控制軟件操作擴(kuò)散爐帶機(jī)械手

1、DS-300A擴(kuò)散爐控制軟件操作、系統(tǒng)設(shè)置1. <系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面00跑南群皮號(hào)件當(dāng)F得奇苦 港身受宙害t"歷史國續(xù)淑品訓(xùn)結(jié)k詡到空觸r啟用工藝運(yùn)行洞最餐軍1疇.-匿學(xué)出什切值電冉/置I卉聿域4野平修翻點(diǎn)身上升EE5舟E但置0000.00000.0(KL0(M> A)復(fù)"Q上1用工if 里 W用 5：fit律00中智憑用方推小庠 no，止并取A后：并用白曜止弄取消:的日避雪點(diǎn)語止舟鼾盾畤到上下上位儡止押R*由現(xiàn)tFF位停止并紀(jì)由工； GW手雄，E楫衽機(jī)K手馬衽小餐鼻重計(jì)知后仁清零+0.1+1+10+100*1000*10000心114仙-100dOOD-

2、10000代軒氏高日就上下月加餐步吊，即!i孟祥許是拄方式詼量求出招拄ftk麻加購物用稚工；r啟用工藝運(yùn)行升眸濯陰軍踞蹤晶大港穿的 1100.02.各部分功能2.01溫控方式設(shè)置2.01.01根據(jù)溫控表類型，若是山武的溫控表，則選擇“SDC審級(jí)控制”；若是RKC HA900的溫控表，則選擇“ HA900申級(jí)控制”。安裝機(jī)器時(shí)設(shè)定2.01.02若勾選【啟用工藝運(yùn)行升降溫斜率跟蹤】，則在勾選此項(xiàng)之后的時(shí)間內(nèi)，可生成溫度隨時(shí)間向設(shè)定溫度變化的曲線2.01.03因擴(kuò)散爐正常使用時(shí)所使用的溫度在8001050 °C,則在“最大溫度設(shè)置”中設(shè)置 1100。安裝機(jī)器時(shí)設(shè)定2.02流量設(shè)置12.02

3、.01【大氮流量計(jì)初始化】將大氮流量計(jì)信號(hào)初始化。在和流量計(jì)連接均正常的時(shí)候，點(diǎn)擊此按鈕，則無論是哪個(gè)流量計(jì)，均將此流量計(jì)的通訊地址初始化為大氮流量計(jì)。流量計(jì)通訊紊亂時(shí)使用2.02.02【小氮流量計(jì)初始化】參照上述【大氮流量計(jì)初始化】。流量計(jì)通訊紊亂時(shí)使用2.02.03【小氧流量計(jì)初始化】參照上述【大氮流量計(jì)初始化】。流量計(jì)通訊紊亂時(shí)使用2.02.04 注意事項(xiàng)2.02.04.01在N （ N<=3）個(gè)流量計(jì)的電源線和通訊線均未斷開的情況下， 錯(cuò)誤點(diǎn)擊某個(gè)流量計(jì)（M流量計(jì)）初始化按鈕，則將此 N個(gè)流量計(jì)均初始化為 M流量計(jì)2.02.04.02點(diǎn)擊工控機(jī)上的流量計(jì)初始化按鈕時(shí)只能有其對應(yīng)的

4、流量計(jì) 的通訊線接上。當(dāng)流量計(jì)通訊紊亂時(shí)，需要將流量計(jì)初始化時(shí)，先將所有的流量 計(jì)斷電，并將通訊線斷開，然后將所有流量計(jì)上電，待流量計(jì)預(yù)熱完成（依次亮 燈：紅-黃-紅-黃），然后將某個(gè)流量計(jì)的通訊線接上，點(diǎn)擊工控機(jī)上對應(yīng)的流量 計(jì)初始化，接著拆掉此流量計(jì)的通訊線， 接另外一個(gè)流量計(jì)的通訊線，并點(diǎn)擊其 對應(yīng)的流量計(jì)初始化按鈕，依次類推。當(dāng)各個(gè)流量計(jì)分別初始化通訊正常后再將 所有流量計(jì)的通訊線接上。2.03舟位置設(shè)置2.03.01【舟平移起點(diǎn)】設(shè)置推舟的平移原點(diǎn)位置。當(dāng)推舟處于平移原點(diǎn)位置時(shí)，爐口傳感器不能檢測到有舟（即PLC的X31始終顯示有信號(hào)輸入）。設(shè) 置“0”。調(diào)軟著陸時(shí)設(shè)定2.03.02

5、【舟平移終點(diǎn)】在漿上有石英舟的情況下，當(dāng)漿進(jìn)入爐管，且電極頭能與石英舟的電極孔接觸良好 （電極頭插入電極孔最長距離）時(shí)，推舟距離 平移原點(diǎn)的位置。設(shè)置在“ 2060”左右（當(dāng)漿的安裝位置和平移原點(diǎn)位置不同時(shí) 有偏差）。調(diào)軟著陸時(shí)設(shè)定2.03.03【舟上升位置】在漿上有石英舟，且漿能正常進(jìn)入爐管時(shí)，此時(shí)推舟距離上下原點(diǎn)的位置。設(shè)置在“25”左右（在定 位和安裝爐管時(shí)不能確保所有機(jī)器一致，因此會(huì)存在 偏差）。調(diào)軟著陸時(shí)設(shè)定2.03.04【舟下降位置】設(shè)置推舟的上下原點(diǎn)位置。設(shè)置“ 0” “0.2”。調(diào)軟著陸時(shí)設(shè)定2.03.05【實(shí)際舟后位置判斷】在所設(shè)置位置上下偏差30mm的范圍，如果爐口傳感器沒

6、有檢測 到漿上有舟，則認(rèn)為漿上舟狀態(tài)有誤，禁止繼續(xù)運(yùn)動(dòng)（出片出漿和進(jìn)片進(jìn)漿時(shí)，認(rèn)為有拖舟狀況）2.03.06【復(fù)位平移原點(diǎn)】 點(diǎn)擊此按鈕，則推 舟以300的速度從靠近爐口向工控機(jī)方向運(yùn)行，當(dāng)?shù)?達(dá)原點(diǎn)光電開關(guān)時(shí)，停止運(yùn)動(dòng)2.03.07【復(fù)位上下原點(diǎn)】點(diǎn)擊此按鈕，則推舟以50的速度從上往下運(yùn)行，當(dāng)?shù)竭_(dá)下限位光電開 關(guān)時(shí)，停止運(yùn)動(dòng)2.03.05注意事項(xiàng)2.03.05.01調(diào)軟著陸時(shí)，可以將平移馬達(dá)和推舟斷開，手動(dòng)將石英舟推 入爐管，并同時(shí)調(diào)節(jié)平移行程。2.03.05.02【復(fù)位平移原點(diǎn)】和【復(fù)位上下原點(diǎn)】時(shí)，若原點(diǎn)光電開關(guān) 損壞，則推舟會(huì)一直運(yùn)行，因此，必須將機(jī)械限位的限位塊安裝好。禁止推舟撞 到

