一 蘇州科技大學(xué)數(shù)理學(xué)院

1、12005年中央與地方共建高等學(xué)校專項(xiàng)資金項(xiàng)目物理技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)執(zhí)行計(jì)劃蘇州科技學(xué)院應(yīng)用物理系2二 ococ 五年十一月3原項(xiàng)目基本情況物理技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備購置項(xiàng)目項(xiàng)目所需儀器設(shè)備的調(diào)研和論證。儀器設(shè)備的配置該項(xiàng)目主要是為滿足應(yīng)用物理專業(yè)實(shí)驗(yàn)教學(xué)的最基本需求，本項(xiàng) 目的儀器配置主要在兩個(gè)方面：1光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室的建設(shè)光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室的儀器配置思路是結(jié)合面向 2121 世紀(jì)課本 的最新內(nèi)容， 更注重實(shí)際的應(yīng)用性， 有利于學(xué)生綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)?zāi)芰?創(chuàng)新思想的培養(yǎng)。 同時(shí)通過這些實(shí)驗(yàn)， 使學(xué)生能夠掌握更多現(xiàn)代儀器 的使用方法， 提高對現(xiàn)代技術(shù)儀器設(shè)備的應(yīng)用能力，縮短實(shí)驗(yàn)教學(xué)與 實(shí)際應(yīng)

2、用之間的差距。光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室的建立也將為我們的新 專業(yè)應(yīng)用物理學(xué)打下良好的實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。2材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室。材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室的儀器配置將更側(cè)重于應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)的需 求。應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)定位的方向之一是光電材料與器件， 材料基礎(chǔ)實(shí) 驗(yàn)分室的建立將使學(xué)生獲得材料制備和器件設(shè)計(jì)的基本知識(shí)和技能， 這將為高年級(jí)的專業(yè)材料和微電子器件設(shè)計(jì)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。(1)(1)項(xiàng)目名稱(2)(2)項(xiàng)目類型(3)(3) 主要工作內(nèi)容4（4 4）預(yù)期總目標(biāo)及其階段性目標(biāo)情況預(yù)期總目標(biāo)該項(xiàng)目的建設(shè)預(yù)期達(dá)到以下總目標(biāo):1建成物理技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室，該實(shí)驗(yàn)室有兩個(gè)實(shí)驗(yàn)分室：光電綜 合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室和材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室。2建成一個(gè)集本

3、科生教學(xué)、畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)）一體的物理技術(shù)基 礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室。3通過物理技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)增強(qiáng)應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)的實(shí)驗(yàn) 教學(xué)實(shí)力，加速應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)的建設(shè)和發(fā)展，滿足學(xué)位評(píng)估的基本 需求，縮短人才培養(yǎng)和社會(huì)需求之間的差距， 提高該專業(yè)的辦學(xué)后勁 并形成自身的辦學(xué)特色。此次申報(bào)的儀器主要用于基礎(chǔ)課 （包括專業(yè)基礎(chǔ)課）的實(shí)驗(yàn)教學(xué)。10.核磁、順磁共振實(shí)驗(yàn)11.干涉、衍射、光柵系列實(shí)驗(yàn);實(shí)驗(yàn)分室名稱光1.2.3.4.5.6.7.8.9.實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目手工制備光纖單模光纖系列實(shí)驗(yàn)半導(dǎo)體光源與光纖的耦合多模光纖傳感器光電傳感器的光譜、照度、溫度特性；光電傳感器的應(yīng)用系列實(shí)驗(yàn).超聲波相干實(shí)驗(yàn)氦氖激光器諧振腔的研究（測量腔

4、長、橫模、縱模、功率等）傅立葉光學(xué)的空間頻譜與空間濾波實(shí)驗(yàn)512.點(diǎn)矩陣全息實(shí)驗(yàn)13.光時(shí)域反射儀在光纖通信中的應(yīng)用14.德拜法、勞埃法測晶體常數(shù);15.激光器的裝調(diào);16.激光器的輸出脈沖寬度測量;17.激光器的閥值測量;18.激光電光調(diào)Q實(shí)驗(yàn);19.激光器晶體角度匹配倍頻實(shí)驗(yàn);激光器選模實(shí)驗(yàn)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目10、薄膜的光刻工藝實(shí)驗(yàn)。11、薄膜的干法刻蝕工藝實(shí)驗(yàn)。12、線鍵合工藝實(shí)驗(yàn)。13.簡單半導(dǎo)體器件制備實(shí)驗(yàn):I.整流二極管n.基本MOS器件III.肖特基二極管;IV.硅基壓力傳感器;V.半導(dǎo)體濕度傳感器;VI.半導(dǎo)體氣敏傳感14、薄膜介電頻譜的測試實(shí)驗(yàn)。15、薄膜介電溫譜的測試實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)分室名

5、稱1、2、3、4、材5、6、料7、&基9、硅片的濕法清洗及電性能測試實(shí)驗(yàn)Sol-Gel法制備鐵電薄膜材料實(shí)驗(yàn)磁控濺射法制備半導(dǎo)體、鐵電體薄膜實(shí)驗(yàn)磁控濺射法制備金屬電極的實(shí)驗(yàn)PECVD制備薄膜材料實(shí)驗(yàn)材料表面掃描電鏡檢測實(shí)驗(yàn)薄膜介電性能測試實(shí)驗(yàn)薄膜材料微結(jié)構(gòu)及物性實(shí)驗(yàn)金屬電極的剝離技術(shù)實(shí)驗(yàn)。616、薄膜鐵電性能的測試實(shí)驗(yàn)。17、薄膜靜態(tài)熱釋電性能的測試實(shí)驗(yàn)。7 項(xiàng)目需要的投入總額為人民幣693.97693.97 萬元;光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室儀器設(shè)備清單實(shí)驗(yàn)分室名稱實(shí)驗(yàn)儀器名稱實(shí)驗(yàn)儀器 型號(hào)數(shù)量（臺(tái)套）單價(jià)（萬元）總價(jià)（萬元）廠家脈沖Nd: YAGt光器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)XGL-I213.827.6天

6、津港東科技發(fā) 展有限公司光電傳感器實(shí)驗(yàn)儀CSY-G8216.0杭州賽特傳感技 術(shù)有限公司光纖光柵傳感器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)SYG模塊式82.217. 6武漢理工光科股份有限公司超聲波相干實(shí)驗(yàn)儀CASSY54.7623.8萊寶公司氦氖激光器與激光諧 振腔F-HX102081.08.0北京方式科技有限公司傅立葉光學(xué)的空間頻 譜與空間濾波實(shí)驗(yàn)F-FLY107080.64.8北京方式科技有限公司核磁共振系統(tǒng)DH404A080.987.84北京大華無線電儀器廠微波順磁共振系統(tǒng)DH809A82.518.0北京大華無線電儀器廠光學(xué)平臺(tái)GSZ-II81.18.8天津港東科技發(fā) 展有限公司光學(xué)實(shí)驗(yàn)減振平臺(tái)DVIO-I-20

7、10M-26.913.8韓國大一點(diǎn)矩陣全息實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)P AASY-20Y114.614.6大恒新紀(jì)元科技光纖光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)OP F-6500220.240.4美國New port公司氦氪激光器HK-L20024.08.0大恒新紀(jì)元科技股份有限公司光時(shí)域反射儀（OTDR）MW9076B748.0032.0南京吉隆光纖通信 有限公司（代理）光纖熔接機(jī)KL-26025.410.8南京吉隆光纖通信 有限公司（代理）X射線衍射儀PHY WE-X30029.218.4PHYW公司掃描隧道顯微鏡LB-STM450211.022.0萊寶公司光學(xué)信息處理系統(tǒng)OIP- I82.1517. 2重慶大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)中心小計(jì)3

8、09.6489材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室儀器備清單實(shí)驗(yàn) 分室 名稱實(shí)驗(yàn)儀器名稱實(shí)驗(yàn)儀器型 號(hào)數(shù)量（臺(tái)套）單價(jià)（萬元）總價(jià)（萬元）廠家快速熱處理爐RTP30023.87.6北京東之星應(yīng) 用物理研究所磁力攪拌器81-260.050.3上海梅穎浦公 司通風(fēng)廚定做40.72.8蘇州元橋?qū)嶒?yàn) 設(shè)備有限公司臺(tái)式勻膠機(jī)KW-4A40.52.0中科院微電子 中心研究院100級(jí)潔凈工作臺(tái)GJ-20220.71.4寧波凈化設(shè)備 廠凈化干燥箱SDJ-130.61.8上海實(shí)驗(yàn)儀器 廠氧化-退化爐ZF-429.519上海祖發(fā)實(shí)業(yè) 公司光學(xué)顯微鏡SZM-45B40.31.2寧波舜宇儀器 有限公司電子分析天平JA-200340.83

