電子工廠高級(jí)別潔凈室的建造.doc

學(xué)習(xí)資料收集于網(wǎng)絡(luò)，僅供參考電子工廠高級(jí)別潔凈室的建造文件2017年版本電子工廠高級(jí)別潔凈室的建造特點(diǎn)1、 高級(jí)別潔凈室在電子工廠中的應(yīng)用本文所指的高級(jí)別潔凈室是指潔凈室的潔凈度高（ISO-2、3、4、5級(jí)），生產(chǎn)環(huán)境溫濕度的精確度高，其他一些環(huán)境參數(shù)，例如：靜壓差、靜電、微振、電磁、噪聲、照度等參數(shù)都必須按生產(chǎn)工藝的要求進(jìn)行嚴(yán)格控制的潔凈室。這類(lèi)面積大、環(huán)境參數(shù)要求高的潔凈室廣泛地應(yīng)用在電子工業(yè)廠房中，如：大規(guī)模集成電路（LE1）、超大規(guī)模集成電路（VLS1）等微電子產(chǎn)業(yè)的電子工廠以及彩色薄膜液晶顯示器（TFT-LCD);發(fā)光二極管（LED）以及等離子技術(shù)（PDP）等光電子產(chǎn)業(yè)的電子工廠之中。當(dāng)今世界，微電子和光電子產(chǎn)業(yè)已成為一個(gè)國(guó)家、一個(gè)地區(qū)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和科學(xué)技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)和平臺(tái)，也是衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科學(xué)技術(shù)水平的重要標(biāo)志。發(fā)達(dá)國(guó)家(美國(guó)、日本、以及歐洲各國(guó)）都極為重視，紛紛投入大量的人力、物力、財(cái)力進(jìn)行開(kāi)發(fā)、研究和生產(chǎn)。我國(guó)在“十五”規(guī)劃中夜明確指出“重點(diǎn)發(fā)展集成電路、新型元件、器件、計(jì)算機(jī)和通信設(shè)備?！睜?zhēng)取用1015年的時(shí)間，把我國(guó)建設(shè)成為世界電子信息產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)國(guó)。以超大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)業(yè)，在今后的十年中全世界年平均增長(zhǎng)率高達(dá)15%。到2010年全世界微電子產(chǎn)品的銷(xiāo)售額將高達(dá)60008000億美元。到那時(shí)我國(guó)將成為全球第二大半導(dǎo)體市場(chǎng)。而光電子是繼微電子技術(shù)之后近十年內(nèi)迅速崛起的新興高科技產(chǎn)業(yè)，它是集固體物理、導(dǎo)體光學(xué)、材料力學(xué)、微細(xì)加工和微電子技術(shù)為一體，是微電子技術(shù)和光電子技術(shù)的結(jié)合和擴(kuò)展。光電子產(chǎn)業(yè)以液晶顯示器（LCD）、等離子技術(shù)（PDP）和發(fā)光二極管（LED）為代表，尤其是彩色薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）它是微電子技術(shù)與透射式彩色液晶顯示器技術(shù)的完美結(jié)合。它對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的參數(shù)，原材料的純度以及生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)都等同甚至超過(guò)大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)要求。到2010年以光電子產(chǎn)業(yè)為代表的信息產(chǎn)品的總產(chǎn)值將突破50000億美元。我國(guó)在微電子產(chǎn)業(yè)方面，“八五”、“九五”、“十五”期間發(fā)展很快，繼“華越”和“華虹”之后又有“中芯”、“宏力”、“貝嶺”、“先進(jìn)”等超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線相繼建成投產(chǎn)。在光電子產(chǎn)業(yè)方面“LCD”、“PDP”、“LED”、“TFT-LCD”已成為我國(guó)光電子產(chǎn)業(yè)的新的增長(zhǎng)點(diǎn)，隨著“吉林通海高科”TFT-LCD生產(chǎn)線建成投產(chǎn)后又有更大規(guī)模的“上廣電”、“京東方”等TFT-LCD生產(chǎn)線相繼建成投產(chǎn)。深圳的“深超”和具有第六代TFT-LCD生產(chǎn)線的“京東方”也在建設(shè)之中。2、 電子工廠高級(jí)別潔凈室的建造特點(diǎn)（1） 電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈室生產(chǎn)環(huán)境的要求非常嚴(yán)格電子工廠尤其是微電子和光電子產(chǎn)業(yè)的電子工廠，工藝生產(chǎn)對(duì)大面積高潔凈度潔凈室所要求的生產(chǎn)環(huán)境不僅僅有：建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑形式、層高承重、圍護(hù)的裝修材料；空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和重金屬等含量以及噪聲、照度、電磁波、微振動(dòng)等等?？