靜電防護(hù)管理規(guī)范最新版

1、文件名：靜電防護(hù)管理規(guī)范 文件編號： 第 19 頁 共 19頁 靜電防護(hù)管理規(guī)范 文件編號：版 本：V3.0生效日期：2013-03-20文件修訂履歷版次V0V1V1.1V1.2V1.3V2V2.11、V2.2V2.3V2.4V2.5V2.6V3.0部門CS部有份數(shù)11 目的防止靜電對靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命；使ESD防護(hù)工作具有較強(qiáng)的可操作性。2 適用范圍從靜電敏感器件進(jìn)貨到產(chǎn)品形成的全過程3 定義31靜電放電（ESD）處于不同電位的兩個物體之間，由于直接接觸或者電場感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸。32靜電敏感器件（ESDS）在常規(guī)處理、測試或運(yùn)輸中可能會受到靜電場或者靜電放電損害的分立器

2、件、集成電路或組件。33靜電的發(fā)生及帶電331靜電的定義：物質(zhì)是由分子組成，分子是由原子組成，原子是構(gòu)成一切化學(xué)元素的最小微粒，由帶正電的原子核和帶負(fù)電的圍繞原子核旋轉(zhuǎn)的電子組成。在正常狀況下，原子所帶的正負(fù)電荷相等，所以對外表現(xiàn)出電中性。但是在某種條件下，當(dāng)物質(zhì)原子中的這種電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由電中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。丟失電子，則表現(xiàn)為帶正電；獲得電子，則表現(xiàn)為帶負(fù)電。這種物體表面所帶過剩或不足的相對靜止不動電荷，稱之為靜電。332靜電的產(chǎn)生：靜電的產(chǎn)生有多種，這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)的接觸起電、感應(yīng)起電、剝離起電、摩擦起電；其它如：粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、

3、飛沫帶電、噴出帶電在此不進(jìn)行講述。3321接觸起電：當(dāng)兩種物質(zhì)接觸時，其間距小于2.5×10-8cm 時在其間即發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移，界面兩側(cè)出現(xiàn)大小相等，符號相反的兩種電荷3322感應(yīng)起電：它是導(dǎo)體在外部靜電場作用下，在不同部位表面感應(yīng)出不同符號的電荷3323剝離起電：兩個接觸非常緊密的物質(zhì)，在外力作用下突然分開，由于剝離的原因使物體帶電3324摩擦起電：由于摩擦生熱，熱使離子（電子）的活性增加，容易向其他物體轉(zhuǎn)移333靜電的危害333.1對人體產(chǎn)生電擊：帶了電的人體接近接地體時，會由于靜電放電產(chǎn)生的瞬間沖擊電流流過人體某一部位而引起電擊。或者是原來不帶電的人體接近一個帶電物體時，帶電物

4、體對人體放電而引起的電擊。 333.2對電子組件的損壞：對組件的損壞大體可分為兩種失效模式：一、突發(fā)性完全失效即一次性擊穿、燒毀，產(chǎn)品在拿取、傳遞、作業(yè)時由于靜電放電造成的產(chǎn)品完全破壞，永久失效；二、潛在性緩慢失效即靜電放電使產(chǎn)品造成毫無規(guī)律可循的潛在性失效，導(dǎo)致其可靠性下降。34絕緣體與導(dǎo)體34.1絕緣體絕緣體具有大表面電阻率，一般大于或等于1011。產(chǎn)生靜電時即使接地電荷也不會泄放到大地，物體仍處于帶電狀態(tài)。 如：普通塑料制品、乙烯等342導(dǎo)靜電體 導(dǎo)體一般表面電阻率102 和105范圍，電荷具有良好的流動性，進(jìn)行接地電荷會大量流向大地，造成大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。35防靜電材料

5、定義3.5.1根據(jù)防靜電材料的導(dǎo)電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。靜電絕緣材料：表面電阻率1011；靜電耗散材料：表面電阻率105和1011；靜電導(dǎo)電材料：表面電阻率102和105；靜電屏蔽材料：表面電阻率102；3.5.2 ESD防護(hù)項(xiàng)目的表面電阻的要求 工作表面、存放架、電動車、手推車、周轉(zhuǎn)箱、物料盒、周轉(zhuǎn)架、地板、服裝、鞋子、椅子等表面電阻為104 1010； 包裝材料（如：膠袋、膠帶、膠紙、包裝紙、吸塑品等）的表面電阻為：105R1011。36靜電發(fā)生源361 人：人是最大的靜電發(fā)生源。人在作業(yè)過程中的任何操作都可能使人的皮膚、頭發(fā)、衣服等帶上靜電。 362 環(huán)境：地板、工

6、作臺面、儀器設(shè)備等都是靜電發(fā)生源。363 材料：生產(chǎn)中的一些原材料、生產(chǎn)輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發(fā)生源。表1 常見物體的靜電發(fā)生序列序號材料序號材料1空氣12棉布2人手13鋼3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡膠6頭發(fā)17鎳、銅7尼龍18黃銅、銀8羊毛19聚脂人造纖維9絲綢20聚乙烯10鋁21聚丙烯11紙22聚氯乙烯37漏電測試工具如電批、電視機(jī)、功放、示波器；由于使用220V電進(jìn)行供電，會產(chǎn)生對地的漏電；漏電電壓較低，不會超出供電電壓；不會像靜電那樣具有幾千伏的電壓；但漏電電流較強(qiáng)，進(jìn)行可靠設(shè)備接地后要求漏電電壓AC小于1V。38電子元器件的靜電耐壓表2 一些器件類型的靜電敏感

