一 蘇州科技大學數(shù)理學院

1、12005年中央與地方共建高等學校專項資金項目物理技術基礎實驗室建設執(zhí)行計劃蘇州科技學院應用物理系2二 ococ 五年十一月3原項目基本情況物理技術基礎實驗室儀器設備購置項目項目所需儀器設備的調研和論證。儀器設備的配置該項目主要是為滿足應用物理專業(yè)實驗教學的最基本需求，本項 目的儀器配置主要在兩個方面：1光電綜合設計實驗分室的建設光電綜合設計實驗分室的儀器配置思路是結合面向 2121 世紀課本 的最新內容， 更注重實際的應用性， 有利于學生綜合設計實驗能力和 創(chuàng)新思想的培養(yǎng)。 同時通過這些實驗， 使學生能夠掌握更多現(xiàn)代儀器 的使用方法， 提高對現(xiàn)代技術儀器設備的應用能力，縮短實驗教學與 實際應

2、用之間的差距。光電綜合設計實驗分室的建立也將為我們的新 專業(yè)應用物理學打下良好的實驗基礎。2材料基礎實驗分室。材料基礎實驗分室的儀器配置將更側重于應用物理學專業(yè)的需 求。應用物理學專業(yè)定位的方向之一是光電材料與器件， 材料基礎實 驗分室的建立將使學生獲得材料制備和器件設計的基本知識和技能， 這將為高年級的專業(yè)材料和微電子器件設計打下堅實的基礎。(1)(1)項目名稱(2)(2)項目類型(3)(3) 主要工作內容4（4 4）預期總目標及其階段性目標情況預期總目標該項目的建設預期達到以下總目標:1建成物理技術基礎實驗室，該實驗室有兩個實驗分室：光電綜 合設計實驗分室和材料基礎實驗分室。2建成一個集本

3、科生教學、畢業(yè)論文（設計）一體的物理技術基 礎實驗室。3通過物理技術基礎實驗室的建設增強應用物理學專業(yè)的實驗 教學實力，加速應用物理學專業(yè)的建設和發(fā)展，滿足學位評估的基本 需求，縮短人才培養(yǎng)和社會需求之間的差距， 提高該專業(yè)的辦學后勁 并形成自身的辦學特色。此次申報的儀器主要用于基礎課 （包括專業(yè)基礎課）的實驗教學。10.核磁、順磁共振實驗11.干涉、衍射、光柵系列實驗;實驗分室名稱光1.2.3.4.5.6.7.8.9.實驗項目手工制備光纖單模光纖系列實驗半導體光源與光纖的耦合多模光纖傳感器光電傳感器的光譜、照度、溫度特性；光電傳感器的應用系列實驗.超聲波相干實驗氦氖激光器諧振腔的研究（測量腔

4、長、橫模、縱模、功率等）傅立葉光學的空間頻譜與空間濾波實驗512.點矩陣全息實驗13.光時域反射儀在光纖通信中的應用14.德拜法、勞埃法測晶體常數(shù);15.激光器的裝調;16.激光器的輸出脈沖寬度測量;17.激光器的閥值測量;18.激光電光調Q實驗;19.激光器晶體角度匹配倍頻實驗;激光器選模實驗實驗項目10、薄膜的光刻工藝實驗。11、薄膜的干法刻蝕工藝實驗。12、線鍵合工藝實驗。13.簡單半導體器件制備實驗:I.整流二極管n.基本MOS器件III.肖特基二極管;IV.硅基壓力傳感器;V.半導體濕度傳感器;VI.半導體氣敏傳感14、薄膜介電頻譜的測試實驗。15、薄膜介電溫譜的測試實驗。實驗分室名

5、稱1、2、3、4、材5、6、料7、&基9、硅片的濕法清洗及電性能測試實驗Sol-Gel法制備鐵電薄膜材料實驗磁控濺射法制備半導體、鐵電體薄膜實驗磁控濺射法制備金屬電極的實驗PECVD制備薄膜材料實驗材料表面掃描電鏡檢測實驗薄膜介電性能測試實驗薄膜材料微結構及物性實驗金屬電極的剝離技術實驗。616、薄膜鐵電性能的測試實驗。17、薄膜靜態(tài)熱釋電性能的測試實驗。7 項目需要的投入總額為人民幣693.97693.97 萬元;光電綜合設計實驗分室儀器設備清單實驗分室名稱實驗儀器名稱實驗儀器 型號數(shù)量（臺套）單價（萬元）總價（萬元）廠家脈沖Nd: YAGt光器實驗系統(tǒng)XGL-I213.827.6天

6、津港東科技發(fā) 展有限公司光電傳感器實驗儀CSY-G8216.0杭州賽特傳感技 術有限公司光纖光柵傳感器實驗系統(tǒng)SYG模塊式82.217. 6武漢理工光科股份有限公司超聲波相干實驗儀CASSY54.7623.8萊寶公司氦氖激光器與激光諧 振腔F-HX102081.08.0北京方式科技有限公司傅立葉光學的空間頻 譜與空間濾波實驗F-FLY107080.64.8北京方式科技有限公司核磁共振系統(tǒng)DH404A080.987.84北京大華無線電儀器廠微波順磁共振系統(tǒng)DH809A82.518.0北京大華無線電儀器廠光學平臺GSZ-II81.18.8天津港東科技發(fā) 展有限公司光學實驗減振平臺DVIO-I-20

7、10M-26.913.8韓國大一點矩陣全息實驗系統(tǒng)P AASY-20Y114.614.6大恒新紀元科技光纖光學實驗系統(tǒng)OP F-6500220.240.4美國New port公司氦氪激光器HK-L20024.08.0大恒新紀元科技股份有限公司光時域反射儀（OTDR）MW9076B748.0032.0南京吉隆光纖通信 有限公司（代理）光纖熔接機KL-26025.410.8南京吉隆光纖通信 有限公司（代理）X射線衍射儀PHY WE-X30029.218.4PHYW公司掃描隧道顯微鏡LB-STM450211.022.0萊寶公司光學信息處理系統(tǒng)OIP- I82.1517. 2重慶大學物理實驗中心小計3