偟膩?lái)說(shuō)，微電子和光電子對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求可用“精”、“純”、“大”來(lái)描寫(xiě)。建造電子工廠的高級(jí)別潔凈室最重要的是要使建造的潔凈室能滿足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)格要求，使之能高效率、高成品率地生產(chǎn)出高質(zhì)量的電子產(chǎn)品。這是建造高級(jí)別潔凈室最根本的目的。下表給出了微電子、光電子生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境所要求的條件和參數(shù)：超大規(guī)模集成電路對(duì)生產(chǎn)環(huán)境污染控制的要求控制參數(shù)集成度4M16M64M256M1G4G特征尺寸（m)0.80.550.350.250.180.150.13控制粒徑（m)0.10.10.080.080.060.04控制溫度（21C25C）0.10.050.050.050.050.05控制相對(duì)濕度（35%45%）211111潔凈度級(jí)別ISO-14644工作區(qū)（級(jí)）312121211通道區(qū)（級(jí)）444444維護(hù)區(qū)（級(jí)）5655555下夾層（級(jí)）787867676767防微振建筑物0.10.10.10.10.10.1設(shè)備0.010.010.010.010.010.1純水、純氣中的雜質(zhì)5x10-95x10-91x10-90.1x10-90.01x10-9噪聲dB（A）606060606060環(huán)境控制要求超大規(guī)模集成電路對(duì)生產(chǎn)環(huán)境污染控制的要求項(xiàng)目名稱控制粒徑（m)潔凈度（級(jí)）溫度（C）相對(duì)濕度（%）某IC前工序生產(chǎn)線0.13220.1453某TFT-LCD生產(chǎn)線0.34231555某TFT-LCD基極生產(chǎn)線0.33；4230.3505某高密度磁帶生產(chǎn)線0.55231505某彩色顯示器生產(chǎn)線0.57（局部5）221505某磁頭生產(chǎn)線0.35212555某光導(dǎo)纖維生產(chǎn)線0.37（局部5）2427電子、光電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求產(chǎn)品工序空氣潔凈度等級(jí)（級(jí)）溫度（C）相對(duì)濕度（%）相對(duì)低級(jí)別潔凈室的正壓（Pa） 半導(dǎo)體材料拉單晶45（0.3m）2324555切、磨、拋57（0.3m）2324555清洗47（0.3m）2324555外定35（0.3m）2324555前工序（芯片制造）氧化、擴(kuò)散、清洗、刻蝕、薄膜、離子注入25（0.10.3m）2314555光刻14（0.10.3m）2314555檢測(cè)36（0.10.3m）2324555設(shè)備區(qū)68（0.10.3m）23545105封裝（后工序）劃片、鍵合57（0.3m）2115055封裝68（0.3m）2315055TFT-LCD薄膜光刻、刻蝕、剝離23（0.1m）2314555涂復(fù)13（0.1m）2314555模塊45（0.3m）23245105組裝67（0.3m）2324555STN-LCD67（0.3m）(局部5級(jí)）2324555HDD制造區(qū)34（0.1m）2314555其他區(qū)67（0.3m）23145105PDP核心區(qū)5（0.3m） 2314555支持區(qū)67（0.3m）23245605鋰電池干工藝區(qū)67（0.5m）23225其他區(qū)78（0.5m）232155彩色顯像管涂屏電子槍裝配熒光粉7（0.5m）2324555錐子墨涂復(fù)防罩8（0.5m）2324555電子儀器微型計(jì)算機(jī)裝配8（0.5m）202325印制線路板照像、制版、干膜78（0.5m）22240605光導(dǎo)纖維預(yù)制棒67（0.3m）2425055拉絲57（0.3m）2215055光盤(pán)制造68（0.3m）23150105高密度磁帶制造68（0.5m）(局部5級(jí)）23150105磁頭生產(chǎn)核心區(qū)5（0.3m） 2326055清洗區(qū)6（0.3m）212705（2） 電子工廠高級(jí)別潔凈室的建造投資費(fèi)用非常高高級(jí)別潔凈室建造投資的費(fèi)用很高。一般來(lái)說(shuō)，4級(jí)（10級(jí)）、5級(jí)（100級(jí)）垂直單向流潔凈室，其室內(nèi)建筑圍護(hù)裝修（包括墻、頂、地、門(mén)窗等）和凈化空調(diào)系統(tǒng)（包括制冷和空調(diào)、凈化設(shè)備、管道和配件）其建設(shè)初投資大約為1000015000元/m；如果再加上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管線配件，純氣的發(fā)生設(shè)備和系統(tǒng)管線配件、廢水廢氣排放設(shè)備和系統(tǒng)管線配件；消防系統(tǒng)設(shè)備管線配件；供配電和自動(dòng)控制系統(tǒng)的設(shè)備管線配件以及集中式真空清掃系統(tǒng)設(shè)備配件管線等等，其單位面積的初投資可高達(dá)2500030000元/m?