7、電壓值器件類型耐靜電放電電壓（V）器件類型耐靜電放電電壓（V）VMOS30-1800運(yùn)算放電器190-2500MOSSEFT100-200JEFT140-1000PROM100STTL300-2500GaAsFET100-300SCL680-1000CMOS250-2000DTL380-7000HMOS50-500肖特基二極管300-3000E/DMOS200-1000雙極型晶體管380-7000ECL300-2500石英壓電晶體器件<100004 職責(zé)4.1 工程部確定靜電防護(hù)控制點(diǎn)、區(qū)域和控制要求；4.2 電子倉負(fù)責(zé)靜電敏感器件出庫前的靜電防護(hù),IQA部負(fù)責(zé)靜電敏感器件檢驗(yàn)時的靜電防

8、護(hù),生產(chǎn)車間負(fù)責(zé)生產(chǎn)過程中的靜電防護(hù)；非生產(chǎn)物料倉庫管理員負(fù)責(zé)對修理位和燒錄IC位等使用工具，如鑷子、燒錄筆，防靜電支架，防靜電衣帽，防靜電手套，指套等來料進(jìn)行ESD抽檢，靜電衣帽每次抽檢5%，靜電手套/指套每次抽檢1%，工具、支架等每次抽檢10%，抽檢結(jié)果記錄在防靜電物料驗(yàn)收記錄表中。4.3 工程部動力設(shè)備室負(fù)責(zé)對接地主干線的檢測和維護(hù),防靜電地板表面電阻，防靜電地板接地電阻的檢測，每半年一次檢測；各部門負(fù)責(zé)本部門靜電地線與設(shè)備地線的檢驗(yàn)和維護(hù)；4.4工廠各車間日常點(diǎn)檢、周點(diǎn)檢工作由生產(chǎn)車間指定人員 (一般由各生產(chǎn)線多能工或車間ESD專員)進(jìn)行，生產(chǎn)線月點(diǎn)檢由各車間/部門ESD專員在每月中旬

9、進(jìn)行，記錄在生產(chǎn)線ESD月點(diǎn)檢表中，車間主任/部門長審核確認(rèn)，工程部、部品部、IQC、PMC倉庫ESD專員由各車間主任/部門長指定；4.5 IQA部負(fù)責(zé)制造中心ESD防護(hù)措施的抽檢抽查；4.5.1對于一級EPA區(qū)域，需要定期的進(jìn)行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；對于二級EPA區(qū)域，需要定期的進(jìn)行月度稽查、季度稽查、年度稽查。檢查與測量采用合適的儀器和方法、同時記錄予以保存（記錄保存時間：1年），使之與ISO9000的要求相符合。 4.6 靜電防護(hù)的控制點(diǎn)和區(qū)域電子倉庫（包含IC房）、工程部分析室、IQA首件檢驗(yàn)房、機(jī)芯生產(chǎn)車間、C/SKD車間、IQC機(jī)芯檢驗(yàn)房、IQC部品檢驗(yàn)房、SMT

10、/PCB車間、總裝車間與靜電敏感器件相關(guān)的工位及修理工位；4.7 工程部動力設(shè)備室負(fù)責(zé)對靜電手環(huán)、電烙鐵、電批等工、治具進(jìn)行發(fā)放、管理、維修；48 防靜電手環(huán)、防靜電鞋、防靜電衣帽、防靜電手套；48.1 由各生產(chǎn)線指定專人每天進(jìn)行點(diǎn)檢和目視；同時將每個測試結(jié)果記錄在靜電手環(huán)點(diǎn)檢表，靜電鞋點(diǎn)檢表等日常點(diǎn)檢相關(guān)表格及目視檢查表中；48.2對點(diǎn)檢中發(fā)現(xiàn)的不良靜電手環(huán)要求立即進(jìn)行更換；同時記錄在ESD測試NG處理記錄表中；48.3對點(diǎn)檢中個別員工皮膚干臊引起接觸電阻高使測試不通過的，可在作業(yè)員與靜電手環(huán)金屬片接觸的皮膚處涂抹潤膚保濕霜，2小時涂一次；49電批、螺絲機(jī)、電烙鐵由各生產(chǎn)線指定專人每天進(jìn)行點(diǎn)

11、檢；同時將每個測試結(jié)果記錄在工具、儀器設(shè)備點(diǎn)檢表中；410防靜電衣帽、手套、鞋，防靜電膠皮，防靜電周轉(zhuǎn)箱由各生產(chǎn)線指定專人每周進(jìn)行點(diǎn)檢；其中防靜電衣帽、手套要求在不穿著時測試表面電阻，穿著時測試表面電壓，同時將每個測試結(jié)果記錄在相應(yīng)周點(diǎn)檢表中；411儀器、設(shè)備、機(jī)架、治具、工具、周轉(zhuǎn)車，包裝袋由各生產(chǎn)線指定專人每月進(jìn)行點(diǎn)檢；同時將每個測試結(jié)果記錄在生產(chǎn)線ESD月點(diǎn)檢表中；412相對濕度由各車間或部門指定專門的人員點(diǎn)檢，同時將每個測試結(jié)果記錄在溫度及濕度點(diǎn)檢記錄表中；4. 13 SMT/PCB車間ESD地板由工程部設(shè)備室進(jìn)行點(diǎn)檢，并同時將點(diǎn)檢的結(jié)果記錄在ESD地板點(diǎn)檢表里。414 目視檢查表由生

