微電機(jī)制造工藝

1、2021/8/512021/8/52微電機(jī)制造工藝 以永磁直流和無(wú)刷直流電機(jī)為主2021/8/531 微電機(jī)制造工藝概論2021/8/541.1 制造工藝的特點(diǎn)n1.1.1 微電機(jī)大小、精度要求、生產(chǎn)批量差別較大；n1.1.2 制造工藝涉及的專(zhuān)業(yè)很廣泛；n1.1.3 大量使用工裝模具，向少無(wú)切削方向發(fā)展；n1.1.4 在批量生產(chǎn)中，自動(dòng)化程度越來(lái)越高。2021/8/551.2 生產(chǎn)類(lèi)型及特點(diǎn)n1.2.1 單件的批量生產(chǎn) 一個(gè)批次只生產(chǎn)幾臺(tái)、幾十臺(tái)、數(shù)百臺(tái)電機(jī)。n1.2.2 中等批量生產(chǎn) 產(chǎn)品周期地進(jìn)行成批生產(chǎn)。n1.2.3 大批量生產(chǎn) 同一產(chǎn)品，大批量、經(jīng)常反復(fù)地生產(chǎn)。說(shuō)明：生產(chǎn)類(lèi)型的年產(chǎn)量根

2、據(jù)各企業(yè)產(chǎn)品具體情況而定。2021/8/56 1.3 工藝方案n 加工一個(gè)零件，或完成一個(gè)加工要求，可以設(shè)計(jì)若干個(gè)不同的工藝過(guò)程或工藝方法，即可以有多種工藝方案。n 是指導(dǎo)產(chǎn)品工藝準(zhǔn)備工作的依據(jù)。2021/8/571.3.1 工藝方案設(shè)計(jì)原則n主要應(yīng)在保證產(chǎn)品質(zhì)量（技術(shù)指標(biāo)）的同時(shí)，充分考慮經(jīng)濟(jì)效益（生產(chǎn)周期、成本及環(huán)保）；n根據(jù)本企業(yè)的能力，積極采用先進(jìn)的工藝及工裝。2021/8/581.3.2 工藝方案設(shè)計(jì)依據(jù)na、產(chǎn)品圖紙及有關(guān)技術(shù)文件；nb、產(chǎn)品的生產(chǎn)性質(zhì)及生產(chǎn)類(lèi)型；nc、本企業(yè)現(xiàn)有的生產(chǎn)條件；nd、國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品的工藝技術(shù)情報(bào)；ne、有關(guān)技術(shù)政策；nf、企業(yè)技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)對(duì)工藝工作的要求及

3、有關(guān)科室、車(chē)間的意見(jiàn)。2021/8/591.3.3 工藝方案設(shè)計(jì)分類(lèi)na、新產(chǎn)品樣機(jī)試制；nb、新產(chǎn)品小批量試制；nc、批量生產(chǎn)；nd、老產(chǎn)品改進(jìn)。2021/8/5101.3.4 工藝方案設(shè)計(jì)內(nèi)容 不同類(lèi)型的工藝方案其內(nèi)容也是不同的，以新產(chǎn)品樣機(jī)試制為例說(shuō)明其內(nèi)容。a、對(duì)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)工藝性的評(píng)價(jià)和對(duì)工藝工作量大體估計(jì)；b、初步劃分自制件和外協(xié)件；c、提出特殊設(shè)備購(gòu)置和設(shè)計(jì)、改裝意見(jiàn)；d、必備的工裝的意見(jiàn)；e、關(guān)鍵零部件工藝規(guī)程設(shè)計(jì)意見(jiàn)；f、有關(guān)新材料、新工藝的試驗(yàn)意見(jiàn)；g、主要材料及工時(shí)的估算。2021/8/5111.4 工藝規(guī)程n專(zhuān)用工藝規(guī)程 針對(duì)每一個(gè)產(chǎn)品和零部件所設(shè)計(jì)的工藝規(guī)程n通用工藝規(guī)程