，F(xiàn)以1998年已建成投資的上海某超大規(guī)模集成電路前工序生產(chǎn)線舉例來(lái)說(shuō)，其月投片（8”硅片）30000片，有潔凈室面積約10000m，其中400m3級(jí)（1級(jí)）、4級(jí)（10級(jí)）高潔凈度垂直單向流潔凈室 ，另外6000m為6級(jí)（1000級(jí)）、7級(jí)（10000級(jí)）非單向流潔凈室。總凈化送風(fēng)量約6400000m/h。該項(xiàng)目總投資約100億人民幣，其中動(dòng)力設(shè)備和土建部分投資約為20億人民幣。占總投資的20%。其核心部分10000m高級(jí)別潔凈室建造投資費(fèi)高達(dá)6000萬(wàn)美元（不含土建結(jié)構(gòu)部分）折合單位面積投資為600美元/m,大約折合人民幣50000元/m。再舉目前正在建造即將竣工的深圳某精密光電有限公司建造的TFT-LCD基板生產(chǎn)線，其總面積約為800m,其中3級(jí)（1級(jí)）、4級(jí)（10級(jí)）垂直單向流潔凈室的面積約200m；其余5級(jí)（100級(jí)）垂直單向流潔凈室。除了土建結(jié)構(gòu)以外潔凈室的建筑圍護(hù)裝修、冷凍和凈化空調(diào)系統(tǒng)、廢水廢氣的排放系統(tǒng)、純水存錢(qián)的制備和輸送系統(tǒng)、供配電和自動(dòng)控制系統(tǒng)等的總投資約3200萬(wàn)元人民幣，折合單位面積約40000元/m人民幣。由上述兩個(gè)實(shí)例說(shuō)明建造這樣的微電子、光電子工廠高級(jí)別潔凈室的建造投資費(fèi)用是非常高的。這是另一個(gè)特點(diǎn)。（3） 電子工廠高級(jí)別潔凈室的運(yùn)行管理費(fèi)用非常貴因?yàn)殡娮庸S高級(jí)別潔凈室的凈化送風(fēng)量大，工藝設(shè)備局部排風(fēng)量大，新風(fēng)量大，濕、溫度要求嚴(yán)格，所以送風(fēng)的空氣熱濕度處理的冷量、熱量、加濕量也大，空氣輸配的能量消耗量大，運(yùn)行費(fèi)用很貴。還拿上述兩個(gè)項(xiàng)目為例來(lái)說(shuō)明：上海某超大規(guī)模集成電路前工序生產(chǎn)線10000m潔凈室總送風(fēng)量為6400000m/h,空氣輸配的風(fēng)機(jī)總耗電量為3840kw/h，全年電費(fèi)為1659萬(wàn)元（每度電按0.6元/度計(jì)），空氣熱濕處理耗電量約8000kw/h，全年電費(fèi)為3456萬(wàn)元。全年凈化空調(diào)系統(tǒng)本身的運(yùn)行費(fèi)用高達(dá)5115萬(wàn)元人民幣。折合單位面積凈化空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用為5115元/m。而深圳某精密光電的基板生產(chǎn)線高級(jí)別潔凈室面積約800m,凈化送風(fēng)量1200000m/h，新風(fēng)量90000m/h，空調(diào)冷量約為300kw/h，全年電費(fèi)約130萬(wàn)元人民幣（每度電按0.6元/度計(jì)），而空氣熱濕處理的耗電量760kw/h，（其中：冷凍機(jī)電量為400kw,冷凍水泵電量為130kw,冷卻水泵電量為160kw，干冷水泵電量為44kw，冷卻塔電量為22kw)全年電費(fèi)約為330萬(wàn)元人民幣。全年凈化空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行總費(fèi)用高達(dá)約460萬(wàn)元，折合單位面積年運(yùn)行費(fèi)用約為5750元/m。由上述兩個(gè)例子來(lái)看，電子工廠高級(jí)別潔凈室僅僅保持室內(nèi)的潔凈度、溫濕度每平方米所花的運(yùn)行費(fèi)用就要高達(dá)50006000元/m人民幣。由此可見(jiàn)它的運(yùn)行管理費(fèi)用相當(dāng)貴。這是第三個(gè)特點(diǎn)。（4） 電子工廠高級(jí)別潔凈室的適應(yīng)性、靈活性要非常強(qiáng)微電子集成電路的發(fā)展規(guī)律告訴我們，每隔23年就上一個(gè)臺(tái)階，其芯片的集成度就要增加4倍，特征尺寸（線寬）就要縮小30%，年銷(xiāo)售價(jià)格就要下降30%。因?yàn)椋呻娐酚质前l(fā)展速度十分迅速的產(chǎn)業(yè)，隨之而來(lái)的為其服務(wù)的生產(chǎn)環(huán)境技術(shù)和高級(jí)別潔凈室技術(shù)也必須隨之發(fā)展而發(fā)展，才能適應(yīng)微電子產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展。繼微電子之后發(fā)展起來(lái)的光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展速度比微電子產(chǎn)業(yè)還要快。如TFT-LCD技術(shù)每12年就更新一代，去年前年還是第五代TFT-LCD；今年就發(fā)展到第六代產(chǎn)品了。因此，為其服務(wù)的生產(chǎn)環(huán)境技術(shù)、高級(jí)別潔凈室技術(shù)必須具有極大適應(yīng)性、靈活性以滿足微電子、光電子技術(shù)不斷發(fā)展的要求。因?yàn)?，建一個(gè)廠房，建造一個(gè)高級(jí)別潔凈室是百年大計(jì)，不是一年二年就能拆掉重建。因此，在設(shè)計(jì)和建造這樣高級(jí)別潔凈室時(shí)，就應(yīng)考慮到生產(chǎn)工藝的發(fā)展、變更，使?jié)崈羰揖哂泻芎玫倪m應(yīng)性和靈活性。