7、機(jī)械限位時(shí)電機(jī)繼續(xù)長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，因?yàn)殚L時(shí)間運(yùn)行會(huì)導(dǎo)致?lián)p壞電機(jī)2.04報(bào)警設(shè)置2.04.01【流量偏差報(bào)警】設(shè)定百分比數(shù)值N,和流量延時(shí)報(bào)警配合起作用。當(dāng)要求的流量和流量計(jì) 檢測到的實(shí)際流量的差值超過設(shè)定的 N，則會(huì)出現(xiàn)報(bào) 警。設(shè)置“ 5”。2.04.02【源量使用次數(shù)報(bào)警】設(shè)定數(shù)值N,玩里偶受招夠年00晅里使用次數(shù)傕譬 00爐官爐用次嗜 QU ）平福莊力陽亞 501報(bào)警。每次工藝結(jié)束,自動(dòng)累積的磷源使用次數(shù)達(dá)到設(shè)定值 N時(shí)，在 < 手 動(dòng)操作 > 的黃燈報(bào)警中出現(xiàn)【源瓶工藝過次數(shù)（提示）則系統(tǒng)自動(dòng)將石英管使用次數(shù)和磷源使用次數(shù)自動(dòng)加“1 ”2.04.03【爐管使用次數(shù)報(bào)警】參照【源量

8、使用次數(shù)報(bào)警】2.04.04【平衡壓力偏差】檢測到的爐管內(nèi)的壓力和所設(shè)定的壓力之間的偏差值不能超過設(shè)定的此數(shù)值2.04.05注意事項(xiàng)2.04.05.01當(dāng)流量偏差報(bào)警設(shè)置“ 0”時(shí)，默認(rèn)為關(guān)閉“流量偏差報(bào)警”此時(shí)，無論要求的流量和流量計(jì)檢測到的實(shí)際流量偏差多大，均無流量偏差報(bào)警2.05舟初始運(yùn)動(dòng)2.05.01【舟到平移起點(diǎn)】的平移原點(diǎn)數(shù)值位置處2.05.02【舟到平移終點(diǎn)】移起點(diǎn)】2.05.03【舟到上下上位】移起點(diǎn)】2.05.04【舟到上下下位】移起點(diǎn)】2.05.05注意事項(xiàng)舟設(shè)2使推舟運(yùn)動(dòng)到設(shè)止奸郢P移起點(diǎn)電止井取消參照上述【舟至U平舟到平移解點(diǎn)停止并取心得到上下上位停止井川省參照上述舟到

9、平1 奇到上下下位停止并取消參照上述【舟到平工卻t平移字耳莊度二6002.05.05.01使用“舟初始運(yùn)動(dòng)”中的操作時(shí)，當(dāng)編碼器計(jì)數(shù)值到達(dá)各個(gè) 設(shè)定數(shù)值，無論推舟有沒有到光電開關(guān)檢測到的位置，推舟運(yùn)行均結(jié)束2.06流量設(shè)置2.06.01【大氮量程】 設(shè)置N2流量計(jì)的量程。 檢查氣源柜處N2流量計(jì)上標(biāo)注的量程，設(shè)置的數(shù)值和 標(biāo)注的數(shù)值一致。安裝機(jī)器時(shí)設(shè)定2.06.02【小氮量程】 參照【大氮量程】2.06.03【大氧量程】參照【大氮量程】2.06.04【小氧量程】 參照【大氮量程】大賽里程30000小區(qū).貍 8000 I大豆里程20000小豆更檢5000依咫趣皆爵位.設(shè)艮，二扇光里號(hào)端霓外重可不

10、2.06.05【恢復(fù)流量計(jì)流速單位+設(shè)置軟啟動(dòng)】2.06.05【小氮流量積累清零并重新開始累積】2.06.06注意事項(xiàng)2.06.06.01設(shè)置的各個(gè)流量計(jì)的量程和實(shí)際流量計(jì)上標(biāo)注的量程必須一致，否則會(huì)出現(xiàn)流量計(jì)流量計(jì)量不準(zhǔn)確的情況2.07機(jī)械手選擇機(jī)卻融當(dāng)勾選【允許脫離上下舟機(jī)械手】時(shí)，控制軟件浦脫恩目動(dòng)上節(jié)用機(jī)轅手可作為單獨(dú)系統(tǒng)運(yùn)行（相當(dāng)于不帶機(jī)械手的擴(kuò)散爐，此時(shí)需要槳上舟檢測光電開關(guān)均檢測到槳上有舟）。使用此功能的情況多為：當(dāng) 機(jī)械手故障，需要做工藝時(shí)，手動(dòng)將石英舟放置于槳上2.08按鈕2.08.01【管理員登陸設(shè)置】用于修改密碼2.08.02【管理員鎖】將屏幕鎖定，除運(yùn)行工藝按鈕（Run

11、Select）,其余動(dòng)作均禁止2.08.03【舟狀態(tài)確認(rèn)】更改當(dāng)前石英舟在漿上和爐管內(nèi)的狀態(tài)2.08.041手動(dòng)彈起按鈕】當(dāng)某個(gè)按鈕按下后不彈起時(shí)可用2.08.06【系統(tǒng)設(shè)置保存】保存數(shù)據(jù)2.08.07注意事項(xiàng)2.08.07.01更改當(dāng)前石英舟狀態(tài)（管內(nèi)是否有舟、漿上是否有舟）時(shí)， 必須打開爐門確認(rèn)爐管內(nèi)是否有舟2.08.07.02若一段時(shí)間不使用機(jī)器，禁止將石英舟放入爐管2.08.07.03長時(shí)間未使用的爐管，在使用之前，必須打開爐門，確認(rèn)爐 管內(nèi)是否有石英舟2.08.07.04在 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 中更改了參數(shù)之后，必須點(diǎn)【系統(tǒng)設(shè)置保 存】，否則，更改的參數(shù)不起作用二、手動(dòng)控制

12、1 . <手動(dòng)控制 > 畫面2 .各部分功能2.01手動(dòng)設(shè)置2.01.01【溫度設(shè)置】工控機(jī)上的5個(gè)溫度設(shè)定和5個(gè)溫控表以及爐體的5個(gè)溫區(qū)是一一對應(yīng)的（即左手機(jī)和右手機(jī)在工控機(jī)上的5個(gè)溫度是相反的）2.01.02【閥門與流量設(shè)置】控制各個(gè)氣動(dòng)閥的打開與關(guān)閉，和 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中的【閥門設(shè)置】對應(yīng)2.01.02.01【大氮】勾選此處，則打開【大氮】氣動(dòng)閥。在其下方輸入流量，并點(diǎn)擊【單項(xiàng)輸出】，則可以打開大氮流量計(jì)2.01.02.022.01.02.03的【清洗氮】送入2.01.02.042.01.02.052.01.02.062.01.02.07【擴(kuò)散氮】 參照上

