《半導體清洗設(shè)備塑材包覆件技術(shù)規(guī)范》征求意見稿

1T/KSZZXXXX—XXXX半導體清洗設(shè)備塑材包覆件通用技術(shù)規(guī)范本文件規(guī)定了半導體清洗設(shè)備塑材包覆件的原材料、生產(chǎn)工藝、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于半導體清洗設(shè)備塑材包覆件（以下簡稱“包覆件”）的生產(chǎn)和檢驗。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲運圖示標志GB/T1043.1塑料簡支梁沖擊性能的測定第1部分：非儀器化沖擊試驗GB/T1040.2塑料拉伸性能的測定第2部分：模塑和擠塑塑料的試驗條件HG/T4280塑料焊接工藝評定3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4原材料4.1板材4.1.1常規(guī)材質(zhì)的板材種類及規(guī)格尺寸見表1。表1板材種類及規(guī)格320、15、12、10、8、5、320、15、12、10、8、5、34.1.2包覆殼體材料選擇：a)歐、美國家宜選瓷白PP作為外殼包覆的板材；b)日、韓國家宜選黃白PVC作為外殼包覆的板材；c)客戶對板材有要求，應采用防火認證板，優(yōu)先選用FM4910材料（象牙黃PVC）；d)客戶對板材沒有要求時，優(yōu)先選用瓷白PP作為外殼包覆的板材。4.2槽體槽體材質(zhì)主要有：a)NPP：主要作純水槽，也可存放弱酸、弱堿，可作為QDR槽、OF槽、純水緩沖箱；b)PVC：主要作堿槽，可用作廢氣處理設(shè)備殼體及較大儲液槽；2T/KSZZXXXX—XXXXc)PVDF：主要作酸槽、稱量槽和儲酸槽。4.3管道4.3.1規(guī)格常規(guī)管道規(guī)格按表2選擇。表2管道規(guī)格202540632025406322264860202540634.3.2材質(zhì)4.3.2.1DIW管路：d)水質(zhì)要求＞10MΩ：選用CL-PVC；e)水質(zhì)要求≤10MΩ：選用PP；f)一般水質(zhì)要求：選用UPVC或PP。4.3.2.2藥液管路：a)一般藥液：選用1/2”PFA管路，外層透明PVC管，雙套管管路，透明PVC套管規(guī)格宜大于藥液管（1.5～2）倍；b)特殊藥液：選用3/4”PFA管路，外側(cè)采用雙套管，透明PVC套管規(guī)格宜大于藥液管（1.5~2）倍。4.3.2.3排風管道：a)排風管：選用PVC白色管，規(guī)格（內(nèi)徑外徑）為DN300?315、DN200?225、DN150?160、DN100?110；b)有機設(shè)備：選用不銹鋼有機排風，應配備自動風閥；c)排風閥：宜選用手動風閥；d)排風量：15m3/min。4.3.2.4廢排管路槽體排液管的材質(zhì)應與槽體材質(zhì)相同，排廢水管道應與設(shè)備殼體材質(zhì)相同。4.3.2.5氣體管路：a)氣體管道規(guī)格宜選用?4、?6、?8、?10；1/8"、1/4"、3/8"、1/2"；b)接觸腐蝕氣體應選PFA材質(zhì)，其余可選PU材質(zhì)。5工藝流程5.1概述包覆件生產(chǎn)工藝如圖1所示，生產(chǎn)工藝步驟包括原材料進廠、材料領(lǐng)用、精雕下料、熱彎、包覆3T/KSZZXXXX—XXXX定位、熱熔、磨平、清潔、檢驗和入庫。圖1生產(chǎn)工藝流程圖5.2原材料進廠5.2.1原材料到貨后，倉庫管理人員應確認其生產(chǎn)廠家、產(chǎn)品名稱、規(guī)格及數(shù)量是否與采購計劃相符，是否有相應的質(zhì)量證明文件如：合格證、出廠檢驗報告等。