氮化鎵藍(lán)光LED有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示驅(qū)動(dòng)芯片.doc

五、微電子技術(shù)（與材料）1 氮化鎵藍(lán)光LED2 有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）顯示驅(qū)動(dòng)芯片3 ECR深亞微米刻蝕技術(shù)4 智能功率模塊5 彩色等離子體顯示器PDP電路系統(tǒng)關(guān)系技術(shù)6 MCM金剛石復(fù)合多層基板技術(shù)7 系列ZnO壓敏電阻器8酞酸鍶（SrTiO3）厚膜氧傳感器9新型環(huán)形電機(jī)消噪鈦酸鍶元件10高可靠瓦斯報(bào)警礦燈11微型硅壓力傳感器12汽車核心芯片（研究）開發(fā)13動(dòng)態(tài)高輸出二維力敏傳感器氮化鎵藍(lán)光LED一、項(xiàng)目簡介 當(dāng)今世界，被譽(yù)為IT產(chǎn)業(yè)發(fā)動(dòng)機(jī)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已誕生了以氮化鎵及其合金材料為代表的第三代半導(dǎo)體材料。氮化鎵（GaN）基材料可制成高效藍(lán)、綠光發(fā)光二極管和激光二極管LD（又稱激光器），并可延伸到白光，后者將替代人類沿用至今的照明系統(tǒng)。氮化鎵（GaN）基材料還將帶來IT行業(yè)存儲(chǔ)技術(shù)的革命。氮化鎵藍(lán)光LED相關(guān)材料及器件廣泛應(yīng)用于全色大屏幕顯示器，高亮度LED交通信號(hào)和指標(biāo)燈，以氮化鎵為基礎(chǔ)的高亮度半導(dǎo)體LED具有體積小、壽命長、功耗低等優(yōu)點(diǎn)，并向著高亮度、全彩色、大型化方向發(fā)展。98年世界氮化鎵藍(lán)光LED的市場有45億人民幣的銷售額且產(chǎn)品供不應(yīng)求。二、主要技術(shù)指標(biāo)輸出功率：3.0mw光強(qiáng)度：3cd（坎德拉）色 彩：純藍(lán)光420480nm冷光源：效率高和響應(yīng)速度快體積小、重量輕；電壓低、電流小、節(jié)能和防爆使用壽命長：可達(dá)10萬小時(shí)以上容易與晶體管和集成電路配套使用。三、市場前景由于藍(lán)光二極管的應(yīng)用領(lǐng)域廣闊，包括：大屏幕全彩顯示、照明燈具、激光器、多媒體顯像、LCD背光源、探測器、交通信號(hào)燈、儀器、儀表、光纖通訊、電器、全息顯示、衛(wèi)星通訊、海洋通訊、圖形識(shí)別等。在軍事上，可制成藍(lán)光激光器，具有驅(qū)動(dòng)能耗低，輸出能量大的特點(diǎn)，其激光器讀取器可將目前的信息存儲(chǔ)量提高數(shù)倍，并大大提高探測器的精確性及隱蔽性，因此藍(lán)光激光器將有廣泛用于軍事用途。另外，藍(lán)光LD還可應(yīng)用于光纖通訊、探測器、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)閱讀、激光高速印刷等領(lǐng)域。該材料制作的半導(dǎo)體燈具，具有體積小、冷光源、響應(yīng)時(shí)間短、發(fā)光效率高、防爆、壽命長、低壓、省電、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。普通燈泡的壽命為600010000小時(shí)，而GaN白光LED燈可使用10萬小時(shí)以上；可以說從建房開始就不用再更換燈了。而且其能耗僅為目前普通燈源的10%20%。據(jù)預(yù)測，未來數(shù)年內(nèi)，有半數(shù)以上的白熾燈將被白光LED取代，其市場潛力巨大。四、投資概算1總投資1640萬元。主要用于：MOCVD生長系統(tǒng)、超高真空光CVD、ECR刻蝕機(jī)、測試儀器、工作站、器件設(shè)計(jì)軟件、半導(dǎo)體生產(chǎn)線。2基礎(chǔ)設(shè)施及環(huán)境條件：500多平方米的1000級(jí)超凈實(shí)驗(yàn)室（光刻室為100級(jí)）；100平方米左右的材料與器件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。3配套設(shè)施：一套運(yùn)行良好的去離子水處理系統(tǒng)尾氣多級(jí)化學(xué)處理系統(tǒng)廢棄的真空泵油等生產(chǎn)廢料需送到專門的回收部門五、合作方式： 希望與實(shí)力雄厚的企業(yè)組建聯(lián)合實(shí)體，在國內(nèi)形成有一定生產(chǎn)規(guī)模的企業(yè)。最好與微電子企業(yè)合作，使產(chǎn)品盡快上市。有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）顯示驅(qū)動(dòng)芯片一、項(xiàng)目簡介有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）是新型的顯示技術(shù)，是基于有機(jī)材料的一種電流型半導(dǎo)體發(fā)光器件，是目前最具潛力的顯示技術(shù)。西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院積極跟蹤新型顯示技術(shù)的最新動(dòng)向，成功開發(fā)STN-LCD、PDP、LED等驅(qū)動(dòng)芯片。本項(xiàng)目開發(fā)成功后，可直接應(yīng)用于各種OLED顯示系統(tǒng)中。本項(xiàng)目完成8Channels Column/Row OLED驅(qū)動(dòng)芯片的設(shè)計(jì)開發(fā)。