YS∕T983-2014多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法

ICS77040 H 17 . 中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) YS/T9832014 多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的 測定方法 Testmethodformeasuringcompositionofpolysilicon depositionreactorandTCStoSTCconverterventgas2014-10-14發(fā)布 2015-04-01實施 中華人民共和國工業(yè)和信息化部 發(fā) 布 中 華 人 民 共 和 國 有 色 金 屬 行 業(yè) 標(biāo) 準(zhǔn) 多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的 測定方法 YS/T9832014 * 中 國 標(biāo) 準(zhǔn) 出 版 社 出 版 發(fā) 行北京市朝陽區(qū)和平里西街甲 號 2 (100029) 北京市西城區(qū)三里河北街 號 16 (100045) 網(wǎng)址 : 服務(wù)熱線 :400-168-0010年 月第一版 2015 2 * 書號 :1550662-28287 版權(quán)專有 侵權(quán)必究 YS/T9832014 前 言 本標(biāo)準(zhǔn)按照 給出的規(guī)則起草 GB/T1.12009 。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會 歸口 (SAC/TC243) 。 本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 : 。 本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位 天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司 樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 峨嵋半 : 、 、導(dǎo)體材料研究所 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司 洛陽中硅高科技有限公司 、 、 。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人 敖細平 王波 梁洪 劉暢 張華端 古行乾 王阿麗 : 、 、 、 、 、 、 。 YS/T9832014 多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的 測定方法1 范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法 。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分 氫氣 氯化氫 三氯氫硅 二氯二氫硅和 ( 、 、 、 四氯化硅 的測定 檢測范圍為體積分?jǐn)?shù) ) 。 0.1%100%。2 規(guī)范性引用文件 下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本文件 。 , ( ) 。 純氫 高純氫和超純氫 GB/T7445 、 純氮 高純氮和超純氮 GB/T8979 、3 方法提要 根據(jù)尾氣中各個組分的沸點 極性及吸附性的差異 利用氣相色譜將各個組分從色譜柱中分離 采 、 , , 用熱導(dǎo)檢測器 檢測其含量 (TCD) 。4 干擾因素 41 樣品溫度應(yīng)不低于 否則樣品中部分氯硅烷組分會出現(xiàn)冷凝 使分析結(jié)果失去代表性 . 50 , , 。42 尾氣壓力應(yīng)保持在合適的范圍 太大不易操作且 不 安 全 太 小 容 易 導(dǎo) 致 樣 品 無 法 采 集 至 取 樣 容 . , , 器內(nèi) 。43 取樣容器應(yīng)保持密閉性 否則 樣品泄漏會影響分析結(jié)果的準(zhǔn)確性 . , , 。5 試劑和材料 除非另有說明 分析時均使用符合國家標(biāo)準(zhǔn)的試劑或材料 , 。51 高純氫氣 應(yīng)符合 的規(guī)定 . , GB/T7445 。52 高純氮氣 應(yīng)符合 的規(guī)定 . , GB/T8979 。6 儀器和設(shè)備 61 氣相色譜儀 具備熱導(dǎo)檢測器 . : 。62 進樣器 氣密玻璃注射器 . :1mL 。63 采樣容器