電子廠靜電防護管理程序

1、1.0 目的1.1建立一個良好的ESD控制工作環(huán)境，減少或消除ESD對電性產(chǎn)品的破壞。1.2 提高產(chǎn)品在客戶端的信賴性，維護公司在客戶端的信譽，保證產(chǎn)品的品質(zhì)。1.3 維護公司員工的身體健康。2.0 范圍適用于XXX事業(yè)部，保護ESD敏感性電子元件及產(chǎn)品之全過程，具體包括材料或產(chǎn)品之來料檢查、制 造、測試、組裝、包裝、檢查、運輸及存儲等。3.0 權(quán)責3.1工程部：負責公司 ESD控制之技術(shù)標準的建立，并針對重大ESD事件進行追蹤，同時提出改善措施，負責員工的ESD培訓(xùn)。3.2質(zhì)量部：負責對ESD控制之執(zhí)行品質(zhì)進行督導(dǎo)及稽核。3.3計劃部：負責在倉儲期間及發(fā)料過程對ESD敏感性元器件進行重點防護

2、以及防靜電輔材(742.5中規(guī)定 ) 的來料檢查與管控。3.4生產(chǎn)部：負責 ESD控制標準的執(zhí)行及日常點檢與測量。3.5企管部：負責安排 ESD人員培訓(xùn)和認證考核，及相關(guān)資料歸檔。4.0 參考文件4.1 ANSI/ESD S20.20-20074.2 IEC 613404.3 ANSI/EIA-6255.0 定義及相關(guān)術(shù)語5.1 ESD (Electrostatic Discharge )：靜電放電 由于電子不均勻分布使電荷在不同電位物體間相互轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。5.2 EOS(Electrical Over Stress):電壓過應(yīng)力即當外加電壓超過零件所能承受的電壓范圍時，造成零件的崩潰。5.3導(dǎo)

3、電材料：材料表面電阻率低于1.0x10 5Q /SQ或體電阻系數(shù)低于 1.0x10 5Q /CM的材料。5.4絕緣材料：材質(zhì)表面阻值至少是1.0x10 12Q /SQ或電阻系數(shù)至少是 1.0x10 12 Q /CM的材料。5.5靜電耗散材料：一個材料其表面電阻率大于1.0x10 6 Q /SQ,小于1.0x10 9Q /SQ.(如防靜電手套、防靜電工作臺等)。5.6抗靜電材料：指表面電阻率大于1.0x10 9Q /SQ,小于1.0x10 11 Q /SQ的材質(zhì)。5.7 CPG(Common Ground Point )共同接地點5.8 EPA(ESD Protected Area )靜電防護區(qū)

4、域5.9 ESD 接地：靜電充電物(人)經(jīng)由匯流排、金屬支板或系統(tǒng)傳導(dǎo)至地面。5.10 設(shè)備接地：從電子設(shè)備到硬接地電極之低阻抗路徑。6.0 流程圖靜電防護管理程序流程圖7.0內(nèi)容7.1長城電腦電源事業(yè)部 ESD組織結(jié)構(gòu)7.1.1 主要職責7.1.1.1 解決本公司重要的ESD事件，對ESD執(zhí)行進行技術(shù)性指導(dǎo)。7.1.1.2 每月對本公司ESD控制環(huán)境進行考核評估。7.1.1.3 按國際標準和客戶要求，保證ESD防護設(shè)施的導(dǎo)入。7.1.1.4 定期對本公司員工進行ESD教育訓(xùn)練和考核，加強員工的ESD意識。7.1.2 組織結(jié)構(gòu)7.1.2.1 ESD管控區(qū)域分布EED管控區(qū)域分布7.1.2.2

