傳感器原理及檢測(cè)技術(shù)_第3章_電感式傳感器B部分課件

1、1 第第3 3章章 電感式傳感器（電感式傳感器（B B部分）部分）23.1.3 自感式傳感器應(yīng)用 自感式電感傳感器可以用于多種物理量的測(cè)量；自感式電感傳感器可以用于多種物理量的測(cè)量； 諸如測(cè)量振動(dòng)、應(yīng)變、厚度、壓力、流量、液位等非電量。諸如測(cè)量振動(dòng)、應(yīng)變、厚度、壓力、流量、液位等非電量。 2022-1-193例1自感式測(cè)厚儀 采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)，其測(cè)量電路采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)，其測(cè)量電路為帶相敏整流的交流電橋。為帶相敏整流的交流電橋。當(dāng)被測(cè)物體的厚度發(fā)生變化當(dāng)被測(cè)物體的厚度發(fā)生變化時(shí)，引起測(cè)桿上下移動(dòng)，帶時(shí)，引起測(cè)桿上下移動(dòng)，帶動(dòng)可動(dòng)鐵芯產(chǎn)生位移，從而動(dòng)可動(dòng)鐵芯產(chǎn)生位移，從而改變了氣隙的厚度，使線(xiàn)圈改變了氣

2、隙的厚度，使線(xiàn)圈的電感量發(fā)生相應(yīng)的變化。的電感量發(fā)生相應(yīng)的變化。此電感變化量經(jīng)過(guò)帶相敏整此電感變化量經(jīng)過(guò)帶相敏整流的交流電橋測(cè)量后，送測(cè)流的交流電橋測(cè)量后，送測(cè)量?jī)x表顯示，其大小與被測(cè)量?jī)x表顯示，其大小與被測(cè)物的厚度成正比。物的厚度成正比。 1可動(dòng)鐵芯 2測(cè)桿 3被測(cè)物體4例2位移測(cè)量 測(cè)量時(shí)測(cè)頭的測(cè)端與被測(cè)量時(shí)測(cè)頭的測(cè)端與被測(cè)件接觸，被測(cè)件的微測(cè)件接觸，被測(cè)件的微小位移使銜鐵在差動(dòng)線(xiàn)小位移使銜鐵在差動(dòng)線(xiàn)圈中移動(dòng)，線(xiàn)圈的電感圈中移動(dòng)，線(xiàn)圈的電感值將產(chǎn)生變化，這一變值將產(chǎn)生變化，這一變化量通過(guò)引線(xiàn)接到交流化量通過(guò)引線(xiàn)接到交流電橋，電橋的輸出電壓電橋，電橋的輸出電壓就反映被測(cè)件的位移變就反映被測(cè)件

3、的位移變化量?；?。 1引線(xiàn) 2線(xiàn)圈 3銜鐵 4測(cè)力彈簧 5導(dǎo)桿 6密封罩 7測(cè)頭5例3. 一種滾珠直徑分選裝置（工作原理分析）63.2 差動(dòng)變壓器式傳感器 把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線(xiàn)圈互感變化的傳感器稱(chēng)為把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線(xiàn)圈互感變化的傳感器稱(chēng)為互互感式傳感器感式傳感器。因這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成。因這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的，并且其二次繞組都用差動(dòng)形式連接，所以又叫差動(dòng)變的，并且其二次繞組都用差動(dòng)形式連接，所以又叫差動(dòng)變壓器式傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)壓器式傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器。 差動(dòng)變壓器有變氣隙式、變面積式和螺線(xiàn)管式等差動(dòng)變壓器有變氣隙式、變面積式和螺線(xiàn)管式