13、述【大氮】【清洗氮】當(dāng)向爐管內(nèi)輸入【擴(kuò)散氮】的同時(shí)有相同流量【大氧】 參照上述【大氮】【小氧】 參照上述【大氮】【吹掃】 勾選此處，則向爐管內(nèi)送入 N2,吹掃管道【開爐門】 打開爐門。勾選此處，PLC的輸出端Y10有信號(hào)輸出到爐門平移開電磁閥，當(dāng)爐門平移開到位（即PLC的輸入端X11有信號(hào)輸入）,PLC的輸出端Y12有信號(hào)輸出到爐門轉(zhuǎn)動(dòng)開電磁閥2.01.02.08【關(guān)爐門】參照上述【開爐門】2.01.02.09【平衡氮】選擇是否打開“氮?dú)庋a(bǔ)氣閥”。勾選此處，當(dāng)爐管內(nèi)壓力低于設(shè)置壓力時(shí)，打開“氮?dú)庋a(bǔ)氣閥”，向爐管內(nèi)送入氮?dú)猓範(fàn)t管內(nèi) 壓力達(dá)到設(shè)定壓力；當(dāng)爐管內(nèi)壓力高于設(shè)置壓力時(shí)，關(guān)閉“氮?dú)庋a(bǔ)氣閥

14、”，使抽風(fēng)將檢測到的爐管內(nèi)的壓力抽至設(shè)定值2.01.03上下電機(jī)設(shè)置2.01.03.012.01.03.02【UD位置】設(shè)置推舟上下運(yùn)行的位置2.01.03.03【電機(jī)停止】手動(dòng)停止推舟上下運(yùn)行的動(dòng)作2.01.03.04【上下運(yùn)行】手動(dòng)開始推舟上下運(yùn)行的動(dòng)作【速度】 設(shè)置推舟上下運(yùn)行的速度，可設(shè)置50（即0.5mm/s）2.01.04舟大架移動(dòng)2.01.04.01【速度】設(shè)置推舟平移運(yùn)行的速度，可設(shè)置2800 （即28mm/s）,若推舟運(yùn)行穩(wěn)定（無明顯抖動(dòng)），可以適量的將速度增加2.01.04.02【舟位置】設(shè)置推舟平移運(yùn)行的位置2.01.04.03【平移停止】2.01.04.04【平移運(yùn)行】

15、手動(dòng)停止推舟平移運(yùn)行的動(dòng)作手動(dòng)開始推舟平移運(yùn)行的動(dòng)作2.02手動(dòng)檢測2.02.01【管內(nèi)溫度檢測】2.02.02【管壁溫度檢測】 溫區(qū)的溫度。2.02.03【溫度控制選擇】 依靠內(nèi)熱電偶控制溫度2.02.08【平衡壓力】2.02.09【凈化風(fēng)機(jī)】啟動(dòng)凈化風(fēng)機(jī)2.02.10【請求上舟】送入“上舟”信號(hào)到機(jī)械手PLC,機(jī)械手自動(dòng)將石通過內(nèi)偶檢測石英管管內(nèi)5個(gè)溫區(qū)的溫度。通過爐體上的外偶檢測靠近石英管管壁的 5個(gè)【外控】：依靠外熱電偶控制溫度；【內(nèi)控】：2.02.04【大氮】顯示從大氮流量計(jì)流過的氣體流量，通過大氮流量計(jì)檢測2.02.04【擴(kuò)散氮】參照上述【大氮】2.02.05【清洗氮】 和【擴(kuò)散氮

16、】流量顯示同步，當(dāng)有擴(kuò)散氮流量輸入時(shí)， 也有相等流量的【清洗氮】輸入?！緮U(kuò)散氮】和【清洗氮】通過同一個(gè)流量計(jì)輸 出流量2.02.06【大氧】參照上述【大氮】2.02.07【小氧】 參照上述【大氮】依靠“壓力傳感器”檢測到的爐管內(nèi)的壓力同一臺(tái)機(jī)器，勾選任何爐管的“凈化風(fēng)機(jī)”，均可英舟放置于槳上。勾選此處的條件：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，2個(gè)槳上舟檢測光電開關(guān)均未檢測到槳上有舟。機(jī)械手執(zhí)行 從片臺(tái)取舟放到 槳上動(dòng)作的條件：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，2個(gè)槳上舟檢測光電開關(guān)均未檢測到槳上有石英舟，片臺(tái)上有“待工藝舟”（系統(tǒng)自動(dòng)邏輯識(shí)別的未做工藝的石英舟），機(jī)械手2軸和3

17、軸均處于原點(diǎn)位置，機(jī)械手抓手上光 電開關(guān)均未檢測到有舟2.02.11【請求下舟】 送入“下舟”信號(hào)到機(jī)械手PLC,機(jī)械手自動(dòng)將槳 上的石英舟取下，放置于片臺(tái)。勾選此處的條件：推舟處于“后限位”光電開關(guān)處，2個(gè)槳上舟檢測光電開關(guān)均檢測到槳上有舟。機(jī)械手執(zhí)行 從槳上取舟放到片 臺(tái)上動(dòng)作的條件：推舟處于“后限位”光電開關(guān)處，2個(gè)槳上舟檢測光電開關(guān)均 檢測到槳上有石英舟，片臺(tái)上“無舟”（片臺(tái)左右檢測開關(guān)均未檢測到有舟：機(jī) 械手PLC的輸入端X46和X47均無信號(hào)輸入），機(jī)械手2軸和3軸均處于原點(diǎn) 位置，機(jī)械手抓手上光電開關(guān)均未檢測到有舟2.05紅燈報(bào)警紅燈警報(bào)信息r平穌瓏部的解減上舟狀態(tài)貨常；審屐技攸

18、直疲附腎 r聿群馬達(dá)造蟠障胃 r超即鼾用 r馬達(dá)果精獸 V 遑梯牌需上下馬達(dá)途陋后 廠急用艮警 廠榮里隹想警（v京里南4接通踹 r c"低壓力抿售頓里鐵艱警 q爐門異京署福2.06.01【平移驅(qū)動(dòng)器數(shù)據(jù)錯(cuò)誤】2.06.02【漿上舟狀態(tài)異常】當(dāng)前舟狀態(tài)和推舟所處位置不合適。出現(xiàn)此報(bào)警時(shí)，三色燈上有紅燈和蜂鳴器，控制軟件上有“紅燈”和“x”提示。可能 原因：1、推舟處于上限位，但編碼器計(jì)數(shù)為“ 0”，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（為 按下“急停”按鈕所致：因按下“急?！卑粹o后，上下編碼器和平移編碼器的計(jì) 數(shù)值均清零），此時(shí)，可先在 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面的【舟狀態(tài)確認(rèn)】中更改當(dāng)前