目前我國的TFT-LCD、STN-LCD顯示驅(qū)動(dòng)集成電路完全采用進(jìn)口驅(qū)動(dòng)芯片，95%以上LED、TN-LCD等顯示驅(qū)動(dòng)集成電路也依賴于進(jìn)口，極大地限制了顯示應(yīng)用產(chǎn)品的性價(jià)比和競爭力。中國雖然是CRT的生產(chǎn)大國，也即將成為LCD市場上舉足輕重的角色，但是我們的企業(yè)在切入CRT和LCD市場時(shí)，已經(jīng)錯(cuò)過了產(chǎn)業(yè)高利潤階段，只能依靠強(qiáng)大的生產(chǎn)能力參與市場的角逐，而正處于萌芽期的OLED給了所有企業(yè)一個(gè)近乎平等的機(jī)會(huì)，我國很有希望在這項(xiàng)技術(shù)上與世界保持同步，一起分享高速成長的利潤，甚至可能占據(jù)一定的主導(dǎo)地位。二、主要技術(shù)指標(biāo)Column驅(qū)動(dòng)和Row驅(qū)動(dòng)復(fù)用；4位/8位串行數(shù)據(jù)輸入；移位時(shí)鐘頻率為5MHz；支持Cascade（級(jí)聯(lián)）應(yīng)用；最高工作電壓為40V；內(nèi)建有精度參考帶隙電壓源。三、市場前景OLED作為一種新型的顯示技術(shù)，是顯示技術(shù)中最具潛力的產(chǎn)品。目前以無源驅(qū)動(dòng)OLED為主，主要應(yīng)用于小型便攜設(shè)備中，如PDA以及游戲機(jī)等，發(fā)揮輕、薄、低功耗的優(yōu)勢。后期將以有源驅(qū)動(dòng)OLED和無源驅(qū)動(dòng)OLED為主，主要應(yīng)用于各種顯示終端設(shè)備中，據(jù)Stanford Resources預(yù)計(jì)，2007年將取代目前LCD10%以上的市場。臺(tái)灣工研院經(jīng)濟(jì)資訊中心在2002年3月預(yù)計(jì)2003年OLED產(chǎn)值將達(dá)到2億美元，2005年將達(dá)到20億美元，2007年將達(dá)到100億美元。OLED將在手機(jī)、電腦、電視以及各種交通工具的顯示設(shè)備等領(lǐng)域逐漸取代LCD和傳統(tǒng)的CRT技術(shù)，并憑借自身柔性設(shè)計(jì)的獨(dú)特性能開辟電子紙、可折疊電視和電腦等全新的市場。我們設(shè)計(jì)的驅(qū)動(dòng)芯片的面積為84mm2左右，采用0.5m的SPDM CMOS工藝，芯片成本為RMB5.5元左右，目前的市場價(jià)格為US$45元，非常具有競爭力。我們設(shè)計(jì)開的OLED驅(qū)動(dòng)系列芯片將形成RMB1000萬元以上的銷售額，配合OLED控制電路以及LED、STN-LCD驅(qū)動(dòng)芯片系列等產(chǎn)品，可以在2005年形成RMB2000萬元的銷售額。四、投資概算 總投資120萬元。其中包括材料費(fèi)、購買設(shè)備、測試儀器、試驗(yàn)費(fèi)、外協(xié)費(fèi)、制版費(fèi)、流片費(fèi)、封裝費(fèi)等。五、合作方式：聯(lián)合組建實(shí)體，合作開發(fā)。最適合于和微電子行業(yè)的企業(yè)合作。ECR深亞微米刻蝕技術(shù)一、 項(xiàng)目簡介本研究基于電子回旋共振高密度等離子體技術(shù)，成功地設(shè)計(jì)建立了ECR深亞微米刻蝕系統(tǒng)，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了深亞微米圖形刻蝕技術(shù)及工藝研究。采用微波通過同軸開口電介質(zhì)空腔產(chǎn)生表面波，利用新型高磁能積Nd-Fe-B稀土永磁磁鋼合理布局形成的高強(qiáng)磁場，通過共振磁場區(qū)域內(nèi)電子回旋共振效應(yīng)，產(chǎn)生大面積、均勻、高密度等離子體。ECR刻蝕系統(tǒng)：它包括微波系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)、ECR腔體、工藝室、氣路系統(tǒng)、樣品偏置系統(tǒng)、等離子體監(jiān)測系統(tǒng)、高真空獲得與測量系統(tǒng)等。整個(gè)工藝系統(tǒng)在分系統(tǒng)智能化的基礎(chǔ)上采用微機(jī)集中控制方式。本項(xiàng)目是國內(nèi)首次開展ECR深亞微米刻蝕技術(shù)研究的項(xiàng)目。項(xiàng)目采用了Nd-Fe-B稀土永磁磁鋼構(gòu)成分布式大面積ECR磁場，加之獨(dú)創(chuàng)的ECR諧振腔結(jié)構(gòu)，使得ECR等離子體源面積大、均勻性好、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、具有獨(dú)創(chuàng)性。其主要技術(shù)指標(biāo)處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，達(dá)到國際九十年代先進(jìn)水平。曾獲國家科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)。二、主要技術(shù)指標(biāo)微波頻率：2.45GHz 微波功率 1500W磁場強(qiáng)度：875Gs 加工尺寸 8inch真空度 10-7Torr 電子密度 1010cm-3刻蝕速率 1000A/min 選擇性 （SiO2Si）20線條寬度 830槽形尺寸 0.55.0m 2 加工尺寸 8inch 均勻性 95% 工藝溫度 100V/10m；平均熱導(dǎo)率800W/mK。三、用前景多芯片組件在縮小電子產(chǎn)品體積、提高產(chǎn)品性能方面起了重要作用。MCM中的大功率器件通常工作于惡劣環(huán)境中，較高的環(huán)境溫度更將對MCM帶來不良影響。因此，應(yīng)該采用必要的技術(shù)措施降低MCM內(nèi)部的溫度。一是要降低內(nèi)熱阻，二是要加裝外部散熱器。