12、產(chǎn)線指定專員每班完成并做好相應(yīng)記錄；415 以上測試過程中，如發(fā)現(xiàn)不良，需要更換或修理的靜電損耗品，如靜電手環(huán)、防靜電衣帽，周轉(zhuǎn)車/箱，輸送板/帶，各類儀器等，需要記錄在ESD測試NG處理記錄中，ESD月度審查作為其中一項(xiàng)進(jìn)行監(jiān)控。4.16 ESD培訓(xùn)所有操作或有可能接觸ESD敏感器件、組件或產(chǎn)品的人員ESD敏感器件都必須進(jìn)行ESD培訓(xùn)。同時為確認(rèn)防靜電培訓(xùn)的效果，參加ESD培訓(xùn)的員工需要通過防靜電知識的考核,為了促進(jìn)員工防靜電知識的不斷提升，需要對參加培訓(xùn)的員工進(jìn)行培訓(xùn)、考核過程。由于產(chǎn)品靜電防護(hù)涉及的部門很多，人員的級別也相差很大，培訓(xùn)的對象有管理層、操作層，因此，為了保證培訓(xùn)效果應(yīng)分層次

13、確定培訓(xùn)目標(biāo)并制定相應(yīng)培訓(xùn)教材。培訓(xùn)計(jì)劃應(yīng)確定靜電防護(hù)培訓(xùn)類型和頻率、方法和具體技巧，培訓(xùn)計(jì)劃還應(yīng)包括用于檢查學(xué)員理解及培訓(xùn)是否合適的檢查方法。員工培訓(xùn)記錄要求保留至少一年，并規(guī)定這些記錄存放何處。為了保證培訓(xùn)效果，培訓(xùn)與認(rèn)證應(yīng)分為：初級培訓(xùn)和考核、周期性培訓(xùn)和考核、提高培訓(xùn)和考核、特殊培訓(xùn)和考核。² 操作層培訓(xùn)和考核：由車間靜電管理員每半年對所有在線作業(yè)進(jìn)行一次靜電培訓(xùn)和考核。² 管理層培訓(xùn)和考核：由公司靜電管理人員每半年對所有在線作業(yè)進(jìn)行一次靜電培訓(xùn)和考核。² 提高培訓(xùn)和認(rèn)證：由于工種變化或者轉(zhuǎn)到新的部門，如從非EPA轉(zhuǎn)移到EPA，從低等級EPA轉(zhuǎn)移到高等級E

14、PA（如從二級EPA轉(zhuǎn)移到一級EPA）等，需要適應(yīng)新環(huán)境ESD控制要求進(jìn)行提高培訓(xùn)與認(rèn)證。² 特殊培訓(xùn)和認(rèn)證：由于企業(yè)要對靜電防護(hù)體系進(jìn)行日常維護(hù)，需要每一個部門（或EPA區(qū)域）確定一名ESD負(fù)責(zé)人（或由接口人執(zhí)行），各個部門需要對ESD責(zé)任人或稽查人員提供特殊培訓(xùn)與認(rèn)證，或由公司ESD主管部門對所有ESD責(zé)任人員、稽查人員提供特殊培訓(xùn)與認(rèn)證。5 工作流程 （靜電防護(hù)流程目錄）5.1 人員防靜電標(biāo)準(zhǔn) 7 5.2 修理臺、組件加工臺、生產(chǎn)作業(yè)臺面防靜電標(biāo)準(zhǔn)7 5.3 周轉(zhuǎn)箱、物料盒防靜電標(biāo)準(zhǔn)8 5.4 周轉(zhuǎn)車防靜電標(biāo)準(zhǔn)9 5.5 防靜電袋、防靜電膠紙防靜電標(biāo)準(zhǔn)9 5.6 工具、治具、機(jī)

15、架防靜電標(biāo)準(zhǔn)9 5.7 溫濕度標(biāo)準(zhǔn) 9 5.8 防塵膜作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)9 5.9 靜電地接地規(guī)則10 5.10 設(shè)備地接地規(guī)則10 5.11 防靜電材料編碼規(guī)則11 5.12 工廠防靜電措施檢測方法11 5.13 靜電檢測主要儀器使用說明14 5.14 防靜電管理155.1人員防靜電標(biāo)準(zhǔn)511對于可接觸到靜電敏感元器件或有機(jī)會接觸到靜電敏感元器件的作業(yè)員需配戴防靜電手環(huán)、坐式作業(yè)須坐防靜電椅；512 SMT、PCB車間員工需配戴防靜電手環(huán)、穿防靜電衣、戴防靜電帽、穿防靜電鞋；513機(jī)芯裝配、總裝蓋上蓋前所有崗位（包含蓋上蓋工序）、機(jī)芯加工投入位、總裝修理位員工需配戴防靜電手環(huán)、穿防靜電衣、戴防靜電帽。

16、總裝從機(jī)芯投入到打上蓋前的所有作業(yè)員必須戴防靜電袖套（穿短袖工衣時可以不用戴，長袖工衣必須戴）；514 C/SKD、倉庫、IQC、工程分析人員接觸靜電敏感元器件時（如：直接接觸IC、MOS元件、加工好的PCBA、機(jī)芯等）需配戴防靜電手環(huán)，當(dāng)沒有靜電地線時應(yīng)戴防靜電手套進(jìn)行作業(yè)，但是不能長時間接觸靜電敏感器件；515帶靜電手環(huán)注意事項(xiàng)5151員工在作業(yè)前必須先測試所佩帶的防靜電腕帶是合格的,方可開始作業(yè)；5152作業(yè)時, 防靜電腕帶戴在不影響作業(yè)的一只手上；5153 一定要使防靜電腕帶緊貼到手腕皮膚；不能戴在手套、衣袖上5154不能使防靜電腕帶拉長超過彈性限度,防止將內(nèi)部導(dǎo)線拉斷；5155 當(dāng)防

