硅烷燃燒塔使用說明書(1).doc

蘇州江川環(huán)?？萍加邢薰緩U氣處理設(shè)備操作保養(yǎng)說明書硅烷燃燒塔廢氣凈化系統(tǒng)設(shè)備使用說明書一、硅烷燃燒塔凈化系統(tǒng)簡介工藝原理：為減少硅片表面反射，提高電池的轉(zhuǎn)換效率，需要沉積一層氮化硅減反射膜。多數(shù)太陽能電池生產(chǎn)企業(yè)采用PECVD（即等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積）設(shè)備制備減反射膜，將硅片放置在PECVD設(shè)備內(nèi)，通入的SiH4和NH3經(jīng)高頻光放電反應(yīng)生成Si3N4，并沉積在硅片表面形成固態(tài)薄膜，即氮化硅薄膜。 該環(huán)節(jié)產(chǎn)生的廢氣主要為SiH4和NH3廢氣，針對該廢氣的化學(xué)性質(zhì)，設(shè)計(jì)先將SiH4送至不銹鋼燃燒罐內(nèi)溫和的燃燒，再將燃燒后的產(chǎn)物SiO2以及NH3通過一臺2級噴淋洗滌塔進(jìn)行吸收處理。吸收處理工藝為：SiH4和NH3廢氣在風(fēng)機(jī)的牽引下進(jìn)入燃燒筒內(nèi)，同時燃燒筒內(nèi)穩(wěn)定持續(xù)的充入適當(dāng)比例的壓縮空氣和氮?dú)?，以保證硅烷在安全可控范圍內(nèi)溫和的燃燒。燃燒產(chǎn)生的二氧化硅粉末大部分在重力作用下沉降到燃燒筒底部聚集，剩余部分二氧化硅粉末在風(fēng)機(jī)牽引作用下通過風(fēng)管進(jìn)入到洗滌塔一級噴淋系統(tǒng)，在噴淋室內(nèi)二氧化硅粉末以0.8m/s左右的速度緩慢流動，與自上而下噴淋出的水霧膜層相接觸，沉降的設(shè)備底部。殘余的微量二氧化硅粉末進(jìn)入到洗滌塔二級噴淋系統(tǒng)內(nèi)，由于二級噴淋系統(tǒng)內(nèi)加有泰勒花環(huán)填充料，增大了氣液接觸面積，使得殘余的二氧化硅粉末被洗滌，固氣得以分離，經(jīng)凈化后的潔凈氣體高空排放。二、系統(tǒng)提示請仔細(xì)閱讀以下所有的提示并以此為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行系統(tǒng)的操作。1、廢氣凈化設(shè)備在使用運(yùn)行前，認(rèn)真檢查各設(shè)備電源是否配備正確，并嚴(yán)禁人員接近。2、檢查風(fēng)機(jī)的噪聲與振動，檢查水泵的流量與揚(yáng)程。3、檢查硅烷燃燒塔的循環(huán)水箱水位，當(dāng)液位低于標(biāo)記時應(yīng)立即補(bǔ)充。4、檢查硅烷燃燒罐氮?dú)夂蛪嚎s空氣的流量。三、操作說明1、啟動步驟： 開啟電源總控制系統(tǒng)；將硅烷燃燒塔補(bǔ)水系統(tǒng)調(diào)制自動補(bǔ)水；開啟循環(huán)泵浦，啟動約60秒后，風(fēng)機(jī)啟動；2、正常運(yùn)轉(zhuǎn)檢查事項(xiàng)檢查風(fēng)機(jī)是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，風(fēng)機(jī)開啟30分鐘后，檢查油浴式軸承座的升溫狀態(tài)在60-80為正常運(yùn)轉(zhuǎn)；檢查風(fēng)機(jī)有無異常磨擦聲，手感風(fēng)機(jī)外殼無明顯振動；檢查循環(huán)泵是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，是否漏水；噴頭噴水是否正常；檢查各閥是否在正確開關(guān)位置；檢查水泵工作情況；檢查硅烷燃燒罐氮?dú)饧皦嚎s空氣流量計(jì)流量指數(shù)。