5、ESD team 組織圖ESD (eaih組織圖LEadsrTrainsgi RflpjlrSMDIOC04XrPCB1,perns.,PCB5,FCBT科EMCtr機狂舟wn皙麻IE升課3, 13準4| 鍬怕15IK 13DC7.2 ESD教育培訓(xùn)所有從事處理或接觸靜電敏感器件的工作人員，都必須接收ESD培訓(xùn)，并經(jīng)檢定考試合格者方可從事該項工作。7.2.2 認證共分為A,B,C三級A級-公司培訓(xùn)講師，稽核員及各工作區(qū)主管級以上干部皆屬之。B級-工作區(qū)之工程師，技術(shù)員，領(lǐng)班，線組長，QC人員需具備之。C級-一般作業(yè)人員及新進人員。培訓(xùn)計劃的安排及每次個人培訓(xùn)檔案的收集，匯總將由企管部做統(tǒng)一統(tǒng)籌

6、。724重新培訓(xùn)認證：凡經(jīng)認定為認證資格已失效者（違反ESD規(guī)定二次以上者）及所有人員每年都必須接收一次重新培訓(xùn)及認證（公司內(nèi)部講師每年不需要重新受訓(xùn)一次）7.3 ES D 、設(shè)備接地之要求靜電ESD接地采用2mm*4cmB勺扁鐵埋入地表面以下 0.8m深度，接地極與接地線必須用高溫熔 接保證電性連接良好，且用 50mm的電線接出引至廠房各控制區(qū)域，再用 6mm的電線連接至各線體；設(shè)備 接地線由三相五線制勺保護地線引出，連接至各區(qū)域線體作為設(shè)備接地使用，起到雙重接地保護作用。為確保人員的安全性，車間設(shè)備地線必須為獨立，不可與ESD地線共用。工程部 ME組技術(shù)員須每半年對廠區(qū)設(shè)備地進行全規(guī)模檢測

7、，用一根6m電纜線一端牢固接在廠房配電箱主設(shè)備地，一端接在萬用表一端，萬用表另一端接在各線體設(shè)備地末端進行檢測，此時用萬用表“Q”檔位進行測量，測量阻 值應(yīng)4Q; ESD接地需ME技術(shù)員每半年檢查一次，用一根6m2電纜線一端牢固接在靜電接地主線，一端接在萬用表一端，萬用表的另一端接在各線體ESD接地末端檢測點進行檢測，此時用萬用表“Q”檔位進行測量，測量阻值應(yīng)10 Q。檢測結(jié)果記錄于接地線點檢記錄表中。生產(chǎn)線的ESD設(shè)備接地末端接地電阻均需小于10Q，此設(shè)備接地與 ESD接地狀況的檢測由使用部門各負責人每月自行測量一次，并分別記錄于ESD接地檢測記錄和設(shè)備接地檢測記錄中。為避免ESD/EOS的

8、發(fā)生，所有設(shè)備（AI/RI/SMD，加工成型機、測試設(shè)備、錫爐、烙鐵電動起 子等）請一律使用美式或歐式三芯電源插頭，確保設(shè)備工具良好接地，同時，為了確保設(shè)備的接地可靠性 與避免EOS的發(fā)生，所有的帶電儀器設(shè)備與電動治工具都需連接設(shè)備接地線。7.3.5 所有測試治具（ ICT、 INT 與保護站）需采用抗靜電材料如電木制成，外加工治具一律用防靜 電或抗靜電材料制成，且機臺需做好接地處理。7.3.6 ESD接地主線尾端需貼 ESD共同接地測試點標簽見標識圖G7.4 ESD防護區(qū)域及ESD防護工作站要求7.4.1 ESD 防護區(qū)域的要求：7.4.1.1 凡是有對半導(dǎo)體材料進行存放、加工、組裝、包裝與