17、靜電腕帶因汗、灰等變臟時會影響接觸效果,要清潔金屬接觸部位；防靜電帽防靜電衣防靜電鞋 防靜電手套防靜電手環(huán)防靜電椅52 修理臺、組件加工臺、生產(chǎn)作業(yè)臺面（如面殼組件加工臺、SMT爐后檢查臺、PCB測試臺、爐后分板臺、皮帶線拉體加工臺）防靜電標(biāo)準(zhǔn)5.2.1 根據(jù)/設(shè)備接地標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備/工具名稱接地要求接地電阻對地漏電電壓接地作用電批外殼直接接設(shè)備地4Vac1V防止漏電損傷電子元器件電烙鐵外殼直接接設(shè)備地或設(shè)備地之間接150 K±10% 的電阻進(jìn)行限流4Vac1V 特殊崗位要求：開機(jī)芯保護(hù)點(diǎn)的漏點(diǎn)電壓需控制在Vac0.3V電源插座電源插座接地孔應(yīng)接設(shè)備地4/功放、電視、示波器、信號發(fā)生器、帶

18、燈放大鏡外殼直接接設(shè)備地4Vac1VCRT顯示器、示波器屏要用防靜電屏保覆蓋,且接設(shè)備地，接設(shè)備地的位置選在電視的右下角4Vac1V電視機(jī)接地圖：接地線與電視連接位置（左/右下角）522臺面要求鋪設(shè)靜電膠皮臺面材質(zhì)靜電要求接地標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)臺面金屬材料需在臺面上鋪設(shè)絕緣膠皮或其它絕緣層1.防靜電膠皮鋪在絕緣膠皮或其它絕緣層上，每2米需接接地線扣（內(nèi)含1M電阻）1個，與防靜電地線連接，或可通過接地銅片直接接防靜電地線2.金屬臺面需注意防靜電膠皮接地扣不能與臺面短路。（即造成設(shè)備地與靜電地短路）；作業(yè)作業(yè)木質(zhì)材料防靜電膠皮直接鋪在臺面上每2米需接接地線扣（內(nèi)含1M電阻）1個，與防靜電地線連接，或可通過接

19、地銅片直接接防靜電地線；修理臺金屬架接設(shè)備地接地電阻4。需注意防靜電膠皮接地扣不能與臺面短路。（即造成設(shè)備地與靜電地短路）53周轉(zhuǎn)箱、物料盒防靜電標(biāo)準(zhǔn)靜電耗材表面電阻表面電壓作用備注防靜電周轉(zhuǎn)箱1041010150V用于PCBA、半導(dǎo)體電子元器件、機(jī)芯周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)箱要求使用防靜電周轉(zhuǎn)箱或使用中性的紙箱進(jìn)行周轉(zhuǎn)，檢測到不良馬上進(jìn)行更換并記錄到ESD測試NG處理記錄中；防靜電物料盒、金屬物料盒不能用錫箔紙包，一般的不防靜電的物料盒且離靜電敏感器件距離較近（如機(jī)芯固定位裝螺絲的物料盒；修理位的不防靜電的物料盒）的應(yīng)用錫箔紙包，用錫箔紙包了的物料盒不能用來裝靜電敏感器件（如IC等）。防靜電物料盒1041

20、010150V54周轉(zhuǎn)車防靜電標(biāo)準(zhǔn)靜電耗材表面電阻表面電壓作用備注防靜電周轉(zhuǎn)車1041010150V用于PCBA、機(jī)芯周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)車要求使用防靜電材料制作的周圍車進(jìn)行周轉(zhuǎn)，；接地鐵鏈的按目視檢查表要求進(jìn)行確認(rèn)防靜電周轉(zhuǎn)車點(diǎn)檢統(tǒng)一由SMT車間完成，車子必須有鐵鏈接地，鐵鏈不能生銹、或者懸空55防靜電袋、防靜電膠紙防靜電標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體元器件供應(yīng)商供貨要求使用防靜電材料(一般使用防靜電的聚乙烯)包裝；防靜電袋的使用壽命和防靜電效果會隨時間而消失,原則上為一次性使用。對重復(fù)使用的防靜電袋要求在使用前進(jìn)行防靜電測試，合格后才能投入使用。測試標(biāo)準(zhǔn)表面電阻要求在105R1011； 56工具、治具、機(jī)架防靜電標(biāo)準(zhǔn)5

21、61 通常情況要求測試機(jī)架使用防靜電材料進(jìn)行制作，表面電阻要求在1041010，鑷子、燒錄筆等工具必須使用木質(zhì)材料或防靜電材料，不能使用金屬材料；562 如果使用一般不防靜電材料（如有機(jī)玻璃）制作，必須采取防靜電措施，如需在測試機(jī)架上加防靜電膠皮或包錫箔紙并實(shí)施接地；或者噴防靜電液使其表面電阻達(dá)到1041010。5.6.3 要求靜電敏感器工裝和夾具等要求加強(qiáng)接地，接地電阻應(yīng)小于4歐姆。57相對濕度，溫度標(biāo)準(zhǔn)：1級標(biāo)準(zhǔn) 20-28 相對濕度(RH)：45%75%，適用于PCB/SMT/機(jī)芯車間，2級標(biāo)準(zhǔn)10-28 相對濕度(RH)：30%75%，適用于各總裝裝配車間，每工作日采集2次數(shù)據(jù)，具體時

