超高真空互聯(lián)系統(tǒng)技術(shù)需求

超高真空互聯(lián)系統(tǒng)技術(shù)需求整體情況介紹1、本次采購設(shè)備由圓形傳樣系統(tǒng)、快速進(jìn)樣品系統(tǒng)、自旋分辨角分辨光電子能譜真空系統(tǒng)、六軸開循環(huán)低溫樣品架和減震型自循環(huán)氦液化器五個(gè)部分組成一個(gè)聯(lián)通的整體，需要自旋分辨角分辨光電子能譜真空系統(tǒng)、六軸開循環(huán)低溫樣品架和已有設(shè)備（自旋分辨角分辨光電子能譜）進(jìn)行對接使用，實(shí)現(xiàn)無縫對接，作為一個(gè)整體實(shí)現(xiàn)自旋分辨電子能帶的測量。2用戶已有設(shè)備：自旋分辨角分辨光電子能譜，型號(hào)為Scienta-Omicron公司生產(chǎn)的DFS30-8000能譜儀和三維FerrumVLEED自旋探測器，對接腔體高度為700mm，外徑為306mm，真空低于5x10-11mbar，剩余磁場小于1mG。二、設(shè)備參數(shù)：1圓形傳樣系統(tǒng)：1.1圓形傳樣腔超高真空腔體（內(nèi)部直徑不小于730mm），不銹鋼材質(zhì)，真空可以抽到5x10-10mbar以下，至少包括8個(gè)DN100CF法蘭口，3個(gè)DN150CF法蘭口，1個(gè)DN200CF法蘭口等。1.2傳樣機(jī)械臂及樣品抓取裝置*1.2.1安裝法蘭：CF200。*1.2.2旋轉(zhuǎn)自由度：360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)。*1.2.3旋轉(zhuǎn)精度：不低于0.1°。*1.2.4伸出臂長：最大距離中心可達(dá)1200mm，線性伸縮精度可達(dá)0.5mm。*1.2.5移動(dòng)行程：伸出法蘭口距離可達(dá)820mm。1.3馬達(dá)控制模塊與軟件，實(shí)現(xiàn)機(jī)械臂在腔體內(nèi)的360°準(zhǔn)確定位旋轉(zhuǎn)，機(jī)械臂伸縮和升降方向移動(dòng)。1.4超高真空抽氣系統(tǒng)1.4.1離子泵，抽速不低于200L/s。1.4.2吸附劑泵，抽速不低于400L/s，含控制器。1.5超高真空測量系統(tǒng)1.5.1離子規(guī)，測量范圍：2x10-11mbar-1x10-3mbar，含可烘烤控制線。1.5.2真空規(guī)控制器，與已經(jīng)完成招標(biāo)的自旋分辨角分辨光電子能譜設(shè)備（供貨商Scienta-Omicron，型號(hào)為DFS30-8000能譜儀加三維FerrumVLEED自旋探測器，對接腔體高度為700mm，外徑為306mm）對接，并需集成到真空控制及保護(hù)系統(tǒng)中，壓力范圍：大氣壓～超高真空(1x10-11mbar)。2快速進(jìn)樣品系統(tǒng)2.1超高真空抽氣系統(tǒng)2.1.1超高真空標(biāo)準(zhǔn)的不銹鋼腔體，需采用SS316材質(zhì)，符合超高真空要求，可以連接分子泵，觀察視窗等；腔體在充分烘烤后，本底真空好于5x10-8mbar。2.2超高真空抽氣系統(tǒng)2.2.1分子泵，抽速不低于80L/s，DN63CF接口。2.2.2渦旋機(jī)械泵，抽速不低于12m3/h。2.2.3配有相應(yīng)的電磁控制安全閥和放氣閥。2.3超高真空測量系統(tǒng)2.3.1真空規(guī)控制器，與已經(jīng)完成招標(biāo)的自旋分辨角分辨光電子能譜設(shè)備（供貨商Scienta-Omicron，型號(hào)為DFS30-8000能譜儀加三維FerrumVLEED自旋探測器，對接腔體高度為700mm，外徑為306mm）對接，并需集成到真空控制及保護(hù)系統(tǒng)中，壓力范圍：大氣壓～超高真空(1x10-11mbar)，測試通道≥6。2.3.2全量程真空規(guī)，測量范圍：5×10-9mbar–1×103mbar，DN35CF接口，含控制線。2.4樣品停放臺(tái)2.4.1可同時(shí)停放12個(gè)Flag-Type樣品托。2.4.2含CF35法蘭的線性驅(qū)動(dòng)裝置，75mm行程。2.4.3含CF16法蘭的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。