4、等 在非電量測(cè)量中，應(yīng)用最多的是螺線(xiàn)管式的差動(dòng)變壓器，在非電量測(cè)量中，應(yīng)用最多的是螺線(xiàn)管式的差動(dòng)變壓器，它可以測(cè)量它可以測(cè)量1 1100mm100mm范圍內(nèi)的機(jī)械位移，并具有測(cè)量精度范圍內(nèi)的機(jī)械位移，并具有測(cè)量精度高、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠等優(yōu)點(diǎn)。高、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠等優(yōu)點(diǎn)。 2022-1-1973.2.1 差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)與基本工作原理 變氣隙式差動(dòng)變壓器原理圖螺線(xiàn)管式差動(dòng)變壓器原理圖2022-1-1983.2.1 差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)與基本工作原理 P66: 式3-9，式3-10，次級(jí)線(xiàn)圈感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)表達(dá)式；P67:圖3-10，差動(dòng)變壓器等效電路；P68：式3-11，差動(dòng)電壓表達(dá)式

5、；9差動(dòng)變壓器傳感器的輸出特性 當(dāng)鐵芯位于中心位置，輸出當(dāng)鐵芯位于中心位置，輸出電壓電壓U U2 2并不等于零，這個(gè)電并不等于零，這個(gè)電壓稱(chēng)為零點(diǎn)壓稱(chēng)為零點(diǎn)殘余電壓殘余電壓 。它的。它的存在使傳感器的輸出特性曲存在使傳感器的輸出特性曲線(xiàn)不經(jīng)過(guò)零點(diǎn)，造成實(shí)際特線(xiàn)不經(jīng)過(guò)零點(diǎn)，造成實(shí)際特性和理論特性不完全一致。性和理論特性不完全一致。零點(diǎn)殘余電壓使得傳感器的零點(diǎn)殘余電壓使得傳感器的輸出特性在零點(diǎn)附近不靈敏，輸出特性在零點(diǎn)附近不靈敏，給測(cè)量帶來(lái)誤差，它的大小給測(cè)量帶來(lái)誤差，它的大小是衡量差動(dòng)變壓器性能好壞是衡量差動(dòng)變壓器性能好壞的重要指標(biāo)。的重要指標(biāo)。圖圖3-11輸出特性曲線(xiàn)輸出特性曲線(xiàn)2022-1-

6、1910如何消除零點(diǎn)電勢(shì)（殘余電壓） 零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)使得傳感器在零點(diǎn)附近的輸出特性不靈敏，零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)使得傳感器在零點(diǎn)附近的輸出特性不靈敏，為測(cè)量帶來(lái)誤差。為了減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)，可采用以下為測(cè)量帶來(lái)誤差。為了減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)，可采用以下方法。方法。 （1 1）盡可能保證傳感器尺寸、線(xiàn)圈電氣參數(shù)和磁路對(duì)稱(chēng)。）盡可能保證傳感器尺寸、線(xiàn)圈電氣參數(shù)和磁路對(duì)稱(chēng)。 （2 2）選用合適的測(cè)量電路。）選用合適的測(cè)量電路。 （3 3）采用補(bǔ)償線(xiàn)路減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)。）采用補(bǔ)償線(xiàn)路減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)。 參考圖參考圖3-163-16的具體電路舉例。的具體電路舉例。2022-1-1911差動(dòng)變壓器的測(cè)量電路 差

7、動(dòng)變壓器輸出的是交流電壓，若用交流電壓表測(cè)量，只差動(dòng)變壓器輸出的是交流電壓，若用交流電壓表測(cè)量，只能反映銜鐵位移的大小，而不能反映移動(dòng)方向；能反映銜鐵位移的大小，而不能反映移動(dòng)方向； 另外，其測(cè)量值中將包含零點(diǎn)殘余電壓；另外，其測(cè)量值中將包含零點(diǎn)殘余電壓； 為了達(dá)到能辨別移動(dòng)方向及消除零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)目的，實(shí)為了達(dá)到能辨別移動(dòng)方向及消除零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)目的，實(shí)際測(cè)量時(shí)，常常采用際測(cè)量時(shí)，常常采用差動(dòng)整流電路差動(dòng)整流電路和和相敏檢波電路相敏檢波電路。 2022-1-19123.2.2 差動(dòng)整流電路 把差動(dòng)變壓器的兩個(gè)次級(jí)輸出電壓分別整流，然后將整流把差動(dòng)變壓器的兩個(gè)次級(jí)輸出電壓分別整流，然后將整流的