9、.2上海第一天平 廠超聲波清洗器KQ50DB30.82.4昆山超聲儀器 有限公司光刻機(jī)JKG-2A14.54.5上海光學(xué)儀器 廠介電性能測試儀TH2828TH2816114.80.984.80.98冋惠電子有限 公司鐵電性能測試儀RT66A13636Radia ntTech no logies公司微電流計(jì)6517A16.56.5美國Keithley公司鎖相放大器530211515美國EG&G公司靜態(tài)熱釋電性能測試系統(tǒng)定做19.69.6上海技術(shù)物理 所變溫探針臺(tái)LTMP-114343MMRTech no logies公司真空泵2XZ-4B20.450.9上海真空泵廠直流濺射儀定做22.4

10、4.8西安交通大學(xué) 電子材料研究 所四探針測試儀SDY512.22.2上海華巖儀器 設(shè)備有限公司鍵合機(jī)7400C12525美國ALLTEK公司1011真空鍍膜系統(tǒng)DM-40011616沈陽科儀等離子輔助化學(xué)氣相 沉積系統(tǒng)P ECVD-32012525沈陽科儀等離子刻蝕機(jī)ICP-2B138.838.8北京圣微納新 技術(shù)研究所薄膜厚度測試儀F2011111美國Filmetric公司PLD薄膜材料制備設(shè) 備CF40214.529沈陽科友潔凈實(shí)驗(yàn)室1000級(jí)12020寧波凈化設(shè)備 廠激光拉曼光譜儀LRS-3111.011.0天津港東科技 發(fā)展有限公司傅立葉變換紅外光譜 儀-17800-370cm119

11、.019.0天津港東科技 發(fā)展有限公司雙光束紅外分光光度 計(jì)-14000-400 cm112.012.0天津港東科技 發(fā)展有限公司原子吸收分光光度 計(jì)AA320CRT17.557.55上海分析儀 器廠小計(jì)384.33二、項(xiàng)目批復(fù)情況項(xiàng)目申報(bào)后，經(jīng)上級(jí)部門批準(zhǔn)立項(xiàng)。批準(zhǔn)的經(jīng)費(fèi)額度：上級(jí)財(cái)政 撥款：人民幣 20200 0萬元整。項(xiàng)目批復(fù)文件見附件。項(xiàng)目預(yù)算調(diào)整預(yù)算調(diào)整總的原則由于申報(bào)的經(jīng)費(fèi)額度與批準(zhǔn)的經(jīng)費(fèi)額度之間有一定的差距，因此項(xiàng)目執(zhí)行時(shí)的經(jīng)費(fèi)預(yù)算應(yīng)做響應(yīng)調(diào)整。調(diào)整時(shí)應(yīng)保證專業(yè)教學(xué)基本要求，同時(shí)兼顧一些更高層次的要求。12 調(diào)整預(yù)算的重點(diǎn)目標(biāo)：由于實(shí)驗(yàn)教學(xué)改革和本科教學(xué)評(píng)估的需要，預(yù)算調(diào)整時(shí)應(yīng)向

12、設(shè)置綜合性實(shí)驗(yàn)和設(shè)計(jì)性實(shí)驗(yàn)傾斜。這是我們調(diào)整預(yù)算時(shí)考慮的重點(diǎn)。調(diào)整后總體建設(shè)目標(biāo)和建設(shè)內(nèi)容項(xiàng)目總預(yù)算：人民幣 309.028309.028 萬元該項(xiàng)目調(diào)整后由 1 1 光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室，2 2 材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分應(yīng)用物理專業(yè)建設(shè)著重光電技術(shù)和光電信息光電功能材 料兩個(gè)專門化方向。光電技術(shù)是 以光電子學(xué)為基礎(chǔ)，綜合利用光學(xué)、 精密機(jī)械、電子學(xué)和計(jì)算機(jī)技術(shù)解決各種工程應(yīng)用課題的技術(shù)學(xué)科。信息載體正在由電磁波段擴(kuò)展到光波段， 從而使光電科學(xué)與光機(jī)電一 體化技術(shù)集中在光信息獲取、傳輸、處理、記錄、存儲(chǔ)、顯示和傳感 等的光電信息產(chǎn)業(yè)上。光電功能材料主要包括半導(dǎo)體光電材料和光電 顯示材料。與上述專業(yè)方向配

13、套的主干課程有光 電技術(shù)和光電信息類(A(A)和光電功能材料類(B B):A.A.應(yīng)用光學(xué)、光學(xué)信息處理、光電技術(shù)、激光原理與應(yīng)用、光纖技術(shù)、 傳感器原理與應(yīng)用、光電子技術(shù)與器件、凝聚態(tài)光物理學(xué);B.B.固體物理、薄膜生長、材料物理、光電功能超薄膜、半導(dǎo)體材料物 理、信息材料、納米技術(shù)基礎(chǔ)及應(yīng)用、薄膜制備技術(shù)實(shí)習(xí)、結(jié)構(gòu)與物 性、半導(dǎo)體器件物理、半導(dǎo)體制造技術(shù)。本專業(yè)建設(shè)過程，還注意培養(yǎng)學(xué)生在物理學(xué)相關(guān)領(lǐng)域中應(yīng)用計(jì)算機(jī)的能力，開設(shè)的課程中需用計(jì)算機(jī)機(jī)房的有：單片機(jī)原理、計(jì)算物 理、EDAEDA 設(shè)計(jì)、MATLABMATLAB 語言程序設(shè)計(jì)、應(yīng)用物理專業(yè)計(jì)算機(jī)編程室,3 3 計(jì)算機(jī)房，4 4 實(shí)驗(yàn)

14、室改造及配套等四個(gè)子項(xiàng)目組成。13實(shí)習(xí)。為滿足主干課程的教學(xué)要求， 需建立光電綜合實(shí)驗(yàn)室和材料基礎(chǔ) 實(shí)驗(yàn)室和計(jì)算機(jī)房。 光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室建設(shè)子項(xiàng)目該項(xiàng)目建成使學(xué)生能夠掌握更多現(xiàn)代儀器的使用方法，提高對現(xiàn) 代技術(shù)儀器設(shè)備的應(yīng)用能力， 有利于學(xué)生綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)?zāi)芰蛣?chuàng)新思 想的培養(yǎng)。2材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室建設(shè)子項(xiàng)目該項(xiàng)目建成使學(xué)生獲得材料制備和器件設(shè)計(jì)的基本知識(shí)和技能， 這將為高年級(jí)的專業(yè)材料和微電子器件設(shè)計(jì)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。3計(jì)算機(jī)房項(xiàng)目該項(xiàng)目的建成將提高學(xué)生在應(yīng)用物理學(xué)中應(yīng)用計(jì)算機(jī)軟硬件的 能力。4實(shí)驗(yàn)室改造及配套設(shè)施建設(shè)子項(xiàng)目該項(xiàng)目是對光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室、材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室的若干實(shí) 驗(yàn)室進(jìn)行改造

15、，改造內(nèi)容包括：實(shí)驗(yàn)室的土建、裝飾改造；添置實(shí)驗(yàn) 臺(tái)、桌椅、空調(diào)等；特殊要求的實(shí)驗(yàn)臺(tái)、工作室的建造。 分子項(xiàng)目進(jìn)行論證光電技術(shù)和光電信息類課程需開設(shè)實(shí)驗(yàn)及實(shí)驗(yàn)裝置：應(yīng)用光學(xué)實(shí)驗(yàn)： 全息光柵的設(shè)計(jì)、制備和性能測試，全息光柵空間頻率的實(shí)時(shí)測量，全息存儲(chǔ)的基本原理和方法，傅立葉光譜儀設(shè)計(jì)與應(yīng)用（綜合設(shè)計(jì)）。實(shí)驗(yàn)裝置： 光學(xué)平臺(tái)及配件。光學(xué)信息處理實(shí)驗(yàn)： 光學(xué)圖像識(shí)別、相加、相減，電光調(diào)14制、聲光調(diào)制和磁光調(diào)制，鄰面入射（即 9090入射）全息記錄光路的 搭建和調(diào)試（綜合設(shè)計(jì)） ，光折變晶體中動(dòng)態(tài)光柵的建立和體光柵的 角度選擇性的測量（綜合設(shè)計(jì)） 。實(shí)驗(yàn)裝置： 光學(xué)平臺(tái)及配件，角度 復(fù)用的光學(xué)信息存

