電子級磷酸市場調研報告

電子級磷酸市場調研報告CompanyLogo目錄電子級磷酸用途1電子級磷酸執(zhí)行標準2電子級磷酸工藝3電子級磷酸工藝簡述4雜質對電子級磷酸的影響5電子級磷酸的檢測6國外生產產能統(tǒng)計7國內消費區(qū)分布圖8國內主要廠家產能統(tǒng)計9電子磷酸預計需求量10國內電子級磷酸特點11電子級磷酸進出口現(xiàn)狀12電子級磷酸價格13電子級磷酸市場調研及決策10CompanyLogo電子級磷酸用途1純度較低的主要用于液晶面板部件、基片涂膠前的清洗。2光刻過程中的蝕刻及最終去膠。3硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導體膜刻、導體膜蝕刻、有機材料蝕刻等。廣泛應用于超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻。CompanyLogo電子級磷酸執(zhí)行標準

國際半導體設備與材料組織(SEMl)將電子化學品按應用范圍分為SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四個等級，但當前國內外對高純磷酸級別的劃分很混亂，國外如美國、日本、德國的電子級磷酸均已工業(yè)化生產，但由于技術保密，其產品質量指標及生產技術未見詳細報道。

國際標準國內標準2011年12月30日，國家質檢總局、國家標準委在《中華人民共和國國家標準公告》(2011年第23號)中發(fā)布國家標準GB/T28159-2011《電子級磷酸》。發(fā)布日期：

2011-12-30實施日期：

2012-07-01首發(fā)日期：

2011-12-30

參與起草單位：四川成洪磷化工有限責任公司、江蘇江陰市潤瑪電子材料有限公司、湖北興發(fā)化工集團股份有限公司、蘇州電子材料廠有限公司、蘇州晶瑞化學有限公司

CompanyLogo電子級磷酸工藝以磷單質或三氯氧磷為原料通過反應法制取電子級磷酸工藝以工業(yè)凈化磷酸為原料，通過分離提純法制取三氯氧磷法高純磷法磷化氫法電滲析法結晶法CompanyLogo電子級磷酸工藝簡述三氯氧磷法將工業(yè)黃磷制成液態(tài)三氯氧磷(POCl3)，再將精餾提純，精制后的三氯氧磷與超純水反應生成磷酸和HCl，蒸餾除去HCl

可制得高純磷酸。將磷酸調節(jié)到所需濃度后，再用微孔濾膜過濾除去微細固體塵埃，即可得到電子級磷酸。該法生產工藝流程長、能耗高，故生產成本高，而且對設備腐蝕嚴重。高純磷法將工業(yè)黃磷或紅磷提純制成高純磷，與凈化后的空氣或氧反應生成P2O5，再用超純水噴淋吸收生成高純磷酸。該法缺點:損失較大，成本增加;而且由于磷具有自燃性，因此對設備材質、生產控制和操作人員要求較高，生產控制較難。磷化氫法黃磷在堿的作用下生成磷化氫，或由磷化鋅或磷化鋁水解生成磷化氫。精制磷化氫，然后將磷化氫負壓催化氧化熱分解制得高純磷，將高純磷再用純氧或潔凈空氣氧化成P2O5，再與超純水反應制得高純磷酸。該法生產工藝流程長、能耗高，故生產成本高，同時污染嚴重，而且還存在安全隱患。電滲析法將磷酸中的有機物預先用活性炭除去，然后在一定的電流密度下滲析，利用離子交換膜對離子選擇性透過的特性來分離磷酸中的雜質，得到精制磷酸。此法精制成本高，用來精制磷酸的工業(yè)化還有很多問題尚待解決，距實用階段尚有一定距離。冷卻結晶法是以濕法凈化磷酸或熱法磷酸為原料，加入晶種，在結晶和重結晶過程中采用梯度降溫方法，使磷酸以半水磷酸晶體形式析出，經過濾、洗滌，雜質離子留在母液中，再將晶體熔化即可得到電子級磷酸。該法操作條件溫和，不需專用結晶設備，能有效控制晶體粒度的大小。CompanyLogo雜質對電子級磷酸的影響生產具有穩(wěn)定的電氣特性和可靠性的電子元件和電路時，要求處理硅晶片的化學試劑非常純凈。不溶性固體顆?；蚪饘匐x子可能在微細電路之間導電，使之短路，幾個金屬離子或灰塵足以使線寬較小的IC報廢。為了避免硅晶片發(fā)生粒子污染，必須使用隔膜過濾器凈化到0.2μm粒度以下的電子級純度的化學試劑。這些雜質(有機物、堿金屬和其他離子等)非常有害,若附著在硅晶片表面，則將使PN結耐電壓降低，在PN結區(qū)引起反向漏電增加；若沉積在Si-SiO2界面處，易引起微等離子體擊穿。磷酸的原料磷礦石中含有的210Po、Bi、Pb、Ac等放射性雜質，若不除去，吸附或沉積在S基上則會發(fā)射射線，導致電子元件產生軟故障(存儲故障)。為降低半導體元件的軟故障次數(shù)，必須專用放射性雜質含量不大于10-3Bq/mL的電子級磷酸，還必須清除元件基材上沉積的放射性雜質。CompanyLogo電子級磷酸的檢測電子級磷酸的檢測較其他產品檢測主要包括金屬雜質、顆粒物。金屬雜質痕量的分析主要采用電感耦合等離子體－質譜(ICP－MS)、電感耦合等離子發(fā)射光譜儀(ICP－AES)為主，非金屬離子檢測應配備離子色譜儀，顆粒物采用激光散射法。國內新發(fā)布的GB/T28159-2011標準特點：（1）磷酸含量在85-87%；（2）25種金屬及非金屬的檢測項目；（3）分為E1級、E2級。CompanyLogo國外生產產能統(tǒng)計