加裝外部散熱器雖可有效地降低溫度，但不利于組裝密度的提高。只有從研制新基板這一方向來著手，才能解決MCM的散熱問題。2000年初信息產(chǎn)業(yè)部電子第24研究所應(yīng)用CVD金剛石基板替代硅基板制作X7805RH抗核加固薄膜電路。經(jīng)試驗(yàn)證明，金剛石基板可用于薄膜電路制作，可達(dá)到與硅基電路相近的電路參數(shù)性能，對器件的熱通路將會(huì)有顯著改善。此外，金剛石基板的采用必將提高M(jìn)CM的組裝密度、縮小其體積和提高其可靠性。因此，既能提高M(jìn)CM的研制水平，也為未來武器裝備發(fā)展提供了技術(shù)儲(chǔ)備。金剛石基板可替代氧化鈹陶瓷作為大功率MCM或大功率器件的散熱基底，西安微電子技術(shù)研究所在HB172電路中進(jìn)行了此項(xiàng)試驗(yàn)，取得了良好的應(yīng)用效果。氧化鈹對人體有毒，嚴(yán)重影響材料生產(chǎn)人員和使用基片的工藝技術(shù)人員的身體健康。金剛石基板的熱導(dǎo)率比氧化鈹高得多，其它性能也明顯優(yōu)于氧化鈹，使用金剛石基板可徹底改變生產(chǎn)環(huán)境，并可進(jìn)一步提高M(jìn)CM的組裝密度、縮小其體積和提高其可靠性。長遠(yuǎn)來看，金剛石基板全面替代氧化鈹陶瓷是必然的發(fā)展趨勢。CVD金剛石基板成本較高，目前僅可能在高技術(shù)產(chǎn)品中獲得應(yīng)用。鍍制PVD金剛石薄膜的高能離子束鍍膜設(shè)備太貴，目前尚難以普及。對MCM金剛石基板需制定專門的技術(shù)條件，以保證基板具有可靠的電、熱和工藝性能。金剛石基板具有良好的社會(huì)效益和潛在的經(jīng)濟(jì)效應(yīng)，應(yīng)用前景良好。系列ZnO壓敏電阻器一、主要技術(shù)特性及指標(biāo)標(biāo)稱壓敏電壓U1mA=18610V全系列ZnO壓敏電阻器生產(chǎn)技術(shù)，各項(xiàng)性能參數(shù)達(dá)到國標(biāo)要求，也達(dá)到松下公司標(biāo)準(zhǔn)。二、市場分析及開發(fā)前景國內(nèi)年產(chǎn)ZnO壓敏電阻器逾億只，但很多產(chǎn)品質(zhì)量仍不過關(guān)，每年仍需進(jìn)口大量高性能的產(chǎn)品。在很多電器中本來應(yīng)該用ZnO壓敏電阻器予以過壓保護(hù)和消噪，但目前仍未使用ZnO壓敏電阻，例如計(jì)算機(jī)電源、示波器、記錄儀等，目前我國大陸的ZnO壓敏電阻器總用量與臺(tái)灣相當(dāng)?？梢妼nO壓敏電阻器在我國仍具有潛在的巨大市場和廣闊的開發(fā)前景。三、生產(chǎn)所需條件廠房面積：300m2，設(shè)備費(fèi)投資：200萬500萬元，流動(dòng)資金：50萬元，職工50名(其中電子類、機(jī)械類、化工類大專以上技術(shù)人員五名)鈦酸鍶（SrTiO3）厚膜氧傳感器一、項(xiàng)目簡介隨著現(xiàn)代交通技術(shù)的發(fā)展和人民生活水平的不斷提高，汽車、火車、火力發(fā)電廠和各種工業(yè)鍋爐子、生活鍋爐迅速增多，它們?nèi)紵?、煤炭等燃料時(shí)，排放CO、CO2、NoX和CHx等各種有害氣體，已成為不容忽視的環(huán)境污染源，成為人類的無形殺手，成為城市經(jīng)濟(jì)發(fā)展和社會(huì)進(jìn)步的障礙。所以，近幾年來，節(jié)能和環(huán)保部門迫切需要實(shí)用的氧傳感器和氧檢測儀，研制和開發(fā)實(shí)用型氧傳感器不僅為各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域所需要，而且對環(huán)境保護(hù)十分有益。在該項(xiàng)目的基礎(chǔ)上開發(fā)出來的氧檢測儀以及氧濃度控制系統(tǒng)可以帶動(dòng)相關(guān)的產(chǎn)業(yè)。西安電子科技大學(xué)研制的SrTiO3厚膜氧傳感器的體積、成本和響應(yīng)性能均優(yōu)于固體電解質(zhì)氧傳感器，可用于真空食品包裝的氧檢測；鍋爐燃燒的氧檢測和氧控制；以及汽車尾氣排放氣體的檢測，凡是采用電子噴射技術(shù)和三元催化轉(zhuǎn)化器的汽車發(fā)動(dòng)機(jī)，氧傳感器是必須安裝的靠氧傳感器的輸出信號(hào)通過計(jì)算機(jī)單元將空燃比（A/F）控制在最佳狀態(tài)，使燃料充分燃燒，減少污染物排放，實(shí)現(xiàn)貧燃區(qū)空燃比控制。二、主要技術(shù)指標(biāo)工作溫度 5001000 輸出電壓 010V響應(yīng)時(shí)間 0.5秒 恢復(fù)時(shí)間 30秒加熱電流 150ma 加熱時(shí)間 40秒傳感器內(nèi)阻： 100K（6000C時(shí)） 100K傳感器外殼工作溫度：500三、市場應(yīng)用前景氧傳感器進(jìn)口一只約需8001200元，國產(chǎn)的市場銷售價(jià)300500元/只，鈦酸鍶厚膜氧傳感器的生產(chǎn)成本不超過30元/只，加上銷售成本每只20元，市場銷售價(jià)可定位在200元300元/只，每只氧傳感器的毛利潤超過150元。另外氧傳感器還可廣泛的應(yīng)用在火力電廠的鍋爐燃燒過程的煙氣含氧量檢測，對含氧量的合理控制不僅可以節(jié)約燃料，還可減少環(huán)境污染，一臺(tái)30萬千瓦的發(fā)電機(jī)組使用煙道直插式，需30只氧傳感器，目前使用的這種氧化鋯式氧傳感器進(jìn)口價(jià)格為1500元2000元/只，使用壽命在半年左右。用在旁路煙道直插式的氧化鋯式氧傳感器進(jìn)口價(jià)格為34萬元/只，使用壽命為一年。而我國現(xiàn)有30萬千瓦以上的發(fā)電機(jī)組約200臺(tái)，所需氧傳感器全部為進(jìn)口。