8、09.6489材料基礎實驗分室儀器備清單實驗 分室 名稱實驗儀器名稱實驗儀器型 號數(shù)量（臺套）單價（萬元）總價（萬元）廠家快速熱處理爐RTP30023.87.6北京東之星應 用物理研究所磁力攪拌器81-260.050.3上海梅穎浦公 司通風廚定做40.72.8蘇州元橋實驗 設備有限公司臺式勻膠機KW-4A40.52.0中科院微電子 中心研究院100級潔凈工作臺GJ-20220.71.4寧波凈化設備 廠凈化干燥箱SDJ-130.61.8上海實驗儀器 廠氧化-退化爐ZF-429.519上海祖發(fā)實業(yè) 公司光學顯微鏡SZM-45B40.31.2寧波舜宇儀器 有限公司電子分析天平JA-200340.83

9、.2上海第一天平 廠超聲波清洗器KQ50DB30.82.4昆山超聲儀器 有限公司光刻機JKG-2A14.54.5上海光學儀器 廠介電性能測試儀TH2828TH2816114.80.984.80.98冋惠電子有限 公司鐵電性能測試儀RT66A13636Radia ntTech no logies公司微電流計6517A16.56.5美國Keithley公司鎖相放大器530211515美國EG&G公司靜態(tài)熱釋電性能測試系統(tǒng)定做19.69.6上海技術物理 所變溫探針臺LTMP-114343MMRTech no logies公司真空泵2XZ-4B20.450.9上海真空泵廠直流濺射儀定做22.4

10、4.8西安交通大學 電子材料研究 所四探針測試儀SDY512.22.2上海華巖儀器 設備有限公司鍵合機7400C12525美國ALLTEK公司1011真空鍍膜系統(tǒng)DM-40011616沈陽科儀等離子輔助化學氣相 沉積系統(tǒng)P ECVD-32012525沈陽科儀等離子刻蝕機ICP-2B138.838.8北京圣微納新 技術研究所薄膜厚度測試儀F2011111美國Filmetric公司PLD薄膜材料制備設 備CF40214.529沈陽科友潔凈實驗室1000級12020寧波凈化設備 廠激光拉曼光譜儀LRS-3111.011.0天津港東科技 發(fā)展有限公司傅立葉變換紅外光譜 儀-17800-370cm119

11、.019.0天津港東科技 發(fā)展有限公司雙光束紅外分光光度 計-14000-400 cm112.012.0天津港東科技 發(fā)展有限公司原子吸收分光光度 計AA320CRT17.557.55上海分析儀 器廠小計384.33二、項目批復情況項目申報后，經上級部門批準立項。批準的經費額度：上級財政 撥款：人民幣 20200 0萬元整。項目批復文件見附件。項目預算調整預算調整總的原則由于申報的經費額度與批準的經費額度之間有一定的差距，因此項目執(zhí)行時的經費預算應做響應調整。調整時應保證專業(yè)教學基本要求，同時兼顧一些更高層次的要求。12 調整預算的重點目標：由于實驗教學改革和本科教學評估的需要，預算調整時應向

12、設置綜合性實驗和設計性實驗傾斜。這是我們調整預算時考慮的重點。調整后總體建設目標和建設內容項目總預算：人民幣 309.028309.028 萬元該項目調整后由 1 1 光電綜合設計實驗分室，2 2 材料基礎實驗分應用物理專業(yè)建設著重光電技術和光電信息光電功能材 料兩個專門化方向。光電技術是 以光電子學為基礎，綜合利用光學、 精密機械、電子學和計算機技術解決各種工程應用課題的技術學科。信息載體正在由電磁波段擴展到光波段， 從而使光電科學與光機電一 體化技術集中在光信息獲取、傳輸、處理、記錄、存儲、顯示和傳感 等的光電信息產業(yè)上。光電功能材料主要包括半導體光電材料和光電 顯示材料。與上述專業(yè)方向配

13、套的主干課程有光 電技術和光電信息類(A(A)和光電功能材料類(B B):A.A.應用光學、光學信息處理、光電技術、激光原理與應用、光纖技術、 傳感器原理與應用、光電子技術與器件、凝聚態(tài)光物理學;B.B.固體物理、薄膜生長、材料物理、光電功能超薄膜、半導體材料物 理、信息材料、納米技術基礎及應用、薄膜制備技術實習、結構與物 性、半導體器件物理、半導體制造技術。本專業(yè)建設過程，還注意培養(yǎng)學生在物理學相關領域中應用計算機的能力，開設的課程中需用計算機機房的有：單片機原理、計算物 理、EDAEDA 設計、MATLABMATLAB 語言程序設計、應用物理專業(yè)計算機編程室,3 3 計算機房，4 4 實驗

14、室改造及配套等四個子項目組成。13實習。為滿足主干課程的教學要求， 需建立光電綜合實驗室和材料基礎 實驗室和計算機房。 光電綜合設計實驗分室建設子項目該項目建成使學生能夠掌握更多現(xiàn)代儀器的使用方法，提高對現(xiàn) 代技術儀器設備的應用能力， 有利于學生綜合設計實驗能力和創(chuàng)新思 想的培養(yǎng)。2材料基礎實驗分室建設子項目該項目建成使學生獲得材料制備和器件設計的基本知識和技能， 這將為高年級的專業(yè)材料和微電子器件設計打下堅實的基礎。3計算機房項目該項目的建成將提高學生在應用物理學中應用計算機軟硬件的 能力。4實驗室改造及配套設施建設子項目該項目是對光電綜合設計實驗分室、材料基礎實驗分室的若干實 驗室進行改造

15、，改造內容包括：實驗室的土建、裝飾改造；添置實驗 臺、桌椅、空調等；特殊要求的實驗臺、工作室的建造。 分子項目進行論證光電技術和光電信息類課程需開設實驗及實驗裝置：應用光學實驗： 全息光柵的設計、制備和性能測試，全息光柵空間頻率的實時測量，全息存儲的基本原理和方法，傅立葉光譜儀設計與應用（綜合設計）。實驗裝置： 光學平臺及配件。光學信息處理實驗： 光學圖像識別、相加、相減，電光調14制、聲光調制和磁光調制，鄰面入射（即 9090入射）全息記錄光路的 搭建和調試（綜合設計） ，光折變晶體中動態(tài)光柵的建立和體光柵的 角度選擇性的測量（綜合設計） 。實驗裝置： 光學平臺及配件，角度 復用的光學信息存

