STE-06-048(無塵室工場內(nèi)安全心得)

1、1無塵室工場內(nèi)的安全心得對對外保密外保密回公司回公司時時， ，務(wù)務(wù)必將此必將此資資料料帶帶回?；?。 嚴(yán)嚴(yán)禁公司外使用。禁公司外使用。2n本公司的無塵搬送設(shè)備制品用于半導(dǎo)體或液晶工場本公司的無塵搬送設(shè)備制品用于半導(dǎo)體或液晶工場的無塵室內(nèi)。的無塵室內(nèi)。 無塵室內(nèi)設(shè)有各種處理液、氣體等的管道，若操作無塵室內(nèi)設(shè)有各種處理液、氣體等的管道，若操作失誤，會導(dǎo)致火災(zāi)、爆炸事故，或給人體造成影響失誤，會導(dǎo)致火災(zāi)、爆炸事故，或給人體造成影響等，是充滿危險的作業(yè)場所。等，是充滿危險的作業(yè)場所。 因此，本手順書記錄了如何在半導(dǎo)體、液晶工場的因此，本手順書記錄了如何在半導(dǎo)體、液晶工場的無塵室這樣的特殊環(huán)境下確保安全。

2、無塵室這樣的特殊環(huán)境下確保安全。 3本書記錄的僅為基本的事項，以各客戶現(xiàn)場入場時本書記錄的僅為基本的事項，以各客戶現(xiàn)場入場時接受的教育培訓(xùn)作為第一優(yōu)先，為確保自身的安全，接受的教育培訓(xùn)作為第一優(yōu)先，為確保自身的安全，以及周圍人員的安全，期待大家的行動、關(guān)照。以及周圍人員的安全，期待大家的行動、關(guān)照。41)1)整理整理不要的物品扔掉、不帶入不要的物品扔掉、不帶入干凈利落干凈利落2)2)整頓整頓收拾、配置收拾、配置、取出取出 方便拿取方便拿取3)3)清掃清掃作業(yè)場所作業(yè)場所 使用品的清掃使用品的清掃 確保無塵環(huán)境確保無塵環(huán)境4)4)清清潔潔服裝、儀容整潔干凈服裝、儀容整潔干凈確保無塵環(huán)境確保無塵環(huán)

3、境5)5)素養(yǎng)素養(yǎng)規(guī)定的服裝規(guī)定的服裝 行動行動與安全相符的人材與安全相符的人材6)6)作法作法規(guī)定的遵守、不安全行動規(guī)定的遵守、不安全行動確保安全確保安全56n所謂無塵室，所謂無塵室，即即空氣中的浮游塵埃、溫度、濕度根空氣中的浮游塵埃、溫度、濕度根據(jù)需要，控制在一定基準(zhǔn)內(nèi)的屋子據(jù)需要，控制在一定基準(zhǔn)內(nèi)的屋子。 天花天花：HAPAHAPA濾網(wǎng)濾網(wǎng) 地板地板：高架地板高架地板781)1)門比較多門比較多2)2)空氣循環(huán)量大空氣循環(huán)量大3)3)無塵服的素材為化學(xué)纖維無塵服的素材為化學(xué)纖維4)4)穿著單薄穿著單薄5)5)U Utilitytility供給區(qū)域障礙物多供給區(qū)域障礙物多6)6)無間隙的間

4、隔多無間隙的間隔多7)7)高架地板的開口高架地板的開口、管道等的突起管道等的突起8)8)化學(xué)藥品、有毒氣體使用很多化學(xué)藥品、有毒氣體使用很多發(fā)發(fā)生災(zāi)害生災(zāi)害時時的避的避難難、救援比、救援比較較困困難難煙煙 有害氣體有害氣體擴擴散速度非?？焐⑺俣确浅？觳荒筒荒蜔釤釣?zāi)害防御力低災(zāi)害防御力低避避難難路路線線非常復(fù)非常復(fù)雜雜災(zāi)害災(zāi)害發(fā)發(fā)生生時時， ，發(fā)現(xiàn)發(fā)現(xiàn)、 、對應(yīng)對應(yīng)容易慢容易慢存在掉落地板下或存在掉落地板下或絆絆倒的危倒的危險險不要碰其他公司的不要碰其他公司的設(shè)備設(shè)備、客、客戶戶的的設(shè)備設(shè)備9無塵室內(nèi)作業(yè)無塵室內(nèi)作業(yè)原則原則不帶入垃圾不帶入垃圾不產(chǎn)生垃圾不產(chǎn)生垃圾不堆積垃圾不堆積垃圾垃圾盡快清除