四、投資概況流動(dòng)資金50萬元，投資設(shè)備款約90萬元左右（采購設(shè)備視企業(yè)資金能力可進(jìn)口或國產(chǎn)，如厚膜印刷機(jī)：進(jìn)口20萬元，國產(chǎn)10萬元）。主要生產(chǎn)設(shè)備厚膜印刷機(jī) 1臺(tái) 燒結(jié)爐 1臺(tái)激光調(diào)阻儀 1臺(tái) 再流焊機(jī) 1臺(tái)貼片機(jī) 1臺(tái) 清洗機(jī) 1臺(tái)烘干機(jī) 1臺(tái) 測試臺(tái) 1臺(tái)按每年生產(chǎn)銷售10萬只氧傳感器計(jì)算，產(chǎn)值超過2000萬元，利稅超過1500萬元。鈦酸鍶（SiTiO3）厚膜氧傳感器是以鈦酸鍶為主體材料的半導(dǎo)體式氧傳感器，采用工藝成熟的厚膜工藝，適用于大規(guī)模生產(chǎn)。五、合作方式：技術(shù)轉(zhuǎn)讓、股份制合作新型環(huán)形電機(jī)消噪鈦酸鍶元件一、項(xiàng)目簡介當(dāng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生較大的電噪聲，尤其是音像設(shè)備中的電機(jī)噪聲對設(shè)備本身的音像質(zhì)量產(chǎn)生很大的干擾并對繞組絕緣產(chǎn)生危害。環(huán)形SrTiO3元件套在電機(jī)軸上，三個(gè)電極與三個(gè)繞組并聯(lián)，利用其壓敏性和電容性有效地消除電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的電火花。其他電機(jī)也存在類似的問題。本研究成果不僅可較好地消除電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的電火花。保護(hù)繞組絕緣，提高電機(jī)的可靠性延長壽命，而且對各類功能陶瓷的研究均有較普遍的理論意義，對開發(fā)新的功能陶瓷產(chǎn)品、優(yōu)選配方、提高質(zhì)量、優(yōu)化工藝、降低成本、提高效益均有借鑒和指導(dǎo)作用，必將推動(dòng)我國電子陶瓷行業(yè)的發(fā)展。二、主要技術(shù)指標(biāo)該元件是以SrTiO(C2O4)24H2O或SrCO3TiO2為主材料，并摻入Cao、Nb2O5、La2O3、V2O5等添加劑，通過控制保溫時(shí)間以及升、降溫速率，使施主雜質(zhì)向鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的晶粒中擴(kuò)散，形成替位缺陷，使晶粒高度半導(dǎo)體化。通過合理的熱處理，在晶界處形成薄的絕緣層，結(jié)果使元件的表面介電系數(shù)r很高（例如達(dá)十萬）。通過添加劑的改性，晶界的勢壘高度和耗盡層寬度與外加電壓相關(guān)，當(dāng)外加電壓高于標(biāo)稱壓敏電壓時(shí)，晶界勢壘發(fā)生隧道效應(yīng)，阻值大大降低，具備了（電）壓敏特性。目前我們所制備的樣品的技術(shù)指標(biāo)處國內(nèi)領(lǐng)先地位（該產(chǎn)品目前國內(nèi)尚無生產(chǎn)單位），達(dá)到九十年代初國際先進(jìn)水平，各種具體指標(biāo)如下表所示：以外徑10.6mm的元件為例：壓敏電壓U10Ma（V）10mA1-10mA額定功率mw溫度系數(shù)%靜電容量nF2.0-4.23.03000.3050-1202.5-6.53.33000.3040-903.9-9.13.53000.3030-806.0-10.03.53000.3030-708.0-12.03.53000.3025-609.6-14.43.53000.3020-5511.2-16.83.53000.3020-45從電性能上講，該元件有以下四個(gè)特點(diǎn)：1具有電壓敏功能，可把瞬態(tài)過電壓能量吸收掉，且易于低壓化；2具有電容功能，可濾除高頻干擾；3性能穩(wěn)定，尤其是溫度穩(wěn)定性明顯優(yōu)于普通陶瓷電容器和ZnO壓敏電阻器；4具有快的響應(yīng)速度，對上升沿、下降沿小于5ns的陡波干擾有獨(dú)特的濾除作用。當(dāng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)電刷離合產(chǎn)生電火花，該電火花瞬時(shí)過電電壓高，波形尖銳。對電子設(shè)備，尤其是隨身聽、錄像機(jī)、錄音機(jī)等音像設(shè)備和計(jì)算機(jī)的正常工作造成嚴(yán)重的干擾，僅利用電容器和ZnO壓敏電阻器均不能徹底地消除電火花，而利用該元件可以有效地消除電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的電火花干擾，可大大提高電子設(shè)備的電磁兼容性（EMC），把它套在電機(jī)軸上，電極與電機(jī)繞組并聯(lián)，在消除電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)電火花的同時(shí)，保護(hù)電機(jī)繞組免受浪涌過電壓的沖擊，防止電機(jī)繞組絕緣被擊穿，成為該應(yīng)用的專用元件。三、市場前景隨著用電器的功率、密度的迅速增加，電磁環(huán)境“污染”日趨嚴(yán)峻已嚴(yán)重影響人們正常生產(chǎn)、生活的進(jìn)行，例如干擾信號(hào)可使手持電話機(jī)撥號(hào)發(fā)生錯(cuò)誤、使計(jì)算機(jī)CPU的尋址發(fā)生錯(cuò)誤，俗稱程序“跑飛”，并破壞計(jì)算機(jī)中存儲(chǔ)的信息，使自控系統(tǒng)產(chǎn)生誤動(dòng)作，影響攝錄像機(jī)、音響設(shè)備、電視機(jī)的畫質(zhì)音質(zhì)。這些眾多污染中，電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的火花輻射干擾噪聲是最嚴(yán)重的一個(gè)。