多年建造經(jīng)驗(yàn)告訴我們，從潔凈室等等都必須百分之百的滿足生產(chǎn)工藝的要求。保證環(huán)境參數(shù)可靠，穩(wěn)定不出差錯(cuò)。另外，從安全角度上講，即建筑結(jié)構(gòu)承重的安全和防火防爆防毒的安全更是十分重要的，要遵照“以人為本”的方針，保證人員的生命安全和保護(hù)工廠財(cái)產(chǎn)的安全更是設(shè)計(jì)、建造和使用潔凈室時(shí)應(yīng)注意的頭等大事。因此，努力降低高級(jí)別潔凈室的建造投資和運(yùn)行費(fèi)用；努力提高潔凈室的靈活性和適應(yīng)性以滿足生產(chǎn)工藝不斷發(fā)展的要求和保證高級(jí)別潔凈室的安全、可靠是給潔凈室的設(shè)計(jì)和建造者提出的重要課題。3、 電子工廠高級(jí)別潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)和節(jié)能（1） 潔凈室的空調(diào)負(fù)荷潔凈室的凈化空調(diào)負(fù)荷由下面幾個(gè)部分組成：1、 室內(nèi)負(fù)荷主要包括：室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷。室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷。潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門(mén)、窗）的傳熱、傳濕負(fù)荷。生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷。2、 潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷。夏季是降溫、去濕；冬季是加熱、加濕。3、 空氣輸配時(shí)風(fēng)機(jī)（或FFU）的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。（2） 高級(jí)潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)1、 高級(jí)別潔凈室（100級(jí)，10級(jí)，1級(jí)）是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機(jī)的風(fēng)量非常大，高達(dá)400500次/h換氣，而且風(fēng)機(jī)的壓頭也很高，一般多在10001500Pa，因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大。按理論計(jì)算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機(jī)的溫升為1.5C，僅此一項(xiàng)的負(fù)荷就是500700W/m；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷也要250350W/m。因此，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大是起一個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。2、 服務(wù)于微電子和光電子的高級(jí)別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在1020次/h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷大約是400800W/m；個(gè)別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負(fù)荷也還會(huì)更大。因此新風(fēng)負(fù)荷大師其第二個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。3、 生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級(jí)別潔凈室的第三個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。生產(chǎn)負(fù)荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。4、 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項(xiàng)負(fù)荷相對(duì)比較小，三項(xiàng)負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10%（其中：照明負(fù)荷大約2530W/m；圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷大約2030W/m；作業(yè)人員負(fù)荷大約1015W/m），這是高級(jí)別潔凈室的第四個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。（3） 電子工廠高級(jí)別潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能研究高級(jí)別潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應(yīng)首先從分析其空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)入手，抓住空調(diào)負(fù)荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，高級(jí)別潔凈室空調(diào)負(fù)荷中占90%以上的負(fù)荷是：新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過(guò)程負(fù)荷三項(xiàng)。