8、電壓或電流的差值作為輸出，這樣二次電壓的相位和零的電壓或電流的差值作為輸出，這樣二次電壓的相位和零點(diǎn)殘余電壓都不必考慮。點(diǎn)殘余電壓都不必考慮。 差動(dòng)整流電路同樣具有相敏檢波作用，圖中的兩組（或兩差動(dòng)整流電路同樣具有相敏檢波作用，圖中的兩組（或兩個(gè)）整流二極管分別將二次線(xiàn)圈中的交流電壓轉(zhuǎn)換為直流個(gè)）整流二極管分別將二次線(xiàn)圈中的交流電壓轉(zhuǎn)換為直流電，然后相加。由于這種測(cè)量電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不需要考慮電，然后相加。由于這種測(cè)量電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不需要考慮相位調(diào)整和零點(diǎn)殘余電壓的影響，且具有分布電容小和便相位調(diào)整和零點(diǎn)殘余電壓的影響，且具有分布電容小和便于遠(yuǎn)距離傳輸?shù)葍?yōu)點(diǎn)，因而獲得廣泛的應(yīng)用。但是，二極于遠(yuǎn)距

9、離傳輸?shù)葍?yōu)點(diǎn)，因而獲得廣泛的應(yīng)用。但是，二極管的非線(xiàn)性影響比較嚴(yán)重，而且二極管的正向飽和壓降和管的非線(xiàn)性影響比較嚴(yán)重，而且二極管的正向飽和壓降和反向漏電流對(duì)性能也會(huì)產(chǎn)生不利影響，只能在要求不高的反向漏電流對(duì)性能也會(huì)產(chǎn)生不利影響，只能在要求不高的場(chǎng)合下使用。場(chǎng)合下使用。 一般經(jīng)相敏檢波和差動(dòng)整流后的輸出信號(hào)還必須經(jīng)過(guò)低通一般經(jīng)相敏檢波和差動(dòng)整流后的輸出信號(hào)還必須經(jīng)過(guò)低通濾波器，把調(diào)制的高頻信號(hào)衰減掉，只允許銜鐵運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生濾波器，把調(diào)制的高頻信號(hào)衰減掉，只允許銜鐵運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的有用信號(hào)通過(guò)。的有用信號(hào)通過(guò)。13典型差動(dòng)整流電路構(gòu)型差動(dòng)整流電路 14相敏檢波電路原理與波形2022-1-19153.2.3

10、差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用 差動(dòng)變壓器不僅可以直接用于位移測(cè)量，而且還可以測(cè)量差動(dòng)變壓器不僅可以直接用于位移測(cè)量，而且還可以測(cè)量與位移有關(guān)的任何機(jī)械量，如振動(dòng)、加速度、應(yīng)變、壓力、與位移有關(guān)的任何機(jī)械量，如振動(dòng)、加速度、應(yīng)變、壓力、張力、比重和厚度等。張力、比重和厚度等。16差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用加速度傳感器差動(dòng)變壓器式加速差動(dòng)變壓器式加速度傳感器是由懸臂度傳感器是由懸臂梁和差動(dòng)變壓器構(gòu)梁和差動(dòng)變壓器構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)如圖所成，其結(jié)構(gòu)如圖所示。示。 加速度（振動(dòng)）傳感器及其測(cè)量電路1彈性支撐 2差動(dòng)變壓器17差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用差壓計(jì) 力平衡式差壓計(jì)力平衡式差壓計(jì)18差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用力傳

