shí)，802D內(nèi)部的補(bǔ)償數(shù)組進(jìn)入寫(xiě)保護(hù)狀態(tài)。2.經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，返回參考點(diǎn)參數(shù)依然不會(huì)生效，因此必須重新給系統(tǒng)上電。4. 補(bǔ)償點(diǎn)的單位為毫米并且補(bǔ)償?shù)闹翟?100+100微米的范圍內(nèi)5. 因?yàn)槲覀兊臋z測(cè)方法是從機(jī)械原點(diǎn)向最遠(yuǎn)的負(fù)方向，所以我們?cè)谧畲笪恢蒙显O(shè)置為0,在最小位置負(fù)數(shù)的最大例如：-5706. 存放補(bǔ)償點(diǎn)的數(shù)值時(shí)，請(qǐng)注意返回補(bǔ)償數(shù)組的結(jié)構(gòu)觀看解釋部分。7. 參數(shù)在設(shè)置的時(shí)候必須對(duì)應(yīng)清楚當(dāng)前默認(rèn)的值是那個(gè)軸的。8. 本系統(tǒng)認(rèn)的補(bǔ)償方式為絕對(duì)值形式9. 檢測(cè)螺距誤差時(shí)，我們必須要讓當(dāng)前補(bǔ)償?shù)臄?shù)值都失效或者清0第九章、結(jié)果驗(yàn)證一、檢測(cè)步驟、安裝激光干涉儀、對(duì)光、生成檢測(cè)程序、開(kāi)始檢測(cè)方

24、向間隙、數(shù)據(jù)分析、補(bǔ)正方向間隙、開(kāi)始檢測(cè)螺距誤差、數(shù)據(jù)分析、補(bǔ)正絲扛螺距誤差、檢測(cè)補(bǔ)正效果二、沒(méi)有任何補(bǔ)償之前得到數(shù)據(jù)1、反向間隙- 20 - 21 -a. -30. -60.-120. -150. -ieca -210. -240.-270-300. -330.-360.-120. -450. 一4現(xiàn) -510. -540.-570.-5T0,-540.-S10B a邊 -450. -420. = 3¥Q -360.0000 00000 ooaoaoo000DdOO0000000POOD0000000QQQO00000000 ocoo ooao0000000MOO0000000 O

25、QD 000000000Q0 ooao-149- -17 Yg 一 239. -259.-32. -3 SB. T旳.-415- 一4 4寶 -4 7-310-52呂 ECd 433-0 4 5 -1 5- A- 9 2 £ 5 9 匚 1 231-H-O £ 161 3 S 4 8 47 7 03 5 77? 896-914 680 985 7 65-2 97 5- 2孑廳 8SB8©88 呂tBeq59 亨口99'222z2 L1L 乜 01999i9y909?9:99*9?o _y Q- o o Q D o o o o乩NOg 23. 0000 22

26、. & 000 1 牛.7000 1&. S000 14. 000 12. 5000 12, 1000 12_ 1000 11 S00010. "口011. 5000 10 1000S. 4 0003. 9000a. eooo 1s 7000 -0. 1 000. 20002. 0000 -25, S000 -27. 1000 一2氐 6000 -25. idoo -22. 3000 -19. S000 -17 . 4 000 -13. 8000 -i c r en- # -以上的例子是檢測(cè)西門(mén)子系統(tǒng)的機(jī)床的X軸反向間隙數(shù)字表，以下為圖形表:- 22 - # -由數(shù)據(jù)

27、分析得反向間隙為:- # - # -參考點(diǎn)位宜 補(bǔ)償起點(diǎn) 補(bǔ)償終點(diǎn) 豐卜償間隔0. OOOO毫米0. 0000毫米-570- 0000 毫米 30_ 0000 皇米- # - # -反向同隙26微米2、螺距誤差- 23 -圖2顯示的是檢測(cè)螺距誤差的圖形表，以下為數(shù)字表. oooo-o.oood-O. 4 000-30. 0000-30.0004-0.4000-60.000060_00141.4000-90. OOQO=沁O04T-4.7000-120. 0000'120.007S-7. 3000-150.0000-150.0091-9. 1000-18'0. OOOO-180.

28、0115-11. 5000-210. 0000-210.0121-12. 1000-210. OOOO-24 0.011S-11. 3000-270. OOOO-2 TO.O128-12. 8000-300. OOOO-500. 130-13.OOOO-330. OOOO-330.0127-12.7000-360. OOOO-SfeO.O139-13.9000-390. OOOO-30.0157-15.7000-cL2O. OOOO-120.O182-18.2000-<L5Q. OOOO-a so.013-19.3000-480.OOOO-4 80.0222-22. 2000-510.

29、OOOO-510.0238-23. 8000-54 . OOOO-5dDL0236-23. 6000-5TO. OOOO-5 TO.021T-21. 7000-570. OOOO-5 TO.0226-22. 6000-540. OOOO-54010245-24. 3000-51 0. OOOO-510.0241-24, lOOO-480. OOOO-ti8O.0219-21. 9000-4.5Q. OOOO-iso.oi-19.8000-420, OOOO-420.01T1-17. 1000-390. OOOO-50.O14S一14” 8000-360. aooo-360.013S-13, 8

30、000-33'0. OOOO-330.0130-13,aooo-30Q. OOOC-300.O137-13.7000-270. OOOO-270.0135-13.6000-210, OOOO74 a01 30-13.OOOO-21 0. OOOO-210.O129-12-9000-1SQ. OO0O-180.0117-11.7000-iso, oooo-150.QI 01-10,1000-120. QOOO-120.007®-T. 8000-9Q, OOOO0060Y” OOOO-60, OOOQ-60.00 24-2, 4000-50. QOOO-3Q.OQIO-iT ao

31、ooa, ooooa.00161, 6000- 24 -經(jīng)數(shù)據(jù)分析得補(bǔ)償值為:- 25 - # -123d- 5 67 8 90 12 34567 S 901232221010112222202（毎米 . 0 000 -30. 0QOO -60. -90. -120. 0 000 -150. 0 000 -18Q. 0 00 0 -21 . 0 -240. -270. 0000 -300. -330,oaoa -360. 0 000 -390. 0 00 0 -420. 0 000 -450. 0 000 -480. 0 000 -S10. 0 000 -540. oaoo -570. 0 000均值樸催<1趣米）- # - # -三、補(bǔ)償后得到得數(shù)據(jù)1.反向間隙d 0000躍米0. 0000窿米-570. OQQQ 參米30. 0000 遷米0徹米- 26 -mm-4006 oaoo -30. OiQOO TO. CQOO -90.COOO -120 0000 -150 0000 -ISO. 0000 -21