16、儲系統(tǒng)，光功率計，電光調制、聲光調制和磁光調 制實驗系統(tǒng)。實驗：測量 LDLD 、LEDLED 光源的峰值波長、線寬及最佳工作波長， 半導體激光器的工作特性測量， 半導體激光器光譜特性測量，光電探測器光譜響應度測試，光電探測器響應時間測試，光導體激光特性測量系統(tǒng)，光電探測器實驗系統(tǒng)，頻譜分析儀，光譜分腔長、橫模、縱模、功率等） , , 半導體激光器的工作特性測量，半導 體激光器輸出遠近場分布的測量， 半導體激光器光譜特性測量。 實驗 裝置： 半導體激光特性測量系統(tǒng)，光電探測器實驗系統(tǒng)，光功率計、光譜分析儀，He-NeHe-Ne 激光器與激光諧振腔。器件制備及系統(tǒng)應用， WDMWDM 通信系統(tǒng)的

17、設計及系統(tǒng)的特性參數(shù)測量綜合設計實驗），頻分復用通信系統(tǒng)設計及頻譜特性分析（綜合設 計實驗）。實驗裝置： 半導體激光特性測量系統(tǒng)，光功率計，光纖光 學實驗系統(tǒng)，頻譜分析儀，光譜分析儀，角度復用的光學信息存儲系 統(tǒng)。傳感器原理與應用實驗：多模光纖傳感器，光電傳感器的光電技術電探測器的應用電路及其特性測量（綜合設計實驗）。實驗裝置：半析儀。激光原理與應用實驗： 氦氖激光器諧振腔的研究（測量光纖技術實驗：光纖通信系統(tǒng)特性參數(shù)測量與分析， WDMWDM15光譜、照度、溫度特性，利用 OSAOSA 測量光纖壓力傳感器的譜線特性,典型光電測量系統(tǒng)的設計（綜合設計實驗）。實驗裝置：光電傳感器,光纖光柵傳感實

18、驗系統(tǒng)，光纖光學實驗系統(tǒng)，頻譜分析儀。光電子技術與器件-實驗：光電傳感器的應用系列實驗，頻譜分析儀檢測手機邏輯和射頻電路信號,光波導器件制備，光交叉互連器件制備，光電探測器的應用電路及其特性測量，LDLD、LEDLED 半導體器件制備及性能測試（綜合設計實驗）。實驗裝置：光電傳感器,光電探測器實驗系統(tǒng)，頻譜分析儀，角度復用的光學信息存儲系統(tǒng)（此外實驗裝置還包括半導體光刻機，P P ECVDECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，半導體特性圖示儀，介電性能測試儀，氧化退火爐，勻膠機，超聲波清洗器等設備，這些設備包含在材料基礎實驗分室中）。實驗分室名稱實驗儀器名稱實驗儀器 型號數(shù)量（臺套）單

19、價（萬元）總價（萬元）廠家半導體激光特性測量 系統(tǒng)BDTL-322.55.0大恒新紀元科技 股份有限公司光電探測器實驗系統(tǒng)GCS-GDTC23.06.0大恒新紀元科技股份有限公司光纖光柵傳感器實驗 系統(tǒng)（已執(zhí)行1.6萬）SYG莫塊式22.14.2武漢理工光科股份有限公司頻譜分析儀U3751110.910.9上?？齐妰x器公司氦氖激光器與激光諧 振腔（已執(zhí)行）F-HX102020.81.6北京方式科技有限公司傅立葉光學的空間頻 譜與空間濾波實驗（已執(zhí)行）F-FLY107020.61.2北京方式科技有限公司光學平臺系統(tǒng)（含配 件）DAEIL25.611.2大恒新紀元科技 股份有限公司1617光電功能

20、材料類課程需開設實驗及實驗裝置：薄膜生長-實驗：硅片的濕法清洗及電性能測試實驗，磁控 濺射法制備半導體、鐵電體薄膜實驗（綜合設計實驗），PECVDPECVD 制備 薄膜材料實驗（綜合設計實驗），薄膜介電性能測試實驗，薄膜材料 微結構及物性實驗。實驗裝置：P P ECVDECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，介電性能測試儀，超聲波清洗器，AFMAFM 原子力顯微鏡, 薄膜厚度測試儀，四探針測試儀、鐵電特性測試儀，微電流計。材料物理-實驗：硅片的濕法清洗及電性能測試實驗，生長 參數(shù)對成核密度的影響實驗（綜合設計實驗），Sol-GelSol-Gel 法制備鐵電 薄膜材料實驗，磁控濺射法制備半

21、導體、鐵電體薄膜實驗（綜合設計 實驗），PECVDPECVD 制備薄膜材料實驗（綜合設計實驗），薄膜介電性能測試實驗，薄膜材料微結構及物性實驗。實驗裝置：PECVDPECVD 薄膜制 備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，介電性能測試儀，超聲波清洗器, 磁力攪拌器，快速退火爐，AFAFM M原子力顯微鏡，薄膜厚度測試儀,電光調制實驗儀DGT-120.891.78華東師大科教儀 器廠聲光調制實驗儀SGT-121.152.3華東師大科教儀 器廠磁光調制實驗儀CGT-120.951.9華東師大科教儀 器廠角度復用的光學信息 存儲系統(tǒng)DH-m200117.017.0大恒新紀元科技 股份有限公司光纖光學實驗系統(tǒng)

22、（已執(zhí)行）OP F-6500120.220.2美國New port公司光譜分析儀AQ6317C120.520.5上海橫河國際貿易 有限公司光功率計AQ2160-0210.60.6上海橫河國際貿 易有限公司小計104.38設計分室單價 5 5 萬元以上的論證報告見附件。18四探針測試儀、鐵電特性測試儀，微電流計。3光電功能超薄膜-實驗：同薄膜生長4半導體材料物理-實驗：硅片的濕法清洗及電性能測試實驗, 磁控濺射法制備半導體薄膜實驗，P P ECVDECVD 制備半導體薄膜材料實驗, 摻磷微晶硅薄膜的制備及微晶硅薄膜電阻率與摻磷濃度的半定量關 系測量（綜合設計實驗）。實驗裝置：PECVDPECVD

23、 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺 射薄膜制備系統(tǒng)， 介電性能測試儀， 超聲波清洗器， 薄膜厚度測試儀，微電流計，四探針測試儀。5信息材料- -實驗：同薄膜生長、材料物理、半導體材 料物理。6納米技術基礎與應用-實驗：硅基納米薄膜的制備及性能測 試（綜合設計實驗），簡單 MEMMEM 系統(tǒng)制造，納米材料的常規(guī)表征方法。實驗裝置： PECVDPECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，半導體 光刻機，介電性能測試儀，超聲波清洗器，薄膜厚度測試儀， 原子力顯微鏡。薄膜制備技術實習-實驗：同薄膜生長、材料物理、納米技術基礎與應用 。結構與物性-實驗：不同材料的結構表征及物性測試。 實驗 裝置： 介電性能測試