16、儲(chǔ)系統(tǒng)，光功率計(jì)，電光調(diào)制、聲光調(diào)制和磁光調(diào) 制實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)：測量 LDLD 、LEDLED 光源的峰值波長、線寬及最佳工作波長， 半導(dǎo)體激光器的工作特性測量， 半導(dǎo)體激光器光譜特性測量，光電探測器光譜響應(yīng)度測試，光電探測器響應(yīng)時(shí)間測試，光導(dǎo)體激光特性測量系統(tǒng)，光電探測器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，頻譜分析儀，光譜分腔長、橫模、縱模、功率等） , , 半導(dǎo)體激光器的工作特性測量，半導(dǎo) 體激光器輸出遠(yuǎn)近場分布的測量， 半導(dǎo)體激光器光譜特性測量。 實(shí)驗(yàn) 裝置： 半導(dǎo)體激光特性測量系統(tǒng)，光電探測器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，光功率計(jì)、光譜分析儀，He-NeHe-Ne 激光器與激光諧振腔。器件制備及系統(tǒng)應(yīng)用， WDMWDM 通信系統(tǒng)的

17、設(shè)計(jì)及系統(tǒng)的特性參數(shù)測量綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），頻分復(fù)用通信系統(tǒng)設(shè)計(jì)及頻譜特性分析（綜合設(shè) 計(jì)實(shí)驗(yàn)）。實(shí)驗(yàn)裝置： 半導(dǎo)體激光特性測量系統(tǒng)，光功率計(jì)，光纖光 學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，頻譜分析儀，光譜分析儀，角度復(fù)用的光學(xué)信息存儲(chǔ)系 統(tǒng)。傳感器原理與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)：多模光纖傳感器，光電傳感器的光電技術(shù)電探測器的應(yīng)用電路及其特性測量（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)）。實(shí)驗(yàn)裝置：半析儀。激光原理與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)： 氦氖激光器諧振腔的研究（測量光纖技術(shù)實(shí)驗(yàn)：光纖通信系統(tǒng)特性參數(shù)測量與分析， WDMWDM15光譜、照度、溫度特性，利用 OSAOSA 測量光纖壓力傳感器的譜線特性,典型光電測量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)）。實(shí)驗(yàn)裝置：光電傳感器,光纖光柵傳感實(shí)

18、驗(yàn)系統(tǒng)，光纖光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，頻譜分析儀。光電子技術(shù)與器件-實(shí)驗(yàn)：光電傳感器的應(yīng)用系列實(shí)驗(yàn)，頻譜分析儀檢測手機(jī)邏輯和射頻電路信號(hào),光波導(dǎo)器件制備，光交叉互連器件制備，光電探測器的應(yīng)用電路及其特性測量，LDLD、LEDLED 半導(dǎo)體器件制備及性能測試（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)）。實(shí)驗(yàn)裝置：光電傳感器,光電探測器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，頻譜分析儀，角度復(fù)用的光學(xué)信息存儲(chǔ)系統(tǒng)（此外實(shí)驗(yàn)裝置還包括半導(dǎo)體光刻機(jī)，P P ECVDECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，半導(dǎo)體特性圖示儀，介電性能測試儀，氧化退火爐，勻膠機(jī)，超聲波清洗器等設(shè)備，這些設(shè)備包含在材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室中）。實(shí)驗(yàn)分室名稱實(shí)驗(yàn)儀器名稱實(shí)驗(yàn)儀器 型號(hào)數(shù)量（臺(tái)套）單

19、價(jià)（萬元）總價(jià)（萬元）廠家半導(dǎo)體激光特性測量 系統(tǒng)BDTL-322.55.0大恒新紀(jì)元科技 股份有限公司光電探測器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)GCS-GDTC23.06.0大恒新紀(jì)元科技股份有限公司光纖光柵傳感器實(shí)驗(yàn) 系統(tǒng)（已執(zhí)行1.6萬）SYG莫塊式22.14.2武漢理工光科股份有限公司頻譜分析儀U3751110.910.9上?？齐妰x器公司氦氖激光器與激光諧 振腔（已執(zhí)行）F-HX102020.81.6北京方式科技有限公司傅立葉光學(xué)的空間頻 譜與空間濾波實(shí)驗(yàn)（已執(zhí)行）F-FLY107020.61.2北京方式科技有限公司光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)（含配 件）DAEIL25.611.2大恒新紀(jì)元科技 股份有限公司1617光電功能

20、材料類課程需開設(shè)實(shí)驗(yàn)及實(shí)驗(yàn)裝置：薄膜生長-實(shí)驗(yàn)：硅片的濕法清洗及電性能測試實(shí)驗(yàn)，磁控 濺射法制備半導(dǎo)體、鐵電體薄膜實(shí)驗(yàn)（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），PECVDPECVD 制備 薄膜材料實(shí)驗(yàn)（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），薄膜介電性能測試實(shí)驗(yàn)，薄膜材料 微結(jié)構(gòu)及物性實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)裝置：P P ECVDECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，介電性能測試儀，超聲波清洗器，AFMAFM 原子力顯微鏡, 薄膜厚度測試儀，四探針測試儀、鐵電特性測試儀，微電流計(jì)。材料物理-實(shí)驗(yàn)：硅片的濕法清洗及電性能測試實(shí)驗(yàn)，生長 參數(shù)對成核密度的影響實(shí)驗(yàn)（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），Sol-GelSol-Gel 法制備鐵電 薄膜材料實(shí)驗(yàn)，磁控濺射法制備半

21、導(dǎo)體、鐵電體薄膜實(shí)驗(yàn)（綜合設(shè)計(jì) 實(shí)驗(yàn)），PECVDPECVD 制備薄膜材料實(shí)驗(yàn)（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），薄膜介電性能測試實(shí)驗(yàn)，薄膜材料微結(jié)構(gòu)及物性實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)裝置：PECVDPECVD 薄膜制 備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，介電性能測試儀，超聲波清洗器, 磁力攪拌器，快速退火爐，AFAFM M原子力顯微鏡，薄膜厚度測試儀,電光調(diào)制實(shí)驗(yàn)儀DGT-120.891.78華東師大科教儀 器廠聲光調(diào)制實(shí)驗(yàn)儀SGT-121.152.3華東師大科教儀 器廠磁光調(diào)制實(shí)驗(yàn)儀CGT-120.951.9華東師大科教儀 器廠角度復(fù)用的光學(xué)信息 存儲(chǔ)系統(tǒng)DH-m200117.017.0大恒新紀(jì)元科技 股份有限公司光纖光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)

22、（已執(zhí)行）OP F-6500120.220.2美國New port公司光譜分析儀AQ6317C120.520.5上海橫河國際貿(mào)易 有限公司光功率計(jì)AQ2160-0210.60.6上海橫河國際貿(mào) 易有限公司小計(jì)104.38設(shè)計(jì)分室單價(jià) 5 5 萬元以上的論證報(bào)告見附件。18四探針測試儀、鐵電特性測試儀，微電流計(jì)。3光電功能超薄膜-實(shí)驗(yàn)：同薄膜生長4半導(dǎo)體材料物理-實(shí)驗(yàn)：硅片的濕法清洗及電性能測試實(shí)驗(yàn), 磁控濺射法制備半導(dǎo)體薄膜實(shí)驗(yàn)，P P ECVDECVD 制備半導(dǎo)體薄膜材料實(shí)驗(yàn), 摻磷微晶硅薄膜的制備及微晶硅薄膜電阻率與摻磷濃度的半定量關(guān) 系測量（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)）。實(shí)驗(yàn)裝置：PECVDPECVD