5.2.2初檢合格后，應通知品質(zhì)部抽樣檢測。品質(zhì)部應依據(jù)原材料檢驗規(guī)程進行檢驗、驗收，并做好記錄。5.2.3原材料應存放在室溫下，溫度范圍（0～60）℃,濕度范圍45％～65％。5.3材料領(lǐng)用5.3.1生產(chǎn)部收到生產(chǎn)指令單后，應根據(jù)工程部提供的下料圖紙進行排版，根據(jù)所需材料的名稱和規(guī)格，計算用量并填寫領(lǐng)料單。5.3.2倉庫應根據(jù)領(lǐng)料單上的名稱、規(guī)格、數(shù)量進行備料。備料完畢后應通知生產(chǎn)，生產(chǎn)收到備料完成后，進行核對物料，收貨后宜靜置24h后再投入使用。5.4精雕下料5.4.1精雕工序領(lǐng)到原材料后，應根據(jù)已經(jīng)排版的程序，選擇對應的刀具和正確的板材進行精雕加工。加工完成后，應去除毛刺、飛邊，對產(chǎn)品進行自檢，檢驗項目包括材質(zhì)、外形尺寸、厚度、變形度、對角線尺寸差異，轉(zhuǎn)入下一工序。5.4.2加工過程環(huán)境宜控制在：a)溫度18℃~26℃;b)相對濕度45％～65％。5.5熱彎5.5.1精雕下料的產(chǎn)品，應對照圖紙進行熱彎，應注意超過3mm的板材，在折彎內(nèi)側(cè)需要銑槽減少板材厚度。5.5.2首先應確認需要熱彎的位置，使用亞克力加熱器對折彎部位進行加熱，等加熱到所需溫度后，手動折彎到所需角度，持續(xù)固定，直至冷卻固定。5.5.3使用加熱器前應檢查加熱槽內(nèi)是否有異物覆蓋，需清除加熱槽內(nèi)的異物。5.5.4接通冷卻水泵電源，應確保冷卻水循環(huán)正常。5.5.5接通加熱電源，應將調(diào)溫旋鈕調(diào)到最大刻度，加熱絲發(fā)紅后調(diào)整到合適溫度，為節(jié)能和使用安全，超過3min不使用，應切斷加熱電源。5.5.6應準備足夠的冷卻水，冷卻水溫不應超過50℃。4T/KSZZXXXX—XXXX5.5.7熱彎工藝如圖2所示。圖2熱彎示意圖5.6包覆定位應分批依次把U型、L型PP包筋盒或者外側(cè)板、內(nèi)部部件安放到對應位置，并使用美紋紙或者無痕膠帶進行初步固定。定位時應注意不要影響其余PP板熱熔焊接。5.7熱熔焊接5.7.1應依次將固定好的PP/PVC材質(zhì)零部件連接縫隙進行熱熔焊接。5.7.2兩平面進行焊接的地方需要打坡口或開槽方可進行熱熔焊接，開槽為45°或60°的V型槽。5.7.3宜使用熱風槍對板材或管道進行熱熔焊接，宜采用單股焊條打底，雙股焊條填縫的方式。焊接過程應控制參數(shù)：a)焊槍溫度：350℃~380℃;b)焊接速度7～10）min/m。5.7.4焊接方法如圖3所示，主要采用鐘擺焊接和拖拉焊接：c)鐘擺焊接：通過對熱風槍的左右小幅擺動，將熱風均勻的吹在被焊接板材和焊條的焊接處，使表面融合的焊條本身以垂直角度接觸并形成焊接的前進導向，對焊條使用一定的壓力；d)拖拉焊接：通過熱風焊槍配合其配套的焊嘴，并將焊條串在對應的脫焊嘴中，且使出風扣與母材保持平行快速地拉拖焊接。拖拉焊的橫截面大，易操作。a)鐘擺焊接b)拖拉焊接圖3焊接方法5.7.5焊接前應檢查母材和焊條是否被水和油污染，是否有氧化現(xiàn)象，以確保焊接的強度。焊接時應選擇對應并正確的焊條，避免色差、焊接不牢固等。如果是內(nèi)部需要裝液體的槽體，焊接后應進行測漏驗證。5.8磨平5.8.1外表面或確認需要修正的焊縫，應用刀片或磨光機對焊縫進行修整，使之與板材表面平滑過渡。5T/KSZZXXXX—XXXX5.8.2焊接磨平后應用無痕膠帶或者美紋膠帶對打磨面進行粘貼保護。5.8.3非外觀面焊道且不影響裝配的情況下，焊道無需鏟平或磨平。