22、間為上、下班次各一次?？刂品椒▍⒁?.14.658防塵膜作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：各個電子倉庫、車間在對靜電敏感器件做防塵處理時，要確保防塵膜不能直接和靜電敏感器件接觸，需先在靜電敏感器件上蓋上防靜電材料，然后再圍防塵膜。59靜電地線接地規(guī)則：用于靜電手環(huán)、靜電席等接地591對于臺面防靜電膠皮無靜接地扣的，靜電地線串接有150k+10%電阻（規(guī)格2W以上）；對于臺面防靜電膠皮有靜接地扣的，靜電地線可以串接150k+10%電阻（規(guī)格2W以上），也可以不用；592三相插座接地：內(nèi)置接地，用于三相電源插頭的接地；510設(shè)備接地規(guī)則：用于生產(chǎn)線上的儀器設(shè)備接地。5101接地位置：優(yōu)先順序由高到低依次為：設(shè)備儀器的后面

23、、左側(cè)、前面（設(shè)備儀器后面可以接地的都必須接在后面，后面不能接地的則可以選擇左側(cè)或者前面）5102接地線規(guī)格要求:總干線使用1.5mm2的黃綠線;連接儀器設(shè)備支線使用0.5mm2的黑線或AV線；5.10.3.所有連接電源主線的設(shè)備、儀器、工具等，都必須可靠地和電源系統(tǒng)安全地線相連接。5.10.4 靜電敏感器件及其組件的加工設(shè)備、測試儀器、工具、裝備（如測試設(shè)備儀器、SMT系列設(shè)備、波峰焊機(jī)、烘烤箱、成型系列設(shè)備、電批、電烙鐵等）有可靠接地；電批、電烙鐵要求加強(qiáng)接地，所有與靜電敏感物品接觸的用電設(shè)備沒有出現(xiàn)漏電的情況。5.10.5 EPA區(qū)的防靜電接地只允許使用并聯(lián)接地，而串聯(lián)接地是一種不可接受

24、的接地方式。5103接地方法：2cm5.10.3.1接地線在設(shè)備地線上繞接約2cm（緊密纏繞）如圖所示，再采取焊接方式，直接將連接點(diǎn)用錫焊接起來，接點(diǎn)更加牢靠。 5.10.3.2 接地線可以直接使用鱷魚夾夾在設(shè)備地線上;5.10.3.3 鱷魚夾的連接線必須使用焊接或工具壓接方式，不可以直接纏繞在上面；5.10.3.4 接地線連接儀器、工具的一端，須使用線耳焊接或工具壓接或綁定的方式，將其固定在儀器、工具的螺絲下面；5.10.3.5接地線連接電視的一端，使用AV線插在電視的端子上，另一端接設(shè)備地上使用鱷魚夾或直接焊接方式，不可以纏繞；5.11防靜電材料編碼規(guī)則5.111所有的防靜電膠皮、防靜電膠

25、箱、接地扣、防靜電椅子、防靜電周轉(zhuǎn)車，防靜電周轉(zhuǎn)架等需要進(jìn)行編碼管理，以便于檢驗(yàn)記錄使用；5.112 編碼規(guī)則5.1121編碼共9-10位數(shù)代表，123-4567890如： AVA-JDK001為一車間001號接地扣 1、2位為AV廠，固定不變；3位為車間（如：一車間為A；二車間為B；三車間為C；四車間為D；五車間E；CKD車間為F；試產(chǎn)為G ; PDVD車間為H；倉庫為K；OQA檢查房為O;IQC為I；六車間為J等）；4、5、6位為部品類型（防靜電膠皮為JDP，防靜電膠箱為JDX，防靜電椅子為JDY，接地扣為JDK，拉板為JDB等）；7、8、9、10位為部品的編號數(shù)量，從001開始累壘加。5

26、.1122 標(biāo)簽使用料號為:71-AV0000-T02 尺寸為40MM*15MM的貼紙,可以打印和手寫,字體要工整,清晰,不易擦除/掉色.如圖： 5.12工廠防靜電措施檢測方法512.1防靜電腕帶的檢測51211 將防靜電腕帶的地線夾夾住靜電測試儀的鱷魚夾上,同時將另一只不佩帶防靜電腕帶的手按在“PRESS HERE”上（靜電TESTER上的白色按鍵）；戴防靜電手環(huán)的手進(jìn)行左右搖動2-3秒51212 若綠色“PASS”指示燈一直亮,則表明佩帶防靜電腕帶良好；紅色“LOW”或“HIGH”指示燈亮,則表明所佩帶防靜電腕帶未戴好或有故障；如紅色與綠色燈交替閃爍表面防靜電腕帶未戴好或接觸不良。5121

27、3 測量必須保證在上班的前半個小時完成即可（上午8：30前、下午14：00前、晚上19：00前）51214 在測試中發(fā)現(xiàn)有故障的防靜電腕帶由作業(yè)員交給線長處理, 并要求立即更換，并登記在ESD測試NG處理記錄中5122電烙鐵漏電測試 在熱工作狀態(tài)下用萬用表測量烙鐵頭與電源地的漏電電壓和接地電阻,測量值記錄在相對應(yīng)的點(diǎn)檢表里；（萬用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接烙鐵上錫面）5123電批漏電測試在工作轉(zhuǎn)動狀態(tài)下用萬用表測量電批頭或調(diào)整環(huán)金屬殼與電源地的漏電電壓和接地電阻；（萬用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接電批頭上或調(diào)整環(huán)金屬殼）5124測試儀器、機(jī)架漏電測試在工作狀態(tài)下用萬用表測量測試機(jī)架、