5、垃圾盡快清除 穿著穿著規(guī)規(guī)定的無定的無塵塵服，服， 吹吹風(fēng)風(fēng)淋后，淋后，進(jìn)進(jìn)入無入無塵塵室室 穿著穿著規(guī)規(guī)定的無定的無塵塵服服 鞋子等鞋子等 不做多余的不做多余的動動作作 不直接坐到地板上不直接坐到地板上 不制造出不制造出難難以清以清潔潔的的場場所所 取得客取得客戶戶同意使用無同意使用無塵塵室用的室用的真空吸真空吸塵塵器器進(jìn)進(jìn)行清行清潔潔10n由于工具類或追加部材的搬入需要使用升由于工具類或追加部材的搬入需要使用升降電梯的時候，降電梯的時候，需由我司現(xiàn)場擔(dān)當(dāng)聯(lián)系客需由我司現(xiàn)場擔(dān)當(dāng)聯(lián)系客戶擔(dān)當(dāng)，征得同意。戶擔(dān)當(dāng)，征得同意。11關(guān)于服裝的注意事項關(guān)于服裝的注意事項工場入場時的服裝工場入場時的服裝

6、我司從業(yè)人員要穿著得體。我司從業(yè)人員要穿著得體。 禁止穿著牛子褲是原則。禁止穿著牛子褲是原則。( (有些客戶規(guī)定穿著牛仔褲人員不得入場有些客戶規(guī)定穿著牛仔褲人員不得入場) )12關(guān)于服裝的注意事項關(guān)于服裝的注意事項進(jìn)無塵室時的服裝等進(jìn)無塵室時的服裝等 穿著符合客戶規(guī)定的無塵衣。穿著符合客戶規(guī)定的無塵衣。連體無塵服連體無塵服 附有保護(hù)腳趾的附有保護(hù)腳趾的Cover的無塵的無塵安全鞋安全鞋 口罩口罩 手套手套 根據(jù)客戶，有些還需要護(hù)目鏡根據(jù)客戶，有些還需要護(hù)目鏡 安全帽安全帽 安全安全帶帶 手套手套 背章等背章等。 事前準(zhǔn)備好需要的物品。事前準(zhǔn)備好需要的物品。13關(guān)于服裝的注意事項關(guān)于服裝的注意事

7、項關(guān)于化妝關(guān)于化妝 濃妝不能進(jìn)入無塵室濃妝不能進(jìn)入無塵室。( (盡量不要化妝盡量不要化妝) ) 時常保持身體清潔時常保持身體清潔( (每天洗澡每天洗澡、為不產(chǎn)生頭皮為不產(chǎn)生頭皮洗澡時要洗頭洗澡時要洗頭。 男性盡量每天刮胡子。男性盡量每天刮胡子。14洗手盆洗手洗手盆洗手。 無塵室內(nèi)沒有衛(wèi)生間，請在進(jìn)無塵室前如廁。無塵室內(nèi)沒有衛(wèi)生間，請在進(jìn)無塵室前如廁。15拿取自帶的無塵服。拿取自帶的無塵服。 借用客戶的無塵服的話，請從廠商專用的衣借用客戶的無塵服的話，請從廠商專用的衣架上取用。架上取用。包裝好的無塵服，不可用手撕開包裝。包裝好的無塵服，不可用手撕開包裝。 務(wù)必要用剪刀剪開包裝，然后取出衣服。務(wù)必

