化工企業(yè)硅芯車間管理標(biāo)準(zhǔn)及管理措施手冊(cè)（新）

化工企業(yè)硅芯車間管理標(biāo)準(zhǔn)及管理措施手冊(cè)1適用范圍硅芯拉制作業(yè)所涉及的人員、設(shè)備及作業(yè)環(huán)境。管理標(biāo)準(zhǔn)與管理措施管理對(duì)象（工種）：硅芯拉制任務(wù)開車前的準(zhǔn)備、開車操車、正常停車管理部門監(jiān)管人員任務(wù)1開車前的準(zhǔn)備所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備安裝就位并清洗合格；硅芯爐保壓已完成，設(shè)備具備使用條件；廠房?jī)?nèi)上下操作平臺(tái)，地面處理等均已結(jié)束；清理爐室確保無異物及粉塵，保證爐內(nèi)潔凈；確認(rèn)硅芯爐循環(huán)冷卻水泵工作正常；確認(rèn)板式換熱器工作正常，冷凍水進(jìn)水壓力為0.5MPa，脫鹽水進(jìn)水壓力為0.6MPa；打開硅芯爐循環(huán)冷卻水出水開關(guān)，然后打開硅芯循環(huán)冷卻水進(jìn)水開關(guān)，并確認(rèn)硅芯循環(huán)冷卻水壓力0.13～0.2MPa，進(jìn)水水溫23～28℃；確認(rèn)氬氣經(jīng)二級(jí)減壓閥組后進(jìn)入硅芯爐的壓力為0.2～0.3MPa；確認(rèn)真空泵能正常工作、真空泵排氣管道通暢；控制電源、高頻電源已送人硅芯廠房，設(shè)備具備帶電條件；硅芯爐單獨(dú)接地系統(tǒng)符合高頻設(shè)備接地要求，接地電阻≤1Ω。任務(wù)2開車操車所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)打開高頻及電控柜的總電源開關(guān)，啟動(dòng)高頻燈絲，使燈絲預(yù)熱3分鐘；調(diào)節(jié)功率電位器調(diào)至”0”位,調(diào)節(jié)上下軸升降和下軸旋轉(zhuǎn)電位器至”0”位并調(diào)至慢速；用脫脂紗布蘸上分析純的乙醇擦凈爐膛、上軸、籽晶轉(zhuǎn)盤、籽晶夾頭。用脫脂紗布沾上分析純的乙醇擦拭爐膛,窺視孔,線圈,下軸和基座硅棒夾頭；用潤滑油脂均勻涂抹于下軸上,并開動(dòng)下軸升降開關(guān),使其在連接處充分潤滑；帶上潔凈手套或用無塵紙取4個(gè)籽晶（長度為50mm）分別裝入4個(gè)籽晶夾頭中,擰緊夾頭后,其中1支直接裝入上軸飛機(jī)翅膀自動(dòng)夾頭中,其余3支放在籽晶轉(zhuǎn)盤中,取下手套,關(guān)閉并擰緊上爐門。帶上潔凈手套將硅芯料裝入基座硅棒夾頭中,將硅芯料的軸心和線圈中心同心，誤差≤1.5mm，取下籽晶夾頭，在籽晶上套上鉬絲，裝上籽晶夾頭，將籽晶鉬絲部位降到線圈中心，關(guān)閉并擰緊下爐門；裝料時(shí)不應(yīng)用力過大,以免造成下軸彎曲影響其穩(wěn)定運(yùn)行；關(guān)好爐門、關(guān)閉放空閥、真空球閥，打開真空泵、真空球閥將系統(tǒng)抽至10Pa以下；對(duì)設(shè)備進(jìn)行保真空，泄漏率10分鐘＜3Pa，設(shè)備真空度滿足要求。打開儀表盤上的手動(dòng)閥從0開始逐漸增大氬氣流量至2000～2500qnl/h，當(dāng)壓力表顯示爐內(nèi)壓力為0.04～0.08Mpa時(shí)關(guān)閉氬氣手動(dòng)閥。并重復(fù)進(jìn)行抽真空、保真空、充壓操作，以便達(dá)到所要求的保護(hù)氣的質(zhì)量。啟動(dòng)高頻：打開“燈絲開”預(yù)熱3分鐘→打開“高壓開”→調(diào)節(jié)“功率調(diào)節(jié)旋鈕”并觀察電流及電壓，正常后將板間電壓調(diào)至5kv左右進(jìn)入化料；啟動(dòng)高頻時(shí)若不正常則將功率調(diào)為零，關(guān)閉“高壓?！?，請(qǐng)相關(guān)專業(yè)人員檢測(cè)后方可重新啟動(dòng)“高壓開”）；透過下窺視孔觀察籽晶的亮度，當(dāng)籽晶發(fā)紅時(shí)用慢速電動(dòng)調(diào)節(jié)上軸保持籽晶不黑不流至籽晶在線圈上方，調(diào)節(jié)下軸至線圈下方2cm左右；將電壓調(diào)高0.5kv左右，將籽晶熔化的部分滴幾滴在硅料上面進(jìn)行預(yù)熱，適當(dāng)降低下軸防止加熱過快及受熱不均勻以致硅料受到應(yīng)力炸裂；當(dāng)硅料變紅時(shí)調(diào)節(jié)“功率調(diào)節(jié)”旋鈕至板壓6kv左右再調(diào)節(jié)下軸至合適位置，調(diào)節(jié)“功率調(diào)節(jié)”旋鈕時(shí)高頻電壓≤7.0KV；設(shè)置好上下軸上升速度，當(dāng)料凸起的部分光滑時(shí)將功率調(diào)小，調(diào)節(jié)上下軸至合適位置讓籽晶與硅料上熔化的部分相接觸同時(shí)打開上下軸傳動(dòng)開關(guān)（方向都向上）。