這是它的主要矛盾。1、降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施減少排風(fēng)量。改進(jìn)工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)，少排風(fēng)。采取密閉式防風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量。減少正壓漏風(fēng)量。加強(qiáng)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性，既能保持潔凈室必要地正壓值，又可以減少所需要的正壓漏風(fēng)量。提高新風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。2、降低風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷節(jié)能措施在確保潔凈室凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來(lái)替代全面高凈化。加強(qiáng)空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送分方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。采用FFU加新風(fēng)機(jī)組加干盤(pán)管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。提高風(fēng)機(jī)效率，采取變頻措施。3、工藝設(shè)備和工藝過(guò)程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問(wèn)題，只能依靠工藝自己來(lái)解決。4、除上述措施之外，還可以采取如下措施。加強(qiáng)水管和風(fēng)管的保溫。減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。采取熱回收，充分利用廢熱。盡量利用天然能源做空調(diào)系統(tǒng)的遇冷和預(yù)熱。如：太陽(yáng)能、地下水、土壤能等。利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。四、電子工廠高級(jí)別潔凈室的消防和排煙（一）高級(jí)別潔凈室消防的重要性1、潔凈室尤其是高級(jí)別潔凈室，多居于建筑的中心部位，是無(wú)外墻、無(wú)外窗、無(wú)外門(mén)又極為密閉的無(wú)窗廠房或密閉廠房。這樣的建筑一旦發(fā)生火災(zāi)給人員的疏散帶來(lái)極大地困難，處理不好會(huì)給人員和財(cái)產(chǎn)帶來(lái)極大的損失。2、微電子和光電子用的高級(jí)別潔凈室在生產(chǎn)過(guò)程中使用和產(chǎn)生大量的有毒有害、易燃、易爆的特氣、烷類(lèi)、有機(jī)物質(zhì)和酸堿氣體（如上節(jié)所訴），這些物質(zhì)不僅是助燃、爆炸的物質(zhì)而且還會(huì)傷及人員的生命。一旦產(chǎn)生火災(zāi)，后果不堪設(shè)想。3、如前所述，高級(jí)別潔凈室的初投資十分昂貴，單就其基建本身單位造價(jià)就要2500050000元/；其中的生產(chǎn)設(shè)備價(jià)格貴的更加驚人，有的設(shè)備一臺(tái)就數(shù)百萬(wàn)美元，因此，消防對(duì)保護(hù)這樣的建筑的財(cái)產(chǎn)損失就更加重要了。4、潔凈室內(nèi)的靜電也是誘發(fā)火災(zāi)的隱患，因此要重視靜電的消除。（二）潔凈室的消防措施按“潔凈產(chǎn)房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001”規(guī)定：1、在潔凈室的建筑和裝修上面規(guī)定：“潔凈產(chǎn)房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。”潔凈室的頂棚和壁板（包括夾心材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料?！薄绊斉锏哪突饦O限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道的頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h，在同一個(gè)防火區(qū)分區(qū)內(nèi)潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷，其墻和頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1h，其墻上門(mén)、窗的耐火極限不應(yīng)低于0.6h?！?、在消防條文中還規(guī)定，“在潔凈室的生產(chǎn)層、上技術(shù)夾層和下技術(shù)夾層均應(yīng)設(shè)室內(nèi)消火栓滅火系統(tǒng)。