單晶生長過程的自適應控制

1、 四 、 計 算 機 控制程 序 及 主 要 計算 流 程 “ 實 時 控 制 系 統(tǒng) 是 通 過 我 們 研 制成 功 的 過 程一 , 又一 自校 正 控 制 在 線 軟 件 包 來 實現(xiàn)的 ” 以下 簡 稱 “ “ 軟件 包 ” ” 由于 種 種 原 因 我們在 一 型 單 晶爐 單 晶 生長 。 過 程 自適 應 控 制 中僅 對 的 自校 正 調 節(jié) 器 算 法 果 , , 軟件包 , 中 的 兩 種 控 制算 法 進 行 試 驗 , 一 是 以 最 小 方差 為 性 能指 標 二 是 以 廣 義 最 小 方 差 為 性 能 指 標 的 自校 正 控 制 器 算 法 控制作用越來 越

2、大 產(chǎn) 生不穩(wěn)定現(xiàn) 象 , 。 理 論 和 實踐說 明 前 者 不 適 用 于 非最 小 相 系 統(tǒng) 而 后 者 取得 了 初 步 結 獲 得 較 好 的 品質 指 標 。 通 過 電傳 問 答 可 以方 便 地 選 擇 辨 識 和 自適 應 控 制 算 法 方 便 地 產(chǎn) 生各 種 試驗 信號 和 前 饋 ” 信號 方便 當辨 識 取 得 對 象 特 性 的 參 數(shù) 后 、 , 可 以 方便 地 利 用 、 “ 軟件 包 、 進 行 離 線仿 真 研 究 。 , 以便 確定模型 的 階數(shù) , 采樣 周 期 三 、 遺 忘 因子 所示 。 加 權 多項式 、 和 等 有關參 數(shù) , 調 整 非

3、常 其工 作 流 程如 圖 一 系統(tǒng)工 況變化 , 重新 辨 識 工 在 線 辨 識 得 出 系統(tǒng) 的 近 似 模 型 同 時 采 樣 系 統(tǒng) 的 輸 入 輸 出 數(shù)據(jù) , 系統(tǒng) 模 型 選 擇 不 當 離 線 辨 識選 擇 最 佳 的 系 統(tǒng) 模 型 參 數(shù)或 算 法 不 當 根 據(jù)所 選 系 統(tǒng)模 型 利 用 離 線 仿 真 選 擇 控 制 算 法 和 控 制參 數(shù) 根 據(jù)選 定 的 控制 算 法 和參 數(shù)投 入 在 線 自適 應 控 制 , 工 上 控制 效 果 是 否滿 意 根 據(jù) 具 體 情 況 轉 不 同分 枝 重新設計 圖三 占 、 工 否 機 計 算 控 制 工 作 流 程 “

4、 夕 詩 , 介卜 切 立位 刀了 口 嶺、 一 翔 , 匆 是 乍曰 娜劫 丁二 月切 甲幼 吞七 二 口 尸卜 田 實 時 辨 識 是 用偽 隨 機信 號 作 為輸 入 信號進 行 的 一 求 出 系統(tǒng) 實 際 參 數(shù) 如 下 一 一 一 一 月 一 一 一 一 近似取為 秒 , , 以 上 參 數(shù)是 在 線 辨 識 按 采樣 周 期 八 一 、 , 的 條 件 下 求 出 的 。 從 , 的 表 達 式可 知 系統(tǒng) 含 有 積 分 特 性 一 這 與 我 們 進 行 階躍 擾 動 試 驗 時 的 結 果 是 一 致 的 , 從 一 的表達式知 , , 這 系 統(tǒng) 是 一 個 非 最 小

5、相 系統(tǒng) 一 一 有 一 個零 點 在 單 位 園 內(nèi) 二 一 是 不穩(wěn)定 的多項式 。 如 果 我們令 十 、 , 二 。 一 , 則 由 計算 知 , , 只要 , 時 。 , 閉環(huán) 特 征多 項 式 一 二 二 、 , 的零 點 全 在 單 位 園 外 二 系統(tǒng)穩(wěn)定 , 、 。 當 一 。時 變成 最 小 方 差 自校 正 調 節(jié) 器 的 情 況 當 然 由于 , 這時 以 二 、 , 有 單 位 園 內(nèi) 的零 點 , 系 統(tǒng) 就 不穩(wěn) 定 了 。 有積分 特性 圖 四 , 所 是 也 不能 取 得 太 大 如選擇 為某 些 多 項式 , 則 系統(tǒng) 品 質會更 好一 些 實 時 控 制

