維修和保養(yǎng).doc

一、坩堝軸驅(qū)動(dòng)部件的維修：坩堝軸驅(qū)動(dòng)部件是設(shè)備的核心部件，要求各種精度都比較高，要加強(qiáng)維護(hù)，坩堝軸是多晶硅料的支撐軸，其精度高，工藝復(fù)雜，應(yīng)重點(diǎn)維護(hù)。1、要經(jīng)常檢查其冷卻水的情況，以免因冷卻水不充分而被燒壞，拆下后需垂吊放置；2、坩堝軸驅(qū)動(dòng)裝置的導(dǎo)柱及直線運(yùn)動(dòng)軸承是關(guān)鍵的導(dǎo)向元件，應(yīng)妥善維護(hù)，導(dǎo)柱須保持清潔，嚴(yán)禁灰塵、雜物附著，定期涂抹油脂，以防繡蝕。直線軸承出廠時(shí)已作充分潤(rùn)滑，必要時(shí)每隔一年加注鋰基潤(rùn)滑脂一次，加油時(shí)，松開油蓋，提起油封，推出軸承，認(rèn)真清洗后方可注入新油（見附圖9），發(fā)現(xiàn)導(dǎo)柱與軸承間有研損時(shí)，應(yīng)將軸承微轉(zhuǎn)一角度，使?jié)L珠避開研損痕跡，以確保平衡運(yùn)行。導(dǎo)柱與軸承是配套裝配的，請(qǐng)勿裝錯(cuò)；3、滾珠絲桿精密桿付、渦輪、齒輪等傳動(dòng)部件，應(yīng)經(jīng)常保持清潔、潤(rùn)滑，嚴(yán)禁灰塵等臟物污染，以免零件損壞和失靈；4、坩堝軸快速升降傳動(dòng)渦輪，每?jī)蓚€(gè)月打開潤(rùn)滑孔在渦輪齒面上潤(rùn)鋰基潤(rùn)滑脂一次，請(qǐng)定時(shí)清除波紋管中的雜物；二、諧波減速器的維修（見附圖M11）諧波減速器是由波發(fā)生器所產(chǎn)生的機(jī)械波，通過柔性齒輪變形，從而產(chǎn)生齒間相對(duì)位移而達(dá)到傳動(dòng)目的的一種大減速比減速機(jī)構(gòu)，使用中一般不加油，不必拆卸，在必要時(shí)，拆后裝配務(wù)必將個(gè)零件清洗干凈，其軸承內(nèi)應(yīng)涂201潤(rùn)滑脂，齒面應(yīng)加7011特鐘脂；三、籽晶提拉部件的維修（見附圖M17，M18）1、籽晶提拉部件是單晶爐的關(guān)鍵部件，卷輪箱是核心部分，上面設(shè)有觀察孔，用來觀察內(nèi)部卷輪及軟軸鋼絲繩的工作情況，卷輪箱左端聯(lián)有超限位箱，用來保護(hù)卷輪箱不會(huì)因其超程而被損壞，卷輪箱的右端由雙級(jí)減速器傳遞轉(zhuǎn)知距，減速箱內(nèi)的渦輪渦桿傳動(dòng)件，每三個(gè)月加注適量潤(rùn)滑油；2、不銹鋼絲軟軸定額承載150Kg，每次開爐后，應(yīng)檢查承重頭部鋼絲繩是否燒損，如有燒損應(yīng)將燒損部分及時(shí)去掉，外層編織層拉緊并打個(gè)節(jié)扣（有條件的可用氬弧焊封頭），一根鋼絲繩可供幾次修整使用，但每次修整后，都應(yīng)核實(shí)所剩鋼絲繩長(zhǎng)度是否能滿足使用要求，否則應(yīng)更換新的軟軸鋼絲繩；3、卷輪箱內(nèi)的調(diào)整螺母（銅螺母）不得隨意拆動(dòng)，以免影響軟軸的對(duì)中，如果必須要拆卸時(shí)，裝時(shí)一定要認(rèn)真調(diào)整，最終保證軟軸讀中，軟軸鋼絲繩在保管、使用、維修安裝中不準(zhǔn)造成任何死彎現(xiàn)象，否則在運(yùn)行中會(huì)引起抖動(dòng)；四、水冷系統(tǒng)的維修每次裝爐前要檢查各水路是否暢通，關(guān)鍵部位的水溫巡檢傳感器安裝是否正常，拉單晶時(shí)，當(dāng)水壓報(bào)警時(shí)要及時(shí)處理，如有漏水時(shí)要及時(shí)采取措施，當(dāng)發(fā)現(xiàn)