11、感器 力傳感器力傳感器 差動(dòng)變壓器式力傳感器差動(dòng)變壓器式力傳感器原理結(jié)構(gòu)圖如圖所示。原理結(jié)構(gòu)圖如圖所示。它是利用力作用下引起它是利用力作用下引起彈性元件形變，然后彈彈性元件形變，然后彈性元件的形變帶動(dòng)差動(dòng)性元件的形變帶動(dòng)差動(dòng)變壓器的銜鐵運(yùn)動(dòng)，從變壓器的銜鐵運(yùn)動(dòng)，從而產(chǎn)生相應(yīng)地電流或電而產(chǎn)生相應(yīng)地電流或電壓輸出的原理制成的。壓輸出的原理制成的。19差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用測(cè)微儀 差動(dòng)變壓器式電感測(cè)微儀差動(dòng)變壓器式電感測(cè)微儀203.4 電渦流傳感器 根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng)根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng)中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線(xiàn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈旋渦

12、中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線(xiàn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈旋渦狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦流，這種現(xiàn)象稱(chēng)為電渦流效狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦流，這種現(xiàn)象稱(chēng)為電渦流效應(yīng)；應(yīng)； 根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱(chēng)為電渦流式傳感器。按照根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱(chēng)為電渦流式傳感器。按照電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況，電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況， 此傳感器可分為高頻反射式此傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類(lèi)，但從基本工作原理上來(lái)說(shuō)仍是相似的。和低頻透射式兩類(lèi)，但從基本工作原理上來(lái)說(shuō)仍是相似的。電渦流式傳感器最大的特點(diǎn)是能對(duì)位移、厚度、表面溫度、電渦流式傳感器最大的特點(diǎn)是能對(duì)位移、厚度、表面溫度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接

13、觸式連續(xù)測(cè)量，另外還速度、應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接觸式連續(xù)測(cè)量，另外還具有體積小、靈敏度高、頻率響應(yīng)寬等特點(diǎn)，應(yīng)用極其廣具有體積小、靈敏度高、頻率響應(yīng)寬等特點(diǎn)，應(yīng)用極其廣泛。泛。 213.4.1 電渦流傳感器的工作原理 高頻反射式傳感器采用高頻信號(hào)源，其原理及等效電高頻反射式傳感器采用高頻信號(hào)源，其原理及等效電路分別如圖所示。線(xiàn)圈置于金屬導(dǎo)體附近，線(xiàn)圈中通路分別如圖所示。線(xiàn)圈置于金屬導(dǎo)體附近，線(xiàn)圈中通以高頻信號(hào)以高頻信號(hào) ，則會(huì)產(chǎn)生正弦交變磁場(chǎng)，則會(huì)產(chǎn)生正弦交變磁場(chǎng) ，產(chǎn)生的交變磁，產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)作用于下方的金屬塊內(nèi)就會(huì)產(chǎn)生渦流場(chǎng)作用于下方的金屬塊內(nèi)就會(huì)產(chǎn)生渦流 ，變化的渦流，變化的渦流產(chǎn)生磁

14、場(chǎng)產(chǎn)生磁場(chǎng) ，又反作用于線(xiàn)圈，改變了線(xiàn)圈的電感。電，又反作用于線(xiàn)圈，改變了線(xiàn)圈的電感。電感變化程度取于線(xiàn)圈的外形尺寸，線(xiàn)圈至金屬板之間感變化程度取于線(xiàn)圈的外形尺寸，線(xiàn)圈至金屬板之間的距離，金屬板材料的電阻率和磁導(dǎo)率以及電源頻率的距離，金屬板材料的電阻率和磁導(dǎo)率以及電源頻率等等。 22 為了充分有效地利用電渦流效應(yīng)，對(duì)于平板型的被測(cè)體則為了充分有效地利用電渦流效應(yīng)，對(duì)于平板型的被測(cè)體則要求被測(cè)體的半徑應(yīng)大于線(xiàn)圈半徑的要求被測(cè)體的半徑應(yīng)大于線(xiàn)圈半徑的1.81.8倍，否則就要降低倍，否則就要降低靈敏度。當(dāng)被測(cè)物體是圓柱體時(shí)，被測(cè)導(dǎo)體直徑必須為線(xiàn)靈敏度。當(dāng)被測(cè)物體是圓柱體時(shí)，被測(cè)導(dǎo)體直徑必須為線(xiàn)圈直徑