24、儀，探針臺，微電流計，鐵電特性測試儀，薄膜 厚度測試儀， AFMAFM 原子力顯微鏡。半導體器件物理-實驗：幾種半導體器件制備及性能測試（綜 合設計實驗），MOSMOS 器件的高頻響應特性測試及分析（綜合設計實 驗），半導體光伏特性測試。實驗裝置：半導體光刻機，PECVDPECVD 薄膜 制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)，氧化退火爐，勻膠機，超聲波清AFMAFM19洗器，頻譜分析儀，介電性能測試儀，探針臺，半導體特性圖示儀。實驗：薄膜的生長工藝實驗，薄膜的氧化 工藝實驗，薄膜的退火工藝實驗，薄膜的光刻工藝實驗，薄膜的濕法、半導體制造技術干法刻蝕工藝實驗，蒸金工藝實驗，器件的測試和篩選實驗。實驗裝

25、置：半導體光刻機，PECVDPECVD 薄膜制備系統(tǒng)，磁控濺射薄膜制備系統(tǒng),氧化退火爐，勻膠機，超聲波清洗器，探針臺，半導體特性圖示儀,介電性能測試儀。實驗分室名稱實驗儀器名稱實驗儀器型號數(shù)量（臺套）單價（萬元）總價（萬元）廠家原子力顯微鏡AJffi118.018.0上海愛建納米 科技有限公司快速熱處理爐RTP30013.83.8北京東之星應 用物理研究所磁力攪拌器81 220.050.1上海梅穎浦公 司通風廚定做20.20.4蘇州元橋實驗 設備有限公司臺式勻膠機KW-4A10.50.5中科院微電子 中心研究院空氣過濾器系統(tǒng)GJ-20220.150.3寧波凈化設備 廠凈化干燥箱SDJ-110.

26、60.6上海實驗儀器 廠氧化-退火爐ZF-417.27.2上海祖發(fā)實業(yè) 公司光學顯微鏡SZM-45B10.50.5寧波舜宇儀器 有限公司電子分析天平JA-200310.80.8上海第一天平 廠超聲波清洗器HKD 1004S10.40.4蘇州和科達超聲 儀器有限公司光刻機JKG-2A119.519.5中國科學院光 電技術研究所介電性能測試儀TH282814.84.8冋惠電子有限 公司微電流計6517A16.56.5美國Keithley公司半導體特性圖示儀XJ482210.7980.798上海新建儀器2021真空泵2XZ-4B10.450.45上海真空泵廠四探針測試儀RTS812.52.5廣州四探

27、針科 技有限公司磁控濺射鍍膜系統(tǒng)（已執(zhí)行）DM-400127.527.5沈陽科友等離子輔助化學氣相 沉積系統(tǒng)（已執(zhí)行）P ECVD-32012626沈陽科友薄膜厚度測試儀TP Y-214.84.8天津拓普鐵電性能測試儀RT66A127.027.0Radia nt Tech no logies潔凈實驗室10000級144蘇凈集團小計156.448156.448單價 5 5 萬元以上的論證報告見附件。計算機房建設主要是為單片機原理、計算物理、EDAEDA 設計、MATLABMATLAB 程序設計、應用物理專業(yè)計算機編程實習 等課程提供上機實踐。實驗分室名稱實驗儀器名稱實驗儀器型 號數(shù)量（臺套）單價

28、（萬元）總價（萬元）廠家計 算 機房服務器IBM11.51.5電腦聯(lián)想開天M4600410.624.6軟件Win2003-serve122交換機D-Link/48口10.280.28投影儀EMP- 760122小計30.3830.38 實驗室改造及配套設施基礎設施預算表規(guī)格單價（元）數(shù)量總價（萬元）廠家22實驗桌160*75*801250405上海奉浦教育用品有限公司23200*100*80150*60*75195019526205.070.39上海奉浦教育用品有限公司實驗椅35*25*45801200.96上海奉浦教育用品有限公司儀器柜雙層900151.35空調掛機200071.4柜機400

29、062.4土建15000.15網絡布線20000.2地板90000.9總計：17.8217.82物理技術基礎實驗室項目總預算：309.028309.028 萬元項目實施工作組情況為了實施“物理技術基礎實驗室建設”項目計劃，我系成立了項 目實施工作小組。組員：樊斌、劉宏、楊伯成、李健康、時善進、程新利、申小陽、 秦長發(fā) 實施安排計劃該項目的建設分為四個階段:第一階段：進一步落實儀器設備的調研和論證， 制定詳細周密的采購計劃和實驗室改造計劃。（20052005 年一月中旬完成）4 4 月底前完成。）四、 項目實施組織第二階段：完成實驗室改造包括添置桌椅、空調等。(2006(2006 年第三階段：完

30、成光電綜合設計實驗分室儀器的采購、安裝和調24試。儀器的安裝調試工作要落實到人，以確保儀器的質量和效能。（采 購于 2002006 6年 5 5 月底前完成， 20062006 年 6 6 月完成安裝與調試）4第四階段： 完成材料基礎實驗分室儀器的采購、 安裝和調試， 重 要儀器還要外請專家聯(lián)合驗收。 （采購于 20062006 年 1010 月底前完成，20062006 年 1212 月完成安裝與調試） 保障措施為了保障項目能按計劃完成采取以下措施：工作小組定期例會，研討項目實施，把握項目進度。系務委員會定期檢查項目進展情況。經常性的與院職能進行聯(lián)系、溝通、匯報。25論證報告附件：光譜分析儀

31、購置論證報告光譜分析儀在光電子器件性能的測試中是必不可少的， 是基本的光電實驗室 配置儀器。因為光譜分析儀最基本的作用就是清晰地完成個各種光譜的成分分 析，可用來測量LD及LED等光源的頻譜，也可用來測量光纜、濾光器等的損耗波長特征及傳輸特征，是各種試驗最基本的試驗依據。其主要功能有：1、光譜儀能夠分析各種光源的成分，比如激光光源、點光源、寬帶光源、白光源等，能夠讓學生或者其他試驗者清楚地了解光源所發(fā)射出光的成分和強度；2、通過和 光源連接， 能夠對無源器件的各項特性作清晰的分析， 能夠準確明了的看出無源 器件的光通過、 光濾出的能力， 完成無源器件的性能測試 （無源器件包括光耦合 器、分路器