23、 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺 射薄膜制備系統(tǒng)， 介電性能測試儀， 超聲波清洗器， 薄膜厚度測試儀，微電流計(jì)，四探針測試儀。5信息材料- -實(shí)驗(yàn)：同薄膜生長、材料物理、半導(dǎo)體材 料物理。6納米技術(shù)基礎(chǔ)與應(yīng)用-實(shí)驗(yàn)：硅基納米薄膜的制備及性能測 試（綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），簡單 MEMMEM 系統(tǒng)制造，納米材料的常規(guī)表征方法。實(shí)驗(yàn)裝置： PECVDPECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，半導(dǎo)體 光刻機(jī)，介電性能測試儀，超聲波清洗器，薄膜厚度測試儀， 原子力顯微鏡。薄膜制備技術(shù)實(shí)習(xí)-實(shí)驗(yàn)：同薄膜生長、材料物理、納米技術(shù)基礎(chǔ)與應(yīng)用 。結(jié)構(gòu)與物性-實(shí)驗(yàn)：不同材料的結(jié)構(gòu)表征及物性測試。 實(shí)驗(yàn) 裝置： 介電性能測試

24、儀，探針臺(tái)，微電流計(jì)，鐵電特性測試儀，薄膜 厚度測試儀， AFMAFM 原子力顯微鏡。半導(dǎo)體器件物理-實(shí)驗(yàn)：幾種半導(dǎo)體器件制備及性能測試（綜 合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)），MOSMOS 器件的高頻響應(yīng)特性測試及分析（綜合設(shè)計(jì)實(shí) 驗(yàn)），半導(dǎo)體光伏特性測試。實(shí)驗(yàn)裝置：半導(dǎo)體光刻機(jī)，PECVDPECVD 薄膜 制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，氧化退火爐，勻膠機(jī)，超聲波清AFMAFM19洗器，頻譜分析儀，介電性能測試儀，探針臺(tái)，半導(dǎo)體特性圖示儀。實(shí)驗(yàn)：薄膜的生長工藝實(shí)驗(yàn)，薄膜的氧化 工藝實(shí)驗(yàn)，薄膜的退火工藝實(shí)驗(yàn)，薄膜的光刻工藝實(shí)驗(yàn)，薄膜的濕法、半導(dǎo)體制造技術(shù)干法刻蝕工藝實(shí)驗(yàn)，蒸金工藝實(shí)驗(yàn)，器件的測試和篩選實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)裝

25、置：半導(dǎo)體光刻機(jī)，PECVDPECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng),氧化退火爐，勻膠機(jī)，超聲波清洗器，探針臺(tái)，半導(dǎo)體特性圖示儀,介電性能測試儀。實(shí)驗(yàn)分室名稱實(shí)驗(yàn)儀器名稱實(shí)驗(yàn)儀器型號(hào)數(shù)量（臺(tái)套）單價(jià)（萬元）總價(jià)（萬元）廠家原子力顯微鏡AJffi118.018.0上海愛建納米 科技有限公司快速熱處理爐RTP30013.83.8北京東之星應(yīng) 用物理研究所磁力攪拌器81 220.050.1上海梅穎浦公 司通風(fēng)廚定做20.20.4蘇州元橋?qū)嶒?yàn) 設(shè)備有限公司臺(tái)式勻膠機(jī)KW-4A10.50.5中科院微電子 中心研究院空氣過濾器系統(tǒng)GJ-20220.150.3寧波凈化設(shè)備 廠凈化干燥箱SDJ-110.

26、60.6上海實(shí)驗(yàn)儀器 廠氧化-退火爐ZF-417.27.2上海祖發(fā)實(shí)業(yè) 公司光學(xué)顯微鏡SZM-45B10.50.5寧波舜宇儀器 有限公司電子分析天平JA-200310.80.8上海第一天平 廠超聲波清洗器HKD 1004S10.40.4蘇州和科達(dá)超聲 儀器有限公司光刻機(jī)JKG-2A119.519.5中國科學(xué)院光 電技術(shù)研究所介電性能測試儀TH282814.84.8冋惠電子有限 公司微電流計(jì)6517A16.56.5美國Keithley公司半導(dǎo)體特性圖示儀XJ482210.7980.798上海新建儀器2021真空泵2XZ-4B10.450.45上海真空泵廠四探針測試儀RTS812.52.5廣州四探

27、針科 技有限公司磁控濺射鍍膜系統(tǒng)（已執(zhí)行）DM-400127.527.5沈陽科友等離子輔助化學(xué)氣相 沉積系統(tǒng)（已執(zhí)行）P ECVD-32012626沈陽科友薄膜厚度測試儀TP Y-214.84.8天津拓普鐵電性能測試儀RT66A127.027.0Radia nt Tech no logies潔凈實(shí)驗(yàn)室10000級(jí)144蘇凈集團(tuán)小計(jì)156.448156.448單價(jià) 5 5 萬元以上的論證報(bào)告見附件。計(jì)算機(jī)房建設(shè)主要是為單片機(jī)原理、計(jì)算物理、EDAEDA 設(shè)計(jì)、MATLABMATLAB 程序設(shè)計(jì)、應(yīng)用物理專業(yè)計(jì)算機(jī)編程實(shí)習(xí) 等課程提供上機(jī)實(shí)踐。實(shí)驗(yàn)分室名稱實(shí)驗(yàn)儀器名稱實(shí)驗(yàn)儀器型 號(hào)數(shù)量（臺(tái)套）單價(jià)

28、（萬元）總價(jià)（萬元）廠家計(jì) 算 機(jī)房服務(wù)器IBM11.51.5電腦聯(lián)想開天M4600410.624.6軟件Win2003-serve122交換機(jī)D-Link/48口10.280.28投影儀EMP- 760122小計(jì)30.3830.38 實(shí)驗(yàn)室改造及配套設(shè)施基礎(chǔ)設(shè)施預(yù)算表規(guī)格單價(jià)（元）數(shù)量總價(jià)（萬元）廠家22實(shí)驗(yàn)桌160*75*801250405上海奉浦教育用品有限公司23200*100*80150*60*75195019526205.070.39上海奉浦教育用品有限公司實(shí)驗(yàn)椅35*25*45801200.96上海奉浦教育用品有限公司儀器柜雙層900151.35空調(diào)掛機(jī)200071.4柜機(jī)400

29、062.4土建15000.15網(wǎng)絡(luò)布線20000.2地板90000.9總計(jì)：17.8217.82物理技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目總預(yù)算：309.028309.028 萬元項(xiàng)目實(shí)施工作組情況為了實(shí)施“物理技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)”項(xiàng)目計(jì)劃，我系成立了項(xiàng) 目實(shí)施工作小組。組員：樊斌、劉宏、楊伯成、李健康、時(shí)善進(jìn)、程新利、申小陽、 秦長發(fā) 實(shí)施安排計(jì)劃該項(xiàng)目的建設(shè)分為四個(gè)階段:第一階段：進(jìn)一步落實(shí)儀器設(shè)備的調(diào)研和論證， 制定詳細(xì)周密的采購計(jì)劃和實(shí)驗(yàn)室改造計(jì)劃。（20052005 年一月中旬完成）4 4 月底前完成。）四、 項(xiàng)目實(shí)施組織第二階段：完成實(shí)驗(yàn)室改造包括添置桌椅、空調(diào)等。(2006(2006 年第三階段：完

30、成光電綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)分室儀器的采購、安裝和調(diào)24試。儀器的安裝調(diào)試工作要落實(shí)到人，以確保儀器的質(zhì)量和效能。（采 購于 2002006 6年 5 5 月底前完成， 20062006 年 6 6 月完成安裝與調(diào)試）4第四階段： 完成材料基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)分室儀器的采購、 安裝和調(diào)試， 重 要儀器還要外請專家聯(lián)合驗(yàn)收。 （采購于 20062006 年 1010 月底前完成，20062006 年 1212 月完成安裝與調(diào)試） 保障措施為了保障項(xiàng)目能按計(jì)劃完成采取以下措施：工作小組定期例會(huì)，研討項(xiàng)目實(shí)施，把握項(xiàng)目進(jìn)度。系務(wù)委員會(huì)定期檢查項(xiàng)目進(jìn)展情況。經(jīng)常性的與院職能進(jìn)行聯(lián)系、溝通、匯報(bào)。25論證報(bào)告附件：光譜分析儀