9、檢驗的區(qū)域均為ESD防護區(qū)域，包括：IQC、 IC 倉、 AI、 HI、 T/H 段、組裝段與維修站等。7.4.1.2 ESD 防護區(qū)域內(nèi)如有鋪設(shè)導(dǎo)電地板，其接地阻抗需保持在 2.5x10 4 Q /SQ至1.0x10 6/SQ之間;且需每月對其進行清潔及檢測，并落實填寫記錄于導(dǎo)電地板檢測記錄表上。7.4.1.3 所有人員（包括間接人員、來賓）進入鋪設(shè)導(dǎo)電地板之ESD防護區(qū)時，必須穿靜電鞋，且經(jīng)檢測合格后，方可進入。7.4.1.4 所有人員（包括間接人員、來賓）進入ESD防護區(qū)時應(yīng)依靜電環(huán)點檢說明書自覺點檢，并落實填寫點檢記錄表。7.4.1.5 為避免檢測儀器不良引起人員誤測， 故各部門負責人

10、應(yīng)每日對儀器進行檢查， 使其處于設(shè)備 良好狀態(tài)。（如接法是否良好，電量是否足夠）7.4.1.6 所有人員進入生產(chǎn)線之 ESD管制區(qū)域時頭發(fā)過肩的人員必須將其放入靜電帽內(nèi)，頭發(fā)過腰的人員可將頭發(fā)盤起或放入靜電衣內(nèi)，否則嚴禁進入生產(chǎn)區(qū)。7.4.1.7 所有需穿靜電衣的人員（包括間接人員、廠商及參觀者）在穿靜電衣時其袖子嚴禁挽起，靜 電衣之扣子或拉鏈必須系好，且所穿的便裝之衣領(lǐng) / 衣帽嚴禁外露。741.8 靜電衣清洗時需使用小于30C的中性水配合中性洗潔劑輕揉后晾干即可；其標準阻抗值為106Q109 Q之間；需每月抽檢一次并記錄于靜電衣檢測記錄上。7.4.2 ESD 防護工作站要求：742.1 E

11、SD防護工作站指ESD防護區(qū)域內(nèi)所有具有防靜電功效之工作站。742.2 ESD安全工作站之靜電環(huán)、靜電桌墊接地方式必須并聯(lián)，絕不能串聯(lián)于ESD主線上。且必須 接到ESD接地線上，不可夾在設(shè)備接地線或各種被誤認為已接地設(shè)備上。7.4.2.3 靜電桌墊需經(jīng)串聯(lián) 1MQ電阻的接地扣接至 ESD地，而非設(shè)備地；且接地采用之鱷魚夾與香 蕉插頭不能混合使用。742.4 防靜電桌墊需每月進行點檢一次，貼點檢標簽如標識圖D,并將檢測結(jié)果記錄于防靜電桌墊點檢記錄中；標簽應(yīng)橫向貼在工作臺靠近靜電接地扣處。7.4.2.5 公司所有新購之防靜電輔材（防 / 抗靜電袋、靜電手腕帶、靜電手套、靜電衣 /鞋/帽、導(dǎo)電 桌墊

12、、靜電車、靜電盒/箱/框、PCB掛籃、靜電泡棉、靜電毛刷、導(dǎo)電鑷子、防靜電溶劑瓶等）進廠或鋪 設(shè)時，必須經(jīng)由倉庫 ESD人員對來料進行抽檢（抽檢比例：樣品數(shù) N<100時，抽檢20% 100W N<500時， 抽檢10% N> 500時,抽檢5%）,待檢驗合格后，方可導(dǎo)入使用，檢測報告記錄于防靜電材料來料檢測 記錄表中，且所有防靜電材料在使用前由各使用部門負責全檢。7.4.2.6 靜電安全工作站 30cm以內(nèi)的所有物體、材料表面及人體所帶靜電量（即放電模式）應(yīng)小于100V 。7.4.2.7 對于生產(chǎn)線上具有靜電發(fā)生源之工位（如：撕貼膠紙、HI 處物料之絕緣包裝盒）等，應(yīng)增設(shè)離