28、測試儀器與電源地的阻抗4,AC電壓1V以下；（萬用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接測試儀器外殼、測試機(jī)架輸出端口地）5125 防靜電膠皮、膠箱、膠袋、防靜電車的檢測（靜電耗材）51251使用表面電阻測試儀測試表面電阻在1041010。表面電阻測試儀底部與被測試物體平行接觸，按住紅色PUSH START鍵進(jìn)行測試。測試時人體不許接觸被測物體，測試環(huán)境選擇在被測物體所處的作業(yè)現(xiàn)場，指示燈直接顯示阻值，當(dāng)指示燈不再跳動時方可讀取數(shù)據(jù)。按照此方法測試被測物體表面至少2個不同位置。對于局部表面電阻不合格的視為不合格。（測試平臺要選擇靜電耗散表面）51252使用表面電壓測試儀表測試表面電壓直接用表面電壓測

29、試儀測量其表面電壓，使用測試時對準(zhǔn)所測試的物體，當(dāng)紅光的兩個圓或十字架聚焦重合為最清晰狀態(tài)時，讀取數(shù)值；5.12.5.3以上測試環(huán)境均選擇在被測物體所處的作業(yè)環(huán)境下，相對濕度在30%-80%范圍內(nèi)。5.12.5.4靜電耗散型工作表面到公共接地線的接地電阻應(yīng)該保持在R1.0×109（不依賴于相對濕度）5126防靜電衣、靜電手套、靜電鞋的檢測51261防靜電衣、靜電手套可使用表面電阻測試儀測試表面電阻在1041010。防靜電衣、靜電手套可使用表面電壓測試儀表測試表面電壓150V51262防靜電鞋使用防靜電鞋檢測儀進(jìn)行檢測，具體檢測方法參照防靜電鞋點(diǎn)檢作業(yè)指導(dǎo)書，如是“FAIL HI”紅燈

30、亮，需檢查是否因?yàn)橐m子絕緣導(dǎo)致，這時請脫除襪子后穿防靜電鞋再進(jìn)行測試，測試結(jié)果OK，請保持不穿襪子工作；如是其它問題，請報(bào)告生產(chǎn)線長處理，另一只腳（如右腳）請重復(fù)前面步驟進(jìn)行測試（本測試方法適合單腳測試的檢測儀器）。512.7 地線的檢測512.7.1 防靜電地線的檢測：防靜電地線串接有一個150k+10%限流電阻，使用萬用表測量該電阻導(dǎo)通；每年使用搖表測試一次對地接線狀態(tài)，判定標(biāo)準(zhǔn)為導(dǎo)通即可；512.7.2 設(shè)備地線的檢測：每年使用搖表測試一次對地接線狀態(tài)，判定標(biāo)準(zhǔn)為接地電阻小于4；512.7.3設(shè)備地線與防靜電地線短路檢測，使用萬用表測量設(shè)備地線與防靜電地線間電阻大于2以上（非短路）即可，

31、每天點(diǎn)檢一次，并將測量值記錄在相對應(yīng)的點(diǎn)檢表中；512.7.4 三相電源插座接地腳的檢測：使用萬用表測量其接地腳與設(shè)備地線之間的電阻，判定標(biāo)準(zhǔn)為接地電阻小于4；512.8 ESD地板的檢測工程部負(fù)責(zé)每半年一次檢測分別對ESD地板（SMT、PCB、二車間）進(jìn)行表面電阻和電壓的檢測，表面電阻值在1041010范圍內(nèi)。防靜電地板與接地母線之間測量的值在106109 摩擦電壓100，記錄在ESD地板點(diǎn)檢表里；5.12.9 離子風(fēng)機(jī)的檢測5.12.91每周定期對離子風(fēng)機(jī)進(jìn)行檢測，在工作狀態(tài)下用萬用表測量離子風(fēng)機(jī)的金屬外殼與電源設(shè)備地的阻抗4,AC電壓1V以下；5.12.9.2中和效果的檢測，將離子風(fēng)機(jī)測

32、試儀功能開關(guān)分別撥到正極和負(fù)極，3秒內(nèi)表面電壓由1000V降低到100V為合格；將檢測結(jié)果較大的值記錄在離子風(fēng)機(jī)點(diǎn)檢表中，5.12.9.3 離子平衡測量，將主機(jī)左側(cè)功能開關(guān)打到“0”位置，將探頭金屬面正對著離子風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口位置，距離3050CM，當(dāng)電壓顯示屏所顯示的電壓相當(dāng)穩(wěn)定后，此時讀取數(shù)據(jù)為當(dāng)前離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度；顯示為正電壓，為當(dāng)前離子風(fēng)機(jī)的離子風(fēng)趨向于正離子多，如負(fù)，則為負(fù)離子多。5.12.9.4檢測到不良需馬上送設(shè)備室維修或更換，并記錄到ESD測試NG處理記錄中5.12.9.5ESD周點(diǎn)檢表使用要求防靜電衣帽、手套、防靜電周轉(zhuǎn)箱、周圍車等抽檢編號半年內(nèi)不能有重復(fù)；插座、測試設(shè)備、拉