8、要用剪刀剪開包裝，然后取出衣服。16為了不弄臟無塵服的袖子、下擺等，請為了不弄臟無塵服的袖子、下擺等，請不要倚碰地板、桌椅等備件，要采用站不要倚碰地板、桌椅等備件，要采用站立的姿勢穿著無塵服。立的姿勢穿著無塵服。戴上口罩后，戴上口罩后，戴分體帽要將頭發(fā)全部放戴分體帽要將頭發(fā)全部放入帽子內(nèi)入帽子內(nèi)。在脖子的位置將分體帽塞進(jìn)連體服內(nèi)，在脖子的位置將分體帽塞進(jìn)連體服內(nèi)，然后將連體服的拉鏈拉上。然后將連體服的拉鏈拉上。長筒無塵鞋的話，要將褲腳完全塞入長長筒無塵鞋的話，要將褲腳完全塞入長筒鞋內(nèi)。筒鞋內(nèi)。橡膠手套的手腕部要塞進(jìn)無塵服的袖子橡膠手套的手腕部要塞進(jìn)無塵服的袖子內(nèi)。內(nèi)。 不可將無塵服的袖子挽起來

9、。不可將無塵服的袖子挽起來。17照鏡子確認(rèn)穿著是否完全到位。照鏡子確認(rèn)穿著是否完全到位。18著裝不當(dāng)?shù)氖吕b不當(dāng)?shù)氖吕煮w帽的邊露出來分體帽的邊露出來 頭發(fā)露出帽子頭發(fā)露出帽子19著裝不當(dāng)?shù)氖吕b不當(dāng)?shù)氖吕亲?、下巴沒有用口罩包覆鼻子、下巴沒有用口罩包覆拉鏈沒拉好拉鏈沒拉好20戴著手套在洗手盆洗手并吹干后，按流程規(guī)定戴著手套在洗手盆洗手并吹干后，按流程規(guī)定進(jìn)出無塵室。進(jìn)出無塵室。( (污染嚴(yán)重的物品、破損的物品要進(jìn)行更換。污染嚴(yán)重的物品、破損的物品要進(jìn)行更換。無塵室內(nèi)禁止赤手。無塵室內(nèi)禁止赤手。!) !)【高空作業(yè)】【高空作業(yè)】 1的定義是指從地板到腳的高度的定義是指從地板到腳的高度為為1

10、.5以上以上的作業(yè)的作業(yè)。進(jìn)行高空作業(yè)時應(yīng)遵循。進(jìn)行高空作業(yè)時應(yīng)遵循以下規(guī)則以下規(guī)則。法律上規(guī)定為法律上規(guī)定為2m以下，各公司內(nèi)各有規(guī)定以下，各公司內(nèi)各有規(guī)定。本公司高空作業(yè)本公司高空作業(yè)規(guī)定規(guī)定為為1.5m以上、故以以上、故以1.5m為基準(zhǔn)為基準(zhǔn)。高高空作業(yè)時使用的工具空作業(yè)時使用的工具A字梯字梯 安全安全帶帶梯子梯子 防墜落防墜落五金件五金件高高空升降車空升降車作作業(yè)臺業(yè)臺安全帽安全帽21使用前點使用前點檢檢 支柱及支柱及橫桿橫桿等構(gòu)造物有無變形等構(gòu)造物有無變形。 支柱支柱端部端部及接合處有無異常及接合處有無異常。 支柱底面有無安裝防滑裝置支柱底面有無安裝防滑裝置。 A字梯上兩側(cè)撐桿有無扣

11、好字梯上兩側(cè)撐桿有無扣好。另確認(rèn)插銷另確認(rèn)插銷部部有無松動有無松動。 有無有無標(biāo)識出標(biāo)識出最大最大材積載重材積載重及及所屬所屬公司公司名。名。 有無臟污、生銹、損傷等有無臟污、生銹、損傷等。 需與客戶確認(rèn)可否使用需與客戶確認(rèn)可否使用A字梯、梯子、作業(yè)臺等字梯、梯子、作業(yè)臺等 無許可的工具不可使用無許可的工具不可使用22嚴(yán)格遵守安全帽嚴(yán)格遵守安全帽的配戴的配戴及注意事項及注意事項 必須配戴安全帽必須配戴安全帽 必須必須緊扣緊扣下顎帶下顎帶，使安全帽不晃動，使安全帽不晃動 安全帽安全帽要使用以下類型的要使用以下類型的防防高空墜落物高空墜落物用用/ /電電氣用氣用（7000070000以下）以下）