31、購置論證報(bào)告光譜分析儀在光電子器件性能的測試中是必不可少的， 是基本的光電實(shí)驗(yàn)室 配置儀器。因?yàn)楣庾V分析儀最基本的作用就是清晰地完成個(gè)各種光譜的成分分 析，可用來測量LD及LED等光源的頻譜，也可用來測量光纜、濾光器等的損耗波長特征及傳輸特征，是各種試驗(yàn)最基本的試驗(yàn)依據(jù)。其主要功能有：1、光譜儀能夠分析各種光源的成分，比如激光光源、點(diǎn)光源、寬帶光源、白光源等，能夠讓學(xué)生或者其他試驗(yàn)者清楚地了解光源所發(fā)射出光的成分和強(qiáng)度；2、通過和 光源連接， 能夠?qū)o源器件的各項(xiàng)特性作清晰的分析， 能夠準(zhǔn)確明了的看出無源 器件的光通過、 光濾出的能力， 完成無源器件的性能測試 （無源器件包括光耦合 器、分路器

32、、濾波器、光隔離器、光纖光柵等） ；3、直接連接有源器件，如光放 大器（EDFA），能夠分析它的增益，判斷該器件的性能。目前，國內(nèi)設(shè)有光電系或光電專業(yè)的高校均會(huì)購置光譜分析儀，所選產(chǎn)品主 要有下列品牌：1、日本的橫河，2、日本的安利，3、日本的愛德萬。無國產(chǎn)合格的光譜分析儀。三家公司的相近配置產(chǎn)品價(jià)格相當(dāng)橫河公司的光譜儀不僅具有 高分辨率、高靈敏度、高精確度、寬動(dòng)態(tài)范圍以及精確的線性等基本性能，而且 還擁有許多其它功能， 如三維顯示、 各種數(shù)據(jù)加工功能及程序測量功能。 在數(shù)據(jù) 輸出方面， 該儀器能夠通過內(nèi)置的高速打印機(jī)將屏幕內(nèi)容做成硬拷貝， 并通過內(nèi) 置軟盤讀/寫波形及程序。另外，該儀器還裝有

33、標(biāo)準(zhǔn)配置GP-IB以進(jìn)行充分的遠(yuǎn)程 控制。橫河公司的光譜儀主要有AQ631和AQ6317兩種，AQ631配置更高、功能更強(qiáng)、價(jià)格也更高，更適合科研；AQ6317較適合教學(xué)，也可從事一些科研，因 此，我們選用AQ6317C。綜上所述，光譜分析儀在光電專業(yè)教學(xué)， 光電試驗(yàn)室建設(shè)中具有基本且重要 的作用，并且不能夠被別的儀器所取代。 因此，在國內(nèi)開設(shè)相關(guān)教學(xué)活動(dòng)的學(xué)校 中，均配置了光譜分析儀。附件（橫河公司光譜分析儀的部分用戶名單）南京大學(xué)南京郵電大學(xué)南京師范大學(xué)清華大學(xué)北京大學(xué)吉林大學(xué)燕山大學(xué)北方交通大學(xué)廈門大學(xué)北京郵電大學(xué)鄭州大學(xué)大連理工燕京大學(xué)山東大學(xué)重慶大學(xué)電子科技大學(xué)西南師范大學(xué)浙江大學(xué)暨

34、南大學(xué)沈陽大學(xué)中國科技大學(xué)26復(fù)旦大學(xué)上海大學(xué)武漢理工大學(xué)頻譜分析儀購置論證報(bào)告頻譜分析儀是各高校實(shí)驗(yàn)室普及的必然， 它主要針對高校教學(xué)培養(yǎng)學(xué)生通過實(shí)驗(yàn)獲得射頻系統(tǒng)的基本構(gòu)成、工作原理、模擬分析，掌握時(shí)域和現(xiàn)域傳輸線、 天線波導(dǎo)、 射頻模具以及射頻通訊等基本概念。 頻譜分析儀是通信系統(tǒng)中常用的 測量儀器， 可用來測量頻率同功率之間的關(guān)系。 射頻技術(shù)與紅外技術(shù)、 藍(lán)牙技術(shù) 并列為當(dāng)今短距離無線光通信的三大技術(shù)。頻譜分析儀在國外被當(dāng)作頻域中的 “射頻萬用表 ”，可見它的重要性及應(yīng)用泛 圍之廣。由于對其認(rèn)識(shí)不夠及價(jià)格較高等問題， 在國內(nèi)， 頻譜儀一直主要應(yīng)用在 軍事、國防及科研等高層面， 是一個(gè)神秘

35、、高檔的儀器。 隨著通信的發(fā)展和普及， 在光通信教學(xué)、 研究等方面對頻譜分析儀需求越來越迫切， 應(yīng)用也更普及。 頻譜 儀成為一個(gè)必需的 “射頻萬用表 ”的時(shí)代已來到。頻譜分析儀主要特點(diǎn)為：1.高靈敏度；2.頻率高、頻帶寬；3.頻率、幅度測量及對比特性。 能直觀地對信號(hào)的組成進(jìn)行頻率幅度和信號(hào)比較， 這種對比性的 測量，示波器和頻率計(jì)是無法完成的。 頻率計(jì)的特性在于： 測量大于20mV的單 一信號(hào)頻率，頻率計(jì)有8位顯示，其讀數(shù)更精確， 精確并不是頻譜分析儀的主要 特點(diǎn)。因此在保證準(zhǔn)確性條件下， 頻譜儀一般用4位半顯示頻率， 一些國際品牌部分產(chǎn)品用刻度盤指示頻率都是常見的情況。 可以很好地對射頻漏

36、場進(jìn)行檢測，對CATV/MATV系統(tǒng)的故障檢查，移動(dòng)電話/尋呼系統(tǒng)的測試和電磁兼容性的診 斷也都很方便。 頻譜分析儀可以檢測手機(jī)邏輯和射頻電路的信號(hào)， 如邏輯電路的 控制信號(hào)、基帶信號(hào)；射頻電路的本振信號(hào)、中頻信號(hào)、發(fā)射信號(hào)等。用頻譜分27析儀檢測手機(jī)的不入網(wǎng)故障，圈定故障點(diǎn)，十分快捷和準(zhǔn)確。同時(shí)，頻譜分析儀在光電子器件性能的測試中是必不可少的， 它對光電探測器、 光電管和各種光電 元件的光電轉(zhuǎn)換特性、頻響特性測試又是光譜分析儀無法完成的。目前，國內(nèi)設(shè)有光電系或光電專業(yè)的高校大多數(shù)都購置了頻譜分析儀， 所選 產(chǎn)品主要有下列品牌：1、美國的惠普，2、日本的安利，3、日本的愛德萬，4、深圳的安泰信

37、。相近配置產(chǎn)品價(jià)格相差很大，惠普最高，安利和愛德萬相當(dāng)，安泰信價(jià)格最低，但性價(jià)比不高。愛德萬(ADVANTEST)頻譜儀不僅具有高分辨率、 高靈敏度、 高精確度、 寬動(dòng)態(tài)范圍以及精確的線性等基本性能，其它功能，如各種數(shù)據(jù)加工功能及程序測量功能。在數(shù)據(jù)輸入、輸出方面，該儀 器能夠與各種常規(guī)輸入、輸出設(shè)備相連，讀/寫波形及程序。愛德萬公司的頻譜儀主要有R3162和U3751兩種，R3162配置更高、功能更強(qiáng)、價(jià)格也更高，更適合 科研；U3751在R3162基礎(chǔ)上進(jìn)行了簡化，較適合教學(xué)，也可從事一些科研，因此, 我們選用U3751。橢圓偏振薄膜厚度測試儀購置 論證 報(bào)告橢圓偏振儀主要用于信息光電子功

38、能薄膜和體材料的光學(xué)性質(zhì)和結(jié)構(gòu)特性 分析。其主要用途有：1.各種信息光電子功能材料和器件的光學(xué)常數(shù)的分析，測量對象包括金屬、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、絕緣體、非晶體、磁性材料、薄膜材料、光 盤材料、電光材料、 非線性材料、 各向異性材料；2.薄膜材料的表面， 界面特性， 厚度以及粗糙分析；3.借助光學(xué)常數(shù)， 對信息光電子功能材料的組份和結(jié)構(gòu)進(jìn)行 測量和分析，以及對半導(dǎo)體材料的特性進(jìn)行實(shí)時(shí)在線檢測、質(zhì)量評(píng)估和分析；4.結(jié)合其他儀器可直接用于教學(xué)中演示各種光學(xué)偏振狀態(tài)的模擬、 檢測和分析。 橢 偏儀的另一特點(diǎn)是在測量中與樣品無接觸， 測量速度快， 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確， 對樣品無損 傷。最后，在測量中，可按研究條件同時(shí)

