傳感器新技術(shù)PPT培訓(xùn)資料

1、1,傳感器技術(shù)及應(yīng)用,2,傳感器技術(shù)及應(yīng)用,主講教師：樊尚春 教授 北京航空航天大學(xué),3,第1講：緒 論 第2講：傳感器的輸入輸出特性 第3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第4講：幾種典型的模擬式傳感器 第5講：諧振式傳感器 第6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 第7講：總 結(jié),課 程 內(nèi) 容,4,思考題(第6講,1. 如何理解傳感器的集成化與智能化？ 2. 微機械傳感器與以往傳感器的區(qū)別。 3. 傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢,第6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù),5,6.1 概述(微型化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化) 6.2 微機械傳感器 6.3 智能化傳感器,第6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù),6,6.2.1 概 述 6.2.2 硅

2、電容式集成壓力傳感器 6.2.3 硅電容式微機械加速度傳感器 6.2.4 硅電容式表面微機械陀螺 6.2.5 微機械科氏質(zhì)量流量傳感器 6.2.6 硅諧振式壓力微傳感器,6.2 微機械傳感器,7,6.2.1 概 述,微傳感器的發(fā)展 微傳感器中應(yīng)用的材料 微傳感器中應(yīng)用的加工工藝 微傳感器中敏感結(jié)構(gòu)的模型問題 微傳感器中微弱信號的處理問題,8,敏感結(jié)構(gòu) 工作機理 特性方程 典型應(yīng)用,6.2.2 硅電容式集成壓力傳感器,9,敏感結(jié)構(gòu),6.2.2 硅電容式集成壓力傳感器,10,p,工作機理,6.2.2 硅電容式集成壓力傳感器,11,特性方程,6.2.2 硅電容式集成壓力傳感器,12,工業(yè)自動化領(lǐng)域：

3、壓力變送器,典型應(yīng)用,6.2.2 硅電容式集成壓力傳感器,13,單軸加速度傳感器 三軸加速度傳感器,6.2.3 硅電容式集成加速度傳感器,14,關(guān)鍵問題： 敏感質(zhì)量 差動實現(xiàn) 折疊梁剛度,單軸加速度傳感器,6.2.3 硅電容式集成加速度傳感器,15,三軸加速度傳感器,6.2.3 硅電容式集成加速度傳感器,16,6.2.4 硅電容式表面微機械陀螺,17,18,熱激勵硅微結(jié)構(gòu)諧振式壓力傳感器,敏感結(jié)構(gòu) 工作機理 特性方程 測量誤差 改進措施 應(yīng)用特點 典型應(yīng)用,6.2.6 硅諧振式壓力微傳感器,19,差動輸出的微結(jié)構(gòu)諧振式壓力傳感器,6.2.6 硅諧振式壓力微傳感器,20,6.3 智能化傳感器,6

4、.3.1 傳感器技術(shù)智能化的含義 6.3.2 基本傳感器 6.3.3 智能化傳感器中的軟件 6.3.4 典型應(yīng)用 6.3.5 發(fā)展前景,21,6.3 智能化傳感器,6.3.1 傳感器技術(shù)智能化的含義 6.3.2 基本傳感器 6.3.3 智能化傳感器中的軟件 6.3.4 典型應(yīng)用 6.3.5 發(fā)展前景,自補償功能：如非線性、溫度誤差、響應(yīng)時間、 噪聲、交叉耦合干擾等。 自診斷功能：如自檢，運行檢查、診斷測試等。 雙向通信的功能。 信息存儲和記憶功能。 數(shù)字量輸出或總線式輸出功能,22,6.3 智能化傳感器,6.3.1 傳感器技術(shù)智能化的含義 6.3.2 基本傳感器 6.3.3 智能化傳感器中的軟

5、件 6.3.4 典型應(yīng)用 6.3.5 發(fā)展前景,23,6.3 智能化傳感器,6.3.1 傳感器技術(shù)智能化的含義 6.3.2 基本傳感器 6.3.3 智能化傳感器中的軟件 6.3.4 典型應(yīng)用 6.3.5 發(fā)展前景,標(biāo)度變換技術(shù) 數(shù)字調(diào)零技術(shù) 非線性補償 溫度補償 數(shù)字濾波技術(shù),24,光電式智能化壓力傳感器 智能化差壓傳感器 全向空速智能化傳感器 智能化智能結(jié)構(gòu)傳感器系統(tǒng) 嵌入式智能化大氣數(shù)據(jù)傳感器系統(tǒng) 智能化流量傳感器系統(tǒng),6.3.4 典型應(yīng)用,25,光電式智能化壓力傳感器,6.3.4 典型應(yīng)用,26,光電式智能化壓力傳感器 智能化差壓傳感器,6.3.4 典型應(yīng)用,27,光電式智能化壓力傳感器

6、 智能化差壓傳感器 全向空速智能化傳感器 智能化智能結(jié)構(gòu)傳感器系統(tǒng) 嵌入式智能化大氣數(shù)據(jù)傳感器系統(tǒng) 智能化流量傳感器系統(tǒng),6.3.4 典型應(yīng)用,自 學(xué),28,智能化流量傳感器系統(tǒng),6.3.4 典型應(yīng)用,29,6.3.5 發(fā)展前景,30,技術(shù)的必由之路,6.3.5 發(fā)展前景,31,6.1 概述(微型化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化) 6.2 微機械傳感器 6.3 智能化傳感器,第6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù)(小結(jié),32,課 程 內(nèi) 容,第1講：緒 論 第2講：傳感器的輸入輸出特性 第3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第4講：幾種典型的模擬式傳感器 第5講：諧振式傳感器 第6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 第7講：總 結(jié),33,第1講：緒 論 第2講：傳感器的輸入輸出特性 第3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第4講：幾種典型的模擬式傳感器 第5