12、安全帽后側(cè)安全帽后側(cè)要要寫上會司名、姓名、血型寫上會司名、姓名、血型23嚴(yán)格遵守安全帶嚴(yán)格遵守安全帶的使用的使用及注意事項及注意事項 使用高空工具作業(yè)時必須使用高空工具作業(yè)時必須配用配用安全帶安全帶 安全帶的掛鉤部必須安全帶的掛鉤部必須掛在掛在能夠承受自己的體能夠承受自己的體重重的構(gòu)造物上的構(gòu)造物上（不可掛于管道不可掛于管道、A A字梯字梯） OK OK NGNG24 掛鉤需掛在高于自己腰部的地方掛鉤需掛在高于自己腰部的地方（墜落時沖擊墜落時沖擊力小力?。└哂谶@條線高于這條線 NGNG25 使用時，帶子使用時，帶子與吊繩接合的與吊繩接合的 部分部分要置于要置于后背后背處處 不使用時，將吊繩掛于

13、肩上，不使用時，將吊繩掛于肩上， 以便不要被他物掛到以便不要被他物掛到26嚴(yán)格遵守嚴(yán)格遵守A字梯使用注意事項字梯使用注意事項 使用使用A字梯需字梯需2人作業(yè)、人作業(yè)、1人人 作業(yè)作業(yè)1人扶梯子人扶梯子（防止（防止跌倒跌倒） 使用使用A字梯時必須將兩側(cè)的字梯時必須將兩側(cè)的 撐桿扣上防止梯子合上撐桿扣上防止梯子合上 27 禁止禁止使用（踩踏）使用（踩踏）A字梯字梯 最頂面及第一層踏板最頂面及第一層踏板 NG 使用使用A字梯作業(yè)時必須字梯作業(yè)時必須 保證保證3點支撐點支撐 （禁止單腳站立禁止單腳站立、兩手繁忙兩手繁忙）NG28 不管不管A字梯間相隔有多近，都不能直接從字梯間相隔有多近，都不能直接從A

14、 字梯上跨到另一字梯上跨到另一A字梯上字梯上 （需需下到地面后再上去另一下到地面后再上去另一A字梯字梯） 因梯子的放置位置不好，因梯子的放置位置不好，造成造成作業(yè)作業(yè)姿勢姿勢困難困難 時，務(wù)必先時，務(wù)必先從從A字梯上下來重新放置好位置字梯上下來重新放置好位置 禁止禁止2人同時使用人同時使用A字梯字梯！29嚴(yán)格遵守高空升降嚴(yán)格遵守高空升降車車使用時使用時的的注意事項注意事項30 必須必須踩下踩下走行部的走行部的剎車剎車 使升降使升降車車固定固定 上升前需確認(rèn)作業(yè)場所上升前需確認(rèn)作業(yè)場所 以外的狀況，確保升降車以外的狀況，確保升降車 在上升過程中無干涉在上升過程中無干涉31 升至離作業(yè)場所升至離作

15、業(yè)場所還有還有1m時須先停下來，特別時須先停下來，特別 注意繼續(xù)上升沒有任何干涉物注意繼續(xù)上升沒有任何干涉物 作業(yè)完成后作業(yè)完成后下降下降時需大聲向周圍傳達(dá)時需大聲向周圍傳達(dá)現(xiàn)在現(xiàn)在 下降下降32 移動升降移動升降車車時時走原則通道，走原則通道， 需需十分十分注意不要觸碰管道、注意不要觸碰管道、 裝置及客戶的設(shè)備等裝置及客戶的設(shè)備等 安全帶必須掛在結(jié)構(gòu)安全帶必須掛在結(jié)構(gòu)物物上上33 事故事故案例案例因周圍情況注意力被分散本來不可扶手的地方3435嚴(yán)格遵守梯子使用時的注意事項嚴(yán)格遵守梯子使用時的注意事項梯子與上部支點至少要留出600以上靠立的角度成75度75600以上1436高空作業(yè)是的防墜落高

16、空作業(yè)是的防墜落只攜帶不要工具進(jìn)行作業(yè)安裝部材也限定必要的數(shù)量（部材掉落可能會掉到客戶的設(shè)備上）使用的工具要 使用防墜落繩37無塵室顧名思義就是無塵室顧名思義就是【干凈無塵的屋子干凈無塵的屋子】，因此是禁止攜帶會發(fā)塵的物品或正在發(fā)塵因此是禁止攜帶會發(fā)塵的物品或正在發(fā)塵的物品的。的物品的。38攜入攜入NG代表制品名筆記本、記事本、衛(wèi)生紙、瓦楞紙、膠帶的筒鉛筆、自動鉛筆錘子的手柄、木板、木制棧板已生銹的工具、可以預(yù)想到今后會生銹的工具面包、飲料、咖啡、口香糖煙、打火機、按壓式圓珠筆、橡皮擦、手機、電腦繩子、袋子材質(zhì)紙?zhí)贾破纺局破窡o防銹處理的金屬飲食其他棉制品、絲制品39攜入攜入OK代表制品名無塵筆