調(diào)整拉制速度、供料速度、功率至最佳（狀態(tài)穩(wěn)定）中途要實(shí)時(shí)巡檢，直至一根硅芯拉制完成，設(shè)備拉制速度≤15mm/min；當(dāng)一根拉制完時(shí)停止上下軸移動(dòng)，同時(shí)停止上下轉(zhuǎn)動(dòng)，用點(diǎn)動(dòng)先將硅芯料向下調(diào)整讓硅芯料與硅芯分離開再調(diào)整上軸至合適位置；調(diào)整上軸上下至合適位置，采用手動(dòng)順時(shí)針調(diào)整籽晶轉(zhuǎn)盤換取籽晶，讓籽晶夾頭剛好放在轉(zhuǎn)盤上；向下調(diào)整上軸將拉好的硅芯放在轉(zhuǎn)盤上，反時(shí)針調(diào)整籽晶轉(zhuǎn)盤剛好將已裝好的籽晶頭嵌入籽晶托盤上，向上調(diào)整上軸將籽晶頭從轉(zhuǎn)盤中取出，順時(shí)針調(diào)整籽晶轉(zhuǎn)盤至合適位置，將籽晶下降自合適位置，重復(fù)(14～20)一爐拉制完成（籽晶用完、料用完、料歪等不能再繼續(xù)拉制等）才進(jìn)行開爐；調(diào)整下軸讓尾料遠(yuǎn)離線圈,防止熔化的硅沾住線圈。任務(wù)3正常停車所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)一爐硅芯拉制完成后首先將高頻調(diào)節(jié)電位器降至”0”位,使得下軸的溶區(qū)凝固后關(guān)閉高頻電源開關(guān),同時(shí)降低上軸的運(yùn)行速度；待關(guān)閉高頻一段時(shí)間后,打開真空泵、真空球閥排除爐中的氬氣；當(dāng)真空計(jì)顯示爐內(nèi)真空度≤10Pa時(shí),松動(dòng)緊固下爐門的擰手,關(guān)閉真空球閥、真空泵；打開放空閥平衡爐內(nèi)氣壓；當(dāng)內(nèi)外氣壓平衡后打開下爐門,戴上耐熱手套取出基座及尾料；打開上爐門,帶上潔凈手套,取出置于籽晶托盤上的硅芯，放置到硅芯儲(chǔ)槽；操作過程中要注意避免硅芯碰到硅芯爐的內(nèi)壁造成損壞；拉制完成關(guān)閉爐室燈,關(guān)閉電控柜總電源,關(guān)閉高頻柜電源,關(guān)閉電控柜電源,關(guān)閉循環(huán)冷卻水閥門和氬氣進(jìn)氣閥門。管理措施班組充分利用班前會(huì)，對(duì)本班次生產(chǎn)的情況、安全操作注意事項(xiàng)進(jìn)行重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)和講解；各崗位人員正確穿戴好勞動(dòng)保護(hù)用品，穿潔凈服后方能進(jìn)入崗位；接班后對(duì)工作范圍區(qū)域進(jìn)行全面的巡檢，主要檢查電氣狀況、冷卻水流量、氬氣流量是否達(dá)到要求，各連接頭是否有跑、冒、滴、漏現(xiàn)象發(fā)生；嚴(yán)格巡檢制度，按照規(guī)定及時(shí)、準(zhǔn)確的做好各監(jiān)測(cè)點(diǎn)的運(yùn)行參數(shù)；建立原材料使用記錄和成品入庫記錄；班組充分利用班后會(huì)，對(duì)本班次生產(chǎn)的情況、安全操作事項(xiàng)進(jìn)行總結(jié)和講解，總結(jié)生產(chǎn)、安全的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)；嚴(yán)格班組交接班工作，交班班長對(duì)本班次所進(jìn)行的工作、工作進(jìn)展情況、設(shè)備情況、遺留工作跟接班班長進(jìn)行交底；安全員加強(qiáng)巡查，抽查崗位監(jiān)控錄像，發(fā)現(xiàn)違章立即糾正；工段領(lǐng)導(dǎo)每周不定期的對(duì)崗位進(jìn)行檢查。