自從改革開放以來，我國的手持電話、尋呼機(jī)、個(gè)人計(jì)算機(jī)、攝錄像機(jī)、高級(jí)音響、CD、VCD、隨身聽等迅速普及并進(jìn)入辦公室和家庭，與此同時(shí)，吸塵器、空調(diào)、電風(fēng)扇、電吹機(jī)、電動(dòng)玩具等使用電動(dòng)機(jī)的設(shè)備可說“同步”普及、進(jìn)入家庭和辦公室，這些電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)電刷處產(chǎn)生的瞬態(tài)電火花輻射嚴(yán)重影響其它電子設(shè)備的正常工作，攝錄像機(jī)、音響、隨身聽的電機(jī)對自身的畫質(zhì)音質(zhì)就造成嚴(yán)重?fù)p害，而且電火花的瞬態(tài)電壓對電機(jī)的繞組絕緣也是一個(gè)嚴(yán)重的威脅，影響電機(jī)的壽命。以SrTiO3為主材料的環(huán)形電機(jī)消噪聲元件是日本太陽誘電公司于八十年代后期研制開發(fā)的，美國、法國、荷蘭等國也大力發(fā)展，目前日本在該領(lǐng)域產(chǎn)量、質(zhì)量上處于領(lǐng)先地位，并仍處于強(qiáng)勁的發(fā)展中。我國至今仍沒有該產(chǎn)品，目前在錄像機(jī)、高級(jí)音響中所用的全從日本進(jìn)口。國內(nèi)某些單位為了應(yīng)付市場對環(huán)形電機(jī)消噪元件的要求，目前只得用ZnO為主材料制造，但由于ZnO本身的相對介電系數(shù)r小、電容量小、響應(yīng)慢，不能有效地消除高頻噪聲分量和陡波干擾，故急需研制表面介電系數(shù)高（例如r10萬）響應(yīng)快的環(huán)形電機(jī)消噪元件。97年國內(nèi)生產(chǎn)的ZnO環(huán)形消噪元件和進(jìn)口的SrTiO3環(huán)形消噪元件總量約為2-3億只。制造環(huán)形電機(jī)消噪件的工藝、設(shè)備與其它陶瓷產(chǎn)品基本是相容的，若投資800-1000萬元（若以有電子陶瓷的生產(chǎn)廠為基礎(chǔ)，則所需投資大大降低）形成年產(chǎn)4000萬只的生產(chǎn)能力，以每只0.3元計(jì)算，產(chǎn)值可達(dá)1200萬元。該元件所用的材料均已國產(chǎn)化，其主材料SrCO3、TiO2和SrTiO(C2O4)24H2O均為40元/Kg，Nb2O5、La2O3等添加劑的單價(jià)較高（例如，Nb2O5為700元/kg），但各種添加劑的用量均很低，各種添加劑的摩爾數(shù)總和約為1%，以外徑10.6mm的元件計(jì)算，每個(gè)元件的重約為0.3g，考慮到成品率等因素，每個(gè)元件的材料費(fèi)仍低于0.03元，總材料費(fèi)低于120萬元。按目前的生產(chǎn)水平，約共需各類人員80名，按人均年工資1萬元計(jì)算，共需人員費(fèi)80萬元，再考慮到銷售費(fèi)用、辦公費(fèi)用、場地、水電費(fèi)等，利稅率按40%計(jì)算，年利稅可達(dá)480萬元，可見其經(jīng)濟(jì)效益是巨大的。本產(chǎn)品的基本作用為消除電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的電火花噪聲，利于保護(hù)電磁環(huán)境，屬“綠色衛(wèi)士”產(chǎn)品，生產(chǎn)過程中也不產(chǎn)生任何“三廢”。該產(chǎn)品的投產(chǎn)共需8名工作人員，其中40名可為一般熟練操作工人，可吸收其他工廠的下崗人員，減少下崗工人對社會(huì)的壓力，產(chǎn)生較好的社會(huì)效益。四、所需的其它條件投資足額按時(shí)到位： 辦公、生產(chǎn)場地約1000m2從事過電子、機(jī)械、物理、化工類的本科畢業(yè)以上技術(shù)人員10人以上，其中大部分應(yīng)具有一定的實(shí)際工作經(jīng)驗(yàn)。高可靠瓦斯報(bào)警礦燈本瓦斯報(bào)警礦燈是根據(jù)我國當(dāng)前煤礦多次發(fā)生瓦斯爆炸事件，嚴(yán)重危害人身安全、影響正常生產(chǎn)而研制的監(jiān)測設(shè)備。該報(bào)警系統(tǒng)的應(yīng)用可減少煤礦突發(fā)事件的發(fā)生，可使煤礦做到安全生產(chǎn)，減少不必要損失。礦井瓦斯報(bào)警裝置結(jié)構(gòu)是由傳感器與控制電路制造的，其外殼是目前廣泛使用的KS-8型礦燈，在外殼上加上催化元件孔和音響也成作為電阻調(diào)節(jié)孔，并重新開模具后形成的。然后在礦燈內(nèi)部裝上報(bào)警電路，僅催化元件和音響元件在礦燈外殼開孔中，并不改變來礦燈的主要結(jié)構(gòu)及原來蓄電池的型號(hào)。充電方式等均不改變，使用十分方便。附加報(bào)警裝置這部分重量很輕，報(bào)警燈僅比不報(bào)警燈重2克（0.42兩），戴在頭上無重量增加之感。裝置的電路部分采用集成電路等元件緊湊排列于上，功耗小，不怕干擾，穩(wěn)定可靠。閃光報(bào)警形式其性能與英國進(jìn)口樣機(jī)相同，但重量比進(jìn)口樣機(jī)輕。音響報(bào)警形式音量大，聲音宏亮。該技術(shù)水平處于國內(nèi)領(lǐng)先。該報(bào)警礦燈的電路密封在礦燈殼體內(nèi)，敏感器件通過銅粉沫治金防爆罩與外界空氣接觸，使用礦燈自身電源，當(dāng)瓦斯超濃度時(shí)，其中一種是礦燈照明燈自身發(fā)出間歇閃光，另一種報(bào)警方式是礦燈上的蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)響亮的尖叫聲。（這種方式更受到用戶的歡迎）。需求和市場預(yù)測據(jù)“中國煤炭報(bào)”資料介紹，國內(nèi)有六萬個(gè)煤礦，800多萬礦工，如按三班倒工作，普通礦燈需要量為260多萬套，瓦斯報(bào)警礦燈已列入煤炭部89年11月發(fā)布85規(guī)化100例推廣項(xiàng)目中的第58項(xiàng)。