4、 為一組結(jié)構(gòu)相似的零部件所設(shè)計(jì)工藝規(guī)程n標(biāo)準(zhǔn)工藝規(guī)程 已納入標(biāo)準(zhǔn)的工藝規(guī)程，例如金屬材料熱處理規(guī)范等 2021/8/5121.4.1 工藝規(guī)程的文件形式 及使用范圍na、工藝過(guò)程卡，主要用于單件小批量產(chǎn)品；nb、工藝卡片，用于各種批量生產(chǎn)的產(chǎn)品；nc、作業(yè)指導(dǎo)書(shū)，用于關(guān)鍵件、重要件和質(zhì)量 控制點(diǎn)的工序；nd、工藝守則，某一專(zhuān)業(yè)應(yīng)共同遵守的操作要求，如金屬材料熱處理規(guī)范等；ne、毛坯圖；nf、工藝附圖，常與a、b項(xiàng)配合使用。2021/8/5131.4.2 工藝規(guī)程的特點(diǎn)n多樣性 因批量大小、生產(chǎn)廠家、加工設(shè)備和設(shè)計(jì)人員的不同而不同。n合理的工藝規(guī)程才是好的工藝規(guī)程 并不是越先進(jìn)越好。2021/8

5、/5141.4.3 工藝規(guī)程編制依據(jù)原則：即要保證產(chǎn)品質(zhì)量，又要考慮生產(chǎn)成本。na、研究產(chǎn)品圖紙及技術(shù)條件等資料；nb、產(chǎn)品類(lèi)型及本廠生產(chǎn)條件是工藝規(guī)程制定的重要因素之一；nc、制備毛坯及加工時(shí)應(yīng)盡量考慮采用少無(wú)切削新工藝；nd、工藝過(guò)程分階段；ne、選擇合理的定位基準(zhǔn)；nf、應(yīng)考慮零部件中隱含的要求。2021/8/5151.5 工藝規(guī)程舉例-工藝路線表 把一臺(tái)微電機(jī)零部件的加工關(guān)系用圖表表示出來(lái)，稱(chēng)之。2021/8/5162021/8/5172 機(jī)械加工 在微電機(jī)機(jī)加工中，機(jī)械加工占有很大的比重，主要有機(jī)殼、轉(zhuǎn)軸、端蓋及其他零部件加工2021/8/5182.1 機(jī)殼加工 永磁直流電機(jī)的機(jī)殼一

6、般情況下既起支承作用，又起導(dǎo)磁作用，機(jī)殼材料一般采用10#鋼或20#鋼等低碳鋼。2021/8/5192.1.1 機(jī)殼結(jié)構(gòu)n直筒式結(jié)構(gòu)，即所謂的雙端蓋機(jī)殼；n有底結(jié)構(gòu)，即所謂的單端蓋結(jié)構(gòu)。 下面分別針對(duì)這兩種結(jié)構(gòu)討論其加工特點(diǎn)2021/8/5202.1.2 直筒結(jié)構(gòu) a 、 毛坯n卷鉚機(jī)殼：由鋼板卷制焊接而成n卷焊機(jī)殼：由鋼板卷制對(duì)鉚而成n無(wú)縫鋼管：量少時(shí)可選用標(biāo)準(zhǔn)型材，量大時(shí)可定做管材，直接軋制成所需尺寸。2021/8/521b、加工工藝n卷制機(jī)殼 卷制機(jī)殼一般用于性能要求不高的力能類(lèi)直流電機(jī)，其裝配時(shí)多采用縮口或翻鉚方式。 加工工序：落料卷型（鉚）焊接整形（退火）n無(wú)縫鋼管 切削加工主要有車(chē)

7、機(jī)殼內(nèi)孔、止口、外圓、端面，鉆孔、攻絲等。一般應(yīng)分粗車(chē)和精車(chē)，并在粗精車(chē)之間加退火。目的：提高機(jī)殼的磁性能，減少機(jī)殼變形。2021/8/5222.1.3 有底結(jié)構(gòu)n拉深成形：一般多用于小型機(jī)殼，效率高，適合于批量生產(chǎn)。多用08鋼板材。n擠壓成形：效率高，適合于批量生產(chǎn)。n棒料加工：一般用于單件小批量生產(chǎn)，注意應(yīng)有粗、精加工之分。n鑄造成形：注意機(jī)加工前需退火處理。2021/8/523例：機(jī)殼零件圖及工藝A2021/8/5242021/8/5252.2 轉(zhuǎn)軸軸是電機(jī)的重要零件之一對(duì)軸的要求：有是足夠的強(qiáng)度和剛度；合理的尺寸精度和形位公差； 軸的結(jié)構(gòu)盡量合理，如臺(tái)階盡量少。2021/8/5262.