32、、濾波器、光隔離器、光纖光柵等） ；3、直接連接有源器件，如光放 大器（EDFA），能夠分析它的增益，判斷該器件的性能。目前，國內設有光電系或光電專業(yè)的高校均會購置光譜分析儀，所選產品主 要有下列品牌：1、日本的橫河，2、日本的安利，3、日本的愛德萬。無國產合格的光譜分析儀。三家公司的相近配置產品價格相當橫河公司的光譜儀不僅具有 高分辨率、高靈敏度、高精確度、寬動態(tài)范圍以及精確的線性等基本性能，而且 還擁有許多其它功能， 如三維顯示、 各種數(shù)據加工功能及程序測量功能。 在數(shù)據 輸出方面， 該儀器能夠通過內置的高速打印機將屏幕內容做成硬拷貝， 并通過內 置軟盤讀/寫波形及程序。另外，該儀器還裝有

33、標準配置GP-IB以進行充分的遠程 控制。橫河公司的光譜儀主要有AQ631和AQ6317兩種，AQ631配置更高、功能更強、價格也更高，更適合科研；AQ6317較適合教學，也可從事一些科研，因 此，我們選用AQ6317C。綜上所述，光譜分析儀在光電專業(yè)教學， 光電試驗室建設中具有基本且重要 的作用，并且不能夠被別的儀器所取代。 因此，在國內開設相關教學活動的學校 中，均配置了光譜分析儀。附件（橫河公司光譜分析儀的部分用戶名單）南京大學南京郵電大學南京師范大學清華大學北京大學吉林大學燕山大學北方交通大學廈門大學北京郵電大學鄭州大學大連理工燕京大學山東大學重慶大學電子科技大學西南師范大學浙江大學暨

34、南大學沈陽大學中國科技大學26復旦大學上海大學武漢理工大學頻譜分析儀購置論證報告頻譜分析儀是各高校實驗室普及的必然， 它主要針對高校教學培養(yǎng)學生通過實驗獲得射頻系統(tǒng)的基本構成、工作原理、模擬分析，掌握時域和現(xiàn)域傳輸線、 天線波導、 射頻模具以及射頻通訊等基本概念。 頻譜分析儀是通信系統(tǒng)中常用的 測量儀器， 可用來測量頻率同功率之間的關系。 射頻技術與紅外技術、 藍牙技術 并列為當今短距離無線光通信的三大技術。頻譜分析儀在國外被當作頻域中的 “射頻萬用表 ”，可見它的重要性及應用泛 圍之廣。由于對其認識不夠及價格較高等問題， 在國內， 頻譜儀一直主要應用在 軍事、國防及科研等高層面， 是一個神秘

35、、高檔的儀器。 隨著通信的發(fā)展和普及， 在光通信教學、 研究等方面對頻譜分析儀需求越來越迫切， 應用也更普及。 頻譜 儀成為一個必需的 “射頻萬用表 ”的時代已來到。頻譜分析儀主要特點為：1.高靈敏度；2.頻率高、頻帶寬；3.頻率、幅度測量及對比特性。 能直觀地對信號的組成進行頻率幅度和信號比較， 這種對比性的 測量，示波器和頻率計是無法完成的。 頻率計的特性在于： 測量大于20mV的單 一信號頻率，頻率計有8位顯示，其讀數(shù)更精確， 精確并不是頻譜分析儀的主要 特點。因此在保證準確性條件下， 頻譜儀一般用4位半顯示頻率， 一些國際品牌部分產品用刻度盤指示頻率都是常見的情況。 可以很好地對射頻漏

36、場進行檢測，對CATV/MATV系統(tǒng)的故障檢查，移動電話/尋呼系統(tǒng)的測試和電磁兼容性的診 斷也都很方便。 頻譜分析儀可以檢測手機邏輯和射頻電路的信號， 如邏輯電路的 控制信號、基帶信號；射頻電路的本振信號、中頻信號、發(fā)射信號等。用頻譜分27析儀檢測手機的不入網故障，圈定故障點，十分快捷和準確。同時，頻譜分析儀在光電子器件性能的測試中是必不可少的， 它對光電探測器、 光電管和各種光電 元件的光電轉換特性、頻響特性測試又是光譜分析儀無法完成的。目前，國內設有光電系或光電專業(yè)的高校大多數(shù)都購置了頻譜分析儀， 所選 產品主要有下列品牌：1、美國的惠普，2、日本的安利，3、日本的愛德萬，4、深圳的安泰信

37、。相近配置產品價格相差很大，惠普最高，安利和愛德萬相當，安泰信價格最低，但性價比不高。愛德萬(ADVANTEST)頻譜儀不僅具有高分辨率、 高靈敏度、 高精確度、 寬動態(tài)范圍以及精確的線性等基本性能，其它功能，如各種數(shù)據加工功能及程序測量功能。在數(shù)據輸入、輸出方面，該儀 器能夠與各種常規(guī)輸入、輸出設備相連，讀/寫波形及程序。愛德萬公司的頻譜儀主要有R3162和U3751兩種，R3162配置更高、功能更強、價格也更高，更適合 科研；U3751在R3162基礎上進行了簡化，較適合教學，也可從事一些科研，因此, 我們選用U3751。橢圓偏振薄膜厚度測試儀購置 論證 報告橢圓偏振儀主要用于信息光電子功

38、能薄膜和體材料的光學性質和結構特性 分析。其主要用途有：1.各種信息光電子功能材料和器件的光學常數(shù)的分析，測量對象包括金屬、半導體、超導體、絕緣體、非晶體、磁性材料、薄膜材料、光 盤材料、電光材料、 非線性材料、 各向異性材料；2.薄膜材料的表面， 界面特性， 厚度以及粗糙分析；3.借助光學常數(shù)， 對信息光電子功能材料的組份和結構進行 測量和分析，以及對半導體材料的特性進行實時在線檢測、質量評估和分析；4.結合其他儀器可直接用于教學中演示各種光學偏振狀態(tài)的模擬、 檢測和分析。 橢 偏儀的另一特點是在測量中與樣品無接觸， 測量速度快， 數(shù)據準確， 對樣品無損 傷。最后，在測量中，可按研究條件同時