從該報(bào)警礦燈發(fā)明數(shù)年來又有山西、陜西、東北多家煤礦發(fā)生特大瓦斯爆炸事故，造成礦毀人亡，數(shù)千名礦工葬身于井下。許多地區(qū)煤炭工業(yè)廳說應(yīng)該推廣（或強(qiáng)行推廣）這個(gè)產(chǎn)品。目前我們已無資力投入進(jìn)行宣傳、工藝改造和重新審驗(yàn)的資金。工藝技術(shù)方案產(chǎn)品需經(jīng)過下述程序：1礦燈外殼（外加工）； 2.元件測試；3電路元件裝配； 4.配氣（1%CH4）；5報(bào)警精度調(diào)試； 6.老器件化車間。報(bào)警礦燈外殼由塑料廠加工，印制電路板由電路板廠加工，幾個(gè)主要元件在國內(nèi)均可購到。生產(chǎn)不需專門提供水、電、氣。生產(chǎn)過程中對環(huán)境無污染。設(shè)備投資少。僅需電烙鐵、電裝工具、三用表、測試儀器、配氣箱。生產(chǎn)廠房兩間，庫房一間、辦公室兼銷售一間。研制室一間。裝配車間是凈化場所，生產(chǎn)中不排除廢氣和廢料，不存在環(huán)境污染情況。如果外殼、元件等備齊，普通高中生培訓(xùn)10天即可上崗。投資估算此項(xiàng)投資需33萬元。設(shè)備投資8萬元。外殼重開模具費(fèi)3萬元。以管理人員和生產(chǎn)人員全體20人計(jì)算需工資含旅差費(fèi)大約3萬元/月。另外新產(chǎn)品再鑒定檢測費(fèi)6萬元。交通工具購車一輛10萬元。經(jīng)濟(jì)效益分析計(jì)劃年產(chǎn)36000套，暫時(shí)由人工焊接、調(diào)試生產(chǎn)。焊接調(diào)試人員總共15人，每月生產(chǎn)3000套，每人每天大約生產(chǎn)10套。全套成本110元，內(nèi)銷價(jià)180元。如僅瓦斯報(bào)警礦燈（不含電瓶）成本70元，銷價(jià)為140元。毛利每只為70元，月產(chǎn)3000套，毛利21萬元/月，年產(chǎn)3600套，毛利252萬元/年。如果向外國出口售價(jià)升高。因?yàn)檫M(jìn)出英國樣品為180英鎊1個(gè)。國際上大多數(shù)煤礦礦燈都為瓦斯報(bào)警的，使用這種礦燈是一種趨勢，擴(kuò)大了產(chǎn)量滿足市場需求。我們的產(chǎn)值，利稅還會(huì)加大。社會(huì)效益分析由于該產(chǎn)品能夠保障煤礦安全生產(chǎn)和礦工的生命，因此對煤礦的安全生產(chǎn)有一定的推動(dòng)作用。國內(nèi)外市場需求量均很大，經(jīng)濟(jì)效益高，能給國家增加稅收來源，支持國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)。企業(yè)得到應(yīng)有效益，產(chǎn)品會(huì)更新?lián)Q代，并能開發(fā)出更多電子產(chǎn)品，更可接近國際先進(jìn)水平。形成良好性循環(huán)。微型硅壓力傳感器一、項(xiàng)目簡介壓力傳感器是目前敏感器件中應(yīng)用最廣、用量最大的器件，廣泛應(yīng)用在工業(yè)自動(dòng)化、環(huán)保、航空航天、汽車工業(yè)、化工、醫(yī)療、大氣和海洋測量等國民經(jīng)濟(jì)各領(lǐng)域和國防工業(yè)中，我國在壓力傳感器產(chǎn)品的研制、開發(fā)生產(chǎn)方面同國際先進(jìn)水平還有相當(dāng)差距，主要表現(xiàn)在產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性較差，尚未達(dá)到工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)的階段，因此成本高、生產(chǎn)效率低、無法同國外進(jìn)口產(chǎn)品競爭，國內(nèi)市場份額大部分被摩托羅拉等國際集團(tuán)公司所占領(lǐng)。目前壓力傳感器產(chǎn)品采用最多的是半導(dǎo)體硅單晶材料制作的壓阻式壓力傳感器。它利用了硅集成電路工藝中的平面工藝、能在一片硅片上同時(shí)制作幾十至幾百只管芯，使成品率大大提高，成本降低，性能得到了很大改善，但在硅杯的制作中仍然較多的使用磨杯技術(shù)，一個(gè)一個(gè)地做，效率很低，成品率也低，而且不能制作小量程范圍使用的微壓傳感器。采用微機(jī)械加工技術(shù)和VLSI技術(shù)自行設(shè)計(jì)、研制和生產(chǎn)微型壓力傳感器在國內(nèi)還是首次，其技術(shù)水平屬于國內(nèi)領(lǐng)先。本項(xiàng)目屬微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)（MEMS）的新型傳感器，不存在“三廢”排放，符合國家科技政策。二、主要技術(shù)指標(biāo)我們在對硅各向異性腐蝕性能進(jìn)行了深入研究的基礎(chǔ)上，采用硅平面工藝并結(jié)合微機(jī)械加工技術(shù)，可以批量制作硅杯，彈性膜厚控制精確、使量程調(diào)節(jié)十分方便，從而促進(jìn)壓力傳感器產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的實(shí)現(xiàn)。技術(shù)指標(biāo)為：量程：0-10、50、100、200Kpa非線性：0.1% 遲滯：0.03%重復(fù)性：0.03% 零位溫度系數(shù)：0.510-4/0C靈敏度溫度系數(shù)：0.510-4/0C零位時(shí)間穩(wěn)定性：0.1%(8h)滿量程輸出：30-50mv零位輸出：10mv其關(guān)鍵技術(shù)及解決途徑：1濃硼擴(kuò)散，壓焊點(diǎn)和互連內(nèi)引線下面進(jìn)行濃硼摻 雜，以大大提高焊點(diǎn)接觸和互連線的可靠性。