17、記本、無塵紙塑料、丙烯、塑料膠帶（筒心不可）化纖袋、塑料袋、化纖繩帶不銹工具、備品材質(zhì)無塵紙樹脂化學(xué)纖維、鋁制品40注解注解禁止攜入的物品中，經(jīng)過特殊處理就禁止攜入的物品中，經(jīng)過特殊處理就的物品的物品木制品木制品、棉麻繩帶若將其表面完全用塑料膠帶包覆后即可使用。棉麻繩帶若將其表面完全用塑料膠帶包覆后即可使用。手機會產(chǎn)生電波。其電波可能會造成設(shè)備的誤動作，故不可使用。手機會產(chǎn)生電波。其電波可能會造成設(shè)備的誤動作，故不可使用。（不可攜入不可攜入）相機為保密也不可攜帶。相機為保密也不可攜帶。國外的話，電腦、國外的話，電腦、U盤類也不可攜帶盤類也不可攜帶。需要攜帶電腦的話，需事前取得客戶同意。需要攜帶

18、電腦的話，需事前取得客戶同意。作作業(yè)時業(yè)時的的注意事項注意事項確保確保作作業(yè)場所業(yè)場所-所有的作業(yè)，其所有的作業(yè)，其作業(yè)區(qū)域作業(yè)區(qū)域都需都需用安全用安全錐錐或安全柵欄或安全柵欄圍上，防止其他圍上，防止其他作業(yè)員作業(yè)員進(jìn)入。進(jìn)入。41-作業(yè)前需將作業(yè)區(qū)域圍起來作業(yè)前需將作業(yè)區(qū)域圍起來（作業(yè)進(jìn)行時再做區(qū)域作業(yè)進(jìn)行時再做區(qū)域規(guī)劃規(guī)劃就無意義了就無意義了）42作業(yè)時作業(yè)時的的注意事項注意事項禁止上下作業(yè)禁止上下作業(yè)同一同一處禁止上下作業(yè)。處禁止上下作業(yè)。（上上方方進(jìn)行作業(yè)時，一旦物品從上落下會發(fā)生受傷進(jìn)行作業(yè)時，一旦物品從上落下會發(fā)生受傷事故事故）43作業(yè)時作業(yè)時的的注意事項注意事項-高高空作業(yè)空作業(yè)

19、禁止禁止上下作業(yè)上下作業(yè)作業(yè)者輔助人員下方作業(yè)員軌道可能會掉落!?工具工具、重物重物或作業(yè)員本身可或作業(yè)員本身可能能會會墜落墜落，而而發(fā)生猛烈沖撞發(fā)生猛烈沖撞所以是非常危險的故禁止上所以是非常危險的故禁止上下作業(yè)下作業(yè)！44作業(yè)時作業(yè)時的的注意事項注意事項-樓層間作業(yè)樓層間作業(yè)當(dāng)判斷當(dāng)判斷在上在上樓樓層進(jìn)行地板開口作業(yè)層進(jìn)行地板開口作業(yè)可能會可能會有物品掉落到下樓層的情況有物品掉落到下樓層的情況時時，不光是作，不光是作業(yè)樓層，其對應(yīng)的下樓層位置也需要用業(yè)樓層，其對應(yīng)的下樓層位置也需要用安全圍籬或安全柵欄圍起來，安全圍籬或安全柵欄圍起來，防止作防止作業(yè)無業(yè)無關(guān)人關(guān)人員進(jìn)入員進(jìn)入作業(yè)樓層及其對應(yīng)的