39、對入射角和波長進(jìn)行自動(dòng)精細(xì)掃描，從 而增加了分析的靈活性， 便于獲得更多的光學(xué)信息進(jìn)行數(shù)據(jù)分析， 提高了研究的 質(zhì)量和可靠性?？偵峡梢?，橢圓偏振儀是薄膜材料制備和分析中不可缺少的設(shè)備。薄膜厚度測量是薄膜生長過程中必不可少， 測量薄膜厚度的方法主要有臺(tái)階 儀的直接測量法和橢圓偏振儀的間接測量法。 臺(tái)階儀都是進(jìn)口的， 價(jià)格教高； 橢 圓偏振儀有國產(chǎn)替代品， 且使用該方法測量薄膜厚度， 更有利于培養(yǎng)學(xué)生觀察問 題、分析問題的能力。而且還擁有許多28目前，各高校中大都使用進(jìn)口橢偏儀， 價(jià)格在幾萬到十幾萬美金不等， 我校以教學(xué)為重，我們選定國產(chǎn)品牌。國內(nèi)主要有兩大品牌：天津港東和天津拓普， 其型號(hào)分別為

40、SGC-2和TP丫-2，價(jià)格和性能參數(shù)均相當(dāng)，經(jīng)過我系教師實(shí)地考 察，天津拓普更務(wù)實(shí)、產(chǎn)品也更精細(xì)、售后服務(wù)更好，因此選擇天津拓普。原子力顯微鏡購置論證報(bào)告儀器型號(hào)：AJ-III型、儀器性能介紹原子力顯微鏡是通過測量原子之間的范德華力來獲取樣品表面形貌的儀器。由于具有比電子顯微鏡更高的分辨率、 更加簡單的樣品制備過程、 以及可在常溫 電子學(xué)等納米科學(xué)和表面科學(xué)、 凝聚態(tài)科學(xué)、 薄膜科學(xué)、 半導(dǎo)體科學(xué)等的研究領(lǐng) 域，成為納米科學(xué)技術(shù)和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的基本工具及當(dāng)代科技的經(jīng)典教學(xué)儀器， 也是當(dāng)今世界近代物理實(shí)驗(yàn)室的必備儀器之一。 對材料表面和界面的形貌研究具 有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢，對于導(dǎo)體，半導(dǎo)體，絕緣體的

41、表面可以直接進(jìn)行測量，無需增鍍 金屬層。二、儀器類型的選定國內(nèi)外都有設(shè)計(jì)生產(chǎn)原子力顯微鏡的廠家， 對常用的儀器進(jìn)行調(diào)研發(fā)現(xiàn)， 國 內(nèi)外廠家生產(chǎn)的儀器在性能和價(jià)格上都有很大的區(qū)別，調(diào)研結(jié)果如下：美國維易科（VeecO精密儀器有限公司，Dimension 5000型，價(jià)格為200萬人民幣左右，功能齊全，穩(wěn)定性好，為世界知名品牌；杭州亞納科技有限公司，YanoAFM-n型，價(jià)格為人民幣10萬元左右，主要作為示教儀器，功能單一，市面銷售很少；重慶大學(xué)恒瑞納米技術(shù)工作站，PC-205B型，價(jià)格為人民幣25萬元左右, 產(chǎn)品處于試制階段，設(shè)計(jì)理念較落后，儀器穩(wěn)定性較差。通過比較可以發(fā)現(xiàn)，同類的進(jìn)口儀器大約需

42、要20萬美元，國內(nèi)用戶對其售 后服務(wù)深感不便， 主要原因是出現(xiàn)故障后維修時(shí)間過長， 費(fèi)用過高， 極大的影響 教學(xué)和科研工作。 而且國外供應(yīng)商在信息的支持上不重視， 對我們今后的工作開 展沒有太大幫助。本項(xiàng)目申請的AJ-III型原子力顯微鏡是中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所的技術(shù)成果，經(jīng)上市公司愛建股份投資，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，性能穩(wěn)定可靠，是上 海市A級(jí)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化項(xiàng)目。其產(chǎn)品在國內(nèi)屬領(lǐng)先水平，且售后服務(wù)比較方便。三、儀器用途常壓條件下工作等優(yōu)點(diǎn)，目前已被廣泛的應(yīng)用于納米生物學(xué)、納米材料學(xué)、 納米29本項(xiàng)目申請的原子力顯微鏡主要是用于對材料科學(xué)的教學(xué)， 讓學(xué)生更加深入 的了解當(dāng)前納米材料技術(shù)的發(fā)展， 拓

43、展學(xué)生的知識(shí)結(jié)構(gòu)和技能； 通過該儀器的實(shí) 驗(yàn)教學(xué)，可以使增強(qiáng)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣， 培養(yǎng)學(xué)生利用近代物理實(shí)驗(yàn)測試設(shè)備的能 力。該儀器設(shè)備除了進(jìn)行正常的教學(xué)任務(wù)以外， 還可以利用其作為平臺(tái)進(jìn)行開發(fā)， 形成新的功能， 創(chuàng)造新的實(shí)驗(yàn)研究手段。 同時(shí)可以為物理系教師提供材料研究表 征手段，還可以為化學(xué)系教師進(jìn)行 “材料物理與化學(xué)” 學(xué)科領(lǐng)域的前沿科學(xué)研究 工作提供了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。對整個(gè)學(xué)校的教學(xué)和科研水平的提高具有積極的促進(jìn)作用。光刻機(jī)購置論證報(bào)告儀器型號(hào)：JKG-2A、儀器性能介紹光刻在現(xiàn)代微電子工業(yè)中起著舉足輕重的作用， 是半導(dǎo)體工業(yè)的 “領(lǐng)頭羊”。光刻的作用就是把所需要的器件圖形通過光刻技術(shù)轉(zhuǎn)移到材料基底

44、上， 或者是制 作器件的材料上。 主要途徑是在襯底材料上通過涂抹光刻膠， 在光刻膠上覆蓋掩 模板（所需圖形與掩模板上圖形形狀一致，但尺寸可以不一樣） ，讓光刻光束通 過掩模板使部分光刻膠曝光， 然后通過顯影， 清洗等工藝使所需圖形轉(zhuǎn)移到光刻 膠上，在通過對沒有被光刻膠覆蓋的襯底材料進(jìn)行刻蝕，使圖形最終轉(zhuǎn)移到襯底 材料上，形成所需的器件結(jié)構(gòu)。在主流微電子工藝過程中，光刻是最復(fù)雜，昂貴 和關(guān)鍵的工藝， 對器件的性能影響最大。 光刻機(jī)性能差異直接決定光刻圖形的質(zhì) 量，在當(dāng)前亞微米器件中，對光刻工藝的要求更高。在現(xiàn)在電子工業(yè)中，幾乎所 有的器件制作過程都離不開光刻技術(shù)， 光刻機(jī)的性能參數(shù)決定了光刻工藝

45、的可靠 性。、儀器選擇光刻機(jī)和光刻工藝是微電子技術(shù)中最昂貴的機(jī)器和工藝， 國外研究機(jī)構(gòu)對光 刻機(jī)和光刻工藝的研究投入占技術(shù)投入中的大部分。目前國外的光刻機(jī)工藝成 熟，但價(jià)格很高。國內(nèi)在光刻機(jī)的研究也已開展，在技術(shù)上也有了突破。經(jīng)過國30內(nèi)用戶調(diào)研發(fā)現(xiàn)，半導(dǎo)體制造企業(yè)利用的光刻機(jī)多為國外進(jìn)口設(shè)備，價(jià)格昂貴， 不適合學(xué)校教學(xué)應(yīng)用。 高校和科研單位利用的光刻機(jī)性能也有很大差異， 料如下：德國Karl-Suss公司Suss MA6/BA6型光刻機(jī)，性能穩(wěn)定，功能齊全，為世界知名品牌，國內(nèi)有較多用戶，如上海交通大學(xué)，價(jià)格約中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所生產(chǎn)多種型號(hào)的光刻機(jī)， 具體型號(hào)和 價(jià)格如下：1