39、對入射角和波長進行自動精細掃描，從 而增加了分析的靈活性， 便于獲得更多的光學信息進行數(shù)據分析， 提高了研究的 質量和可靠性。總上可見，橢圓偏振儀是薄膜材料制備和分析中不可缺少的設備。薄膜厚度測量是薄膜生長過程中必不可少， 測量薄膜厚度的方法主要有臺階 儀的直接測量法和橢圓偏振儀的間接測量法。 臺階儀都是進口的， 價格教高； 橢 圓偏振儀有國產替代品， 且使用該方法測量薄膜厚度， 更有利于培養(yǎng)學生觀察問 題、分析問題的能力。而且還擁有許多28目前，各高校中大都使用進口橢偏儀， 價格在幾萬到十幾萬美金不等， 我校以教學為重，我們選定國產品牌。國內主要有兩大品牌：天津港東和天津拓普， 其型號分別為

40、SGC-2和TP丫-2，價格和性能參數(shù)均相當，經過我系教師實地考 察，天津拓普更務實、產品也更精細、售后服務更好，因此選擇天津拓普。原子力顯微鏡購置論證報告儀器型號：AJ-III型、儀器性能介紹原子力顯微鏡是通過測量原子之間的范德華力來獲取樣品表面形貌的儀器。由于具有比電子顯微鏡更高的分辨率、 更加簡單的樣品制備過程、 以及可在常溫 電子學等納米科學和表面科學、 凝聚態(tài)科學、 薄膜科學、 半導體科學等的研究領 域，成為納米科學技術和現(xiàn)代科學技術的基本工具及當代科技的經典教學儀器， 也是當今世界近代物理實驗室的必備儀器之一。 對材料表面和界面的形貌研究具 有相當?shù)膬?yōu)勢，對于導體，半導體，絕緣體的

41、表面可以直接進行測量，無需增鍍 金屬層。二、儀器類型的選定國內外都有設計生產原子力顯微鏡的廠家， 對常用的儀器進行調研發(fā)現(xiàn)， 國 內外廠家生產的儀器在性能和價格上都有很大的區(qū)別，調研結果如下：美國維易科（VeecO精密儀器有限公司，Dimension 5000型，價格為200萬人民幣左右，功能齊全，穩(wěn)定性好，為世界知名品牌；杭州亞納科技有限公司，YanoAFM-n型，價格為人民幣10萬元左右，主要作為示教儀器，功能單一，市面銷售很少；重慶大學恒瑞納米技術工作站，PC-205B型，價格為人民幣25萬元左右, 產品處于試制階段，設計理念較落后，儀器穩(wěn)定性較差。通過比較可以發(fā)現(xiàn)，同類的進口儀器大約需

42、要20萬美元，國內用戶對其售 后服務深感不便， 主要原因是出現(xiàn)故障后維修時間過長， 費用過高， 極大的影響 教學和科研工作。 而且國外供應商在信息的支持上不重視， 對我們今后的工作開 展沒有太大幫助。本項目申請的AJ-III型原子力顯微鏡是中國科學院上海應用物理研究所的技術成果，經上市公司愛建股份投資，實現(xiàn)了產業(yè)化生產，性能穩(wěn)定可靠，是上 海市A級產業(yè)轉化項目。其產品在國內屬領先水平，且售后服務比較方便。三、儀器用途常壓條件下工作等優(yōu)點，目前已被廣泛的應用于納米生物學、納米材料學、 納米29本項目申請的原子力顯微鏡主要是用于對材料科學的教學， 讓學生更加深入 的了解當前納米材料技術的發(fā)展， 拓

43、展學生的知識結構和技能； 通過該儀器的實 驗教學，可以使增強學生的學習興趣， 培養(yǎng)學生利用近代物理實驗測試設備的能 力。該儀器設備除了進行正常的教學任務以外， 還可以利用其作為平臺進行開發(fā)， 形成新的功能， 創(chuàng)造新的實驗研究手段。 同時可以為物理系教師提供材料研究表 征手段，還可以為化學系教師進行 “材料物理與化學” 學科領域的前沿科學研究 工作提供了實驗基礎。對整個學校的教學和科研水平的提高具有積極的促進作用。光刻機購置論證報告儀器型號：JKG-2A、儀器性能介紹光刻在現(xiàn)代微電子工業(yè)中起著舉足輕重的作用， 是半導體工業(yè)的 “領頭羊”。光刻的作用就是把所需要的器件圖形通過光刻技術轉移到材料基底

44、上， 或者是制 作器件的材料上。 主要途徑是在襯底材料上通過涂抹光刻膠， 在光刻膠上覆蓋掩 模板（所需圖形與掩模板上圖形形狀一致，但尺寸可以不一樣） ，讓光刻光束通 過掩模板使部分光刻膠曝光， 然后通過顯影， 清洗等工藝使所需圖形轉移到光刻 膠上，在通過對沒有被光刻膠覆蓋的襯底材料進行刻蝕，使圖形最終轉移到襯底 材料上，形成所需的器件結構。在主流微電子工藝過程中，光刻是最復雜，昂貴 和關鍵的工藝， 對器件的性能影響最大。 光刻機性能差異直接決定光刻圖形的質 量，在當前亞微米器件中，對光刻工藝的要求更高。在現(xiàn)在電子工業(yè)中，幾乎所 有的器件制作過程都離不開光刻技術， 光刻機的性能參數(shù)決定了光刻工藝

45、的可靠 性。、儀器選擇光刻機和光刻工藝是微電子技術中最昂貴的機器和工藝， 國外研究機構對光 刻機和光刻工藝的研究投入占技術投入中的大部分。目前國外的光刻機工藝成 熟，但價格很高。國內在光刻機的研究也已開展，在技術上也有了突破。經過國30內用戶調研發(fā)現(xiàn)，半導體制造企業(yè)利用的光刻機多為國外進口設備，價格昂貴， 不適合學校教學應用。 高校和科研單位利用的光刻機性能也有很大差異， 料如下：德國Karl-Suss公司Suss MA6/BA6型光刻機，性能穩(wěn)定，功能齊全，為世界知名品牌，國內有較多用戶，如上海交通大學，價格約中國電子科技集團公司第四十五研究所生產多種型號的光刻機， 具體型號和 價格如下：1