8、2.1 軸的結(jié)構(gòu)形式na、光軸（無(wú)臺(tái)階軸） 光軸生產(chǎn)效率很高，適合于批量生產(chǎn)。光軸又可分為：全光軸、壓筋光軸、滾花光軸（用的少）。其中后兩種是在全光軸上的安裝鐵心段及換向器段進(jìn)行壓筋及滾花。nb、臺(tái)階軸 是微電機(jī)中的一種主要結(jié)構(gòu)形式，一般都帶中心孔，其加工一般都以中心孔做為定位基準(zhǔn)。2021/8/5272.2.2 加工工藝na、光軸主要工藝過(guò)程有： 下料、較直平端面調(diào)質(zhì)處理（校直）粗磨精磨（壓筋）檢查等。nb、臺(tái)階軸主要工藝過(guò)程有： 下料平端面打中心孔粗車(chē)調(diào)質(zhì)處理精車(chē)（半精車(chē)）鐵心、換向器段壓筋（滾花）精磨鐵心段銑鍵槽2021/8/5282.2.3 注意事項(xiàng)na、為保證尺寸及位置精度，粗車(chē)同精

9、車(chē)分開(kāi)；nb、銑鍵槽、銑扁時(shí)，如軸較粗時(shí)，可在精磨后銑，這樣鍵槽對(duì)稱(chēng)性好，軸細(xì)時(shí)怕變形，可在精度前進(jìn)行；nc、加工臺(tái)階軸時(shí)，一般以中心孔作為加工、測(cè)量及設(shè)計(jì)基準(zhǔn)，保持基準(zhǔn)一致性。nd、為改善軸的切削性能及尺寸穩(wěn)定性，應(yīng)分別在校直、粗車(chē)、半精車(chē)前后，適當(dāng)車(chē)排合適的熱處理。2021/8/5292.3 端蓋n作用是支撐轉(zhuǎn)子組件，同時(shí)保證定轉(zhuǎn)子之間的氣隙及軸向間隙，是關(guān)鍵零件之一。其加工工藝主要根據(jù)電機(jī)特點(diǎn)、批量大小、生產(chǎn)模式確定。n常用加工方法：鋼板拉深、鑄造和型材切削等。n有時(shí)刷架和端蓋做在一起。2021/8/530加工工藝特點(diǎn)n根據(jù)不同的毛坯加工方法，安排合適的熱處理，以消除內(nèi)應(yīng)力，減少變形。n

10、切削加工時(shí)，粗、精加工分開(kāi)，減小變形。n端蓋止口與軸承室盡量一次裝夾精車(chē)，如果兩次裝夾精車(chē)，應(yīng)采取措施保證兩者的同軸度要求。2021/8/5313 微電機(jī)中使用的專(zhuān)業(yè)工藝 微電機(jī)制造工藝中，除了機(jī)械制造工藝外，還有用于微電機(jī)加工的專(zhuān)用工藝，如熱處理、絕緣、塑壓、表面處理、粘接等2021/8/5323.1 熱處理n為改善軸、機(jī)殼等結(jié)構(gòu)件的加工特能、機(jī)械性能及尺寸穩(wěn)定性需進(jìn)行熱處理。n針對(duì)導(dǎo)磁材料，如沖片、機(jī)殼等，為了改善其磁性能，也需進(jìn)行必要的熱處理。2021/8/5333.1.1 分類(lèi)及用途na、退火、正火 目的：軟化鋼件，便于切削；消除殘余應(yīng)力，防止變形、開(kāi)裂；細(xì)化晶粒、改善組織，提高鋼的機(jī)