46、.SB-601雙面曝光機(jī)：158萬元/臺(tái)2. SB-401B雙面曝光機(jī)：52萬元/臺(tái)3. BG-401A曝光機(jī)：22.5萬元/臺(tái)（紫外光源）26.8萬元/臺(tái)（遠(yuǎn)紫外光源）技術(shù)較為成熟，在國內(nèi)有一定量的用戶，價(jià)格也較貴。中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所和北京中科百奧電子技術(shù)有限責(zé)任公司新近研 發(fā)JKG-2A型臺(tái)式紫外光刻機(jī)，技術(shù)領(lǐng)先，制造工藝成熟，儀器曝光精度和技術(shù) 參數(shù)能夠滿足我們教學(xué)和科研的需要， 技術(shù)在國內(nèi)領(lǐng)先， 且價(jià)格適中。 與實(shí)驗(yàn)室 正在定制的材料沉積和刻蝕設(shè)備合用， 可以實(shí)現(xiàn)材料到器件的制作， 能夠使學(xué)生 掌握從材料到器件的工藝知識(shí)，為學(xué)生能力培養(yǎng)和就業(yè)用重要推動(dòng)作用。三、儀器應(yīng)用本項(xiàng)目申請

47、的光刻機(jī)主要是用于對光電技術(shù)， 半導(dǎo)體物理等課程的教學(xué)， 讓 學(xué)生掌握當(dāng)前半導(dǎo)體工藝的主流技術(shù)， 通過該儀器的實(shí)驗(yàn)教學(xué)， 可以使增強(qiáng)學(xué)生 的學(xué)習(xí)興趣等。 該儀器設(shè)備除了進(jìn)行正常的教學(xué)任務(wù)以外，還可以作為教師進(jìn) 行科研的工具， 利用其作為基礎(chǔ)進(jìn)行器件的研發(fā)， 提升物理系的科研水平， 為應(yīng) 用物理系的后續(xù)發(fā)展提供動(dòng)力， 同時(shí)還可以服務(wù)于學(xué)校其他相關(guān)系科， 為學(xué)校的 教學(xué)和科研發(fā)展提供實(shí)驗(yàn)保障。氧化- -退火爐購置論證報(bào)告、儀器性能介紹氧化和退火在材料研究中具有重要作用，如氧化在當(dāng)今半導(dǎo)體工藝中占有 重要地位，因半導(dǎo)體主流材料Si的氧化物為性能穩(wěn)定的絕緣物質(zhì)，在器件制作 中具有重要地位。 退火對材料

48、性能的改善具有重要意義， 相同的材料經(jīng)不同的工 藝選擇可以導(dǎo)致不同的性能出現(xiàn)。 氧化退火爐為從結(jié)構(gòu)上講， 是一臺(tái)有控溫系 統(tǒng)和石英管組成的加熱爐，可以通過在不同溫度下，在石英管中通入不同的氣體 分別實(shí)現(xiàn)氧化和退火的功能，如需要氧化只要通入氧氣體就可以實(shí)現(xiàn)，退火過程 只要通入惰性氣體作為保護(hù)就可以實(shí)現(xiàn)， 所以該爐為一中結(jié)構(gòu)可以多樣功能的設(shè)備，在材料研究中是不可缺少的。外形如下圖所示:調(diào)研材250萬人民幣。31、儀器選擇氧化退火爐在國內(nèi)生產(chǎn)單位較多，各廠家的產(chǎn)品性能差異也較大。如長沙48所生產(chǎn)的L48 13II-1B/UM型爐體，溫度可達(dá)1300C，可以通入Ar、N2、O2，等多種氣體；北京機(jī)電研

49、究所生產(chǎn)的WZT-10型臥式退火爐，也可以達(dá)到1300C高溫退火。經(jīng)過對部分廠家咨詢，并通過比較選定上海祖發(fā)實(shí)業(yè)公司生產(chǎn)的氧化-退火爐。上海祖發(fā)實(shí)業(yè)有限公司是一家具有十?dāng)?shù)年歷史的民營高科技企業(yè)。公司主要 生產(chǎn)XMT系列人工智能工業(yè)調(diào)節(jié)儀及小型集散系統(tǒng)、各式高低溫電爐、專用電 爐、烘箱、自動(dòng)化儀表及溫度儀表、大中型烘房等。同時(shí)承接各種非標(biāo)設(shè)備的設(shè) 計(jì)與制造，專業(yè)控制、軟件及應(yīng)用開發(fā)，電器配套工程等設(shè)備。在技術(shù)上非常成熟。在國內(nèi)高校和科研單位中有眾多的客戶群，并可以根據(jù)需要定做。生產(chǎn)的爐體最高控制溫度可達(dá)1300C，控溫精度為).5C，可以滿足學(xué)生實(shí)驗(yàn)的要求。三、儀器應(yīng)用氧化-退火爐主要用于學(xué)生硅

50、片的氧化工藝實(shí)驗(yàn)， 材料退火性能，制備鐵電 薄膜的工藝實(shí)驗(yàn)等基礎(chǔ)性實(shí)驗(yàn)的教學(xué)工作。除此外，從事材料研究的教師可以該設(shè)備進(jìn)行研究，為應(yīng)用物理系半導(dǎo)體光電技術(shù)教研工作奠定基礎(chǔ)， 為提升物理系 的教學(xué)和科研水平作出貢獻(xiàn)。光學(xué)平臺(tái)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)購置論證報(bào)告該系統(tǒng)主要面向光電技術(shù)與信息方向?qū)W生的光學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。 其主要用途 有：1、全息光柵的設(shè)計(jì)、制備和性能測試，2、全息光柵空間頻率的實(shí)時(shí)測量，3、光學(xué)圖像相加相減，4、光學(xué)圖像識(shí)別。在該系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)中，注重理論與工程應(yīng)用的結(jié)合，引入了與科技發(fā)展相適應(yīng)的 新知識(shí)點(diǎn)，應(yīng)用光、機(jī)、電、算的先進(jìn)測試和處理手段。并安排融設(shè)計(jì)、制備、 測試為一體的具設(shè)計(jì)性、綜合性的實(shí)驗(yàn)以

51、增強(qiáng)學(xué)生的創(chuàng)新思維和實(shí)踐能力的應(yīng) 用，達(dá)到市場對畢業(yè)生的需要。32目前，各高校中大都使用的光學(xué)平臺(tái)有韓國、 美國和國內(nèi)的， 美國的價(jià)格在 十幾萬，我校以教學(xué)為重， 我們在韓國大一和國內(nèi)的兩大品牌 （天津港東和天津 拓普）中選擇，國產(chǎn)兩型號(hào)分別為GSZ3-24-12和QWSZ-2，價(jià)格和性能參數(shù)均相當(dāng)（每個(gè)平臺(tái)約4.3萬元），韓國大一對應(yīng)型號(hào)的平臺(tái)價(jià)格為4.64萬元，經(jīng)過我系教師實(shí)地考察， 韓國大一的產(chǎn)品盡管價(jià)格稍高于國產(chǎn)品牌， 但其性價(jià)比遠(yuǎn)高于國產(chǎn)品牌， 具體表現(xiàn)為： 內(nèi)部采用蜂窩結(jié)構(gòu)可保證臺(tái)面平整度的長久性， 共振頻率在垂直方向?yàn)?.21.5赫茲，水平方向?yàn)?.51.7赫茲，而國產(chǎn)平臺(tái)均 要

52、大于3赫茲。同時(shí)代理韓國大一產(chǎn)品的北京大恒更務(wù)實(shí)、 產(chǎn)品也更精細(xì)、 售后 服務(wù)更好，因此選擇北京大恒代理的韓國大一平臺(tái)和北京大恒的附件。角度復(fù)用的光學(xué)信息存儲(chǔ)系統(tǒng)購置報(bào)告該系統(tǒng)可用全息方法在三維材料中存儲(chǔ)信息， 由于存儲(chǔ)容量大、 數(shù)據(jù)傳輸速 率高、可進(jìn)行并行內(nèi)容尋址等優(yōu)點(diǎn)而成為信息存儲(chǔ)領(lǐng)域中的科學(xué)前沿和技術(shù)熱 點(diǎn)；該系統(tǒng)可設(shè)計(jì)和制備各種光學(xué)器件（光波導(dǎo)、光交叉互連器件、波分復(fù)用器等）。本實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)用空間光調(diào)制器作為組頁器，用CCD進(jìn)行二維數(shù)據(jù)采集，用計(jì)算機(jī)控制實(shí)驗(yàn)過程， 實(shí)現(xiàn)光折變晶體中的全息存儲(chǔ)和讀出， 是全息學(xué)與光電信息 處理的綜合性實(shí)驗(yàn)。該系統(tǒng)為中國科學(xué)院大恒集團(tuán)與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合開發(fā)的8