13、子風扇有效中和靜電。7.4.2.8 針對已組裝好外殼的成品所進行的操作， 原則上操作人員不需要佩戴靜電環(huán)； 但針對個別使 用高靜電物料的工位（如包裝塑料袋等），需要用離子風機對吹，以消除靜電。離子風機每班巡檢一次， 結(jié)果記錄于 離子風扇巡檢記錄表 中；領(lǐng)班應(yīng)每周對離子風機平衡電壓進行檢測， 平衡電壓應(yīng)小于 100V， 檢測結(jié)果記錄于離子風機平衡電壓測試記錄表中，同時，為保證離子風扇使用之可靠性應(yīng)每兩個月進 行一次校準，校準結(jié)果記錄于離子風扇校準記錄表中。7.4.2.9 工作站使用之測試治具、電動工具需每班在上班前對其進行設(shè)備接地電阻及EOS對地電壓檢測，結(jié)果分別記錄于EOS僉測記錄表及機器設(shè)備

14、 /電動治工具接地檢測記錄表中。7.5工作現(xiàn)場ESD之要求7.5.1 靜電環(huán)佩戴須知7.5.1.1 作業(yè)員在作業(yè)時必須依 MOI要求佩戴靜電環(huán)、 靜電手套或靜電手指套， 且靜電環(huán)腕帶之金屬 片必須與手腕皮膚緊密接觸，不可松脫或套于衣袖上。7.5.1.2 為確保1MQ電阻之有效性，嚴禁用力拉扯靜電環(huán)的導(dǎo)線。7.5.1.3 所有人員（含間接人員、流動員）接觸ESD敏感性零組件時均須佩戴靜電環(huán)，且靜電環(huán)須處于接地良好狀態(tài)。7.5.2 所有人員每日上班前應(yīng)主動檢測靜電環(huán) /鞋接地狀況， 每日點檢兩次， 加班需另進行點檢一次， 點檢完畢后如實記錄點檢結(jié)果于靜電環(huán)點檢記錄和靜電鞋點檢記錄上，且由各區(qū)域線長

15、或區(qū)域ESD負責人簽字確認；如點檢失敗，應(yīng)及時找線長更換新的靜電環(huán)，并重新點檢合格方可上線作業(yè)。7.5.3 使用靜電環(huán)自動測試儀的工位，采用自主點檢和線長檢查的方式，自主點檢方法為：不戴靜電 環(huán)，打開電源開關(guān)，此時測試儀上紅燈亮，蜂鳴器叫；佩戴靜電環(huán)后，只有綠燈亮。以上測試結(jié)果符合， 表示靜電環(huán)自動測試儀處于良好的實時監(jiān)控狀態(tài)，人員可靠接地。每日三次（上午、下午、晚上）需要點 檢，員工在自主點檢的同時，線長進行確認，并填寫靜電環(huán)點檢記錄。7.5.4 未使用靜電環(huán)自動測試儀的工位，由線長使用靜電環(huán)測試儀器逐工位進行點檢，點檢方法為： 先將靜電環(huán)測試儀器的接地線接地，讓員工用手觸摸靜電環(huán)測試儀器的

16、金屬面蓋，如綠色燈持續(xù)亮，表示 人員可靠接地；其它燈亮表示接地不良。線長對點檢結(jié)果作記錄并填寫靜電環(huán)點檢記錄。7.5.5 對于操作靜電敏感性零組件之工位除以上點檢外還應(yīng)：7.5.5.1 所有ESD敏感零組件，應(yīng)使用防靜電盒 /框或防靜電容器盛裝。7.5.5.2 取放ESD敏感零件時，請使用防靜電手套 /鑷子進行操作；對 PCB清潔時必須使用防靜電刷方可；裝PCB青洗溶劑所使用的容器必須為防靜電容器；以上使用之治工具需每月對其ESD功能進行檢測并記錄于ESD治工具點檢記錄。7.5.5.3 防靜電盒/防靜電桌墊等各種 ESD材料上必須有ESD點檢標簽存在。7.5.5.4 工作臺上嚴禁張貼膠帶或防止