15、的圈直徑的3.53.5倍以上，靈敏度才不受影響。一般來(lái)說(shuō)，被測(cè)倍以上，靈敏度才不受影響。一般來(lái)說(shuō)，被測(cè)體的磁導(dǎo)率越高，電阻率越低，則傳感器的靈敏度越高。體的磁導(dǎo)率越高，電阻率越低，則傳感器的靈敏度越高。233.4.2 測(cè)量電路 1 1電橋電路電橋電路 在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，由于傳感器線(xiàn)圈的阻抗發(fā)生變化，使在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，由于傳感器線(xiàn)圈的阻抗發(fā)生變化，使電橋失去平衡，而電橋不平衡造成的輸出信號(hào)被放大并檢電橋失去平衡，而電橋不平衡造成的輸出信號(hào)被放大并檢波，就可得到與被測(cè)量成正比的輸出。其電路原理圖所示。波，就可得到與被測(cè)量成正比的輸出。其電路原理圖所示。243.4.2 測(cè)量電路 L1L1和和L2L2為傳感

16、器兩線(xiàn)圈，分別與為傳感器兩線(xiàn)圈，分別與選頻電容選頻電容C1C1和和C2C2并聯(lián)組成兩橋臂，并聯(lián)組成兩橋臂，電阻電阻R1R1和和R2R2組成另外兩橋臂。靜組成另外兩橋臂。靜態(tài)時(shí)，電橋平衡，橋路輸出電壓態(tài)時(shí)，電橋平衡，橋路輸出電壓為為0 0。工作時(shí)，傳感器接近被測(cè)。工作時(shí)，傳感器接近被測(cè)體，由于電渦流效應(yīng)引起傳感器體，由于電渦流效應(yīng)引起傳感器線(xiàn)圈電感變化，電橋失去平衡，線(xiàn)圈電感變化，電橋失去平衡，有電壓輸出。經(jīng)放大后送至檢波有電壓輸出。經(jīng)放大后送至檢波器檢波，輸出直流電壓器檢波，輸出直流電壓U0U0，U0U0的大小正比于傳感器的移動(dòng)量，的大小正比于傳感器的移動(dòng)量，以實(shí)現(xiàn)對(duì)位移量的測(cè)量。以實(shí)現(xiàn)對(duì)位移

17、量的測(cè)量。253.4.2 測(cè)量電路 把傳感器線(xiàn)圈與電容并聯(lián)組成把傳感器線(xiàn)圈與電容并聯(lián)組成LCLC并聯(lián)諧振電路。當(dāng)傳感器接近被測(cè)金屬并聯(lián)諧振電路。當(dāng)傳感器接近被測(cè)金屬導(dǎo)體時(shí)，線(xiàn)圈電感發(fā)生變化，導(dǎo)體時(shí)，線(xiàn)圈電感發(fā)生變化，LCLC回路的阻抗和諧振頻率將隨著回路的阻抗和諧振頻率將隨著L L的變化而的變化而變化，因此可以利用測(cè)量回路阻抗或諧振頻率的方法間接反映出傳感器的變化，因此可以利用測(cè)量回路阻抗或諧振頻率的方法間接反映出傳感器的被測(cè)量，相對(duì)應(yīng)的就是被測(cè)量，相對(duì)應(yīng)的就是調(diào)幅法調(diào)幅法和和調(diào)頻法調(diào)頻法。調(diào)幅式電路調(diào)幅式電路調(diào)頻式電路調(diào)頻式電路26調(diào)幅式 石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓（石英振蕩器產(chǎn)生