5.9清潔焊接打磨完成后，應從內(nèi)到外用氣槍依次清潔灰塵和異物，用無塵布和過氧化氫擦拭表面，表面不應有臟污、油跡、水漬和手印等。6技術(shù)要求6.1外觀6.1.1包覆件應符合本文件的要求，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準的工藝及技術(shù)文件制造。6.1.2表面應干凈整潔，無明顯臟污、油跡和水漬；應光滑，無尖銳的凹槽、凹痕或損壞。6.1.3應塑化良好，無明顯氣泡、黑點、變形、劃傷、裂縫等缺陷。6.1.4應顏色均勻，無褪色、落色現(xiàn)象，同批產(chǎn)品應無明顯色差。6.2尺寸偏差6.2.1產(chǎn)品實際尺寸應與標示尺寸相符，允許偏差為±5％。如有特殊要求，可根據(jù)客戶要求而定。6.2.2平面度應符合設(shè)計要求，設(shè)計要求未注明的，平面度偏差應為±0.1mm。6.3焊接質(zhì)量焊縫表面質(zhì)量應符合HG/T4280的要求，不應有虛焊、漏焊、焊道翹起等缺陷。6.4機械性能包覆件機械性能應符合表3的規(guī)定。表3機械性能拉伸屈服應變，%7試驗方法7.1外觀明亮光線下，目測檢查。7.2尺寸偏差使用符合精度要求的量具測量。7.3焊接質(zhì)量明亮光線下，目測檢查焊縫外觀。7.4機械性能7.4.1拉伸屈服應力、拉伸屈服應變、拉伸彈性模量6T/KSZZXXXX—XXXX按GB/T1040.2的規(guī)定進行，采用1B型試樣，測試方向與板材擠出方向一致。拉伸屈服應力和拉伸屈服應變的試驗速度為（5±1）m/min；拉伸彈性模量試驗速度為（1±0.2）mm/min。7.4.2簡支梁沖擊強度按GB/T1043.1的規(guī)定進行，從縱向和橫向分別各裁取10根試樣，推薦試樣尺寸為80mm×10mm×4mm，厚度不足4mm的試樣按試樣原厚度進行。8檢驗規(guī)則8.1檢驗分類分為出廠檢驗和型式檢驗。8.2組批以同一工藝、同一原輔材料生產(chǎn)的同一規(guī)格產(chǎn)品為一組批。8.3出廠檢驗8.3.1包覆件應經(jīng)制造廠質(zhì)量檢驗部門逐臺檢驗合格后，方可入庫/出廠。8.3.2檢驗項目按表4執(zhí)行。表4檢驗項目√√√√√√—√8.3.3當出廠檢驗結(jié)果全部符合本文件要求時，判出廠檢驗合格；出廠檢驗結(jié)果有一項不符合本文件要求的，允許修理后復檢，直到出廠檢驗結(jié)果全部符合本文件要求。8.4型式檢驗8.4.1下列情況之一時，應進行型式檢驗：a)新產(chǎn)品試制鑒定時；b)正式生產(chǎn)后，如原料、工藝有較大改變可能影響到產(chǎn)品的質(zhì)量時；c)出廠檢驗的結(jié)果與上次型式檢驗有較大差異時；d)停產(chǎn)12個月以上重新恢復生產(chǎn)時；e)業(yè)主管部門或質(zhì)量管理部門提出要求時。8.4.2型式檢驗項目按表2執(zhí)行。8.4.3型式檢驗應從出廠檢驗合格產(chǎn)品中隨機抽取，抽取數(shù)量應滿足檢測要求。8.4.4當型式檢驗結(jié)果全部符合本文件要求時，判型式檢驗合格。若檢驗中出現(xiàn)任何一項不符合，允許加倍重新抽取樣品進行復檢，復檢后，若全部符合本文件要求時，判型式檢驗合格，否則為不合格。9標志、包裝、運輸和貯存9.1標志9.1.1銷售標志應至少含有以下內(nèi)容：a)產(chǎn)品名稱；7T/KSZZXXXX—XXXXb)產(chǎn)品責任單位名稱及地址；c)出廠日期、批號；d)執(zhí)行標準號；e)產(chǎn)品合格標識。9.1.2包裝儲運圖示標志按GB/T191的規(guī)定選擇使用。9.1.3標志應清晰、牢固，不應因運輸條件和自然條件而褪色、變色、脫落。9.2包裝、運輸9.2.1產(chǎn)品裝卸應小心平穩(wěn)。運輸包裝應保證在正常的儲運、裝