17、普通塑料盒、 塑料袋等絕緣材料； 生產(chǎn)線使用的絕緣廢棄物應(yīng) 及時清掃處理。7.6 ESD敏感性材料之來料檢驗、包裝、儲存、運輸搬運過程中ESD控制要求所有ESD敏感材料或產(chǎn)品在靜電防護區(qū)域外應(yīng)完好封裝于靜電屏蔽IC管或靜電屏蔽袋內(nèi)，不可打開包裝；不能使用易產(chǎn)生靜電和放電的物質(zhì)進行包裝和儲存。7.6.2 ESD敏感器件來料檢驗之 ESD控制要求：7.6.2.1 檢驗靜電敏感器件的人員必須佩戴靜電環(huán)，并由組長用靜電環(huán)測試儀器測試，每日三次（上 午、下午、晚上加班），并填寫靜電環(huán)點檢記錄。7.622 檢驗治工具和設(shè)備（電烙鐵、電批等）必須接地，并用萬用表測試其接地電阻及 EOS電壓，每 日三次（上午

18、、下午、晚上加班），接地電阻要小于 10Q, EOS電壓要小于0.3V,并填寫EOS僉測記錄 表與機器設(shè)備 /電動治工具接地檢測記錄表 。7.6.2.3 檢驗靜電敏感器件如有接觸IC、晶體管及PCB板時要戴防靜電手套，防止手汗中的有機物氧化元器件、PCB板等。7.6.3 ESD敏感性材料之包裝過程中ESD控制要求：7.6.3.1 ESD敏感元件的包裝材料應(yīng)為抗靜電或靜電消散材質(zhì)，包裝好的ESD敏感材料其靜電盒 （袋）應(yīng)處于密封狀態(tài)，同時包裝上應(yīng)有靜電敏感性標識。7.6.3.2 拆裝過后的散裝 ESD敏感材料需放于密閉的靜電料袋（IC管）內(nèi)，不能放于普通塑料容器 或保麗龍容器中。7.6.3.3

19、ESD敏感材料在進行包裝時，應(yīng)排列整齊，不能堆積擺放，不允許有產(chǎn)生靜電的材料（泡沫、尼龍、帶狀物等）在包裝袋中。764本廠常見的防靜電包裝容器及其要求:7.641 抗靜電（抗強化液處理）IC管、IC料盤、料盒、零件袋及靜電箱（通常為黑色、銀灰色）6 117.642 靜電屏蔽袋的表面電阻率在1010 Q /Square之間。697.6.4.3 靜電消散搬運箱表面電阻率需在1010 Q /Square之間。7.6.4.4 導(dǎo)電料盒/隔板表面阻抗需在 106109Q /Square之間則有效。7.6.4.5 導(dǎo)電容器需有靜電防護標簽做有效管控，且需每三個月進行全檢一次，并填寫導(dǎo)電容器檢 測記錄。7.

20、6.5 ESD敏感性材料儲存過程中的ESD控制要求：7.6.5.1 存放靜電敏感性材料的倉庫，需用溫濕度計進行監(jiān)控，檢查溫度應(yīng)在5-28度，濕度應(yīng)在40%-75%每兩小時記錄一次 （8:20-22:20）,并填寫庫房溫濕度記錄表。7.6.5.2 公司ESD產(chǎn)品進行存放，應(yīng)使用石墨型褐色導(dǎo)電盒/箱/隔板；其有廠商提供之品質(zhì)證明，具有永久性防靜電之功能。7.6.5.3 存放ESD敏感材料所使用之固定或移動的物料架須具備良好接地（如:使用接地鏈或?qū)щ娸啠?.6.5.4 對與晶體管、IC等具有ESD敏感之電子零件均需作好ESD防護動作（如擺放時的物料架鋪設(shè)防靜電桌墊）。7.6.6 ESD敏感性材料運輸