管理對(duì)象（工種）：任務(wù)硅芯切割、硅芯底端或頂端打磨、硅棒的切斷和切樣、橫梁套孔管理部門監(jiān)管人員任務(wù)1硅芯切割所需工具圓盤切割機(jī)、卷尺管理標(biāo)準(zhǔn)檢查硅芯直徑為8～10mm，并且質(zhì)量符合硅芯要求；檢查設(shè)備電氣狀況良好，切割砂輪狀況良好，滿足設(shè)備開機(jī)條件（水、電）；裝夾加工件時(shí)小心夾住手指；調(diào)整硅芯切割點(diǎn)，切割硅芯加工長度2500mm；加工時(shí)要將防護(hù)罩罩好，以防水濺出；當(dāng)出現(xiàn)問題時(shí)，首先停止機(jī)床運(yùn)轉(zhuǎn)，等機(jī)床的運(yùn)動(dòng)部件停止后才可以處理問題；調(diào)整刀具或工件時(shí)應(yīng)停止運(yùn)動(dòng)部位，嚴(yán)禁在刀具運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量、調(diào)整和裝卸工件；在不知道情況的前提下不要輕易運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備；確認(rèn)設(shè)備停止后才能清理廢渣。任務(wù)2硅芯底端或頂端打磨所需工具硅芯磨錐機(jī)、游標(biāo)卡尺管理標(biāo)準(zhǔn)檢查設(shè)備電氣狀況良好，磨頭狀況良好，滿足設(shè)備開機(jī)條件（水、電）；安裝硅芯前要調(diào)整好刀具角度，刀具距離硅芯中心位置的尺寸；檢查調(diào)速器速度是否正常；裝夾加工件時(shí)小心夾住手指；將硅芯夾持于工作臺(tái)上固定，對(duì)切割的一段進(jìn)行錐度處理（錐度為1:33），長度為30mm；對(duì)無大頭的一端進(jìn)行打磨，打磨標(biāo)準(zhǔn)為直徑8mm，打磨長度70mm；加工時(shí)要將防護(hù)罩罩好，以防水濺出；當(dāng)出現(xiàn)問題時(shí)，首先停止機(jī)床運(yùn)轉(zhuǎn)，等機(jī)床的運(yùn)動(dòng)部件停止后才可以處理問題；調(diào)整刀具或工件時(shí)應(yīng)停止運(yùn)動(dòng)部位，嚴(yán)禁在刀具運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量、調(diào)整和裝卸工件；在不知道情況的前提下不要輕易運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備；確認(rèn)設(shè)備停止后才能清理廢渣。任務(wù)3硅棒的切斷和切樣所需工具機(jī)、游標(biāo)卡尺管理標(biāo)準(zhǔn)檢查設(shè)備電氣狀況良好，切割砂輪狀況良好，滿足設(shè)備開機(jī)條件（水、電）；檢查硅棒有無裂紋；裝夾加工件時(shí)小心夾住手指；先將硅棒切割成片再將硅片切割成硅條，硅條寬度和高度符合要求，硅條長度為230mm±5mm；加工時(shí)要將防護(hù)罩罩好，以防水濺出；當(dāng)出現(xiàn)問題時(shí)，首先停止機(jī)床運(yùn)轉(zhuǎn)，等機(jī)床的運(yùn)動(dòng)部件停止后才可以處理問題；調(diào)整刀具或工件時(shí)應(yīng)停止運(yùn)動(dòng)部位，嚴(yán)禁在刀具運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量、調(diào)整和裝卸工件；在不知道情況的前提下不要輕易運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備；確認(rèn)設(shè)備停止后才能清理廢渣。任務(wù)4橫梁套孔所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)檢查設(shè)備電氣狀況良好，機(jī)床轉(zhuǎn)頭狀況良好，滿足設(shè)備開機(jī)條件（水、電）；檢查橫梁有無裂紋，表面是否光滑；調(diào)整橫梁位置，保持兩孔與兩端距離基本相等，兩孔中心距為180～183±0.02mm；加工時(shí)要將防護(hù)罩罩好，以防水濺出；裝夾加工件時(shí)小心夾住手指；調(diào)整刀具或工件時(shí)應(yīng)停止運(yùn)動(dòng)部位，嚴(yán)禁在刀具運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量、調(diào)整和裝卸工件；拆卸時(shí)當(dāng)心硅條裂縫劃傷手指；在不知道情況的前提下不要輕易運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備；當(dāng)出現(xiàn)問題時(shí)，首先停止機(jī)床運(yùn)轉(zhuǎn)，等機(jī)床的運(yùn)動(dòng)部件停止后才可以處理問題；確認(rèn)設(shè)備停止后才能清理廢渣。