半導(dǎo)體設(shè)備零配件清洗技術(shù)規(guī)范征求意見稿

1T/CASMEXXXX—XXXX半導(dǎo)體設(shè)備零配件清洗技術(shù)規(guī)范本文件規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備零配件清洗的一般要求、表面處理、化學(xué)清洗流程、外觀面檢驗(yàn)、標(biāo)識、包裝和貯存。本文件適用于沒有經(jīng)過噴漆或電鍍的半導(dǎo)體設(shè)備零配件的清洗工藝。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T7814工業(yè)用異丙醇GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級GB/T39293工業(yè)清洗術(shù)語和分類3術(shù)語和定義GB/T39293界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1外觀面cosmetic4一般要求4.1人員應(yīng)滿足如下要求：a)掌握環(huán)境保護(hù)和職業(yè)健康安全相關(guān)的基礎(chǔ)知識，能應(yīng)急解決工藝過程中可能出現(xiàn)的問題；b)了解企業(yè)的管理制度，自覺遵守人員著裝和污染防控的各項(xiàng)規(guī)定；c)熟練掌握工藝設(shè)備和儀器的操作方法；d)按照工藝要求進(jìn)行操作，并填寫相關(guān)記錄。4.2工作場所應(yīng)滿足如下要求：a)整潔有序，有良好的照明條件；b)工作臺面保持干凈，物料擺放有序、整齊，所用設(shè)備儀器保持干凈整潔；c)具有良好的通風(fēng)設(shè)施，保持不間斷良好通風(fēng)，墻面、地面、照明燈進(jìn)行防腐處理。4.3材料2T/CASMEXXXX—XXXX4.3.1物料4.3.1.1所有物料應(yīng)按相關(guān)儲(chǔ)存條件分類存放，并進(jìn)行標(biāo)識。4.3.1.2物料應(yīng)在有效期內(nèi)使用。4.4儀器和設(shè)備4.4.1設(shè)備應(yīng)每年至少進(jìn)行1次檢定，儀器應(yīng)每年至少進(jìn)行2次計(jì)量校準(zhǔn)。4.4.2儀器和設(shè)備均應(yīng)在有效期內(nèi)使用。4.5安全和環(huán)保4.5.1安全應(yīng)滿足如下規(guī)定：a)設(shè)備電源可靠接地，設(shè)備的水、電、氣系統(tǒng)定期進(jìn)行安全檢查；b)操作人員工作前穿戴好防護(hù)用品，按設(shè)備操作規(guī)程進(jìn)行操作；c)工作時(shí)打開通風(fēng)裝置，通風(fēng)裝置正常工作。4.5.2環(huán)保零配件清洗完成后，廢液應(yīng)分類回收，并放入相應(yīng)的專用廢液容器中集中處理。5表面處理5.1設(shè)備及材料使用的設(shè)備及材料如下：a)砂磨機(jī)，轉(zhuǎn)速10000RPM；b)砂紙，120目、220目、320目；c)工業(yè)百潔布；d)異丙醇，工業(yè)用異丙醇及以上，符合GB/T7814的規(guī)定；e)軟布或潔凈布。5.2等級劃分零配件的表面處理按照應(yīng)用的不同分為表1中的等級。表1零配件表面處理等級該面暴露于晶片反應(yīng)流程或晶片輸送場合，是腔體內(nèi)5.3處理方法5.3.1.1細(xì)微拋光使用220目或320目的砂紙進(jìn)行打磨，消除加工印跡及痕跡，所有面應(yīng)成均勻一致的順滑連接。3T/CASMEXXXX—XXXX5.3.1.2擦洗使用浸泡過去脂油的軟布擦拭所有表面。