11、械性能或磁性能；為最終熱處理（淬火十回火）作準(zhǔn)備；2021/8/534b、調(diào)質(zhì)n可獲得較好的綜合機(jī)械性能，如軸的調(diào)質(zhì)一般在粗車(chē)后，精車(chē)（或磨）前進(jìn)行。c、淬火目的是提高強(qiáng)度、硬度、耐磨性。在磨前進(jìn)行，電機(jī)上一般用的不多，常用表面淬火，好齒輪表面淬火。2021/8/5353.1.2 沖片的退火處理na、冷軋無(wú)取向硅鋼 其電絕緣層耐熱溫度為700900，相應(yīng)退火溫度為650680，屬低溫退火；nb、鐵鎳合金 例如：1J50、1J79，退火溫度為10501150 ，屬于高溫退火。必須在真空爐或氫氣爐中進(jìn)行，防止氧化。2021/8/5363.1.2 機(jī)殼n對(duì)控制類(lèi)永磁直流電機(jī)機(jī)殼，作為導(dǎo)磁材料，要進(jìn)行

12、退火處理。n一般力能類(lèi)電機(jī)可不進(jìn)行退火處理。2021/8/5373.2 絕緣處理n絕緣既是電機(jī)可靠運(yùn)行的可靠保證，又常常是電機(jī)壽命最薄弱環(huán)節(jié)，是非常重要的，一旦絕緣出了問(wèn)題，電機(jī)將不能正常運(yùn)轉(zhuǎn)。n絕緣材料一般指電阻系數(shù)在1000Mcm以上的材料n最基本的最常用分類(lèi)方法是按耐熱程度分級(jí)，Y A E B F H C 90 105 120 130 155 180 1802021/8/5383.2.1 槽絕緣na、各種復(fù)合薄膜材料，下線前嵌入槽內(nèi)，高出鐵心端面0.5mm。nb、熔槽絕緣nc、刷涂絕緣2021/8/5393.2.2 繞組絕緣目的是提高繞組以下幾方面的性能：na、機(jī)械性能nb、耐熱性nc、

13、導(dǎo)熱性nd、絕緣強(qiáng)度ne、耐潮性nf、化學(xué)穩(wěn)定性2021/8/5403.2.2.1 浸化的方法及設(shè)備na、沉浸 常壓浸（一般浸漆）：用于線徑較粗，匝數(shù)少、槽滿 率低的繞組浸漆。 真空浸：用于控制類(lèi)微電機(jī)及線徑細(xì)、匝數(shù)多、槽滿率高的電機(jī)。nb、滴浸 常在半自動(dòng)及全自動(dòng)滴漆設(shè)備上進(jìn)行。 必須采用無(wú)溶劑漆，主要原因是能迅速固化。2021/8/5413.2.2.2 絕緣浸漆的工藝過(guò)程n浸漆的工藝過(guò)程主要包括：na、預(yù)熱nb、浸漆nc、烘干nd、檢驗(yàn)2021/8/542一種常壓浸漆工藝（A30-1）n1、工件烘干605，24hn2、浸漆工件溫度5080，漆液面高于工件，浸 至無(wú)氣泡止，約1520minn

14、3、控漆約0.51h，控干為止，室溫進(jìn)行。n4、擦漆擦除多余的漆n5、烘干低溫7080，24h； 高溫120130，約8h（視工件大小而定， 以熱態(tài)絕緣電阻穩(wěn)定2h以上為準(zhǔn)）n6、檢查按圖紙、工藝及半成品檢驗(yàn)規(guī)范進(jìn)行2021/8/5433.2.3 繞組的繞注絕緣n直流無(wú)刷定子環(huán)氧澆注定子通孔式；n直流力矩電機(jī)轉(zhuǎn)子與換向器一起澆注；n常用真空澆注。2021/8/5443.3 表面處理 微電機(jī)中有許多零件需要進(jìn)行表面涂覆處理，其目的是提高表面的防護(hù)性能及裝飾效果。2021/8/5453.3.1 表面金屬鍍層na、電鍍最廣泛使用的方法nb、化學(xué)鍍nc、表面合金化，如滲氮等。2021/8/5463.3