管理措施操作人員應(yīng)經(jīng)專業(yè)技術(shù)培訓(xùn)，并經(jīng)考試合格后才能上崗進(jìn)行運(yùn)行作業(yè)；各崗位人員進(jìn)行操作時(shí)必須正確穿戴好勞動(dòng)保護(hù)用品（穿好工作服裝、戴好口罩、戴好耳罩，女工要將長發(fā)盤起并戴好工作帽，做好相應(yīng)的防護(hù)措施）并且不能佩戴項(xiàng)鏈、手鏈等裝飾品；嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程和作業(yè)指導(dǎo)書，不得違章操作；設(shè)備啟動(dòng)前，先檢查設(shè)備的接地情況，保證有良好的接地；班組充分利用班后會(huì)，對(duì)本班次生產(chǎn)的情況、安全操作事項(xiàng)進(jìn)行總結(jié)和講解，總結(jié)生產(chǎn)、安全方面的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)；安全員加強(qiáng)巡查，發(fā)現(xiàn)違章立即糾正；工段領(lǐng)導(dǎo)每周不定期的對(duì)崗位進(jìn)行檢查。管理對(duì)象（工種）：任務(wù)開車前準(zhǔn)備、EDI裝置啟動(dòng)前確認(rèn)、脫氣裝置啟動(dòng)前確認(rèn)、終端循環(huán)處理系統(tǒng)啟動(dòng)前確認(rèn)、EDI裝置開車操作、脫氣裝置啟動(dòng)、終端循環(huán)處理系統(tǒng)、停車操作管理部門監(jiān)管人員任務(wù)1開車前準(zhǔn)備所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備清潔和充分保養(yǎng)，地面整潔，具備超純水開車要求；水處理間通風(fēng)狀況良好；設(shè)備絕緣電阻，接地接零電阻測(cè)試完成結(jié)果合格；檢查控制柜內(nèi)部回路、控制回路、儀表回路等電源開關(guān)是否在“ON”位置；檢查控制柜板面上各選擇開關(guān)是否打在所需位置，指示燈指示是否正常；脫鹽水箱、氮封水箱，已徹底清理干凈；檢查電動(dòng)蝶閥控制開關(guān)工作是否正常，原水箱液位低報(bào)警是否正常；脫鹽水箱水質(zhì)符合EDI進(jìn)水要求。任務(wù)2EDI裝置啟動(dòng)前確認(rèn)所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)MK-3STACK端板間尺寸已檢查合格；管路系統(tǒng)已徹底沖洗干凈；電氣部分已檢查確認(rèn)正常；所有閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；EDI控制柜系統(tǒng)狀態(tài)選擇開關(guān)已打在“手動(dòng)（HAND）”位置；EDI控制柜總電源開關(guān)（POWERSWITCH）已打在“ON”位置；所有安全檢查項(xiàng)目已完成；啟動(dòng)前首先進(jìn)行淡水、濃水回路充水排氣工作；啟動(dòng)純水增壓泵后應(yīng)保持MK-3STACK進(jìn)水壓力小于0.21Mpa（40PSI）以確保EDI模堆緩慢充水；當(dāng)濃水排放、產(chǎn)水管，出現(xiàn)連續(xù)水流（無氣泡）時(shí)，補(bǔ)水排氣完畢；手動(dòng)打開淡水排放水閥并保持其10～20%開度，稍開淡水進(jìn)水閥，啟動(dòng)中間水泵A/B，然后緩慢打開淡水進(jìn)水閥，淡水產(chǎn)水閥至產(chǎn)水流量25M3/H；打開濃水進(jìn)水閥至10～20%，打開濃水排放閥至流量為產(chǎn)水流量的5～10%，緩慢調(diào)節(jié)濃水進(jìn)水閥、濃水排放閥、淡水進(jìn)水閥、淡水產(chǎn)水閥使?jié)馑M(jìn)水壓力比淡水產(chǎn)水壓力低0.014～0.035Mpa（2～5PSI），濃水排放壓力比淡水分階進(jìn)水壓力低0.014～0.035Mpa（2～5PSI）；極水流量：624L/H，淡水產(chǎn)水流量：19.2～26M3/H；調(diào)節(jié)回收率在85～90%之間，回收率的調(diào)節(jié)應(yīng)以產(chǎn)水品質(zhì)最佳為準(zhǔn)；淡水出口壓力比濃水進(jìn)口壓力高0.035～0.07MPa；電流的調(diào)節(jié)應(yīng)以產(chǎn)水品質(zhì)最佳為準(zhǔn)，在產(chǎn)水水質(zhì)滿足要求的情況下，電流越小越好；EDI系統(tǒng)經(jīng)手動(dòng)操作啟動(dòng)，并且所有流量和壓力已設(shè)定好，才可以開始向下道工序供水。