46、.SB-601雙面曝光機：158萬元/臺2. SB-401B雙面曝光機：52萬元/臺3. BG-401A曝光機：22.5萬元/臺（紫外光源）26.8萬元/臺（遠紫外光源）技術較為成熟，在國內有一定量的用戶，價格也較貴。中國科學院光電技術研究所和北京中科百奧電子技術有限責任公司新近研 發(fā)JKG-2A型臺式紫外光刻機，技術領先，制造工藝成熟，儀器曝光精度和技術 參數(shù)能夠滿足我們教學和科研的需要， 技術在國內領先， 且價格適中。 與實驗室 正在定制的材料沉積和刻蝕設備合用， 可以實現(xiàn)材料到器件的制作， 能夠使學生 掌握從材料到器件的工藝知識，為學生能力培養(yǎng)和就業(yè)用重要推動作用。三、儀器應用本項目申請

47、的光刻機主要是用于對光電技術， 半導體物理等課程的教學， 讓 學生掌握當前半導體工藝的主流技術， 通過該儀器的實驗教學， 可以使增強學生 的學習興趣等。 該儀器設備除了進行正常的教學任務以外，還可以作為教師進 行科研的工具， 利用其作為基礎進行器件的研發(fā)， 提升物理系的科研水平， 為應 用物理系的后續(xù)發(fā)展提供動力， 同時還可以服務于學校其他相關系科， 為學校的 教學和科研發(fā)展提供實驗保障。氧化- -退火爐購置論證報告、儀器性能介紹氧化和退火在材料研究中具有重要作用，如氧化在當今半導體工藝中占有 重要地位，因半導體主流材料Si的氧化物為性能穩(wěn)定的絕緣物質，在器件制作 中具有重要地位。 退火對材料

48、性能的改善具有重要意義， 相同的材料經不同的工 藝選擇可以導致不同的性能出現(xiàn)。 氧化退火爐為從結構上講， 是一臺有控溫系 統(tǒng)和石英管組成的加熱爐，可以通過在不同溫度下，在石英管中通入不同的氣體 分別實現(xiàn)氧化和退火的功能，如需要氧化只要通入氧氣體就可以實現(xiàn)，退火過程 只要通入惰性氣體作為保護就可以實現(xiàn)， 所以該爐為一中結構可以多樣功能的設備，在材料研究中是不可缺少的。外形如下圖所示:調研材250萬人民幣。31、儀器選擇氧化退火爐在國內生產單位較多，各廠家的產品性能差異也較大。如長沙48所生產的L48 13II-1B/UM型爐體，溫度可達1300C，可以通入Ar、N2、O2，等多種氣體；北京機電研

49、究所生產的WZT-10型臥式退火爐，也可以達到1300C高溫退火。經過對部分廠家咨詢，并通過比較選定上海祖發(fā)實業(yè)公司生產的氧化-退火爐。上海祖發(fā)實業(yè)有限公司是一家具有十數(shù)年歷史的民營高科技企業(yè)。公司主要 生產XMT系列人工智能工業(yè)調節(jié)儀及小型集散系統(tǒng)、各式高低溫電爐、專用電 爐、烘箱、自動化儀表及溫度儀表、大中型烘房等。同時承接各種非標設備的設 計與制造，專業(yè)控制、軟件及應用開發(fā)，電器配套工程等設備。在技術上非常成熟。在國內高校和科研單位中有眾多的客戶群，并可以根據需要定做。生產的爐體最高控制溫度可達1300C，控溫精度為).5C，可以滿足學生實驗的要求。三、儀器應用氧化-退火爐主要用于學生硅

50、片的氧化工藝實驗， 材料退火性能，制備鐵電 薄膜的工藝實驗等基礎性實驗的教學工作。除此外，從事材料研究的教師可以該設備進行研究，為應用物理系半導體光電技術教研工作奠定基礎， 為提升物理系 的教學和科研水平作出貢獻。光學平臺實驗系統(tǒng)購置論證報告該系統(tǒng)主要面向光電技術與信息方向學生的光學基礎實驗平臺。 其主要用途 有：1、全息光柵的設計、制備和性能測試，2、全息光柵空間頻率的實時測量，3、光學圖像相加相減，4、光學圖像識別。在該系統(tǒng)實驗中，注重理論與工程應用的結合，引入了與科技發(fā)展相適應的 新知識點，應用光、機、電、算的先進測試和處理手段。并安排融設計、制備、 測試為一體的具設計性、綜合性的實驗以

51、增強學生的創(chuàng)新思維和實踐能力的應 用，達到市場對畢業(yè)生的需要。32目前，各高校中大都使用的光學平臺有韓國、 美國和國內的， 美國的價格在 十幾萬，我校以教學為重， 我們在韓國大一和國內的兩大品牌 （天津港東和天津 拓普）中選擇，國產兩型號分別為GSZ3-24-12和QWSZ-2，價格和性能參數(shù)均相當（每個平臺約4.3萬元），韓國大一對應型號的平臺價格為4.64萬元，經過我系教師實地考察， 韓國大一的產品盡管價格稍高于國產品牌， 但其性價比遠高于國產品牌， 具體表現(xiàn)為： 內部采用蜂窩結構可保證臺面平整度的長久性， 共振頻率在垂直方向為1.21.5赫茲，水平方向為1.51.7赫茲，而國產平臺均 要

52、大于3赫茲。同時代理韓國大一產品的北京大恒更務實、 產品也更精細、 售后 服務更好，因此選擇北京大恒代理的韓國大一平臺和北京大恒的附件。角度復用的光學信息存儲系統(tǒng)購置報告該系統(tǒng)可用全息方法在三維材料中存儲信息， 由于存儲容量大、 數(shù)據傳輸速 率高、可進行并行內容尋址等優(yōu)點而成為信息存儲領域中的科學前沿和技術熱 點；該系統(tǒng)可設計和制備各種光學器件（光波導、光交叉互連器件、波分復用器等）。本實驗系統(tǒng)用空間光調制器作為組頁器，用CCD進行二維數(shù)據采集，用計算機控制實驗過程， 實現(xiàn)光折變晶體中的全息存儲和讀出， 是全息學與光電信息 處理的綜合性實驗。該系統(tǒng)為中國科學院大恒集團與北京工業(yè)大學聯(lián)合開發(fā)的8