5.3.1.3最后拋光使用工業(yè)百潔布再次進(jìn)行打磨，消除加工印跡及痕跡。5.3.1.4再次擦洗再次使用浸泡過去脂油的軟布擦所有表面。5.3.2.1修整方向使用220目或320目砂紙按圖紙定義的方向消除加工印跡或痕跡，應(yīng)無橫向痕跡。5.3.2.2最后修整使用工業(yè)百潔布打磨所有面直至方向如圖紙標(biāo)識。一般方向與“O”型環(huán)一致。5.3.2.3擦洗并檢查使用浸泡過異丙醇的軟布擦拭零配件表面，直至顯示其金屬本色。檢查并確認(rèn)表面紋路為單向。如擦干后目視檢查表面仍有污物痕跡，可重復(fù)清洗，直到表面潔凈為止。5.3.3.1粗拋使用砂磨機(jī)裝120目砂紙，用圓周軌跡打磨整個(gè)面消除加工痕跡。5.3.3.2中拋使用砂磨機(jī)裝220目砂紙，用圓周軌跡打磨整面消除粗拋留下的打磨痕跡。5.3.3.3終拋使用砂磨機(jī)裝320目砂紙，用圓周軌跡打磨整面消除中拋留下的打磨痕跡。5.3.3.4最終處理使用工業(yè)百潔布以圓周運(yùn)動(dòng)振動(dòng)表面，所有表面的狀態(tài)應(yīng)均勻一致。如有要求，應(yīng)圓滑連接相關(guān)表面。5.3.3.5擦洗使用浸泡過異丙醇的軟布擦拭零配件表面，直至顯示其金屬本色。如擦干后目視檢查表面仍有污物痕跡，可重復(fù)清洗，直到表面潔凈為止。5.4處理要求5.4.1所有成品表面應(yīng)光滑、連續(xù)，狀態(tài)均勻一致，無加工痕跡及印跡。5.4.2成品的尺寸應(yīng)符合設(shè)計(jì)圖紙規(guī)定。5.4.3成品表面粗糙度應(yīng)符合設(shè)計(jì)圖紙規(guī)定，如無規(guī)定，應(yīng)不超過0.8μm。4T/CASMEXXXX—XXXX6化學(xué)清洗流程6.1等級劃分零配件清洗作業(yè)按照重要性可分為表2中的三個(gè)等級。表2零配件清洗作業(yè)等級6.2清洗步驟6.2.1.1脫脂按脫脂劑說明書的規(guī)定將零配件浸泡在脫脂劑中，脫脂劑應(yīng)加熱至55℃~75℃,或符合說明書的相關(guān)規(guī)定。6.2.1.2漂洗在23℃~25℃的環(huán)境溫度下將零配件浸泡在電阻率不低于200kΩ·cm的純水中進(jìn)行漂洗，漂洗時(shí)間根據(jù)零配件尺寸及結(jié)構(gòu)決定，直至去除所有脫脂劑。盲孔、未焊接縫、深孔等不易清洗的地方，宜使用高壓水噴淋漂洗。6.2.1.3酸洗在23℃~25℃的環(huán)境溫度下將零配件浸泡在硝酸/氫氟酸混合液中，浸泡時(shí)間15s～45s。硝酸/氫氟酸混合液的配比應(yīng)為20％體積比的硝酸、1％～3％體積比的氫氟酸，其余為水。應(yīng)提前以重量比稀釋酸劑，硝酸為70％硝酸兌30％去離子水，氫氟酸為50％氫氟酸兌50％去離子水?？刹捎盟〖訜崴釀?，溫度應(yīng)保持穩(wěn)定。6.2.1.4漂洗在23℃~25℃的環(huán)境溫度下將零配件浸泡在電阻率不低于200kΩ·cm的純水中進(jìn)行漂洗，漂洗時(shí)間根據(jù)零配件尺寸及結(jié)構(gòu)決定，直至去除所有酸溶液。盲孔、未焊接縫、深孔等不易清洗的地方，宜使用高壓水噴淋漂洗。6.2.1.5去酸清洗在23℃~25℃的環(huán)境溫度下將零配件浸泡在50％體積比的硝酸溶液中30s～60s,對酸進(jìn)行循環(huán)過濾。應(yīng)提前以重量比稀釋酸劑，硝酸為70％硝酸兌30％去離子水。6.2.1.6再次漂洗按下列步驟進(jìn)行：a)重復(fù)步驟6.2.1.4；5T/CASMEXXXX—XXXXb)在23℃~25℃的環(huán)境溫度下將零配件浸泡在電阻率低于2MΩ·cm的純水中5min～10min。