19、舟狀態(tài)，為“管內(nèi)無舟、漿上無舟”，然后點(diǎn)擊【復(fù)位上下原點(diǎn)】，冉將推舟運(yùn)行 到上限位，最后重新確認(rèn)石英舟狀態(tài)“漿上有舟、管內(nèi)無舟”；2、推舟處于下限位，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（在漿上有舟的情況下手動(dòng)操作推舟運(yùn)行到下限位 所致），此時(shí)，可先在 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面的【舟狀態(tài)確認(rèn)】中更改當(dāng)前舟狀態(tài)， 為“管內(nèi)無舟、漿上無舟”，然后將推舟運(yùn)行到上限位，再重新確認(rèn)舟狀態(tài)“漿 上有舟、管內(nèi)無舟"。更換PLC后，需要先將推舟復(fù)位上下原點(diǎn)！2.06.03【溫控儀連接障礙】 溫控儀和工控機(jī)之間的通訊斷開?？赡茉颍?1、溫控儀和工控機(jī)之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落） ；2、溫控儀

20、參 數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤（可參照說明檢查溫控儀參數(shù)設(shè)置）；3、溫控儀損壞（可另換一個(gè)溫 控儀）2.06.04【平移馬達(dá)連接障礙】平移馬達(dá)和工控機(jī)之間的通訊斷開?？赡茉颍?、平移馬達(dá)和工控機(jī)之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落）；2、推舟遮光板擋住平移的極限開關(guān)導(dǎo)致平移馬達(dá)斷電；3、按下了 “急?！卑粹o（此時(shí)會(huì)同時(shí)出現(xiàn)【急停報(bào)警】）2.06.05【超溫/斷偶】檢測到的溫度超過設(shè)定的溫度（此時(shí)停止加熱）。熱偶和溫控表之間斷開（此時(shí)溫控表上顯示為數(shù)值“00000”閃爍）2.06.06【馬達(dá)缺相報(bào)警】2.06.07 【PLC連接障礙】 PLC和工控機(jī)之間的通訊斷開。 可能原因：1、 PLC和工控機(jī)之間的通訊

21、線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動(dòng)） ；2、檢查 PLC是否已經(jīng)打開（即PLC的指撥開關(guān)是否指向“ RUN”而不是“STOP”）； 3、 工控機(jī)上USB轉(zhuǎn)RS232所顯示的COM 口是否正確（應(yīng)為 COM5）2.06.08【上下馬達(dá)連接障礙】 上下馬達(dá)和工控機(jī)之間的通訊斷開。可能 原因：1、上下馬達(dá)和PLC之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動(dòng)）； 2、PLC和工控機(jī)之間的通訊斷開（此種情況會(huì)出現(xiàn)【PLC連接障礙】報(bào)警、【漿 上舟狀態(tài)異常】報(bào)警）2.06.09【急停報(bào)警】按下了 “急?！卑粹o。（此種情況會(huì)出現(xiàn)【平移馬達(dá)連接障礙】報(bào)警，平移編碼器計(jì)數(shù)值和上下編碼器計(jì)數(shù)值均清零）2.06

22、.10【流量偏差報(bào)警】流量計(jì)檢測到的從流量計(jì)流過的氣體流量和設(shè)置的氣體流量兩個(gè)之差超過 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中【流量偏差報(bào)警】所設(shè)置的百 分比。可能原因：1、外圍送至機(jī)器的氣體總量減少；2、流量計(jì)（或者單向閥） 堵塞2.06.11【流量計(jì)連接障礙】流量計(jì)和工控機(jī)之間的通訊斷開。 可能原因：1、流量計(jì)和工控機(jī)之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動(dòng)）；2、流量計(jì)通訊地址錯(cuò)誤（不止一個(gè)流量計(jì)通訊線連接好的情況下錯(cuò)誤點(diǎn)擊某個(gè)流量 計(jì)初始化，或者流量計(jì)和所點(diǎn)擊的流量計(jì)初始化不一致）2.06.12 【CDA低壓力報(bào)警】CDA （壓縮空氣）壓力不夠?？赡茉颍?、外圍送至機(jī)器的壓縮空氣

23、不夠；2、檢測壓縮空氣的“數(shù)字流量開關(guān)”參數(shù)設(shè)置 錯(cuò)誤；3、某處氣管脫落數(shù)字流量開關(guān)參數(shù)設(shè)置：長按SET,設(shè)置PA, Sor, HyS, no, 2.5,Man按SET,設(shè)置P-1為330, H為0042.06.13【源量低報(bào)警】2.06.17【爐門異常報(bào)警】當(dāng)前爐門狀態(tài)和石英舟狀態(tài)沖突。 推舟未處于平移原點(diǎn)位置時(shí)，爐門需處于打開狀態(tài)2.06 黃燈報(bào)警葡,燈報(bào)密信息提mT冊6工琬次數(shù)（拄示）一r 英看這度n t集示） 一評出用造貨-門第打開注片出界-孤油位置未到 r 陰遴架-終點(diǎn)值曾豐到r駐片遞思國椅位置未到r曲出片型，隹關(guān)詡r出片出霞一起油位置未到|巡片-擇點(diǎn)償蹙制Ir出片遺裝TsnrM未劃

24、 r時(shí)間臥勖作未克其等待2.06.01【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】 系統(tǒng)自加（每次做完工藝，磷源使 用次數(shù)在原有基礎(chǔ)上增加“1”）的磷源使用次數(shù)超過 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中【源 量使用次數(shù)報(bào)警】所設(shè)置的數(shù)值2.06.02【石英管過次數(shù)（提示）】參照上述【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】2.06.03【進(jìn)出片進(jìn)漿-門未打開】到爐管內(nèi)放舟（或到爐管內(nèi)取舟），在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，系統(tǒng)未檢測到爐門打開?？赡茉颍?、推舟位置不正確（不在乎移原點(diǎn)、進(jìn)舟時(shí)不在上下上位、出舟時(shí)不在上下下位），禁止打開爐門；2、爐口 傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號(hào)送至 PLC的輸入端X31）,禁止打開爐門；3、 爐門打開到位檢測