任務(wù)3脫氣裝置啟動(dòng)前確認(rèn)所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)工藝運(yùn)行所經(jīng)管路上相關(guān)閥門必須按要求進(jìn)行開、閉測(cè)試，確認(rèn)閥門運(yùn)行良好；檢查脫氣裝置進(jìn)水溫度不超過40℃，吹掃用高純氮?dú)鉁囟炔怀^25℃，且水溫與氮?dú)獾臏夭畈荒艽笥?5℃；檢查并確認(rèn)真空泵水路及氣路入口手動(dòng)閥門已全開，出口手動(dòng)閥門在適當(dāng)開度。任務(wù)4終端循環(huán)處理系統(tǒng)啟動(dòng)前確認(rèn)所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)確認(rèn)純水箱液位高于低液位，泵方能啟動(dòng)純水增壓泵；確認(rèn)進(jìn)水壓力已達(dá)到低壓開關(guān)復(fù)位壓力設(shè)定值，方能啟動(dòng)高純水變頻泵。任務(wù)5EDI裝置開車操作所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)手動(dòng)啟動(dòng)基本程序如下：a、原水箱充滿合格EDI進(jìn)水水質(zhì)；b、建立設(shè)定淡水流量；c、建立設(shè)定濃水排放流量；d、設(shè)定濃水進(jìn)口壓力；e、設(shè)定濃水出口壓力；f、建立設(shè)定極水流量；正常運(yùn)行時(shí)，產(chǎn)水管道兩電動(dòng)閥，必須有一個(gè)是處于開啟狀態(tài)；當(dāng)系統(tǒng)經(jīng)手動(dòng)操作啟動(dòng)，并且所有流量和壓力已設(shè)定好，則系統(tǒng)必須切斷才能在自動(dòng)狀態(tài)下重新啟動(dòng)運(yùn)行；自動(dòng)運(yùn)行前停止EDI增壓泵；系統(tǒng)手動(dòng)啟動(dòng)基本程序如下：a、將EDI控制柜系統(tǒng)狀態(tài)選擇開關(guān)由“手動(dòng)”打至“自動(dòng)”位置；b、將總控制柜系統(tǒng)狀態(tài)選擇開關(guān)打至“自動(dòng)”位置，按下總控制柜“系統(tǒng)啟動(dòng)”按鈕，系統(tǒng)將在PLC控制下自動(dòng)啟動(dòng)運(yùn)行。任務(wù)6脫氣裝置啟動(dòng)所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)開機(jī)時(shí)，先打開裝置水路進(jìn)口及出口閥門，再開氮?dú)庀到y(tǒng)及真空泵；脫氣膜裝置投入運(yùn)行前要打開頂部排氣閥對(duì)脫氣膜裝置進(jìn)行充水排氣；調(diào)節(jié)脫氣進(jìn)水閥，保證脫氣膜裝置進(jìn)水壓力低于0.65Mpa；調(diào)節(jié)脫氣裝置進(jìn)出口閥門，使脫氣裝置產(chǎn)水流量為28T/h，產(chǎn)水壓力為0.35Mpa；調(diào)節(jié)氮?dú)鉁p壓閥，保持氮?dú)鈮毫?.0069Mpa；啟動(dòng)真空泵后，調(diào)節(jié)流量計(jì)后針型閥,使進(jìn)氣流量為氮?dú)膺M(jìn)氣流量為1.5m3/h，氮?dú)饬髁恳援a(chǎn)水DO達(dá)到要求為目的；調(diào)節(jié)循環(huán)水管路相應(yīng)閥門使氣液分離器內(nèi)水位平衡；運(yùn)行時(shí)膜元件液相的壓力必須總是高于膜元件氣相的壓力；關(guān)機(jī)程序與開機(jī)程序相反，先停真空泵及氮?dú)庀到y(tǒng)，再切斷裝置水路出口及進(jìn)口閥門。任務(wù)7終端循環(huán)處理系統(tǒng)所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)?shù)饧兯湟何桓哂诘鸵何粫r(shí)，手動(dòng)啟動(dòng)純水增加泵，啟前打開出口閥門水；高純水變頻泵操作方式為自動(dòng)，其啟動(dòng)條件為泵前低壓開關(guān)控制，當(dāng)?shù)蛪洪_關(guān)2KG時(shí)啟動(dòng)，低壓開關(guān)復(fù)位壓力設(shè)定為0.5KG/CM（暫定，可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況調(diào)整）時(shí)，低于0.5KG壓力變頻泵停止。