2電阻條摻雜：控制電阻條表面濃度以達(dá)到控制溫度系數(shù)自補(bǔ)償?shù)年P(guān)鍵技術(shù)。3表面鈍化：要用Si-SiO2-Si3N4多層復(fù)合膜鈍化技術(shù)，減小鈍化膜應(yīng)力的影響，提高穩(wěn)定性可靠性。4雙面對準(zhǔn)光刻，用雙面光刻機(jī)使正面電阻條位置與背面彈性膜圖形嚴(yán)格對準(zhǔn)。5硅杯制作：采用微機(jī)械加工技術(shù)，利用各向異性腐蝕原理進(jìn)行硅杯的批量加工。6封裝：采用無應(yīng)力封裝技術(shù)，對封裝過程中引入的各種應(yīng)力進(jìn)行隔離，以提高傳感器的穩(wěn)定性和可靠性。三、市場前景以CQ80、CQ140、CQ190為代表的庫利特探針型傳感器和以8500系列為代表的恩德弗柯微型壓力傳感器主要用于航空航天技術(shù)，如航天飛行器的空氣動(dòng)力學(xué)風(fēng)洞試驗(yàn)，發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)，流體力學(xué)試驗(yàn)，水工縮模試驗(yàn)等，僅庫利特（Kulite）恩德弗柯（Endvco ）恩特蘭（Entran）三個(gè)公司的產(chǎn)值即在2億美元以上。我國在風(fēng)洞試驗(yàn)，發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道試驗(yàn)，航天飛行器，水下導(dǎo)彈試驗(yàn)，軍事醫(yī)學(xué)、心臟及泌尿外科醫(yī)學(xué)測試，顱腦外科臨床監(jiān)護(hù)，水工大壩，閘門縮模試驗(yàn)，水利動(dòng)力學(xué)試驗(yàn)，煙機(jī)、紡機(jī)等許多領(lǐng)域均有很大市場。微型傳感器以3mm,2mm,5mm探針型為主，包括小型螺紋型、盤扣型、導(dǎo)管端及導(dǎo)管側(cè)壁型等特殊形狀以3mm(3.2mm)為主導(dǎo)產(chǎn)品，國內(nèi)年需求量在2000支以上，年產(chǎn)值400萬元以上。四、投資概算視生產(chǎn)品種及產(chǎn)量規(guī)模而定。微型傳感器的價(jià)格較貴，因?yàn)樾酒谱麟y度及裝配難度很高，模具費(fèi)用昂貴，合格率低，美國低檔級(jí)壓阻壓力傳感器單價(jià)為30-80美元，工業(yè)儀表用壓力傳感器300-500美元，微型傳感器為650-1200美元。國內(nèi)航空、水下兵器等年需微型壓力傳感器約1000支，按2000元/支計(jì)算，可獲年產(chǎn)值200萬元；國內(nèi)水工模型、空氣及水流動(dòng)力學(xué)試驗(yàn)所需約800支，按1500元/支計(jì)算，可獲年產(chǎn)值120萬元。國內(nèi)腦外科、泌尿外科、胸外科、年需求約1000支，按2000元/支計(jì)算，可獲年產(chǎn)值200萬元。國內(nèi)紡機(jī)、煙機(jī)等工業(yè)用途，年需求約500支，按1500元/支計(jì)算，可獲年產(chǎn)值75萬元。微型壓力傳感器規(guī)模投產(chǎn)后，每支成本不超過300元/支，按年產(chǎn)3000支微型壓力傳感器，年產(chǎn)值600萬元，年利稅超過400萬元；并填補(bǔ)了國內(nèi)生產(chǎn)空白，替代進(jìn)口，為國家節(jié)約外匯，有明顯的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。五、合作方式：技術(shù)轉(zhuǎn)讓、聯(lián)辦企業(yè)汽車核心芯片（研究）開發(fā)一、項(xiàng)目簡介目前，從經(jīng)濟(jì)型汽車到豪華型汽車，各種汽車采用的微控制器和IC越來越多，即使在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于最嚴(yán)重的衰退時(shí)期，汽車產(chǎn)業(yè)采用的芯片數(shù)量依然保持增長。目前汽車制造商正在用電子器件取代機(jī)械與電機(jī)設(shè)備，現(xiàn)在即使是最便宜的汽車也配備有50個(gè)微控制器，這個(gè)數(shù)量是五年前的兩倍，至于寶馬（BMW）的S級(jí)車，擁有的控制器數(shù)量超過100個(gè)。國內(nèi)在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)電子控制、汽車制動(dòng)系統(tǒng)電子控制、汽車安全及故障診斷系統(tǒng)和汽車用無觸點(diǎn)點(diǎn)火厚膜電路等方面進(jìn)行了開發(fā)研究并開始小批量試生產(chǎn)，但由于汽車電子涉及領(lǐng)域?qū)?，需要的測試和分析手段復(fù)雜，所需設(shè)備價(jià)格昂貴，導(dǎo)致新產(chǎn)品開發(fā)過程不順利。二、開發(fā)的主要芯片：1 汽車用娛樂芯片的開發(fā)；2 汽車發(fā)動(dòng)機(jī)電子控制系統(tǒng)有關(guān)芯片：汽車電子點(diǎn)火裝置，電子燃油噴射系統(tǒng)和發(fā)動(dòng)機(jī)綜合控制系統(tǒng)；3 汽車安全及故障診斷芯片：汽車防撞系統(tǒng)，汽車安全系統(tǒng)，汽車安全報(bào)警設(shè)備，GPS汽車防盜系統(tǒng)和汽車檢測儀器儀表；4 汽車專用集成電路和混合集成電路；5 汽車電子裝置用可編程存儲(chǔ)器主要工作為進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)計(jì)，電路設(shè)計(jì)和版圖設(shè)計(jì)，建立汽車用芯片的設(shè)計(jì)和研制平臺(tái)。通過研究，掌握汽車用芯片的核心技術(shù)，完成實(shí)用工作，為汽車工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)服務(wù)。