3、停機(jī)注意事項(xiàng)檢查各設(shè)備工作正常與否，并提出設(shè)備在停機(jī)時的保養(yǎng)注意事項(xiàng)；停機(jī)后應(yīng)對加藥箱中的藥液進(jìn)行補(bǔ)充，風(fēng)機(jī)軸承座換油或補(bǔ)足油量，水泵密封處加固，清除塔體中的沉淀物，檢查噴頭是否有雜物堵塞等工作；檢查各進(jìn)出水閥門是否在正常工作狀態(tài)下，并開閉靈活有效；停機(jī)前檢查電控箱各指示燈應(yīng)呈開啟狀態(tài)，綠燈亮。4、停機(jī)步驟：關(guān)閉氮?dú)饧皦嚎s空氣閥門；關(guān)閉自動補(bǔ)水閥門；關(guān)閉風(fēng)機(jī)；打開塔體水箱中排污水閥門，使水位下降1/4；關(guān)閉循環(huán)水泵；關(guān)閉系統(tǒng)電源。四、常規(guī)保養(yǎng)及定期保養(yǎng)內(nèi)容1、每天檢查循環(huán)水箱水位并及時補(bǔ)充；2、每天檢查水泵運(yùn)轉(zhuǎn)情況，檢查噴頭噴淋正常否；3、每天檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)情況，電機(jī)及軸承座的溫度，風(fēng)機(jī)車的噪聲與振動；4、定期清理硅烷燃燒罐內(nèi)的二氧化硅粉末；5、每周檢查和調(diào)整皮帶張力，每季度對電機(jī)皮帶進(jìn)行更換；6、風(fēng)機(jī)初次使用一個月內(nèi)更換軸承座的專用機(jī)油，以后定期每季度更換一次；7、每季度對電機(jī)注入高品質(zhì)油脂（15W-40）；8、每半月定期更換水循環(huán)液，循環(huán)液應(yīng)防止飽和，及時清除沉淀物，保持水箱清潔；9、每月或定期檢查填料是否結(jié)垢，有雜質(zhì)或者損壞；10、檢查泵浦的磨損狀況及軸承，墊片及操作平滑性。五、異常現(xiàn)象的原因分析、硅烷燃燒塔的靜壓異常之情況：填充材底部的支撐板可能發(fā)生阻塞而異致壓降增加。填充材可能由于積垢之固體沉淀而發(fā)生沉陷，需要清理或更換。風(fēng)機(jī)壓力未調(diào)整好，穿過洗滌塔之氣流可能因?yàn)楣?jié)流閥調(diào)整而出現(xiàn)除霧不凈。、噴淋異常之情況：回流管上過濾器或?yàn)V網(wǎng)線發(fā)生堵塞。噴嘴堵塞。管線也許因?yàn)楣腆w粒子部份堵塞而需要清理。液體量減少，而導(dǎo)致泵吸入空氣。泵體吸入異物過度的磨損。泵的進(jìn)流或出流口設(shè)計(jì)不當(dāng)。內(nèi)部的分散管發(fā)生破裂。噴嘴不適當(dāng)?shù)陌惭b、松脫導(dǎo)致。泵的排水部份節(jié)流閥改變，允許很大流量通過，必須重新調(diào)整。、由硅烷燃燒塔出口處排出過量的液滴之情況：由于除霧層部份堵塞發(fā)生偏流現(xiàn)象并使收集之液滴向外擴(kuò)散。進(jìn)流氣體量超過設(shè)計(jì)容量而產(chǎn)生液滴擴(kuò)散。若使用填充液滴分散器，則可能是因?yàn)樘盍蠜]有平整而導(dǎo)致偏流偏流及濕粒子的擴(kuò)散。使用填充式液滴分散器。若發(fā)生氣流突然涌入時會將填料沖出或使其向某一邊聚集，形成開放式的“洞”氣流