任務(wù)8停車操作所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)系統(tǒng)在自動(dòng)模式下運(yùn)行時(shí)，按下總控制柜“系統(tǒng)停止”按鈕，則系統(tǒng)在PLC控制下按程序自動(dòng)執(zhí)行停機(jī)操作；當(dāng)系統(tǒng)停機(jī)后，如不準(zhǔn)備在短時(shí)間內(nèi)再次啟動(dòng)，則將電源開關(guān)打至停止位置，并將產(chǎn)水閥、濃水排放閥、極水排放閥、回流閥門關(guān)閉；EDI裝置停機(jī)時(shí)間超過三天，則應(yīng)視作長期停機(jī)，此時(shí)應(yīng)進(jìn)行相應(yīng)預(yù)防措施以阻止停機(jī)存放過程中的微生物繁殖污染；停車后的工作主要為更換樹脂、濾芯和清洗EDI模塊。管理措施各崗位人員進(jìn)行操作時(shí)必須正確穿戴好勞動(dòng)保護(hù)用品；上班后對(duì)工作范圍區(qū)域進(jìn)行全面的巡檢，主要檢查電氣狀況、冷卻水流量、氬氣流量是否達(dá)到要求，各連接頭是否有跑、冒、滴、漏現(xiàn)象發(fā)生；嚴(yán)格巡檢制度，按照規(guī)定及時(shí)、準(zhǔn)確的做好各監(jiān)測(cè)點(diǎn)的運(yùn)行參數(shù)的記錄；崗位人員要嚴(yán)格按照安全操作規(guī)程和作業(yè)指導(dǎo)書進(jìn)行操作；班組充分利用班后會(huì)，對(duì)本班次生產(chǎn)的情況、安全操作事項(xiàng)進(jìn)行總結(jié)和講解，總結(jié)生產(chǎn)、安全的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)；安全員加強(qiáng)巡查，抽查崗位監(jiān)控錄像，發(fā)現(xiàn)違章立即糾正；工段領(lǐng)導(dǎo)每周不定期的對(duì)崗位進(jìn)行檢查。1.1.4管理對(duì)象（工種）：硅芯腐蝕清洗管理部門監(jiān)管人員任務(wù)1開車前準(zhǔn)備所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)檢查機(jī)械臂運(yùn)行情況，調(diào)整運(yùn)行速度及各位置的運(yùn)行開關(guān)，保證機(jī)械臂運(yùn)行平穩(wěn)，定位安全可靠；調(diào)整自動(dòng)蓋運(yùn)行位置，保證其開啟和關(guān)閉動(dòng)作良好；檢查設(shè)備各閥門動(dòng)作是否正常，氣密性是否良好，各單元的加熱、降溫、抽空是否準(zhǔn)備好；檢查各單元手動(dòng)操作情況工作正常；檢查硅芯、橫梁、基座料達(dá)到要求：硅芯（Φ8～10）*（2100～2800）mm，橫梁（Φ8～10）*（200～280）mm，基座料（Φ35～50）*（400～600）mm檢查供酸系統(tǒng)（HF和HNO3）工作正常，氫氟酸含量達(dá)到48.8％～49.2％，硝酸含量達(dá)到69.8％～71％；檢查供氮?dú)庀到y(tǒng)工作正常，氮?dú)鈮毫?.5±0.5kg/cm2，純度≥99.999％,氧及氧化物含量≤1ppm；檢查供壓縮空氣系統(tǒng)工作正常；檢查超純水系統(tǒng)工作正常，超純水達(dá)到如下指標(biāo)：電阻率＞18MΩ*cm(25℃),溫度22±2℃,陰離子＜500ppt,金屬粒子＜500ppt,SiO2＜20ppb,O2＜100ppb,總有機(jī)碳＜20ppb,顆粒數(shù)＜5000/L(＞0.1μ)檢查排風(fēng)系統(tǒng)工作正常；對(duì)硅芯數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，并掛牌標(biāo)識(shí)。任務(wù)2所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)一次13根硅芯的原則將硅芯放在上料口處的卡槽上；裝料過程中可以調(diào)整卡槽兩個(gè)水平支架之間的距離和卡槽圓弧的大小，使得硅芯能夠穩(wěn)固的放在上邊；機(jī)械臂將裝著硅芯的擦考浸入混合酸槽中，此過程必須要很平穩(wěn)。任務(wù)3所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)HF和HNO3進(jìn)入酸洗槽的比例由PLC控制系統(tǒng)按比值1:5設(shè)定，可根據(jù)實(shí)際情況適當(dāng)變化；硅芯浸入混合酸后，需要上下的抖動(dòng)硅芯，讓硅芯表面和酸能充分的接觸；控制酸槽腐蝕時(shí)間：30～45s，酸槽溫度控制：25～40℃；期間不允許打開自動(dòng)門，防止酸霧泄露出來。