33、體、防靜電膠皮、傳送帶、接地扣、生產(chǎn)設(shè)備等三個月內(nèi)至少檢查一次；新導(dǎo)入拉體，設(shè)備等需要在導(dǎo)入后首個周/月點(diǎn)檢中優(yōu)先對其進(jìn)行確認(rèn)；512.10 檢測結(jié)果超標(biāo)措施所有的檢測值若超出標(biāo)準(zhǔn)范圍，應(yīng)立即采取有效的改善行動，以達(dá)到規(guī)定的要求，或立即停用、更換為正常品方可使用；行動記錄可填寫在備注欄內(nèi)，處理流程參見5.14.9；5.13 靜電測試主要儀器使用說明5.131靜電手環(huán)測試儀（型號：QUICK498、SLD698）靜電手環(huán)點(diǎn)檢規(guī)格要求800k-9M，使用前要先檢查儀器是否正常，簡易確認(rèn)方法：將測試儀接地線與測試按壓片短路并按下，正常應(yīng)顯示紅燈LOW；直接按壓測試按壓片（測試儀接地線懸空不與任何物體

34、接觸），正常應(yīng)顯示紅燈HIGH,確認(rèn)儀器正常后方可使用，使用時儀器接靜電地線，然后開始檢測，具體檢測方法參照698說明書。5.132 表面電阻測試儀表面電阻測試儀底部與被測試物體平行接觸，按住紅色PUSH START鍵進(jìn)行測試。測試時人體不許接觸被測物體,讀數(shù)時要等指示燈不再跳動方可.表面電阻測試儀（型號：SLD 699）5.133 表面電壓測試儀(型號:TPK375)使用前先要清零,方法:套上儀器的配套鐵片且旋緊底部接地螺絲,按POWER鍵開機(jī),再按ZERO清零即可。每次使用前需要清零。清零后方可進(jìn)行測量，測量時先取下對零鐵片，然后前端對準(zhǔn)被測物體，使2個紅色的圓圈重疊在一起時讀取數(shù)值（其它

35、型號操作方法參考儀器使用說明書）。表面電壓測試儀（FMX002）5.134大氣離子測試儀（型號：NK-7001）打開電源開關(guān)，當(dāng)屏幕顯示為1000/200之間跳動時，在數(shù)字停留的同時按下探頭的輕觸開關(guān)，則為選擇測量的檔位，分別可以測量到1000V降低到100V，200V降低到20V的所需要的時間；將探頭對準(zhǔn)離子風(fēng)機(jī)約50cm的距離內(nèi)，按動探頭的開關(guān)，看屏幕顯示所測量的中和速度的時間在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)即可；5.14 防靜電的管理5.141防靜電的措施制定由工程部制定、完善、解釋本管理規(guī)范5.142由IQA每月最后一個星期三對工廠各生產(chǎn)車間/部門進(jìn)行抽查本規(guī)范執(zhí)行情況；現(xiàn)場抽檢結(jié)果記錄在靜電月度審查表中

36、，審查人員次日整理并加入到ESD月度審查問題點(diǎn)跟蹤表中，由各部門分別在一周內(nèi)給出改善對策及進(jìn)度，由IQA部跟進(jìn)并確認(rèn)，直至問題點(diǎn)關(guān)閉。5.14. 3外來人員的靜電防護(hù)措施制定外來人員要進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域，必須按照TCL工廠要求實(shí)施相應(yīng)的靜電防護(hù)措施，；對于外協(xié)廠來TCL工廠進(jìn)行靜電敏感器件返工、維修的作業(yè)時，應(yīng)采取有效地靜電防護(hù)措施（如配戴靜電手環(huán)、穿戴防靜電衣、帽、手套等），并且要求加入到點(diǎn)檢記錄。有必要的情況下，對于以上人員要進(jìn)行專門的靜電防護(hù)知識的培訓(xùn)；5.14. 4拆裝設(shè)備所產(chǎn)生的廢棄紙箱、雜物引起靜電的防護(hù)措施5.14.4.1拆裝設(shè)備原則上放在非靜電區(qū)域進(jìn)行，拆裝完后再把整機(jī)移至工作區(qū)

37、域；5.14.4.2必須放在靜電區(qū)域進(jìn)行拆裝的作業(yè)，所產(chǎn)生的廢棄紙箱、雜物等應(yīng)立即轉(zhuǎn)移到非靜電區(qū)域內(nèi)，以免引起靜電的產(chǎn)生；5.14.4.3拆裝設(shè)備的作業(yè)區(qū)域必須離靜電作業(yè)區(qū)域內(nèi)的產(chǎn)品或物品兩米以外。5.145臨時增加的作業(yè)區(qū)域靜電防護(hù)措施；對于臨時增加工位的ESD點(diǎn)檢同樣要形成記錄，定期進(jìn)行點(diǎn)檢, ESD點(diǎn)檢合格方可進(jìn)行生產(chǎn)；5.14. 6 EPA防護(hù)等級制定EPA區(qū)域的劃分以該區(qū)域內(nèi)是否可能出現(xiàn)靜電敏感物品為準(zhǔn)則，只要可能出現(xiàn)靜電敏感物品，則應(yīng)定義為防靜電區(qū)，否則可定義為非防靜電區(qū)。防靜電區(qū)域的邊界范圍由ESD專員與區(qū)域防靜電責(zé)任人共同確定。產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域分為一級EPA區(qū)域和二級EPA區(qū)域。一