53、63、973項(xiàng)目的先期成果，主要應(yīng)用于教學(xué)和科研，受到國內(nèi)眾多高校的親睞首都師大四套、 湖南師大、 哈爾濱師大、 西安交大、 西南科技大學(xué)、 蘭州交通 大學(xué)等都已購買） ，是光電信息專業(yè)學(xué)生進(jìn)行綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)必不可少的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。系統(tǒng)學(xué)生通過該實(shí)驗(yàn)的學(xué)習(xí)可了解體全息存儲(chǔ)的基本原理和方法，學(xué)習(xí)鄰面入射（即90入射）全息記錄光路的搭建和調(diào)試，通過光折變晶體中動(dòng)態(tài)光柵的建立和體 光柵的角度選擇性的測量，體會(huì)體全息存儲(chǔ)的優(yōu)越性和實(shí)現(xiàn)大容量存儲(chǔ)的途徑。該實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)為國際首創(chuàng)，通過我系教師的實(shí)地調(diào)查（對其系統(tǒng)裝置分解計(jì)價(jià)） 該系統(tǒng)具有較高的性價(jià)比。鐵電性能測試儀購置論證報(bào)告、儀器性能簡介美國Radiant Te

54、chnologies公司生產(chǎn)的鐵電性能測試儀系統(tǒng)，可以用于測量鐵電材料的電滯回線，疲勞，老化，微位移，熱釋電等性能。其型號(hào)為：RTI-Workstation,這是在原來RT66A和RT6000的基礎(chǔ)上進(jìn)一步改進(jìn)后的產(chǎn)品，其主要性能參數(shù)為：頻率1MHz;當(dāng)偏壓為：10V時(shí)電流限制為50mA;當(dāng)偏 壓為10V100V時(shí)電流限制為70mA;測試分辨率為12fC;輸入阻抗為10-12Ohms；測量精度在33mHz2.5kHz頻率范圍，為測量值的0.5%。下圖為該儀器的外形照片：34RTI-Workstation主要用于分析和測試鐵電材料的各項(xiàng)特性， 因此可以給學(xué)生開展相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：7、印痕測試另外，

55、在條件成熟的情況下， 該系統(tǒng)若再選配一些外部測量儀器和相關(guān)測量 軟件后可以擴(kuò)展測試鐵電壓電材料的其它一些特性：1、若在外接一臺(tái)溫度爐和熱釋電軟件后，可實(shí)現(xiàn)測量：熱釋電系數(shù)測量，變溫電滯回線測量， 剩余極化溫度譜， 極化熱電系數(shù)溫度譜， 總熱電函數(shù)溫度譜2、若在外接MTI2000或AFM及相關(guān)測量軟件后可實(shí)現(xiàn)測量：材料的應(yīng)變 測量，D33測量，及蝴蝶圖的繪制。、選擇該型號(hào)儀器的理由經(jīng)過調(diào)研國內(nèi)目前沒有該類型設(shè)備，國外就是美國和德國兩家公司有生產(chǎn)， 經(jīng)性能和價(jià)格比較，建議購買美國Radia nt Tech no logies公司的產(chǎn)品。該系統(tǒng)與德國公司儀器的對比優(yōu)點(diǎn)為：1RTI-Workstati

56、on是通過測量電荷來換算電滯回線的，其代表了真正科學(xué)的測量方法，因?yàn)殍F電材料就是測量材料本身在施加不同電壓情況下釋放出來的電荷情況。2內(nèi)部建有同步時(shí)鐘，使施加電壓和采樣電荷保持同步，以達(dá)到最科學(xué)的測量數(shù)據(jù)。3該系統(tǒng)主機(jī)內(nèi)部已經(jīng)固化了所有測量功能需要的硬件，對其擴(kuò)展功能將來的升級(jí)只需要通過軟件就可以了，減少了客戶的升級(jí)成本及時(shí)間。4RTI-Workstation測試系統(tǒng)的精度在各項(xiàng)測試功能上都達(dá)到了0.5%。5.Radiant軟件的設(shè)計(jì)非常人性化，并具有極強(qiáng)的編輯功能。適合客戶從事各種不同方式的測量需要6.在將來客戶要升級(jí)該系統(tǒng)做塊材測試時(shí)，美國Radiant測試系統(tǒng)可以最高升級(jí)到20KV的測試

57、電壓，是目前全球唯一可以做到此指標(biāo)的公司美國Radiant公司的鐵電材料測試系統(tǒng)目前在中國國內(nèi)的市場占有率已經(jīng)到 達(dá)85-90%,在清華大學(xué)，哈工大，中山大學(xué)，上海大學(xué)，武漢大學(xué)，武漢理工大學(xué)，四川大學(xué)， 成都電子科技大學(xué)， 廈門大學(xué)， 南京大學(xué)， 河北大學(xué)， 河南大學(xué)，西安交通大學(xué)等許多大學(xué)被廣泛使用。在教學(xué)和科研方面發(fā)揮著不可替代的重要 作用。1、電滯回線測試2、記憶特性測試3、單脈沖測試4、漏電流測試5、小信號(hào)電容測試6、疲勞測試8、殘留測試35三、和教學(xué)、實(shí)驗(yàn)的關(guān)系鐵電性能測試儀同探針臺(tái)一起組成的系統(tǒng)，可以用來完成學(xué)生的薄膜鐵電性能的測試實(shí)驗(yàn)”和薄膜靜態(tài)熱釋電性能的測試實(shí)驗(yàn)”兩個(gè)綜合性

58、的實(shí)驗(yàn)。通過一定的工藝過程制備出來的鐵電薄膜材料，首先一定要關(guān)心它的各種 電學(xué)性能如何，否則很難判斷制備工藝的優(yōu)劣。這次共建計(jì)劃對于鐵電材料與器 件部分一共只報(bào)了兩個(gè)電性能測試儀器，即介電性能的測試和鐵電性能的測試,如果沒有這些最基本的測試設(shè)備，鐵電薄膜材料的制備實(shí)驗(yàn)將失去意義。另外, 通過電性能的測試，可以使學(xué)生進(jìn)一步了解和改進(jìn)自己的材料制備工藝， 從而設(shè) 計(jì)出最佳的制備方案。為提高教學(xué)效果和學(xué)生的動(dòng)手實(shí)驗(yàn)?zāi)芰⑵鸬椒浅Ｖ匾?作用。該測試系統(tǒng)在我系學(xué)生畢業(yè)論文環(huán)節(jié)也將發(fā)揮重要的作用。為進(jìn)一步提高學(xué) 生畢業(yè)論文的檔次，擴(kuò)寬學(xué)生畢業(yè)論文的內(nèi)容，特別是為我系本科教學(xué)的評(píng)估起 到關(guān)鍵性的作用。另外

59、，我系目前從事鐵電材料與器件研究的教師有4人，該系統(tǒng)的使用必將 有利于提高這些老師的科研水平和科研成果，同時(shí)也能提高他們的教學(xué)效果。微電流計(jì)論證報(bào)告、儀器性能簡介由美國Keithley公司生產(chǎn)的微電流計(jì)，是目前國內(nèi)外公認(rèn)的測試高電阻、型號(hào)為6517A的微電流計(jì)的性能指標(biāo)如下：1）電流測量范圍從1fA到3620mA;2）電壓測量范圍從10 N到200V;3）電阻測量范圍從50Q至U 1016Q;4）電荷測量范圍從10fC到2uC。表1、表2、表3分別表示了電壓、電流以及 電阻的測量精度。表1VOLTSRANGERANGE5 5匾DIGFTDIGFTRESOLLTTIONACCURACYACCUR

60、ACY (1(1 Y*arrY*arrlexalexa嗆(rdg+counts)(rdg+counts)TEMPTEMP ERAKIREERAKIRECOEFFICIENTCOEFFICIENT (P-l(P-l護(hù)C C & &2fl-5(rC2fl-5(rC rdrd g+coug+countsJTCntsJTC2 2 V VJOJO pVpVQO25QO25 + + 4 42ij2ij V VIGW)IGW)彈V VGO25GO25+3+3liWliW+ + i i200200 V V1 1 mVmVQ06Q060.W2十1AMPSRANGERANGE53IGIT53IGIT RESOLRESOL UPONUPONA