25、開關(guān)檢測有誤（X11或X13）2.06.04【進(jìn)片出漿-起始位置未到】將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到推舟到達(dá)平移原點(diǎn) （處于上下下位）。可能原因：可能原因：1、進(jìn) 片步（一般為工藝第二步）的時(shí)間設(shè)置短（可設(shè)置300左右）；2、進(jìn)片步（一般為工藝第二步）中平移速度設(shè)置?。稍O(shè)置 2800+）; 3、推舟導(dǎo)軌上有雜質(zhì)，加 大推舟運(yùn)行中的阻力，影響平移速度；4、平移馬達(dá)程序錯(cuò)誤；5、光電檢測開關(guān) 損壞2.06.05【出片進(jìn)漿-終點(diǎn)位置未到】到爐管內(nèi)取出石英舟，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到推舟到達(dá)平移終點(diǎn)（處于上下下位）?？赡茉颍?、出片步（一般 為工藝最后一步）的時(shí)間設(shè)置短（可設(shè)置 300左

26、右）；2、出片步（一般為工藝最 后一步）中平移速度設(shè)置?。稍O(shè)置 2800+）; 3、推舟導(dǎo)軌上有雜質(zhì)，加大推舟 運(yùn)行中的阻力，影響平移速度；4、平移馬達(dá)程序錯(cuò)誤；5、光電檢測開關(guān)損壞； 6、在推舟到達(dá)平移終點(diǎn)前，導(dǎo)軌上的限位塊卡死推舟2.06.06【進(jìn)片進(jìn)漿-起始位置未到】到爐管內(nèi)放石英舟，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未在原點(diǎn)檢測到推舟（處于上下上位）?？赡茉颍?、將石英舟放到漿上時(shí)， 放置位置不準(zhǔn)確，對推舟有一個(gè)輕微的推力，將推舟推離原點(diǎn)；2、光電開關(guān)損壞2.06.07【進(jìn)出片出漿-門未關(guān)閉】 到爐管內(nèi)放舟（或到爐管內(nèi)取舟），在 規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到爐門關(guān)閉到位。可能原因： 1、推舟位置不正確（不在乎

27、 移原點(diǎn)、進(jìn)舟時(shí)不在上下下位、出舟時(shí)不在上下上位），禁止關(guān)閉爐門；2、爐口 傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號(hào)送至 PLC的輸入端X31）,禁止關(guān)閉爐門；3、 爐門關(guān)閉到位檢測開關(guān)檢測有誤（X12或X14）2.06.08【出片出漿-起始位置未到】到管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到推舟到達(dá)平移原點(diǎn)（處于上下上位）?？赡茉颍簠⒄铡具M(jìn)片出漿-起始 位置未到】2.06.09【進(jìn)片進(jìn)漿-終點(diǎn)位置未到】將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未檢測到推舟到達(dá)平移終點(diǎn) （處于上下上位）。可能原因：參照【出片進(jìn)漿- 終點(diǎn)位置未到】2.06.10【出片進(jìn)漿-起始位置未到】到爐管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，未在原點(diǎn)檢測到

28、推舟（處于上下下位）。可能原因：參照【進(jìn)片進(jìn)漿-起始位置 未到】2.06.11【時(shí)間到-動(dòng)作未完成等待】在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，系統(tǒng)檢測到未完成某個(gè)動(dòng)作時(shí)出現(xiàn)（伴隨需要檢測動(dòng)作執(zhí)行的黃燈報(bào)警出現(xiàn)）。3 .爐管壓力整定3.01設(shè)置質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)（見附錄 B）3.02打開爐門，調(diào)節(jié)Pb值到顯示為5003.02關(guān)閉爐門，根據(jù)工藝壓力要求設(shè)置壓力（例如 520）3.03觀察爐管內(nèi)壓力變化，調(diào)節(jié)排廢手動(dòng)閥門，到檢測到的爐管內(nèi)的壓力值 和設(shè)定值相同4 .機(jī)械手調(diào)試5.軟著陸調(diào)試4.01輸入步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器（上下）程序（見附錄 D）4.02斷開推舟和平移電機(jī)之間的連接，將平移和上下運(yùn)行的機(jī)械限位的限位 塊松開4.03依靠機(jī)

29、械手，將同一臺(tái)機(jī)器的數(shù)根槳處于同一條直線上（具偏差不超過 2mm）。使推舟處于下限位時(shí)，手動(dòng)將槳推入爐管，需要槳和爐管處于平行位置。 如下圖所示：4.04將推舟升至“上限位”（當(dāng)槳上有石英舟時(shí)可以如下圖所示情況進(jìn)入爐 管，定此時(shí)為“上限位”光電開關(guān)的位置，此時(shí) < 手動(dòng)操作 > 畫面的【上下動(dòng) 作檢測】中的【位置】所顯示數(shù)值為 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中【舟上升位置】的數(shù) 值），手動(dòng)將石英舟放到槳上，將石英舟推入爐管。4.05將推舟推至“前限位”光電開關(guān)處，使推舟運(yùn)行至上述（4.04） “下限位” 光電開關(guān)處4.06觀察石英舟是否平穩(wěn)的放置，且石英舟在爐管內(nèi)處于水平位置。

30、若石英 舟傾斜放置于爐管內(nèi)，或未平穩(wěn)將石英舟放置，則需要再次進(jìn)行調(diào)節(jié)4.07手動(dòng)將槳退出爐管，觀察是否有擦腳（槳和石英舟的腳有摩擦）或刮舟 （槳和石英舟底部有摩擦）現(xiàn)象4.08將推舟和平移點(diǎn)擊連接，在“工控機(jī)”的 < 手動(dòng)操作 > 畫面中操作槳 進(jìn)入爐管內(nèi)取舟：在 < 手動(dòng)操作 > 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【速度】設(shè)置 600,在 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中設(shè)置【舟平移終點(diǎn)】為 2100,然后在 < 手動(dòng)操 作 > 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【舟位置】設(shè)置 2100 （對于已運(yùn)行的機(jī)器，若 <系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中已設(shè)置【舟平移終點(diǎn)】為 M

31、 ,則 < 手動(dòng)畫面 > 畫面的 【舟大架移動(dòng)】中的【舟位置】也設(shè)置為M ）4.09點(diǎn)擊 < 手動(dòng)操作 > 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【平移運(yùn)行】，當(dāng)推舟 運(yùn)動(dòng)到上述（4.06） “前限位”光電開關(guān)處時(shí)，推舟會(huì)停止運(yùn)動(dòng)，觀察此時(shí)< 手動(dòng)操作 > 畫面的【舟大架動(dòng)作檢測】中的【位置】顯示數(shù)值N,將此時(shí)的N值“+ 2”作為 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面的【舟平移終點(diǎn)】的數(shù)值4.10在 < 手動(dòng)操作 > 畫面的【上下電機(jī)設(shè)置】中的【速度】設(shè)置 50,【UD 位置】設(shè)置為上述（4.05）所定數(shù)值，點(diǎn)擊 < 手動(dòng)操作 > 畫面的【上下電機(jī)設(shè)