目前，全球電子級磷酸產能約為500～600kt/a，東亞地區(qū)的產能大約占了其中的一半，國際上能生產電子級磷酸的廠家主要集中在日本、韓國、臺灣、美國、德國和俄羅斯，以日本、韓國、臺灣的生產商較多。國家公司名稱產能備注德國E.Merck--美國A-Baker--日本RASA2.6萬/噸-Nippon0.91萬/噸-Rinka1.05萬/噸-韓國DongWoo0.7萬/噸提供LGDC1.2萬/噸提供三星和LGFINECHEM--臺灣長春.中華.長新--CompanyLogo國內消費區(qū)分布圖中國電子級磷酸的消費區(qū)主要分布在：長江三角區(qū)、珠江三角區(qū)、渤海一帶。CompanyLogo國內主要廠家產能統(tǒng)計公司名稱產能（噸）/年備注四川成洪磷化工有限責任公司20000-貴州威頓晶磷電子材料有限公司10000-廣西宜州宜盛精細化工有限公司40000準電子級湖北興發(fā)化工集團股份有限公司100002011年通過RoHS

標準，獲歐盟準入云天化（集團）有限責任公司30000準電子級貴州甕福(集團)有限責任公司10002010年10月試車成功江蘇澄星磷化工股份有限公司20000準電子級湖北宜昌興福電子材料有限公司10000-其他--總計14.1-據(jù)不完全統(tǒng)計，國內生產準電子級以上的磷酸有超過14萬噸，但真正能生產電子級、能達到市場高端要求的廠家甚少。國內缺口估計在10萬噸以上。CompanyLogo電子磷酸2013年預計需求量近年來，隨著半導體芯片制造業(yè)和液晶顯示器制造業(yè)向中國轉移，特別是中國臺灣、日本和韓國等企業(yè)將在中國大陸投巨資建設液晶顯示器生產廠和晶圓代工廠，以滿足電視、電腦和移動通訊領域對液晶顯示器的需求，中國電子級磷酸的用量將會有大幅增長，這為中國電子級磷酸提供了極大的發(fā)展空間。國內需求15-16萬噸亞洲需求30萬噸韓國需求10萬噸CompanyLogo國內電子級磷酸特點ONETWOTHREEFOUR電子級磷酸關鍵技術長時間壟斷在美國、德國、日本等發(fā)達國家。我國總體技術水平落后于發(fā)達國家，而且，原材料的消耗以及生產成本普遍高于國外；

企業(yè)規(guī)模小，目前國內30多家磷酸生產企業(yè)，只有十幾家企業(yè)進行生產和銷售電子級磷酸，且規(guī)模均不大，企業(yè)主要集中在江蘇、四川；

國內生產的產品只能達到電子級磷酸低端產品要求，只能應用于電子工業(yè)的液晶顯示器生產上作清洗劑；由于專利技術等原因，致使我國IC、LED、TFT-LCD行業(yè)用的電子級磷酸長期依賴進口，而目前我國市場上的電子級磷酸供應商主要集中在日本、美國和德國；

研發(fā)電子級磷酸新技術，提高國內電子級磷酸產品質量，使產品應用于IC、LED、TFT-LCD等行業(yè)，擺脫長期依賴進口，將是我國電子級磷酸發(fā)展的方向。CompanyLogo電子級磷酸進出口現(xiàn)狀國內國外出口國內出口初級電子級磷酸產品給國外進口國內國外生產更高級別的電子級產品返銷國內國內出口量遠大于進口量從以上可以看出，電子級磷酸技術在國內可謂低水平狀態(tài)，國外出口的是他們的技術，并不是他們的資源。CompanyLogo電子級磷酸價格電子級磷酸的價格隨其質量的高低差異也較大,一般電子級磷酸約1~2萬元/噸,其金屬離子雜質總含量在1.68mg·L-1(1ppm)以下的高純電子級磷酸售價更高。近幾年，國內外磷酸價格受能源、原材料價格影響較大，國際市場價格約為15000元/噸，國內市場價格在10000元/t左右。電子級磷酸項目將提升磷酸毛利率電子級磷酸的門檻比較高，國內的電子級磷酸，尤其是IC級的磷酸基本上都是進口的。IC級磷酸價格在1.2-2萬元/噸，遠高于面板級磷酸價格。按照2013年國內電子級磷酸需求量16萬噸，其中面板級10萬噸(單價7000元/噸)，IC級6萬噸(單價15000元/噸)，市場合計約16億元。CompanyLogo電子級磷酸市場調研及決策我公司對電子級磷酸的了解不多，包括國內電子級磷酸的各項資料和信息較少，國際對電子級磷酸研究的也較少。因此，我們還需要對此產品繼續(xù)深入了解和研究?！旧钊胧袌稣{研】我國新發(fā)布的2011標準分為E1,和E2級別，兩種級別能否滿足國內各種電子市場要求？能否滿足國外的電子市場要求？與國外電子市場要求標準的差別是什么？需要我們進一步