三、市場前景據(jù)市場分析，中國與汽車相關(guān)的半導(dǎo)體消費(fèi)預(yù)計(jì)將以每年28%的速度遞增。汽車芯片市場到2007年將從2002年的4.16億美元增長到14.5億美元。中國汽車芯片市場預(yù)計(jì)占全球芯片消費(fèi)量的10%。據(jù)iSuppli的報(bào)告稱，中國已經(jīng)是一個(gè)龐大的汽車市場。到2007年，中國將成為全球最大的汽車娛樂系統(tǒng)生產(chǎn)基地。例如，在2007年，中國的汽車立體聲音響徹云霄系統(tǒng)的產(chǎn)量將占全球產(chǎn)量的39%。同時(shí)，中國對其它類型的汽車電子產(chǎn)品的需求也將迅速增長。這些需求包括發(fā)動(dòng)機(jī)控制器、包含多種儀表的電子儀表板、遙控中央門鎖控制系統(tǒng)、電子防抱死系統(tǒng)和空氣囊等。動(dòng)態(tài)高輸出二維力敏傳感器一、項(xiàng)目簡介“動(dòng)態(tài)高輸出二維力敏傳感器”是力敏傳感器開關(guān)中的核心部件。通過傳動(dòng)裝置對動(dòng)態(tài)高輸出二維力傳感器X-Y平面3600方向施加推力，傳感器的輸出電壓產(chǎn)生0V-1.5V的變化量。提供操縱綜合航電多功能顯示器及平顯的人機(jī)對話器件，用于進(jìn)行顯示目標(biāo)捕捉、鎖定及菜單選擇。由于該力敏傳感器（美國MASON公司的896-4102 With STD-644-07元件）。是在高性能飛機(jī)的HOTAS手柄上使用的高技術(shù)產(chǎn)品，美國作為具有軍事、政治敏感性的物資管理，對華實(shí)施禁運(yùn)，我國已投入經(jīng)費(fèi)進(jìn)行研究。目前為止，已經(jīng)完成該項(xiàng)產(chǎn)品的原理設(shè)計(jì)，數(shù)據(jù)分析，通過采用精密機(jī)構(gòu)加工技術(shù)、半導(dǎo)體硅擴(kuò)散技術(shù)等技術(shù)手段，解決了該產(chǎn)品在靈敏度、小距離限位保護(hù)、輸出對稱性、極間耦合、大動(dòng)態(tài)范圍線性化等一系列技術(shù)難點(diǎn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)論證明課題組對本產(chǎn)品的研制采用的技術(shù)路線可行，已經(jīng)解決了該產(chǎn)品國產(chǎn)化研制中的主要技術(shù)難題，可在一定范圍內(nèi)替代國外進(jìn)口從而打破國外的技術(shù)封鎖。二、技術(shù)指標(biāo)1 量程：14.7N2 應(yīng)變片兩極激勵(lì)電壓：7.5VDC或15VDC；3 靈敏度：0.1VDC/N20%；4 線性度：1%5 最大輸出（到止動(dòng)）：1.50VDC(相對7.5VDC或者說5VDC激勵(lì)電壓)；6 溫度靈敏度系數(shù)：0.2%F.S/；7 零電位：零位誤差激勵(lì)電壓7.5VDC或15VDC，溫度為232，-80mV+80mV或7.42V7.50V7.58V；8 零痊遲滯：0.5%F/S，按鈕釋放后一秒鐘內(nèi)的值；9 靜態(tài)電阻：每個(gè)橋臂的電阻為1k，各橋臂的電阻對稱性不大于1%；10使用溫度：-55-85；11絕緣電阻：50VDC，100M；12使用溫度：-55-85；13絕緣電阻：50VDC，100M；14壽命：10萬次工作循環(huán)，產(chǎn)品在X、Y二軸向4方向上分別施加最大工作力為1次工作循環(huán)。三、市場前景該產(chǎn)品主要用于航空工業(yè)領(lǐng)域，現(xiàn)已為某廠提供了產(chǎn)品。希望與航空科技集團(tuán)企業(yè)密切合作，盡快為我國航空工業(yè)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。h:nTiY4vjX?JhuSlHFomSSAmwq6TKEf4Y5UMphGteI:fWIUqE0Ngo7O6gfH1uEOZBjE;xC5kSNRpYo=Jg|Ai8C:2LC8RSHAWD6XzCXHQtnhAqZ44F;?Sgd3nmKQxj7EBeYPgNJSKRhxWfeJwIeUYVQaifQbyg;WejZdWEHZUkvrpTCMQ?_vWM3tsdNWFhTo0e;?vlx4mVqOMgiFQVly_VI7MSO?HLHOz5wTZD_mKwQA|fJyj|3SYvat65u5qpJvKFogBxGKF8wAr?e0PvdhO0eqplaan|tZNWbSBVEyyDhfcEGE8m1ECOSBjLQbSHq7BjTfnfM2sEQd0A_t5swPqw;jEj:Xti5F7l8y7s|O;iZXE41xjzlb=JXrSGP0av8yY?k4QaFkCJ:kKw:yGB6|i4S_o=LKMGiEoev:Nfj96oxTdjxtUPlygi9Cw3eFvPe:9aM=ZEXuicK9hyB_66aZqpWU8AF_5Zx9Hw5nQmx:0VkbPjzBPeecSw?iVPWIZmgyQvN:MdOKBkM|63:Bk3mAb7pkKDdWRCjc:DFx9S5nuB21_:inUW8SNM_sTZl:Zj7=Bi_aVI:=zPFn8:l_69HlYBteFl8cSA8pjHEBBG9?0M3;Ch;ocZk|TV2|C1TUN0Uo_4_yrnm1KGTJQclcmjn|sdj:8tb2mnGTHUs?9ChsEpA_Rx6cG8JxoxAd?DY2TXpGm_To=Jgw?:w2gD3gNFwikGARouO6k4v:MW|q7d4Zn=ARj0w47o9ic9e19ysxT69E94XIZN6CAI56yPt3Fu5p4=1?U2ElqVbeHhJwKDm_WJ;8U99rYZr_DdiTPHqIhmo1Bv9IkAnJc?XLMqPVld?Vizwios3tvFRMDsSi824SD