特殊氣體課件

1、第二節(jié) 特殊氣體前言在半導(dǎo)體集成電路制造過程中使用種類繁多的特種氣體,這些氣體大都具有易燃,易爆,有毒等危險特性,所以我們必須要充分了解這些特性,根據(jù)它們的安全特性制定不同操作方法,才能安全地使用它們。即使發(fā)生安全事故,我們也必須知道怎么樣去正確處置。2-1半導(dǎo)體制造用特殊氣體在搬送上的注意事項(1) 氣瓶的使用必須在指定的場所進行,其它場所嚴禁(2) 與氣瓶配套使用的閥門,壓力計,流量計等部品必須專用,嚴禁各氣體間混用(3) 氣瓶使用前需確認氣瓶是否固定好,H2氣瓶最好有接地裝置(4) 處置發(fā)生氣體泄漏后氣瓶時,為了避免殘存有害氣體的傷害,首先進行有效的通風(fēng),處置人員必須穿著空氣呼吸器,并且

2、把可燃物品清除出去(5) 其它方面的注意事項同有毒,可燃性氣體的處置注意事項相同2-2氣體的保管,使用,運輸2-2-1保管(1) 氣體存放地方需取得相關(guān)部門的認證(2) 氣瓶的存放處周圍2米內(nèi)火源,易燃物嚴禁放置(3) 為了避免氣瓶上方重物墜落損傷氣瓶及閥門,所以氣瓶放置處上方嚴禁懸掛重物,另外氣瓶需用金屬繩給予固定(4) 氣瓶的保管溫度應(yīng)在40以下(5) 在特氣放置處附近為了防止火源接近,必須懸掛”禁煙” “ 嚴禁煙火” “危險” 等安全警示標示(6) 特氣放置處必須配備有效的消防設(shè)施(碳酸滅火器,消火栓等)(7) 特氣放置處還需配備毒氣吸收劑,中和劑及防毒面具,空氣呼吸器等裝置2-2-2氣

3、體使用過程中的注意事項(1) 特氣使用場所應(yīng)保證室溫在40以下(2) 為了防止氣瓶翻倒,需對氣瓶進行固定,如固定用鏈條,固定架等(3) 氣瓶的閥門在開啟和關(guān)閉時動作要輕,使用后的氣瓶在關(guān)閉閥門后需蓋上保護罩(4) 在氣瓶使用前,必須對閥門,配管,壓力計等拆裝部分用檢漏液進行檢漏(5) 易燃氣體使用在減壓設(shè)備時,氣瓶與設(shè)備之間必須要有逆止法(6) 特氣相關(guān)的作業(yè)過程中必須兩人同時進行2-2-3氣體的移動(1) 在搬送易燃性和有毒性氣體時,需嚴格遵守國家的相關(guān)法律及法規(guī)(2) 特氣運輸車在運輸氣體時,必須配備消防設(shè)備,防毒器具,吸收劑,保護眼鏡(3) 在氣瓶使用現(xiàn)場搬送氣瓶時應(yīng)使用專用搬送小車,避

4、免碰傷氣瓶2-3特氣分類(1) 可燃性氣體(2) 有毒性氣體(3) 鹵素類氣體(4) 非金屬類化合物(5) 堿性氣體(6) 酸性氣體(7) 無機酸氣體(8) 惰性氣體2-4異常事故處置2-4-1火災(zāi)2-4-1-1一般注意事項(1) 火災(zāi)發(fā)生時重點處置對策內(nèi)容(a)氣體爆炸(b)有毒氣體中等(c)氣瓶閥門損壞，氣瓶破裂(2) 與火災(zāi)發(fā)生相關(guān)對策(a)火災(zāi)發(fā)生時要及時通知周圍的人及安全管理主任者(b)較大的火災(zāi)應(yīng)及時通知消防部門(C)當(dāng)發(fā)生嚴重的毒氣泄漏時，消防部門，醫(yī)療救護部門等相關(guān)部門要進行聯(lián)合調(diào)查處置(3) 參加滅火人員應(yīng)具備危險氣體的消防知識2-4-1-2火災(zāi)周邊的處置(1)可移動的氣瓶迅

5、速轉(zhuǎn)移到安全場所(2)如果氣瓶不可移動，要對氣瓶進行冷卻處理防止氣瓶發(fā)生爆裂(3)危險的易燃和有毒氣體應(yīng)優(yōu)先轉(zhuǎn)移到安全場所(4)相關(guān)人員迅速實施避難2-4-1-3著火氣瓶的處置(1)為了防止二次火災(zāi)發(fā)生，將著火氣瓶移動到其他場所進行滅火(2)在處置著火氣瓶時，一定要注意易燃，有毒氣瓶的爆裂和泄漏(3)一定要佩帶保護用具，并且在滅火時一定要在上風(fēng)方向(4) 用水冷卻是最為有效的救火方法，但也可根據(jù)情況使用滅火器和滅火沙2-4-2受傷人員的處置2-4-2-1一般注意事項(1)被害者迅速轉(zhuǎn)移到安全場所(2)對被害者進行緊急救護(3)與緊急救護醫(yī)院進行聯(lián)絡(luò)2-4-2-2緊急處置對策（1） 當(dāng)吸入有毒性

6、氣體后，首先將被害人轉(zhuǎn)移到空氣新鮮的場所休息，松開衣扣，并且蓋上保暖物，如有必要可進行吸氧。告知醫(yī)生被害人吸入的有毒氣體名，由醫(yī)生進行進一步的處置。（2） 當(dāng)有毒氣體進入到眼睛里時，用洗眼器沖洗眼睛15分鐘以上，然后到醫(yī)療診所進行治療。（3） 當(dāng)皮膚受到有毒氣體侵害時，脫去衣服用大量的水進行沖洗，。2-5 SGNEC使用特氣安全性質(zhì)一覽表氣體名稱分子式 性質(zhì)氣體區(qū)分容許濃度自燃可燃助燃毒腐蝕PURE HE47L/150KG/CM2HeCL2 /10L 10KGCl2OOD1ppmHBR /10L 10KGHBrOOB3ppmCF4 /47L 32KGCF4CCHF3/47L20KGCHF3CB

7、CL3/47L 50KGBCL3OOBSIH4(20%)/AR /47L100KG/CM2SiH4/ArOOASIH4(20%)/N2/47L100KG/CM2SiH4/N2OOASIH4(100%) /47L/10KGSiH4OOASIH2CL2 /40L/20KGSiH2Cl2OOOBNH3 /40L 20KGNH3OOOB25ppm02(1%)/AR /47L150KG/CM2O2/AROPH3(1%)/N2 /47L100KG/CM2PH3/N2OD,A0.3ppmB2H6(1%)/N2 /47L100KG/CM2B2H6/N2OD,A0.1ppmCH4(10%)/AR /47L120

8、KG/CM2CH4/AROCC2F6 /47L 30KGC2F6CN2O /40L 30KGN2OOC5ppmN2 /47L150KG/CM2N2.BF3 /1L20KGBF3OD0.3ppmAR /1L/150KG/CM2ARAR /47L/150KG/CM2ARCO2 /40L/30KGCO2B2H6(5%)/N2/20KG/CM2B2H6/N2OD,A0.1ppmPH3(5%)/N2/100KG/CM2PH3/N2OD,A0.3ppmB2H6(10PPM)/H2/100KG/CM2B2H6/H2OD,A0.1ppmPH3(50PPM)/H2/100KG/CM2PH3/H2OD,A0.3ppmSI