6、的 記 錄 曲線 從 寬行 打 印 記 錄 近 小 時的 數(shù)據(jù) 中 每 毫米 。 分 鐘 取 出相 應 的 輸 入 和 輸 出 數(shù) 后半 段 據(jù) 測 , 由圖 可 見 前 半段 、 分 鐘 的 控 制 直 徑 誤 差為 , 小時則 為 、 毫米 實 毫 米 可 見 自校 正 控 制器 的 作 用 越 來 越 顯 著 如 果 用 常 規(guī) 儀 表 控 制 系 統(tǒng) , 單 純 控 制加 熱 功 率來 控 制 直 徑 很 難做 到 這 樣 的 結 果 分鐘 , 實 時 自適 應 控 制 的 運 行 數(shù) 據(jù) 如 下 表 、 的 單位 和大 小是 表 格 數(shù)乘 。 的 單位 是 碼 。 一 。 一 一 一

7、 一 一 一 百 了 一 , 一 一 一 一 , 一 丁 一 一 通 一 一 , 了 、 了 了 二 產(chǎn), 、 了 一 、 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 丫 矛 了 、 了 、 厄 吝 、 奮 一 一 一 注 當 單 晶直 徑 為 釣 毫 米 工 作點 時 , 個碼 。 六 自校 正 控 制 器 , 、 結 束 語 , 對 于 緩 慢 時 變 并 具 有 確定 性 擾 動 和 隨 機 干 擾 的 非 最 小相 系 統(tǒng) 并 引入 經(jīng) 驗 前 饋 信 號 , 采 用廣 義 最 小方差 的 , 可 以獲 得 較 好 的 控 制 效 果 。 。 采 用 高 級 語 言編 寫 的 可 以 同

8、時 進 行 離線仿 真 和 實 時 控 制 的 軟 件 包來 設 計 自適 應 控 , 制 系 統(tǒng)對 生 產(chǎn) 過 程 進 行 實 時 控 制 是 很 方便 的 為 了解 決 的 辦法 同志 , 耘 提 出 的 廣 義 最 小方 差 自校 正 控制 器 的 的 跟 隨 靜 差 題 , , 個可 行 的 辦 法 是 在 輸 出測 量 電路 中加 入 調 零 電 路 使 被 調 量 在 期 望 值 時 其 輸 出為 零 , 即 用 模 擬量 設 定 研 究 所的 而 自適 應 控 制 系 統(tǒng) 則 始終 工 作 在 給 定 的 恒 值為 零 給 定 狀 態(tài) 參加 工作 , 一 型 單 晶爐 單 晶 生

9、 長 過 程 計 算 機 實 時 控 制工 作 的 還 有 天 津 、 其 中 參 加 工 藝試 驗 的 有 朱 黎 輝 對映 西 機 械 學 院 自控 系 張 國 強 、 石 關 羽 等 同志 、 、 錐軍 禮 、 于 素華 同志 參 加 了 程 序 調 試 石 寶 城 周 麗 萍 等 同志 參加 了 計 算 機 及 外 部 設 備 通 道 的維 護 工 作 侯志林 梁 鴻 生等 同 志 在 制 訂 控 制 方 案 和 通 道 方 面 的 工 作 所給予 的幫助 , 在此表示感謝 叮 明 娜 馬黔 紅里一竺二址竺曰生衛(wèi)二 竺土止也上 亡 , 馬 甘 乙八 陣 咭 時 場 抓 創(chuàng) 圣 差沙 碼

10、 史 料 偏 。 獷 鉚 離 才 簾 腳 拼 柳 “ 母馬 拉荊 乍 吞毅 徑 直 哪 石 禪 夢 圖四 實測 控制 記 錄 曲 線 參 應 書光 , 考 文 獻 一 醋 酸 蒸 發(fā)器 液 位 自校 正 調 節(jié) 器 自動 化 學 報 南 開 大 學 控 制理 論 教 研室 隨機控 制問題 , , 旋 轉 水 泥 窯 的 自適 應 控 制 中 國科 學 院 系 統(tǒng) 科 學 研 究 所 , , , 譯 , “ 石一 石 ”, 乙 一 一 一 , 石 石 , 戶 , , , 。 , , “ 一 一 ” , , 曹曙光 信 息與控 制 、 張國強 年第 、 鄧政端 “ “ 過 程一 ” 一 與 自校 正 控 制 在 線 軟 件 包 、 期 韓京 清 盧桂章 線 性控 制 系統(tǒng) 的 袁著 社 能抗 干 性 自動 化 學 報 年第 期 自適 應 控 制 系 統(tǒng) 的 若 干 問 題 全 國控 制 理 論及 其 應 用 學 術 交 流 會 文 集 上 、 韓 曾晉編