任務(wù)4所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械臂將物料從酸洗槽移動(dòng)到水洗槽的速度要迅速，移動(dòng)速率由PLC進(jìn)行調(diào)節(jié)，控制硅芯從酸洗槽取出后迅速放入純水槽時(shí)間一般是3.5～4秒左右；物料進(jìn)入純水槽之后，用一定壓力的純水進(jìn)行沖洗。一般使用PLC操作，沖洗操作有：注水、噴水、鼓氮、排液；待到一定時(shí)間的純水沖洗之后，往水洗槽中注滿純水進(jìn)行溢流漂洗；溢流漂洗過程可以進(jìn)行多次，直到PH檢測(cè)儀測(cè)試出PH值為7.0附近。任務(wù)5所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)水洗達(dá)到要求后，機(jī)械臂將硅芯送入氮?dú)馇兴?；氮?dú)鈺?huì)以設(shè)定好的壓力上下橫向移動(dòng)吹掃硅芯，直到清除掉硅芯上的水份；氮?dú)獯祾叩臅r(shí)間和在槽內(nèi)循環(huán)移動(dòng)的次數(shù)都可通過PLC進(jìn)行設(shè)置；氮?dú)獯祾邷囟葹槌?，氮?dú)獯祾邥r(shí)間≥180s。任務(wù)6所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械手臂從氮?dú)馇兴壑腥〕隹ú?，使用干凈且無破損的手套，從卡槽中將硅芯取出，一般一次取6～7根；取硅芯過程中需要倍加小心，防止硅芯斷裂；若發(fā)現(xiàn)有擺放不整齊的可以一根一根的?。蝗〕龉栊竞笞屑?xì)檢查硅芯，看有無雜質(zhì)、酸斑或者掉牌的硅芯；合格且標(biāo)識(shí)完整的硅芯找出和號(hào)碼牌對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)根據(jù)最大電阻從小到大抄錄入硅芯交接清單，作為還原工序配置硅芯的依據(jù)裝入儲(chǔ)存箱；不合格產(chǎn)品選出來后再次進(jìn)行清洗。任務(wù)7所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)停車后應(yīng)依次對(duì)每個(gè)槽進(jìn)行殘留物的排除和清洗,以便下一輪的生產(chǎn)；打開酸洗槽中排酸閥,對(duì)酸洗槽中的酸液進(jìn)行排除,用純水對(duì)酸洗槽進(jìn)行清洗；超純水沖洗槽需排除其中存留的廢水,并對(duì)其進(jìn)行沖洗.然后注滿水等待下一輪的沖洗和溢流；對(duì)于氮?dú)馇兴墼谠摬僮魍瓿珊缶蛻?yīng)及時(shí)關(guān)閉氮?dú)忾y門,打開截止閥開關(guān)，并清除掉槽中殘留的液體；如果這輪清洗完成后不再進(jìn)行清洗操作,應(yīng)關(guān)閉PLC控制系統(tǒng),并關(guān)閉電源開關(guān),關(guān)閉各處供應(yīng)閥門.管理措施班組充分利用班前會(huì)，對(duì)本班次生產(chǎn)的安全操作注意事項(xiàng)進(jìn)行重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)和講解；各崗位人員正確穿戴好潔凈服方能進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)；生產(chǎn)前崗位人員應(yīng)檢查在生產(chǎn)中所涉及需用的設(shè)備、設(shè)施、工具以及環(huán)境等檢查，各連接頭是否有跑、冒、滴、漏現(xiàn)象發(fā)生，確認(rèn)完好無誤后才能開啟設(shè)備；崗位人員要嚴(yán)格按照安全操作規(guī)程和作業(yè)指導(dǎo)書進(jìn)行操作；班組充分利用班后會(huì)，對(duì)本班次生產(chǎn)的情況、安全操作事項(xiàng)進(jìn)行總結(jié)和講解，總結(jié)生產(chǎn)、安全的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)；安全管理人員或班組長現(xiàn)場(chǎng)加強(qiáng)巡查、監(jiān)督，發(fā)現(xiàn)不按工作標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行操作的，給予立即糾正、教育或考核；工段領(lǐng)導(dǎo)不定期的對(duì)崗位進(jìn)行檢查。