18、穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓（100kHz100kHz1MHz1MHz）用于）用于激勵(lì)電渦流線(xiàn)圈。金屬材料在高頻磁場(chǎng)中產(chǎn)生電渦流，引起電渦激勵(lì)電渦流線(xiàn)圈。金屬材料在高頻磁場(chǎng)中產(chǎn)生電渦流，引起電渦流線(xiàn)圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路，最終輸出的流線(xiàn)圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路，最終輸出的直流電壓直流電壓U Uo o反映了金屬體對(duì)電渦流線(xiàn)圈的影響）。反映了金屬體對(duì)電渦流線(xiàn)圈的影響）。輸出輸出P73：式：式3-23273調(diào)頻（FM）式電路（100kHz1MHz） 當(dāng)電渦流線(xiàn)圈與被測(cè)體的距離當(dāng)電渦流線(xiàn)圈與被測(cè)體的距離x x 改變時(shí)，電渦流線(xiàn)圈的電感改變時(shí)，電渦流線(xiàn)圈的電感量量L L也隨之

19、改變，引起也隨之改變，引起LCLC振蕩器的輸出頻率變化，此頻率振蕩器的輸出頻率變化，此頻率可直接用計(jì)算機(jī)測(cè)量。如果要用模擬儀表進(jìn)行顯示或記錄可直接用計(jì)算機(jī)測(cè)量。如果要用模擬儀表進(jìn)行顯示或記錄時(shí)，必須使用鑒頻器，將時(shí)，必須使用鑒頻器，將 f f轉(zhuǎn)換為電壓轉(zhuǎn)換為電壓 U Uo o。 284.3.3 電渦流傳感器的應(yīng)用 電渦流傳感器是以電渦流效應(yīng)為原理的非接觸式位移、振電渦流傳感器是以電渦流效應(yīng)為原理的非接觸式位移、振動(dòng)傳感器；動(dòng)傳感器； 可對(duì)進(jìn)入其測(cè)量范圍內(nèi)的金屬物體的運(yùn)動(dòng)參數(shù)進(jìn)行精密非可對(duì)進(jìn)入其測(cè)量范圍內(nèi)的金屬物體的運(yùn)動(dòng)參數(shù)進(jìn)行精密非接觸測(cè)量；接觸測(cè)量； 可用于機(jī)械中的振動(dòng)和位移、轉(zhuǎn)子與機(jī)殼的熱

20、膨脹量的長(zhǎng)可用于機(jī)械中的振動(dòng)和位移、轉(zhuǎn)子與機(jī)殼的熱膨脹量的長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)；期監(jiān)測(cè)； 生產(chǎn)線(xiàn)的在線(xiàn)自動(dòng)監(jiān)測(cè)和自動(dòng)控制；生產(chǎn)線(xiàn)的在線(xiàn)自動(dòng)監(jiān)測(cè)和自動(dòng)控制； 科研中的多種微小距離和微小運(yùn)動(dòng)的測(cè)量等?？傊姕u科研中的多種微小距離和微小運(yùn)動(dòng)的測(cè)量等。總之，電渦流傳感器目前已被廣泛應(yīng)用于能源、化工、醫(yī)學(xué)、汽車(chē)、流傳感器目前已被廣泛應(yīng)用于能源、化工、醫(yī)學(xué)、汽車(chē)、冶金、冶金、 機(jī)器制造、軍工、科研教學(xué)等諸多領(lǐng)域，并且還在機(jī)器制造、軍工、科研教學(xué)等諸多領(lǐng)域，并且還在不斷的擴(kuò)展。不斷的擴(kuò)展。29例1電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器 電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器工作原理如圖所示。在軟磁材料制成的輸電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器工作原理如圖所示。在軟磁材料制成的輸入