超精密與納米加工技術(shù)

1、LOGO超精密與納米加工技術(shù) 交通運輸工程S1326LOGO超精密與納米加工技術(shù) 概述 超精密加工范疇 新興的納米加工技術(shù)LOGO超精細加工技術(shù)概述 超精密加工技術(shù)是適應(yīng)現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的一種機械加工新工藝，綜合應(yīng)用了機械技術(shù)發(fā)展的的新成果及現(xiàn)代電子技術(shù) 測量技術(shù)和計算機技術(shù)中先進的控制 測試手段等，使機械加工的精度得到進一步提高，使加工的極限精度向納米和亞納米精度發(fā)展。LOGO超精細加工技術(shù)概述 超精密加工技術(shù)是衡量一個國家先進制造技術(shù)水平的重要指標之一，是先進制造技術(shù)的基礎(chǔ)和關(guān)鍵。 當代的機密工程 微細工程和納米技術(shù)是現(xiàn)代制造技術(shù)的前沿,也是明天技術(shù)的基礎(chǔ). 目前,在工業(yè)發(fā)達的國家中,一般工廠

2、能穩(wěn)定的加工精度是1m。LOGO超精細加工技術(shù)概述 1 超精密加工是國家制造工業(yè)水平的重要標志之一 ； 2 超精密加工是先進制造技術(shù)的基礎(chǔ)和關(guān)鍵 ； 3 國防工業(yè)上的需求 ； 4 信息產(chǎn)品中的需求； 5 民用產(chǎn)品中的需求 ；超精密加工技術(shù)的重要性LOGO超精細加工技術(shù)概述 超精密加工技術(shù)在尖端產(chǎn)品和現(xiàn)代化武器的制造中占有非常重要的地位。例如：對于導彈來說，具有決定意義的是導彈的命中精度，而命中精度是由慣性儀表的精度所決定的。制造慣性儀表，需要有超精密技工技術(shù)和相應(yīng)的設(shè)備。超精密加工技術(shù)的重要性LOGO超精細加工技術(shù)概述超精密加工技術(shù)的重要性LOGO超精細加工技術(shù)概述超精密加工技術(shù)的重要性LOG

3、O超精細加工技術(shù)概述 從上所述，可以看出只有采用超精密加工技術(shù)才能制造精密陀螺儀 精密雷達 超小型電子計算機及其他尖端產(chǎn)品。超精密加工技術(shù)的重要性LOGO超精密加工范疇 在過去相當?shù)囊欢螘r期，精密加工 ，特別是超精密加工的應(yīng)用范圍很狹窄。進十年來，隨著科學技術(shù)和人們生活水平的提高，超精密加工不僅進入了國民經(jīng)濟和人民生活的各個領(lǐng)域，而且從單件小批生產(chǎn)方式走向大批量的產(chǎn)品生產(chǎn)。LOGO超精密加工范疇 超精密加工目前包含三個領(lǐng)域： 1） 超精密切削，如超精密金剛石刀具切削，可加工各種鏡面，他成功的解決了高精度陀螺儀，激光反射和某些大型反射鏡的加工。 2）超精密磨削研磨，例如解決了大規(guī)模集成電路基片的

4、加工和高精度硬磁盤等得加工。 3）超精密特種加工，如電子束，離子束加工，美國超大規(guī)模集成電路線寬達到0.1m。LOGO納米加工技術(shù)概述 目前，納米加工技術(shù)已成為國家科學技術(shù)發(fā)展水平的重要標志。隨著各種新型功能陶瓷材料的不斷研制成功，以及用這些材料作為關(guān)鍵元件的各類裝置的高性能化，要求功能陶瓷元件的加工精度達到納米級甚至更高，這些都有力地促進了納米加工技術(shù)的進步。近年來，納米技術(shù)的出現(xiàn)促使納米加工向其極限加工精度原子級加工進行挑戰(zhàn)。LOGO納米加工技術(shù)概述 納米級精度的加工和納米級表層的加工，即原子和分子的去除、搬遷和重組是納米技術(shù)主要內(nèi)容之一。納米加工技術(shù)擔負著支持最新科學技術(shù)步的重要使命。國

5、防戰(zhàn)略發(fā)展的需要和納米級精度產(chǎn)品高利潤市場的吸引，促使了納米加工技術(shù)產(chǎn)生并迅速發(fā)展。LOGO納米加工技術(shù)概述 例如，現(xiàn)代武器慣導儀表的精密陀螺、激光核聚變反射鏡、大型天體望遠鏡反射鏡和多面棱鏡、大規(guī)模集成電路硅片、計算機磁盤及復印機磁鼓等都需要進行納米級加工。納米加工技術(shù)的發(fā)展也促進了機械、電子、半導體、光學、傳感器和測量技術(shù)以及材料科學的發(fā)展。LOGO新興的納米加工技術(shù) 1）利用掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡的納米加工技術(shù)LOGO新興的納米加工技術(shù) 2）化學合成方法是制備納米尺度電子學器件的另一種途徑用化學過程“自下而上”地把微觀體系的物質(zhì)單元組裝成納米器件。由于用納米探針進行機械合成很難同時組裝數(shù)目巨大的納米結(jié)構(gòu)和器件，所以研究化學合成方法非常重要。LOGO新興的納米加工技術(shù) 3）聚焦離子束(FIB)技術(shù)是在電場和磁場的作用下，將離子束聚焦到亞微米甚至納米量級，通過偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)及加速系統(tǒng)控制離子束，實現(xiàn)微細圖形的檢測分析和納米結(jié)構(gòu)的無掩模加工。LOGO新興的納米加工技術(shù) 4）準分子激光直寫納米加工技術(shù)準分子激光(excimer laser)以其高分辨率、光子能量大、冷加工、“直寫”特點、無環(huán)境污染以及對加工材料廣泛的適應(yīng)性，使其成為一種重要的MEMs和納米加工技術(shù)。LOGO新興的納米加工技術(shù) 5）于20世紀90年代中葉誕生的納米壓印(naIloimprim limogra