1.1.5管理對(duì)象（工種）：硅塊腐蝕清洗管理部門監(jiān)管人員任務(wù)1開車前準(zhǔn)備所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)檢查設(shè)備各部位的閥門工作正常,各處管道有無泄露情況發(fā)生；檢查機(jī)械臂運(yùn)行情況，調(diào)整運(yùn)行速度及各位置的運(yùn)行開關(guān)，保證機(jī)械臂運(yùn)行平穩(wěn)，定位安全可靠；調(diào)整自動(dòng)蓋運(yùn)行位置，保證其開啟和關(guān)閉動(dòng)作良好；檢查設(shè)備各閥門動(dòng)作是否正常，氣密性是否良好，各單元的加熱、降溫、抽空是否準(zhǔn)備好；檢查各單元手動(dòng)操作情況工作正常；檢查供酸系統(tǒng)（HF和HNO3）工作正常，氫氟酸含量達(dá)到48.8％～49.2％，硝酸含量達(dá)到69.8％～71％，供酸的流量能否達(dá)到所需要求；檢查供氮?dú)庀到y(tǒng)工作正常，氮?dú)鈮毫?.5±0.5kg/cm2，純度≥99.999％,氧及氧化物含量≤1ppm；檢查超純水系統(tǒng)工作正常，超純水達(dá)到如下指標(biāo)：電阻率＞18MΩ.cm(25℃),溫度22±2℃,陰離子＜500ppt,金屬粒子＜500ppt,SiO2＜20ppb,O2＜100ppb,總有機(jī)碳＜20ppb,顆粒數(shù)＜5000/L(＞0.1μ)檢查排風(fēng)系統(tǒng)工作正常；檢查氣體循環(huán)系統(tǒng)和真空槽的氣密性良好；檢查真空槽的抽真空單元,加熱單元運(yùn)行良好；檢查清洗槽和超聲槽的降溫冷卻水循環(huán)系統(tǒng)工作正常；檢查PLC控制系統(tǒng)對(duì)每個(gè)單元能否準(zhǔn)確控制；檢查超聲系統(tǒng)能否正常工作；檢查排風(fēng)系統(tǒng)正常工作,抽氣速率滿足排全去除酸洗所產(chǎn)生的NO、NO2的要求。任務(wù)2所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)破碎后大小合格的待洗的硅塊按照10～13Kg一次的量裝于提籃中,然后將提籃至于送料口的傳送軌道上；待提籃放置正確后按動(dòng)設(shè)備啟動(dòng)按鈕,提籃隨著傳送軌道到達(dá)1#機(jī)械手臂能夠提升的位置,傳送至機(jī)械臂提籃的時(shí)間由設(shè)定的參數(shù)來完成；傳送過程中由于設(shè)備或者設(shè)置的原因造成傳送時(shí)間不準(zhǔn)確的情況時(shí)可以按急停按鈕來停止當(dāng)前的操作。任務(wù)3所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)HF和HNO3進(jìn)入酸洗槽的比例由PLC控制系統(tǒng)按比值1:5設(shè)定，可根據(jù)實(shí)際情況適當(dāng)變化；1#機(jī)械手臂快速將裝有硅塊的提籃放入酸槽中，酸槽腐蝕時(shí)間為60s，酸槽控制溫度在25～40℃；期間不允許打開自動(dòng)門，防止酸霧泄露出來。任務(wù)4所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)酸洗后的硅塊由1#機(jī)械手臂快速將提籃放入1#超純水溢流槽中；超純水按設(shè)定值以一定的壓力和流量從兩個(gè)噴淋頭噴淋至待洗的硅塊；溢流時(shí)需對(duì)超純水溢流槽進(jìn)行氮?dú)夤呐?，氮?dú)夤呐莸膲毫Ρ仨氝_(dá)到所需的要求；1＃純水槽溢流時(shí)間為180s，純水溢流次數(shù)在3次以上；溢流后要達(dá)到去除硅塊表面殘留的雜質(zhì)及PH值達(dá)到中性為止。任務(wù)5所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)過1＃純水槽清洗的硅塊由1#機(jī)械臂提起后快速放入HF槽中進(jìn)行清洗；清洗時(shí)間在PLC上進(jìn)行設(shè)置，HF槽腐蝕時(shí)間為40s。任務(wù)6所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)酸洗后的硅塊由1#機(jī)械手臂快速將提籃放入1#超純水溢流槽中；超純水按設(shè)定值以一定的壓力和流量從兩個(gè)噴淋頭噴淋至待洗的硅塊；溢流時(shí)需對(duì)超純水溢流槽進(jìn)行氮?dú)夤呐?，氮?dú)夤呐莸膲毫Ρ仨氝_(dá)到所需的要求；1＃純水槽溢流時(shí)間為180s，純水溢流次數(shù)在3次以上；溢流后要達(dá)到去除硅塊表面殘留的雜質(zhì)及PH值達(dá)到中性為止。任務(wù)7所需工具管理標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)過2#溢流槽處理的硅塊通過純水鎖進(jìn)入超聲槽中,PL