6.2.1.7超聲波清洗在23℃~25℃的環(huán)境溫度下將零配件浸泡在電阻率低于2MΩ·cm的純水中，超聲清洗機(jī)功率調(diào)節(jié)至40W～100W，清洗時(shí)間宜為5min～10min，具體時(shí)間應(yīng)按零配件尺寸及結(jié)構(gòu)確定。6.2.1.8噴淋清洗應(yīng)在不低于GB/T25915.1—2021表1中ISO6級的潔凈環(huán)境中進(jìn)行，零配件應(yīng)浸泡在電阻率低于2MΩ·cm的純水中進(jìn)行噴淋，噴淋時(shí)間按零配件尺寸及結(jié)構(gòu)來確定。6.2.1.9干燥應(yīng)在不低于GB/T25915.1—2021表1中ISO6級的潔凈環(huán)境中進(jìn)行，用經(jīng)過0.1μm過濾器過濾過的氮?dú)鈱⒘闩浼蹈伞?.2.2.1脫脂按6.2.1.1的步驟進(jìn)行。6.2.2.2漂洗按6.2.1.2的步驟進(jìn)行。6.2.2.3酸洗按6.2.1.3的步驟進(jìn)行。6.2.2.4漂洗按6.2.1.4的步驟進(jìn)行。6.2.2.5去酸清洗按6.2.1.5的步驟進(jìn)行。6.2.2.6再次漂洗按6.2.1.6的步驟進(jìn)行。6.2.2.7熱漂洗將零配件浸泡在不低于1MΩ·cm的純水中漂洗5min～10min，加熱水溫至40℃~45℃并保持。漂洗時(shí)應(yīng)使零配件來回運(yùn)動(dòng)。6.2.2.8噴淋漂洗按6.2.1.8的步驟進(jìn)行。6.2.3干燥按6.2.1.9的步驟進(jìn)行。6T/CASMEXXXX—XXXX6.2.4.1脫脂按6.2.1.1的步驟進(jìn)行。6.2.4.2漂洗按6.2.1.6的步驟進(jìn)行。6.2.4.3熱漂洗按6.2.2.7的步驟進(jìn)行。6.2.4.4干燥按6.2.1.9的步驟進(jìn)行。7外觀面檢驗(yàn)7.1等級劃分按照最終使用者對最終產(chǎn)品的看到頻率的不同分為如下三類：a)Ⅰ級：高頻率看到或關(guān)鍵外觀面；b)Ⅱ級：代表性的或一般外觀面；c)Ⅲ級：很少看到的或隱藏面。7.2檢驗(yàn)方法7.2.1目視環(huán)境使用光照度范圍850lx～1300lx的非單一光源進(jìn)行檢查，光源與外觀面的檢驗(yàn)角度為0°~7.2.2檢驗(yàn)距離與時(shí)間應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3檢驗(yàn)距離與時(shí)間5>600×600×600537.2.3判定規(guī)則經(jīng)清洗后的零配件與標(biāo)準(zhǔn)樣件比對，應(yīng)呈材料本色，表面無水滴或任何形態(tài)的水印殘留。允許的外觀面瑕疵應(yīng)符合表4的規(guī)定。7T/CASMEXXXX—XXXX表4允許的外觀面瑕疵1個(gè)0.1mm×2mm1個(gè)0.1mm×5mm2個(gè)0.1mm×5mm注1：污點(diǎn)是指材料固有雜質(zhì)或由不恰當(dāng)?shù)奶幚硪?：劃傷是指由操作不當(dāng)導(dǎo)致的，由硬物注3：凹坑是指深度小于0.2mm的表面可看見的影子，例如由硬物壓過表面產(chǎn)注4：模糊是指在光線下由于光線散射造成光澤不同8標(biāo)識、包裝和貯存8.1標(biāo)識每批產(chǎn)品加工完后應(yīng)填寫隨工單，并隨該批產(chǎn)品流轉(zhuǎn)到下一工序。隨工單的填寫應(yīng)完整、準(zhǔn)確、清楚。對于檢驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)的不合格品應(yīng)進(jìn)行標(biāo)識，防止不合格品的非預(yù)期使用