32、 置】中的【上下運(yùn)行】，推舟運(yùn)行到“上限位”光電開關(guān)處時(shí)推舟會(huì)停止運(yùn)動(dòng)4.11將 < 手動(dòng)操作 > 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【舟位置】設(shè)置“ 0”，點(diǎn) 擊< 手動(dòng)操作 > 畫面的【舟大架移動(dòng)】中的【平移運(yùn)行】,當(dāng)推舟運(yùn)行到平移原 點(diǎn)（“后限位”光電開關(guān)處）時(shí)，停止平移運(yùn)動(dòng)。至此，手動(dòng)取舟完成（手動(dòng)放 舟為 4.09 - 4.10 - 4.11 -4.12 的逆動(dòng)作）4.12注意事項(xiàng)4.12.1 1當(dāng)推舟運(yùn)行到“前限位”光電開關(guān)處時(shí)，在 < 手動(dòng)操作 > 畫面的 【舟大架檢測】中的【位置】顯示數(shù)值為 X ,在 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中的【舟 平移位

33、置】數(shù)值為 Y ,若Y - X > 5時(shí)，系統(tǒng)不會(huì)自動(dòng)從“平移運(yùn)行”狀態(tài)轉(zhuǎn) 為“平移停止”狀態(tài)，若在工藝進(jìn)舟/出舟時(shí)，系統(tǒng)不會(huì)繼續(xù)下一步動(dòng)作4.12.2 2上下運(yùn)行參照上述（4.13.01）,其中Y X > 0.5時(shí)，系統(tǒng)不會(huì)自動(dòng) 從“上下運(yùn)行”狀態(tài)轉(zhuǎn)換為“電機(jī)停止”狀態(tài)5 .爐管升溫5.01檢查熱偶是否放好且熱偶線接好5.02檢查溫控儀參數(shù)設(shè)置是否正確（具體參數(shù)見附錄A）5.03在工控機(jī)上設(shè)置溫度，檢查設(shè)置的五個(gè)溫度和五塊溫控表上顯示的溫度 是否對應(yīng)5.04檢查爐體上L型鋁塊上的螺絲是否擰緊5.05檢查接觸器是否完好：在“工控機(jī)”旁邊的“加熱關(guān)”燈亮?xí)r，測量接 觸器輸出端是否有電

34、壓，無電壓為正常5.06在斷開爐體加熱熔斷器（100A熔斷器）的情況下，按下“加熱開”，觀 察是否無誤（即無跳閘等異常情況），并檢查接觸器輸出的3相電無缺相現(xiàn)象且 電壓穩(wěn)定（兩兩之間電壓均為交流380V,同時(shí)可檢查是否有某相線和零線接錯(cuò)）。 因此時(shí)處于強(qiáng)電狀態(tài)作業(yè)，因此，必須 注意安全、小心操作！5.07按下“加熱關(guān)”，將爐體加熱熔斷器接好5.08在“工控機(jī)”上設(shè)置五塊溫控表的溫度（200°C）,按下“加熱開”，用 鉗流表測量加熱導(dǎo)線上的電流，調(diào)節(jié)觸發(fā)板上的電容，當(dāng)電流達(dá)到 5060A時(shí)即 可5.09將5塊溫控表自整定（操作見附錄 A）5.10檢查5個(gè)溫區(qū)和5塊溫控儀是否一一對應(yīng)。檢

35、驗(yàn)方法：觀察溫控表上用 于指示電流的發(fā)光二極管亮燈情況（常亮則表示此通道的加熱導(dǎo)線中一直有電 流，閃爍則表示此通道的加熱導(dǎo)線中有斷斷續(xù)續(xù)的電流），在“工控機(jī)”上將某 塊溫控表溫度+ 100,觀察與其對應(yīng)的觸發(fā)板通道的電流指示燈是否顯示常亮5.11在“工控機(jī)”上將5塊溫控儀的溫度均設(shè)置為 4500c （因正常做工藝時(shí) 溫度為4500c左右）5.12再次將5塊溫控表自整定5.13自整定完成后，爐管升溫則完畢三、工藝編輯1 . <工藝編輯 > 畫面2 .各部分功能2.1 1【使用倍行距】改變工藝編輯畫面中顯示的工藝各步的行距大小。第一次打開控制軟件，默認(rèn)行距為“ 01”，可更改為“ 02

36、”或“03”2.2 2【選擇工藝曲線】選擇當(dāng)前顯示的工藝曲線數(shù)據(jù)2.02.01【操作人員代號(hào)】工藝曲線數(shù)據(jù)所在位置。輸入為“ 007*”,其中，前3位必須為“ 007”，后3位可以為任何字母和數(shù)字的組合2.02.02【工藝號(hào)】同一個(gè)工藝曲線名稱中，可以有 25條不同的工藝曲線數(shù)據(jù)2.03【插入步】在當(dāng)前工藝曲線數(shù)據(jù)中，增加某一步2.04【刪除步】在當(dāng)前工藝曲線數(shù)據(jù)中，刪除某一步2.05【工藝復(fù)制】將某一條工藝曲線數(shù)據(jù)復(fù)制到另一條工藝曲線數(shù)據(jù)2.06【不保存返回】若工藝曲線數(shù)據(jù)中更改的數(shù)據(jù)錯(cuò)誤，在未點(diǎn)擊【數(shù)據(jù)保存】前，點(diǎn)【不保存返回】，可使工藝曲線數(shù)據(jù)還原到更改前的狀態(tài)2.07【數(shù)據(jù)保存】將當(dāng)前

37、工藝數(shù)據(jù)保存2.08注意事項(xiàng)：對于正在運(yùn)行的工藝，參數(shù)只可更改當(dāng)前步之后各步的參數(shù)四、事件記錄1 . <事件記錄 > 畫面13 L4：5CMIHEH25 W L4:5UZCLl-O：5 J3 14 妙辛.襦梆艮劃垣收泊尷I漆蛻JHM機(jī)懦手狀卷倡組防里記錄廠擾熠成 肌酢定博 m借正草 石薨舟中后劃 石曲跖6校碧 廣鬣上上鼻正苜 常上內(nèi)冉耳當(dāng)滿零 +0.1+1*10+1OQ M000 MOOOO 2 1A *10«10C4000 *10000用于觀察對于系統(tǒng)各部分執(zhí)行了哪些操作和系統(tǒng)中哪個(gè)部分出現(xiàn)問題2 .【斷點(diǎn)信息記錄】工藝運(yùn)行中途停止時(shí)，自動(dòng)記憶此時(shí)狀態(tài)3 .【機(jī)械手狀態(tài)