消火栓用水量10L/S，潔凈廠房?jī)?nèi)各場(chǎng)所必須設(shè)置滅火器”。并且還規(guī)定，“潔凈廠房宜設(shè)置預(yù)作用式制動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)”?！皾崈魪S房的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙設(shè)施?！薄皾崈羰覚C(jī)械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)和凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須采取可靠的防火安全措施?！?、還規(guī)定，“潔凈室使用可燃?xì)怏w處于應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖，”“潔凈室的地面應(yīng)具有導(dǎo)靜電性，地面表層應(yīng)采用靜電耗散性材料制作，其表面電阻率應(yīng)為105-1012歐姆，并且設(shè)置有導(dǎo)電泄放和接地措施。對(duì)地的泄放電阻值應(yīng)為105-109歐姆?！薄皾崈羰业膬艋照{(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施等。”（三）高級(jí)別潔凈室的防排煙前面已敘述過(guò)，在“潔凈產(chǎn)房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB50073-2001中明確規(guī)定：“潔凈廠房的疏散走廊應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙設(shè)施?！薄皾崈羰覚C(jī)械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須采取可靠的防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范（GBJ-16）”。而在兩規(guī)范中均沒(méi)有明確要求潔凈室一定要設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)。而且，這樣的潔凈室凈化級(jí)別高，頂棚滿布高效過(guò)濾器（HEPA），面積很大（大多在4000-10000），又因生產(chǎn)工藝的原因，不可能劃分成若干個(gè)防煙分區(qū)，因此排煙量極大，設(shè)置排煙系統(tǒng)的難度很大。而且各地方的消防部門(mén)對(duì)這一要求的掌握也不盡一致。但這一類(lèi)型的潔凈室往往都投保于國(guó)外的保險(xiǎn)公司，這些保險(xiǎn)公司為了自身的的利益都要求對(duì)潔凈室設(shè)置排煙系統(tǒng)，否則就要提高投保費(fèi)用。一般對(duì)這一的潔凈室設(shè)置排煙系統(tǒng)，目前常用的有下排煙和上排煙的兩種方式：1、 下排煙方式：下排煙一般是在潔凈室的回風(fēng)技術(shù)夾層（下技術(shù)夾層）或回風(fēng)豎井內(nèi)設(shè)置排煙口，當(dāng)潔凈室發(fā)生火災(zāi)時(shí)，開(kāi)啟排煙口，聯(lián)鎖啟動(dòng)排煙風(fēng)機(jī)進(jìn)行排煙。此時(shí)新風(fēng)機(jī)組繼續(xù)進(jìn)行補(bǔ)充新風(fēng)，新風(fēng)由FFU送入潔凈室。但是，采用下排煙方式時(shí)應(yīng)特別注意，F(xiàn)FU向下送風(fēng)的風(fēng)速應(yīng)大于煙氣上升的速度排煙效果好，否則煙氣就會(huì)在潔凈室的頂部集聚，影響煙氣的排除。一般情況下，F(xiàn)FU的送風(fēng)速度為0.250.5m/s，而火災(zāi)的熱釋放只要大于3kw時(shí)煙氣的上升速度就會(huì)大于0.5m/s。故一般下排煙的方式只有在火災(zāi)剛剛發(fā)生時(shí)排煙效果才好。下排煙方式在國(guó)外的集成電路參數(shù)廠采用的較多，但國(guó)內(nèi)的消防部門(mén)一般不容易接受。2、 上排煙方式：上排煙一般是潔凈室吊頂上設(shè)置排煙口，當(dāng)潔凈室發(fā)生火災(zāi)時(shí)，開(kāi)啟排煙口，聯(lián)鎖啟動(dòng)排煙機(jī)，此時(shí)新風(fēng)機(jī)組照常運(yùn)行，補(bǔ)充新風(fēng)。因排煙氣流方向與煙氣上升方向一致，因此排煙效果好。但最大的問(wèn)題是排煙口的設(shè)置問(wèn)題，對(duì)于非單向流潔凈室高效過(guò)濾器在吊頂上不是滿布的，這一問(wèn)題還容易解決，但對(duì)于高級(jí)別垂直單向流潔凈室而言，吊頂上滿布了高效過(guò)濾器或FFU，排煙口的設(shè)置就成了一個(gè)大問(wèn)題。還好，目前已有一些凈化設(shè)備公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)了FFU和排煙口相結(jié)合的產(chǎn)品，這就很巧妙地解決了這一難題。還有一個(gè)由于工藝的要求不能將整個(gè)大面積的潔凈室劃分為若干個(gè)防煙分區(qū)的問(wèn)題，目前還只能將400010000m的潔凈室看作一個(gè)防煙分區(qū)。因此排煙量非常大，為了減少排煙量，通常把工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)也兼作排煙系統(tǒng)來(lái)滿足偌大的排煙量的要求。（4） 我國(guó)某TFT