38、級EPA區(qū)域適用于靜電敏感等級大于或等于HBM50V的產(chǎn)品的生產(chǎn)；二級EPA區(qū)域適用于靜電敏感等級小于HBM150V的產(chǎn)品的生產(chǎn)；產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域?qū)?yīng)的EPA等級定義及相關(guān)要求請參考下表格：EPA控制一級EPA二級EPA備注靜電防護(hù)水平HBM <50VHBM <150V適用區(qū)域直接接觸靜電敏感器件單體(如小機(jī)芯、機(jī)芯組件、IC、MOS元件、IC房、解碼板等) 或組件涉及的加工環(huán)節(jié)會接觸到靜電敏感器件部品，但是不直接接觸靜電敏感器件單體溫濕度要求溫度：2028相對濕度(RH)：45%75%EPA內(nèi)應(yīng)配備溫濕度計(jì)，每班次上班之前作一次記錄溫度：1028相對濕度(RH)：30%75%EPA內(nèi)

39、應(yīng)配備溫濕度計(jì)，每班次上班之前作一次記錄當(dāng)指標(biāo)超出規(guī)定的范圍時，必須采取適當(dāng)?shù)拇胧┯枰愿纳啤?biāo)識要求（1）各樓層EPA入口處或不同EPA等級的轉(zhuǎn)換處粘貼一級EPA區(qū)域等級警示牌（2）員工能正確區(qū)分EPA和非EPA，防靜電區(qū)域（EPA）的外邊界粘貼EPA區(qū)域地面警示標(biāo)識（3）防靜電設(shè)施、器材等防靜電物品，以及靜電敏感器件及組件等有關(guān)包裝上標(biāo)注有醒目的ESD標(biāo)識。（1）各樓層EPA入口處或不同EPA等級的轉(zhuǎn)換處粘貼二級EPA區(qū)域等級警示牌（2）員工能正確區(qū)分EPA和非EPA，防靜電區(qū)域（EPA）的外邊界粘貼EPA區(qū)域地面警示標(biāo)識（3）防靜電設(shè)施、器材等防靜電物品，以及靜電敏感器件及組件等有關(guān)包裝上

40、標(biāo)注有醒目的ESD標(biāo)識。人員要求（1）著裝要求：穿戴防靜電工衣、工鞋、工帽（2）測試要求：所有進(jìn)入EPA的人員必須通過ESD測試方可進(jìn)入（3）操作要求：接觸靜電敏感產(chǎn)品必須佩戴防靜電腕帶或手套（4）培訓(xùn)及認(rèn)證要求：參照4.16（1）著裝要求：穿戴防靜電工衣、工鞋或鞋套、工帽（2）測試要求：所有進(jìn)入EPA的人員必須通過ESD測試方可進(jìn)入（3）操作要求：接觸靜電敏感產(chǎn)品必須佩戴防靜電腕帶或手套（4）培訓(xùn)及認(rèn)證要求：參照4.16靜電源控制要求（1）不必要的靜電源（如水杯、塑料袋、手提包等）禁止帶入EPA;（2）必要的靜電源按十二英寸原則控制或進(jìn)行離子化、防靜電噴涂等方式處理（1）不必要的靜電源（如水

41、杯、塑料袋、手提包等）禁止帶入EPA;（2）必要的靜電源按十二英寸原則控制或進(jìn)行離子化、防靜電噴涂等方式處理接地要求EPA區(qū)域所有的設(shè)備、儀器、測試環(huán)境裝備、工具、人體應(yīng)進(jìn)行安全可靠的接地，以保證靜電敏感物品、工作人員和其它所有導(dǎo)體處在等電位狀態(tài)，使靜電敏感物品免受ESD損傷。EPA區(qū)域所有的設(shè)備、儀器、測試環(huán)境裝備、工具、人體應(yīng)進(jìn)行安全可靠的接地，以保證靜電敏感物品、工作人員和其它所有導(dǎo)體處在等電位狀態(tài)，使靜電敏感物品免受ESD損傷。ESD硬件配置要求離子風(fēng)機(jī)配置：（1）SMT線體：印刷后、貼片后、回流爐前、回流爐后、檢驗(yàn)位（2）組裝線體：靜電場大于50V的工位（3）其它關(guān)鍵工位：如維修工位

42、，軟件燒錄工位或其它靜電場大于50V的工位。接地監(jiān)控儀配置：需要對EPA區(qū)域操作靜電敏感器件的人員進(jìn)行監(jiān)控；需要對EPA區(qū)域臺墊進(jìn)行監(jiān)控；需要對關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控。其它ESD硬件配置參見1.2.3離子風(fēng)機(jī)配置：SMT線體：印刷后、貼片后、回流爐后、檢驗(yàn)位組裝線體：靜電場大于150V的工位其它關(guān)鍵工位：如維修工位，軟件燒錄工位或靜電場大于150V的工位。接地監(jiān)控儀配置：需要對EPA區(qū)域操作靜電敏感器件的人員進(jìn)行監(jiān)控。其它ESD硬件配置參見1.2.3要求使用直流自平衡離子風(fēng)機(jī)防靜電包裝要求參見5.3 /5.4 /5.5要求參見5.3 /5.4 /5.5要求硬件設(shè)施檢測要求參見5.12要求參見5.12要求稽查要求周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查，具體參見1.1.3月度稽查、季度稽查、年度稽查，具體參見1.1.35.14.7 EPA接地/等電位相連系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)EPA區(qū)域內(nèi)應(yīng)實(shí)行接地/等電位相連接系統(tǒng)，以保證靜電放電敏感物件、人員和所有其它導(dǎo)電體(如