53、63、973項目的先期成果，主要應用于教學和科研，受到國內眾多高校的親睞首都師大四套、 湖南師大、 哈爾濱師大、 西安交大、 西南科技大學、 蘭州交通 大學等都已購買） ，是光電信息專業(yè)學生進行綜合設計實驗必不可少的實驗系統(tǒng)。系統(tǒng)學生通過該實驗的學習可了解體全息存儲的基本原理和方法，學習鄰面入射（即90入射）全息記錄光路的搭建和調試，通過光折變晶體中動態(tài)光柵的建立和體 光柵的角度選擇性的測量，體會體全息存儲的優(yōu)越性和實現(xiàn)大容量存儲的途徑。該實驗系統(tǒng)為國際首創(chuàng)，通過我系教師的實地調查（對其系統(tǒng)裝置分解計價） 該系統(tǒng)具有較高的性價比。鐵電性能測試儀購置論證報告、儀器性能簡介美國Radiant Te

54、chnologies公司生產的鐵電性能測試儀系統(tǒng)，可以用于測量鐵電材料的電滯回線，疲勞，老化，微位移，熱釋電等性能。其型號為：RTI-Workstation,這是在原來RT66A和RT6000的基礎上進一步改進后的產品，其主要性能參數(shù)為：頻率1MHz;當偏壓為：10V時電流限制為50mA;當偏 壓為10V100V時電流限制為70mA;測試分辨率為12fC;輸入阻抗為10-12Ohms；測量精度在33mHz2.5kHz頻率范圍，為測量值的0.5%。下圖為該儀器的外形照片：34RTI-Workstation主要用于分析和測試鐵電材料的各項特性， 因此可以給學生開展相應的實驗內容：7、印痕測試另外，

55、在條件成熟的情況下， 該系統(tǒng)若再選配一些外部測量儀器和相關測量 軟件后可以擴展測試鐵電壓電材料的其它一些特性：1、若在外接一臺溫度爐和熱釋電軟件后，可實現(xiàn)測量：熱釋電系數(shù)測量，變溫電滯回線測量， 剩余極化溫度譜， 極化熱電系數(shù)溫度譜， 總熱電函數(shù)溫度譜2、若在外接MTI2000或AFM及相關測量軟件后可實現(xiàn)測量：材料的應變 測量，D33測量，及蝴蝶圖的繪制。、選擇該型號儀器的理由經過調研國內目前沒有該類型設備，國外就是美國和德國兩家公司有生產， 經性能和價格比較，建議購買美國Radia nt Tech no logies公司的產品。該系統(tǒng)與德國公司儀器的對比優(yōu)點為：1RTI-Workstati

56、on是通過測量電荷來換算電滯回線的，其代表了真正科學的測量方法，因為鐵電材料就是測量材料本身在施加不同電壓情況下釋放出來的電荷情況。2內部建有同步時鐘，使施加電壓和采樣電荷保持同步，以達到最科學的測量數(shù)據。3該系統(tǒng)主機內部已經固化了所有測量功能需要的硬件，對其擴展功能將來的升級只需要通過軟件就可以了，減少了客戶的升級成本及時間。4RTI-Workstation測試系統(tǒng)的精度在各項測試功能上都達到了0.5%。5.Radiant軟件的設計非常人性化，并具有極強的編輯功能。適合客戶從事各種不同方式的測量需要6.在將來客戶要升級該系統(tǒng)做塊材測試時，美國Radiant測試系統(tǒng)可以最高升級到20KV的測試

57、電壓，是目前全球唯一可以做到此指標的公司美國Radiant公司的鐵電材料測試系統(tǒng)目前在中國國內的市場占有率已經到 達85-90%,在清華大學，哈工大，中山大學，上海大學，武漢大學，武漢理工大學，四川大學， 成都電子科技大學， 廈門大學， 南京大學， 河北大學， 河南大學，西安交通大學等許多大學被廣泛使用。在教學和科研方面發(fā)揮著不可替代的重要 作用。1、電滯回線測試2、記憶特性測試3、單脈沖測試4、漏電流測試5、小信號電容測試6、疲勞測試8、殘留測試35三、和教學、實驗的關系鐵電性能測試儀同探針臺一起組成的系統(tǒng)，可以用來完成學生的薄膜鐵電性能的測試實驗”和薄膜靜態(tài)熱釋電性能的測試實驗”兩個綜合性

58、的實驗。通過一定的工藝過程制備出來的鐵電薄膜材料，首先一定要關心它的各種 電學性能如何，否則很難判斷制備工藝的優(yōu)劣。這次共建計劃對于鐵電材料與器 件部分一共只報了兩個電性能測試儀器，即介電性能的測試和鐵電性能的測試,如果沒有這些最基本的測試設備，鐵電薄膜材料的制備實驗將失去意義。另外, 通過電性能的測試，可以使學生進一步了解和改進自己的材料制備工藝， 從而設 計出最佳的制備方案。為提高教學效果和學生的動手實驗能力將起到非常重要的 作用。該測試系統(tǒng)在我系學生畢業(yè)論文環(huán)節(jié)也將發(fā)揮重要的作用。為進一步提高學 生畢業(yè)論文的檔次，擴寬學生畢業(yè)論文的內容，特別是為我系本科教學的評估起 到關鍵性的作用。另外

59、，我系目前從事鐵電材料與器件研究的教師有4人，該系統(tǒng)的使用必將 有利于提高這些老師的科研水平和科研成果，同時也能提高他們的教學效果。微電流計論證報告、儀器性能簡介由美國Keithley公司生產的微電流計，是目前國內外公認的測試高電阻、型號為6517A的微電流計的性能指標如下：1）電流測量范圍從1fA到3620mA;2）電壓測量范圍從10 N到200V;3）電阻測量范圍從50Q至U 1016Q;4）電荷測量范圍從10fC到2uC。表1、表2、表3分別表示了電壓、電流以及 電阻的測量精度。表1VOLTSRANGERANGE5 5匾DIGFTDIGFTRESOLLTTIONACCURACYACCUR

60、ACY (1(1 Y*arrY*arrlexalexa嗆(rdg+counts)(rdg+counts)TEMPTEMP ERAKIREERAKIRECOEFFICIENTCOEFFICIENT (P-l(P-l護C C & &2fl-5(rC2fl-5(rC rdrd g+coug+countsJTCntsJTC2 2 V VJOJO pVpVQO25QO25 + + 4 42ij2ij V VIGW)IGW)彈V VGO25GO25+3+3liWliW+ + i i200200 V V1 1 mVmVQ06Q060.W2十1AMPSRANGERANGE53IGIT53IGIT RESOLRESOL UPONUPONA