15、.2 表面化學(xué)處理n鋼件的氧化：發(fā)藍(lán)n銅及合金的鈍 化：工件浸入鉻酸鹽形成鈍化層，防護(hù)作用增強(qiáng)。2021/8/5473.3.3 表面涂漆n目的：防銹、防腐、絕緣、裝飾n涂漆方法：常用刷涂、噴涂、浸漆等n較先進(jìn)的工藝： 靜電噴涂，同熔槽絕緣時(shí)的靜電噴漆一樣，不適合于內(nèi)腔涂敷。 電泳涂漆，2021/8/5483.4 塑料件n在微電機(jī)中塑料主要用作絕緣件及結(jié)構(gòu)件，如刷架、換向器、接線板、出線盒、端罩、集電環(huán)等，近年來(lái)在串激電機(jī)也用作絕緣端板及槽楔架（整體）。n按塑料分類(lèi)：熱固性塑料、熱塑性塑料。2021/8/5493.4.1 塑件設(shè)計(jì)的工藝要求（結(jié)構(gòu)工藝性）na、脫模斜度nb、壁厚nc、加強(qiáng)筋nd、

16、支承面（基準(zhǔn)面）ne、圓角nf、嵌件2021/8/5503.4.2 成形工藝na、壓塑成形nb、擠塑成形nc、注射成形 壓塑成形和擠塑成形適用于熱固性塑料注射成形適用于熱塑性塑料2021/8/5513.5 粘接永磁直流電機(jī)：定子粘接 無(wú)刷直流電機(jī)：轉(zhuǎn)子粘接。2021/8/552注意事項(xiàng)na、一般粘接面，如機(jī)殼內(nèi)孔，轉(zhuǎn)子導(dǎo)磁環(huán)等粘接表面應(yīng)噴砂處理。nb、粘接面應(yīng)擦洗干凈，不能有油污。nc、轉(zhuǎn)子線速度轉(zhuǎn)速較高時(shí)，如大于3000轉(zhuǎn)時(shí)，常給磁鋼外圓熱套一個(gè)加固套，轉(zhuǎn)速不高時(shí)，也可用涂有環(huán)氧膠的布帶纏繞轉(zhuǎn)子外表面，防護(hù)加固。nd、烘干溫度不能高于磁鋼允許溫度，以防磁鋼退磁。2021/8/5534 鐵心制

17、造鐵心是電機(jī)主磁路的導(dǎo)磁體，是電機(jī)功能性部件之一，鐵心制造是微電機(jī)生產(chǎn)的重要工序。2021/8/5544.1 鐵心沖片制造工藝n一般采用沖壓方法加工，只有當(dāng)在樣機(jī)試制時(shí)（數(shù)量較小），可采用線切割方法加工。n沖片沖壓加工是由沖模在曲柄壓力機(jī)（沖床）上來(lái)實(shí)現(xiàn)的。2021/8/5554.1.1 沖模n單工序沖模，一付模具只完成一種工序的沖模，如沖孔、落料等，微電機(jī)中有時(shí)采用單槽沖。n復(fù)合模，在沖床一次行程中，在一付模具的同一位置上完成幾個(gè)不同工序的沖模，完成兩個(gè)工序的有凸凹模，位置精度最高。n級(jí)進(jìn)模，也叫連續(xù)模，在沖床的一次行程中，在一付模具的不同位置上同時(shí)完成兩道或兩道以上的沖模。常在高速?zèng)_床上使

18、用，需要進(jìn)料機(jī)構(gòu)，用于自動(dòng)化生產(chǎn)。2021/8/5564.1.2 沖片制造na、沖裁nb、去毛刺，一般毛刺小于0.05mm時(shí)可省之nc、沖片退火處理nd、絕緣處理 以上工序力能類(lèi)永磁直流電機(jī)視情況取舍，2021/8/557沖片絕緣處理n目的：為了減少?zèng)_片疊成后的渦流損失，以減少鐵心發(fā)熱n對(duì)絕緣處理的要求： 沖片絕緣層有足夠的絕緣電阻值； 足夠的機(jī)械強(qiáng)度、附著力和韌性； 要均勻（一般為為0.0150.02mm）提高疊壓數(shù)，保證鐵心有效長(zhǎng)度； 有良好的導(dǎo)熱及耐熱性； 絕緣工藝方法簡(jiǎn)單、適用。n絕緣方法： 通常采用涂漆或噴漆，也有磷化、氧化的，2021/8/5584.2 鐵心制造n目前一般采用疊裝式