38、信息】3.01【放片完成】機(jī)械手執(zhí)行將小車或暫存區(qū)上的“待工藝舟”（即系統(tǒng)自動(dòng)邏輯識(shí)別的未做過工藝的石英舟）自動(dòng)放置于槳上的動(dòng)作（需要機(jī)械手完整的執(zhí)行：從小車或暫存區(qū)取“待工藝舟”，放置于槳上，其間無手動(dòng)依靠觸摸屏 操作機(jī)械手運(yùn)行），動(dòng)作完成后，自動(dòng)勾選【放片完成】。機(jī)械手未自動(dòng)將石英舟放置于槳上，則無【放片完成】信號(hào)，此時(shí)，若未勾選 < 系統(tǒng)設(shè)置 > 畫面中的 【允許脫離自動(dòng)上下舟機(jī)械手】，則無法運(yùn)行工藝3.02【取片完成】機(jī)械手執(zhí)行將石英舟自動(dòng)從槳上放置于小車或暫存區(qū)上的動(dòng)作（需要機(jī)械手完整的執(zhí)行：從槳上將石英舟放置于小車或暫存區(qū)上，其間 無手動(dòng)依靠觸摸屏操作機(jī)械手運(yùn)行），動(dòng)作

39、完成后，自動(dòng)勾選【取片完成】。機(jī)械 手未自動(dòng)將石英舟放置于小車或暫存區(qū)上，則無【取片完成】信號(hào)，此時(shí)，若為 工藝結(jié)束后的機(jī)械手自動(dòng)取舟，則工藝不會(huì)自動(dòng)結(jié)束（即工控機(jī)上的“StopRecipe”狀態(tài)不會(huì)自動(dòng)切換至“ Select Run”狀態(tài)）3.03【通信正?！繖C(jī)械手PLC和管體PLC通訊狀況3.04【石英舟前檢測】依靠槳上舟檢測光電開關(guān)檢測到的槳上石英舟狀態(tài)（靠近爐口，管體PLC的輸入端X31）3.05【石英舟后檢測】依靠槳上舟檢測光電開關(guān)檢測到的槳上石英舟狀態(tài)（靠近爐口，管體PLC的輸入端X32）3.06【槳上有舟正?！客浦鬯幬恢煤蜆现蹤z測光電開關(guān)檢測到的石英舟狀態(tài)一致：推舟處于“后限

40、位”和“上限位”光電開關(guān)處，槳上舟檢測光電開 關(guān)均檢測到有石英舟或均未檢測到槳上有石英舟；推舟處于“后限位”和“下限 位”光電開關(guān)處，槳上舟檢測光電開關(guān)均未檢測到槳上有石英舟3.07【槳上有舟異?！客浦鬯幬恢煤蜆现蹤z測光電開關(guān)檢測到的石英舟狀態(tài)存在邏輯錯(cuò)誤：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，槳上舟檢 測光電開關(guān)只有一個(gè)檢測到有舟；推舟處于“后限位”和距離“下限位”光電開 關(guān)18mm以內(nèi)處，槳上舟檢測至少有一個(gè)檢測到槳上有石英舟五、系統(tǒng)圖況1、<系統(tǒng)圖況 > 畫面-10 -1QQ d(MF0 -10000滿零 +0J+1+1D+100+1000+1O0Q0用于觀察整個(gè)系統(tǒng)

41、狀態(tài)O2、<系統(tǒng)圖況 > 畫面介紹清零 +OJ +1+1D+100+1000+1O0Q0-110QdOOO 1000011 顯示溫度狀況。溫度檢測值（通過熱偶檢測）顯示在第一行，溫度設(shè)置 值顯示在第二行，溫度目標(biāo)值（在 做工藝時(shí)顯示）顯示在第三行21 冷卻水的進(jìn)出手動(dòng)閥31 推舟平移運(yùn)行設(shè)定值（紅色）和推舟平移運(yùn)行檢測值（白色）41 推舟上下運(yùn)行設(shè)定值（紅色）和推舟上下運(yùn)行檢測值（白色）51 管體。中間的數(shù)值是系統(tǒng)自動(dòng)累加的石英管使用次數(shù)（每次工藝結(jié)束，則數(shù)值在原有基礎(chǔ)上自動(dòng)增加“ 1”），其后的“重置”按鈕，則在將石英管清洗 安裝好后點(diǎn)擊71 擴(kuò)散氮?dú)鈩?dòng)閥（左邊）和清洗氮?dú)鈩?dòng)閥（

42、右邊）。81 大氮?dú)鈩?dòng)閥。91 氮?dú)庋a(bǔ)氣閥?！?0】小氧氣動(dòng)閥?！?1】 爐管壓力?！?2】小氮流量計(jì)【13】大氮流量計(jì)【14】小氧流量計(jì)【15】 爐門開氣動(dòng)閥（左邊）和爐門關(guān)氣動(dòng)閥（右邊）【16】小氮手動(dòng)閥【17】大氮手動(dòng)閥181 小氧手動(dòng)閥【19】壓縮空氣手動(dòng)閥【20】 保護(hù)氮。當(dāng)系統(tǒng)斷電時(shí)，自動(dòng)打開，向爐管內(nèi)輸入 N2【21】 系統(tǒng)計(jì)時(shí)?！静降褂?jì)時(shí)】：當(dāng)前運(yùn)行工藝的當(dāng)前步的剩余運(yùn)行時(shí)間，不可 更改；【步設(shè)定時(shí)】：當(dāng)前運(yùn)行工藝的當(dāng)前步的總時(shí)間，不可更改；【總倒計(jì)時(shí)】：當(dāng)前運(yùn)行工藝總剩余運(yùn)行時(shí)間，通過更改 < 工藝編輯 > 畫面中“步時(shí)間”更改;【總設(shè)定時(shí)】：當(dāng)前運(yùn)行工藝總時(shí)間，

43、通過更改 < 工藝編輯 > 畫面中“步時(shí)間” 更改；【已運(yùn)行時(shí)】：從工藝運(yùn)行起，當(dāng)前工藝已運(yùn)行總時(shí)間，不可更改六、溫控圖況用于觀察溫控表和工控機(jī)之間的通訊狀態(tài)和溫控表檢測到的溫度變化七、曲線圖況用于觀察溫度變化曲線狀況八、歷史曲線九、附錄附錄A :溫控儀參數(shù)設(shè)置A-1 RKC FB400 溫控表A-1-1 按R/S,從“RUN”改為“STOP”(新溫控表的出廠設(shè)置為“STOP”)A-1-2 按“SET和“<”，進(jìn)入“F00”，到F21的Inp設(shè)置3 (熱電偶 種類)，PGSH設(shè)置1500, PGSL設(shè)置0;至U F33的AO設(shè)置1, AHS設(shè)置1500, ASL設(shè)置0;到F4

44、1的ESI改為5A-1-3 將 “STOP” 改為 “RUN”A-1-4 按“SET' + “MODE"，按“SET',至U Pb (當(dāng)拉恒溫有溫度偏 差時(shí)修改)，到Add1修改為“ 1 / (2)/(3) / (4) / (5)”，至I bpsi設(shè)置9.6,到 biti設(shè)置8E1 (山武)，到int1設(shè)置5。注意：若bpsi設(shè)置19.2,則biti需要設(shè)置 8O1 (brooks)A-1-5 按“SET' 2s以上，設(shè)置報(bào)警溫度A-1-6 按“SET”，可設(shè)置溫度A-1-7 按“SET' 2s,再按“SET',將“ATU”設(shè)置1 （自整定，可