結(jié)垢時(shí)，應(yīng)先用醋酸進(jìn)行除垢，然后用清水沖洗，最后用壓縮空氣吹盡余物；五、隔離閥的維修每次裝爐前都要檢查閥口密封圈是否完好，檢查隔離閥操作是否輕松、無卡滯，如發(fā)現(xiàn)問題應(yīng)及時(shí)排除；六、管道的維修真空管道是聯(lián)接主機(jī)與真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影響著設(shè)備的正常工作，因此，也應(yīng)重視這方面的維護(hù)，除塵器中的過濾網(wǎng)每2-3爐清理一次，抽氣管道每1爐清理一次，管道的溫升直接影響著泵的壽命、抽氣速率及密封圈的壽命，應(yīng)經(jīng)常檢查管道的冷卻水，保證暢通；單晶爐常見故障現(xiàn)象、原因及排除方法故障現(xiàn)象產(chǎn)生原因排除方法1真空抽不到指標(biāo)1、真空密封室密封不良2、球閥處密封松動(dòng)或損壞3、真空泵有故障1、對(duì)真空室進(jìn)行分段檢驗(yàn)確定漏點(diǎn)，進(jìn)行排除；（磁流體密封處加注磁液）2、調(diào)整球閥或更換密封圈；3、參閱真空泵說明書；2堝升不穩(wěn)1、絲桿、螺母有污物，潤(rùn)滑不良；2、電磁閥離合器工作不良；3、齒輪帶松動(dòng)或齒合不良；4、給定電位器接觸不良；5、測(cè)速電機(jī)有問題；6、電機(jī)抖動(dòng)，放大倍數(shù)過大；1、清洗絲桿絲母，加潤(rùn)滑油；2、調(diào)整電磁離合器，控制間隙至0.4-0.6;3、調(diào)整齒行帶，使其合理齒合；4、更換電位器；5、檢查測(cè)速機(jī)刷頭或更換電機(jī)；3堝轉(zhuǎn)不穩(wěn)1、坩堝軸有卡滯現(xiàn)象；2、楔形帶有松動(dòng)；3、測(cè)速機(jī)有問題；4、坩堝軸定位軸承工作不良；5、同第二項(xiàng)中的第4、6條1、清理波穩(wěn)管中的雜物；2、調(diào)整楔形帶張力；3、檢查測(cè)速機(jī)刷頭或更換電機(jī)；4、清洗潤(rùn)滑軸承或更換軸承；5、同第二項(xiàng)中的第4、6條；4籽晶軸升降不穩(wěn)，有抖動(dòng)現(xiàn)象1、卷絲輪與牽引套聯(lián)接松動(dòng)；2、鋼絲繩有毛刺或拆痕；3、減速機(jī)潤(rùn)滑不良4、電刷環(huán)接觸不良5、同第二項(xiàng)中的第二步、6條6、計(jì)算機(jī)控速輸出不穩(wěn)1、緊固2、更換軟軸鋼絲繩3、清洗潤(rùn)滑4、清理、調(diào)整電刷環(huán)組件5、同第二項(xiàng)中的第二步、6條6、更換計(jì)算機(jī)5籽晶軸轉(zhuǎn)動(dòng)不穩(wěn)1、測(cè)速電機(jī)有問題2、楔形帶松動(dòng)3、支軸承工作不良4、同第二項(xiàng)中的第二步、61、檢查測(cè)速機(jī)電刷頭，或更換電機(jī)2、調(diào)整楔形帶張力3、清洗潤(rùn)滑軸承或更換軸承4、同第二項(xiàng)中的第二步、66飛車1、測(cè)速機(jī)電壓開路1、查電刷環(huán)及線路7偷轉(zhuǎn)1、12A8控制器零點(diǎn)偏正；2、計(jì)算機(jī)控速有輸出；1、調(diào)控制器零點(diǎn)2、將計(jì)算機(jī)控速輸出OP回零8不轉(zhuǎn)1、給定無輸出；2、計(jì)算機(jī)有負(fù)信號(hào)輸出（晶升）3、滑環(huán)開路；1、檢查給定電源（印刷板）2、將計(jì)算機(jī)OP回零3、維修滑環(huán)組件9重錘左右擺動(dòng)1、軟軸對(duì)中性差；2、籽晶提拉部件動