2.5真空氣動(dòng)閘板閥，超高真空視窗3自旋分辨ARPES真空系統(tǒng)*3.1本真空系統(tǒng)需對接用戶已經(jīng)購買的自旋電子能譜儀（供貨商Scienta-Omicron，型號(hào)為DFS30-8000能譜儀加三維FerrumVLEED自旋探測器，對接腔體高度為700mm，外徑為306mm,真空低于5x10-11mbar，磁場低于1mG），實(shí)現(xiàn)無縫對接，供應(yīng)商投標(biāo)時(shí)必須提供完整和合理的對接方案，包括設(shè)計(jì)圖紙。本次采購的真空系統(tǒng)必須實(shí)現(xiàn)與自旋電子能譜儀的無縫對接，使得聯(lián)合系統(tǒng)的真空低于1x10-10mbar，剩余磁場小于5mG（毫高斯）。3.2超高真空抽氣系統(tǒng)3.2.1大抽速分子泵，抽速不低于700L/s。3.2.2單獨(dú)的分子泵，抽速不低于80Ls/，作為級聯(lián)分子泵提高主分子泵的壓縮比和極限真空。3.2.3無油機(jī)械泵，抽速不低于12m3/h。3.2.4吸附劑泵，2000L/s，包含電源控制。3.3超高真空測量系統(tǒng)3.3.1離子規(guī)，測量范圍：2×10-11mbar–1×10-3mbar，DN35CF接口，含可烘烤控制線。3.3.2真空規(guī)，測量范圍：5×10-4mbar–大氣壓，含控制線，裝在機(jī)械泵與分子泵之間。3.3.3超高真空下運(yùn)行的質(zhì)譜儀，能檢測真空腔體內(nèi)剩余氣體的質(zhì)量，測量范圍：0-100amu。3.4超高真空腔體，真空低于1x10-10mbar，材質(zhì)為SS316不銹鋼，可連接分子泵，吸附劑泵等，實(shí)現(xiàn)與自旋電子能譜儀的無縫對接。3.5附帶一個(gè)中溫蒸發(fā)源，最高功率不低于100W，用于金的蒸鍍，用于樣品費(fèi)米面和能譜儀的校正。3.6分子泵，大吸附劑泵，圓形傳樣腔與ARPES真空腔之間有氣動(dòng)閘板閥。4六軸開循環(huán)低溫樣品架*4.1樣品臺(tái)，溫度范圍滿足：6K-350K。*4.2樣品架需包含俯仰及面內(nèi)角等6個(gè)自由度，X、Y方向移動(dòng)范圍不低于±12.5mm，Z方向移動(dòng)范圍需滿足腔體設(shè)計(jì)，軸向旋轉(zhuǎn)范圍不低于±175°，俯仰角通過馬達(dá)控制，旋轉(zhuǎn)范圍不低于60°（-15°,+45°），面內(nèi)角通過機(jī)械手控制，旋轉(zhuǎn)范圍不低于240°(-120°,+120°)。*4.3與已經(jīng)完成招標(biāo)的自旋分辨角分辨光電子能譜設(shè)備（供貨商Scienta-Omicron，型號(hào)為DFS30-8000能譜儀加三維FerrumVLEED自旋探測器，對接腔體高度為700mm，外徑為306mm）實(shí)現(xiàn)無縫對接，供應(yīng)商投標(biāo)時(shí)必須提供完整和合理的對接方案，包括設(shè)計(jì)圖紙。5減震型自循環(huán)氦液化器5.1制冷機(jī)及壓縮機(jī)，制冷功率滿足1.8W@4.2K。5.2液氦傳輸管線，接口尺寸12.7mm。5.3無油機(jī)械泵，抽速不低于12m3/h。5.4氦氣儲(chǔ)存罐、不低于20L。5.5含支架、過濾器、控制柜等。5.6與六軸開循壞低溫樣品架能順利對接。三：整體配置清單序號(hào)設(shè)備部件配置數(shù)量1圓形傳樣系統(tǒng)圓形傳樣腔超高真空腔體1傳樣機(jī)械臂及樣品抓取裝置1馬達(dá)控制模塊與軟件1超高真空抽氣系統(tǒng)離子泵1吸附劑泵1超高真空測量系統(tǒng)離子規(guī)1真空規(guī)控制器12快速進(jìn)樣品系統(tǒng)超高真空抽氣系統(tǒng)腔體1超高真空抽氣系統(tǒng)分子泵1渦旋機(jī)械泵1電磁控制安全閥1放氣閥1超高真空測量系統(tǒng)真空規(guī)控制器1全量程真空規(guī)1樣品停放臺(tái)1真空氣動(dòng)閘板閥1超高真空視窗13自旋分辨ARPES真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)大抽速分子泵1超高真空抽氣系統(tǒng)單獨(dú)的分子泵1無油機(jī)械泵1吸附劑泵1超高真空測量系統(tǒng)離子規(guī)1真空規(guī)1質(zhì)譜儀1超高真空腔體1中溫蒸發(fā)源1分子泵14六軸開循環(huán)低溫樣品架樣品臺(tái)1樣品架15減震型自循環(huán)氦液化器制冷機(jī)1壓縮機(jī)1液氦傳輸管線1無油機(jī)械泵1氦氣儲(chǔ)存罐1支架1過濾器1控