45、自 動(dòng)生成一組PID值）A-2 RKC CH402 溫控表A-2-1 同時(shí)按“ SET'和“<” 3s以上，進(jìn)入“ Cod"，按“SET',到 SL1設(shè)置0001 （J型熱偶）或設(shè)置1000 （S型熱偶）,SL2設(shè)置0 （單位為0C）, SL3設(shè)置000 （通道1選擇）,SL6設(shè)置0101 （逆動(dòng)作輸出）A-2-2 按 “SET” + “R/S”，Add 設(shè)置 1 / （2） / （3） / （4） / （5）, bps 設(shè)置3, biT設(shè)置1, InT設(shè)置5A-2-3 按“SET” 2s,設(shè)置報(bào)警溫度A-2-4 按“SET”，可設(shè)置溫度A-2-5 按“SET”

46、 2s,再按“SET',將“ATU”設(shè)置1 （自整定，可自 動(dòng)生成一組PID值）A-3 RKC HA900 溫控表A-3-1 A/M :自動(dòng)/手動(dòng)切換；R/L:遠(yuǎn)程/本地切換；R/S:運(yùn)行/停止切換；CH1:內(nèi)熱電偶；CH2:外熱電偶A-3-2 按“SET” 3s以上，設(shè)置報(bào)警溫度 EV3A-3-3 人工設(shè)置CH1通道的PID參數(shù)，參數(shù)設(shè)置見下表:RKC廠商自整定的PID參數(shù)表1 （爐尾）表2表3表4表5（爐口）P10.30.50.50.50.411210201011表1 （爐尾）表2表3表4表5（爐口）P132125I170240240240240D1156

47、0606060A-3-4 按“SET”+ “MODE"，到Pb（當(dāng)拉恒溫時(shí)有溫度偏差時(shí)修改）， Add1 設(shè)置 1/（2） / （3） / （4） / （5）, LCK （密碼設(shè)置）,bpsl 設(shè)置 19.2, biT1 設(shè)置8O1, inT1設(shè)置5, 1dF設(shè)置5, 2dF設(shè)置5A-3-5 按 “R/S”，將 “RUN” 改為 “STOP'A-3-6 同時(shí)按 “SET' + “MODE” 3s 以上，至 U F10 的 Spch 設(shè)置 0, dE 設(shè)置6, dEuT設(shè)置100;F11的Fn1設(shè)置3, Fn2設(shè)置1, Fn3設(shè)置1;F21的inp設(shè)置3 （S型熱電偶）

48、，UnIT設(shè)置0 （溫度單位°C）, PGdP設(shè)置1 （小數(shù)點(diǎn)以下1位），PGSL設(shè)置0 （輸入刻度下限值）,PGSH設(shè)置 1500 （輸入刻度上限值）；F22設(shè)置參照上述F21;F30的LoGC設(shè)置5 （輸出邏輯），OUT4對應(yīng)EV3 （報(bào)警溫度）， ALC1 設(shè)置 01111, RLC2 設(shè)置 00011;F43的ES3設(shè)置5 （EV3的最大報(bào)警值，外熱電偶斷偶/超溫報(bào) 警），EVA3設(shè)置1 （輸入1事件報(bào)警，內(nèi)熱電偶斷偶/超溫報(bào)警OUT1）;F50的Pd設(shè)置0 （熱啟動(dòng)），CAM設(shè)置2 （輸入2的用途）,級(jí) 聯(lián)控制CAr設(shè)置1 （級(jí)聯(lián)比率），CAb設(shè)置000 （通道CH2附加偏

49、置）F51的OS設(shè)置1 （逆動(dòng)作）F60的CmpS1設(shè)置0 （RKC通訊協(xié)議），CmpS2設(shè)置0A-3-7 按“ SET',設(shè)置SV1和SV2的溫度A-3-8 切換本地控制，升溫時(shí)即將 CH2自整定A-3-9 CH2自整定完成后，切換遠(yuǎn)程控制A-4 RKC RD400 溫控表A-4-1 按 “R/S”，將 “RUN” 轉(zhuǎn)換為 “ STOP'A-4-2 按 “SET” + “R/S”，到 F00 的 MODE 設(shè)置 128;F01設(shè)定值SV1 （事件1的設(shè)定值）；F05的ATU （設(shè)置1時(shí)即開始自整定）；F06可進(jìn)行PID修改；F09 的 Pb （ PV 偏置）；F21的INP設(shè)

50、置4 （J型熱偶）；F41的ES1設(shè)置9 （輸入上限）；F60 的 Add 設(shè)置 1 / （2） / （3） / （4） / （5）, bps設(shè)置 3, bit 設(shè) 置 1, inT 設(shè)置 5 （ms）A-5 RKC RH400 溫控表A-5-1 按 “R/S”，將 “RUN” 轉(zhuǎn)換為 “ STOP'A-5-2 按 “SET' + “R/S”，進(jìn)入 F00 的 MODE 設(shè)置 128 ;F01設(shè)定SV1 （事件1的設(shè)定值）；F21的INP設(shè)置8 （S型熱電偶），PGDP設(shè)置1 （小數(shù)點(diǎn)以下1 位）；F41的H設(shè)置9 （上限報(bào)警值）A-5-3 按“SET' 2s以上，可設(shè)

51、置報(bào)警溫度 AL1 （溫度高于設(shè)定值， 指示燈ALM1亮，有報(bào)警輸出）附錄B:質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)設(shè)置1、按 “R/S”，從 “RUN” 轉(zhuǎn)換為 “ STOP”2、長按 “ SET', F00 和 F10 的 MODE 設(shè)置 128F21 的 INP 設(shè)置 35, PGdP 設(shè)置 0, PGSH設(shè)置 1000, SLH 設(shè)置 1000F60的CMPS設(shè)置0, Add設(shè)置10, bps設(shè)置3, biT設(shè)置4, INT設(shè)置30 3、長按“SET', oLH限幅輸出，ATU設(shè)置1 （自整定）附錄C:步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器程序?qū)懭肷舷虏竭M(jìn)驅(qū)動(dòng)器：1、將驅(qū)動(dòng)器斷電2、確認(rèn)通訊線所使用的COM 口（例如COM4）,打開軟件STConfig ,如下圖:3、選擇上述COM4 口，將驅(qū)動(dòng)器上電（通訊正常時(shí)，會(huì)在上述畫面的【Revision】后顯示驅(qū)動(dòng)器型號(hào)4、設(shè)