20、下作業(yè)樓層及其對應(yīng)的下樓層皆需在作業(yè)前將區(qū)樓層皆需在作業(yè)前將區(qū)域圍起來域圍起來45防止產(chǎn)生灰塵防止產(chǎn)生灰塵 作業(yè)者作業(yè)者污染無塵環(huán)境的微粒子多為頭皮污染無塵環(huán)境的微粒子多為頭皮、皮膚、皮膚脫離物、唾液飛沫、化妝品、線頭、紙、空氣脫離物、唾液飛沫、化妝品、線頭、紙、空氣塵埃，因塵埃，因身體動作身體動作導(dǎo)致的導(dǎo)致的氣流氣流紊亂等。紊亂等。防止防止這些的這些的對策如下所示：對策如下所示： 每天洗頭洗澡每天洗頭洗澡。男性男性盡量每天刮胡子盡量每天刮胡子。 正確穿戴無塵服正確穿戴無塵服。（參照（參照1616頁頁）46 避免避免不必要的私語不必要的私語。 不化不化濃妝濃妝。 為防止皮膚干燥適度使用為防止皮

21、膚干燥適度使用化化妝妝水水、乳液。乳液。 保持保持無塵服干凈整潔無塵服干凈整潔。47 為抑制發(fā)塵量，行走及作業(yè)需安靜進(jìn)行。為抑制發(fā)塵量，行走及作業(yè)需安靜進(jìn)行。 禁止跑、跳等禁止跑、跳等動作動作。 48 作業(yè)區(qū)域的上流部（作業(yè)區(qū)域的上流部（腳手架、腳手架、A字梯等上面字梯等上面） 不要放置導(dǎo)致不要放置導(dǎo)致氣流紊亂氣流紊亂的的物品物品。 必須坐在必須坐在地板上進(jìn)行作業(yè)地板上進(jìn)行作業(yè)的話的話、需在地板上需在地板上 鋪上鋪上PVC膜膜。 會產(chǎn)生灰塵的會產(chǎn)生灰塵的加工加工等，原則上要在無塵室外進(jìn)等，原則上要在無塵室外進(jìn) 行。行。作業(yè)場所作業(yè)場所需在需在客戶客戶擔(dān)當(dāng)擔(dān)當(dāng)指定的地方指定的地方。特別嚴(yán)禁焊錫作

22、業(yè)、開孔作業(yè)、特別嚴(yán)禁焊錫作業(yè)、開孔作業(yè)、涂裝涂裝作業(yè)作業(yè)! !49 不得不不得不進(jìn)行發(fā)塵進(jìn)行發(fā)塵作業(yè)作業(yè)的時候，的時候，需需采用采用與客戶與客戶 擔(dān)當(dāng)一起做過擔(dān)當(dāng)一起做過調(diào)整調(diào)整的施工方法進(jìn)行作業(yè)。的施工方法進(jìn)行作業(yè)。( (防護(hù)防護(hù)方法、方法、可否使用無塵室用的吸塵器或可否使用無塵室用的吸塵器或真真 空吸塵器空吸塵器等等) ) 作業(yè)作業(yè)中中產(chǎn)生的垃圾產(chǎn)生的垃圾類類應(yīng)隨時放入準(zhǔn)備應(yīng)隨時放入準(zhǔn)備好好的專的專 用垃圾袋內(nèi)防止四處飛散用垃圾袋內(nèi)防止四處飛散。 并且需在并且需在離開無塵室時帶走離開無塵室時帶走。50 僅僅帶入必要的工具類帶入必要的工具類。事前挑出事前挑出必要必要的的工具是很工具是很重要重要的的。 不要靠近客戶的產(chǎn)品不要靠近客戶的產(chǎn)品( (特別是特別是FOUP)FOUP)。51禁止事禁止事項項根據(jù)客戶根據(jù)客戶不同不同禁止事項禁止事項會略有會略有不同不同，但，但以下行為以下行為絕對禁止絕對禁止。 進(jìn)進(jìn)入入沒有得到許可沒有得到許可的的區(qū)域（場所、房間）區(qū)域（場所、房間）。 操作其他設(shè)備操作其他設(shè)備。 移動客戶或其他公司的設(shè)備、部材等移動客戶或其他公司的設(shè)備、部材等。 客戶客戶擔(dān)當(dāng)擔(dān)當(dāng)以外以外人員人員的委拖工作的委拖工作。但是、即使是客戶但是、即使是客戶擔(dān)當(dāng)擔(dān)當(dāng)委拖委拖的的工作、原則上應(yīng)工作、原則