19、鐵心。n疊裝方法又分為： 壓裝式、鉚接式、扣鉚式、焊接式、粘接式、自動(dòng)扣鉚式等。2021/8/5594.2.1 扣鉚式鐵心 自動(dòng)扣鉚式鐵心一般是在自動(dòng)沖床上進(jìn)行加工。在沖沖片過(guò)程中，依靠上下沖片鉚扣的凹槽和凸起的過(guò)盈量連續(xù)扣鉚而成鐵心。 使用連續(xù)模進(jìn)行沖裁。2021/8/5604.2.2 常用迭片式鐵心制造工藝n工藝過(guò)程一般包括：理片、稱(chēng)重或數(shù)片、疊裝、緊固na、疊裝疊裝一般在疊裝工具上進(jìn)行，有時(shí)也可直接疊裝在軸上。nb、鐵心的固緊方法粘接法：使用滾膠、浸膠等方法使沖片表面形成一層膠膜，然后疊裝、再烘干，退出工裝。定、轉(zhuǎn)子鐵心都適用。鉚接法：在沖片合適的位置設(shè)置鉚釘孔，然后疊裝，再鉚接，退出工

20、裝，常用于定子鐵心?？燮ǎ函B裝后扣片緊固。焊接法：疊裝后用氬弧焊、等離子焊等。常用于定子。直接疊：轉(zhuǎn)子軸上銑鍵槽，適用于單沖小量生產(chǎn)。2021/8/5615 永磁直流電機(jī)電樞制造永磁直流電機(jī)轉(zhuǎn)子電樞一般由轉(zhuǎn)軸、鐵心、電樞繞組、換向器等構(gòu)成。是比較復(fù)雜的轉(zhuǎn)子組件。2021/8/5625.1 主要工藝過(guò)程na、將鐵心及換向器壓到軸上；nb、換向器下刻（刻槽）；nc、車(chē)換向器外圓；nd、電樞繞組嵌線、接線及焊接；ne、半檢；nf、浸漆絕緣處理；ng、半檢；nh、精度鐵心外圓及軸承檔等尺寸；ni、精車(chē)（金剛石車(chē)）換向器表面；nj、動(dòng)平衡；nk、鐵心表面涂鐵紅。2021/8/5635.2 電樞繞組制造

21、n在微電機(jī)生產(chǎn)中，繞組制造常采用自動(dòng)繞線嵌線和手工繞線嵌線兩種方式。n對(duì)于結(jié)構(gòu)緊湊、鐵心槽口窄、繞組導(dǎo)線細(xì)、槽滿率高和鐵心采用斜槽形式，常采用手工下線。2021/8/564槽滿率式中：K槽滿率； Ns每槽導(dǎo)體數(shù)； dj帶絕緣導(dǎo)體直徑； S有每槽有效面積。n對(duì)于驅(qū)動(dòng)用直流電機(jī)：K80%。n交、直流伺服機(jī)：K0.35%。n手工下線槽滿率可高些，自動(dòng)下線槽滿率應(yīng)低點(diǎn)2021/8/5655.3 換向器表面加工n專(zhuān)用設(shè)備：下刻機(jī)、精車(chē)機(jī) 適用于批量生產(chǎn)n通用設(shè)備：一般用儀表車(chē)床+金剛石車(chē)刀 2021/8/5665.4 動(dòng)平衡需校正不平衡的部件有： 轉(zhuǎn)子組件、風(fēng)扇、穩(wěn)速器組件換向器等2021/8/5675.4.1 不平衡的原因及后果n原因：轉(zhuǎn)子各零部件結(jié)構(gòu)不對(duì)稱(chēng)，材質(zhì)不均勻或制造不夠精確，都能使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)離心力系的不平衡，其離心力系合力不為零且隨著轉(zhuǎn)動(dòng)而發(fā)生同期性變化。n后果：旋轉(zhuǎn)部件的不平衡使轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性機(jī)械振動(dòng)，在軸承中引起一個(gè)動(dòng)壓力，使電機(jī)運(yùn)行可靠性和精度下降，隨之產(chǎn)生噪聲，降低軸承