(dòng)平衡差；3、阻尼套松動(dòng)或損壞；4、外界振動(dòng)影響；5、與限位桿干涉；1、調(diào)整對(duì)中；2、調(diào)整配重使之達(dá)到平衡；3、調(diào)整更換阻尼套；4、排除外界振動(dòng)影響；5、調(diào)整限位桿；10液面抖動(dòng)1、按第9項(xiàng)各條檢查調(diào)整；2、按第2、3、4項(xiàng)中各條調(diào)整3熱系統(tǒng)（托桿、堝托等）與坩堝桿聯(lián)接松動(dòng)；4、兩抽氣口抽氣不勻；5、外界震動(dòng)影響；1、按相關(guān)方法處理；2、按相關(guān)方法處理；3、調(diào)整各聯(lián)接使之緊固；4、檢查清理抽氣管道；5、排除外界振動(dòng)的影響；11等徑過程中出現(xiàn)晶體扭曲現(xiàn)象1、按第9項(xiàng)各條檢查調(diào)整2、主機(jī)水平偏差過大；3、液面溫度偏低，拉速過快；1、按相關(guān)方法處理；2、調(diào)整主機(jī)水平；3、加大溫校量；12計(jì)長(zhǎng)顯示不準(zhǔn)1、電刷環(huán)組件接觸不良；2、計(jì)算機(jī)有問題；1、清理、調(diào)整電刷環(huán)組件；2、換計(jì)算機(jī)；13拉晶過程中速度記錄曲線出現(xiàn)尖刺1、測(cè)速電機(jī)接觸不良產(chǎn)生暫時(shí)飛車現(xiàn)象（尖刺向上）；2、力矩機(jī)電刷接觸不良，產(chǎn)生暫時(shí)停車現(xiàn)象；檢修調(diào)整刷頭使之接觸良好14歐陸顯示斷歐1、計(jì)算機(jī)控溫輸出（OP）較大；2、側(cè)取光斷路；3、溫度記錄儀接口板故障；1、將計(jì)算機(jī)OP輸出降至800字；2、檢查接通側(cè)取光；3、查接口板；15非故障報(bào)警傳感器有問題檢查傳感器16加熱過程中電流突然下降同步少一相1、交流接觸器頭接觸不良；2、同步變壓器斷頭；1、換交流接觸器；2、換同步變壓器；17加熱電壓加至30V突然回零1、可控硅斷路；2、脈寬電容特性差；1、換可控硅；2、換電容；18過流1、加熱器打火；2、氬氣不純拉?。?、加熱電極與爐體間絕緣性差；4、高溫加熱后，雜質(zhì)揮發(fā)過多，拉晶過程中打火1、清理爐內(nèi)個(gè)處；2、換相應(yīng)絕緣件單晶爐部件拆裝一、坩堝軸的拆裝（參閱附圖M10）拆卸坩堝軸時(shí)，應(yīng)先松開水套與水套固定座的聯(lián)接螺釘，去掉軸擋圈，卸下水套固定座，然后松開圓螺母，卸下帶輪，將磁流體密封部件整體取下，最后將坩堝軸上面整體抽出，裝入時(shí)逆操作，只要注意軸承的潤(rùn)滑采用真空脂潤(rùn)滑，水套座內(nèi)的潤(rùn)滑可用一般潤(rùn)滑即可；二、電極的拆裝（見附圖M12）由于電極材料為無氧銅，因此裝時(shí)應(yīng)特別小心，切勿重?fù)?，拆裝電極時(shí)，首先卸掉水冷電纜及銅夾子，然后拆下水嘴座，松開壓緊螺母，移去上部石英護(hù)套，將電極從上部抽出即可，裝配時(shí)，可進(jìn)行逆操作即可；三、卷絲輪的拆裝卷絲輪軸的旋轉(zhuǎn)密封采用的是磁流體密封，拆裝卷絲輪時(shí)應(yīng)盡可能不要拆開磁流密封組件，1、拆去電機(jī)及減速箱（拆時(shí)做上相對(duì)位置記號(hào)，復(fù)位時(shí)按記號(hào)找正）；2、拆下軟軸網(wǎng)絲繩壓輪；3、卸下重錘及軟軸鋼絲繩；4、拆下卷輪箱左端限位箱；5、拆下左端蓋及限位桿；6、拆下拖動(dòng)限位桿的拖動(dòng)圓盤；7、松開右端蓋與卷輪箱的聯(lián)接螺釘；8、將右端蓋與卷絲輪一起從右