21、搬運過程中ESD控制要求：7.6.6.1 靜電敏感性材料的運輸，必須使用用防靜電包裝袋或防靜電料盒盛裝，防靜電料盒必須每季度點檢一次，使用表面阻抗測試儀，表面阻抗為106109Q,點檢結(jié)果記錄在標簽上并粘貼在對應(yīng)的料盒上，并填寫導(dǎo)電容器檢測記錄。7.6.6.2 所有ESD敏感材料或產(chǎn)品必須用防靜電（導(dǎo)電）車來運送。7.6.6.3 導(dǎo)電車接地阻抗正常在106109/SQ之間，需每月檢測一次貼上點檢標簽并記錄于到電車檢測記錄表或須有廠商提供材質(zhì)的有效性證明，以作時間管制。7.6.6.4 推車上之產(chǎn)品盡可能不要重疊放置，如需重疊放置時，層與層之間須使用靜電隔板隔開。7.6.6.5 推車進入非ESD區(qū)

22、域進行產(chǎn)品零件的運輸時，需使用靜電防護罩（袋）做屏蔽。在使用普通紙箱包裝、儲存、運輸搬運ESD敏感性材料時，箱內(nèi)需設(shè)置防靜電防護（如鋪設(shè)抗靜電袋、靜電泡棉及靜電隔板）。所有人員在發(fā)料、點料、配料、包裝及取放ESD敏感性材料時均須佩戴靜電環(huán)并確保良好接地； 在使用修理料時ESD敏感性材料應(yīng)放于抗靜電料盒內(nèi)。7.7標識靜電警示標簽說明:7.7.1.1 圖A為靜電敏感標識(ESD Susceptibility Symbol ),主要用于 ESD敏感元件之外包裝及 ESD敏感區(qū)。7.7.1.2 圖B為靜電防護標識(ESD Protective Symbol )，用于靜電安全區(qū)域或ESD安全工作站。7.

23、7.1.3 圖C為ESD共同接地測試點(ESD Com mon Grou nd Poi nt Symbol )，用于 ESD接地線末端。7.7.1.4 圖D為ESD點檢標簽，使用作為各種ESD材料檢測標識；標簽日期的填寫格式需均為：XX年XX月XX日，標簽統(tǒng)一為淺藍色底紙制作，并貼于ESD材料之顯眼處。7.7.1.5 圖E為靜電敏感區(qū)標識(ESD Susceptible Area Symbol ),主要用于全廠各 ESD敏感區(qū)域。7.7.2 ESD注意標識應(yīng)明確標識于ESD防護區(qū)及工作站告知所有進入人員；一般視力下標識應(yīng)在1米內(nèi)可讀見。在ESD敏感性零組件作業(yè)工位上，其防靜電零件盒和防靜電盒/

24、板、晶體元件之料盒及MOI上都應(yīng)由靜電敏感性標識。7.8各種元器件的靜電敏感度(以人體模型HBM為例)耐 Esniji30 l«00ECL2>Q0MOSFET100 -300JFETlOOOlms FET1 OU z 300st:bSU - J UUOPROMSTTLCMOS2S0 -DTI.3汕- 7 000-003恤F/D MOS2 00 - 10003B0- 70007.9稽核每月內(nèi)部稽核7.9.1.1 稽核小組分別由 AI、生產(chǎn)部、工程維修、售后、IC倉庫、質(zhì)量部&IQC與DQA各派一員組成,且ESD稽核人員須經(jīng)培訓(xùn)考核并有ESD稽核經(jīng)驗。7.9.1.2 稽核時依據(jù)稽核計劃進行，稽核項目依ESD內(nèi)部稽核查檢表為參考依據(jù)。7.9.1.3 對稽核不符合項目由 ESDTeam發(fā)出稽核不符合項目報告，請各責任部門及時提出整改措施， 最后由部門ESD負責人報告，存檔保存。對ESD稽核過程中發(fā)現(xiàn)因人為因素違反ESD規(guī)定者，將按員工獎懲管理辦法對其責任人進行處罰。7.10 ESD 規(guī)劃項目種類檢測周期檢測責任人標準范圍1靜電環(huán)每天所有人員萬用表測靜電環(huán)內(nèi)阻：1.0M ± 10%Q 人體綜合測試儀：750K10MQ2靜電鞋每天所有人員750KQ 35MQ3離子