顯微分析技術(shù)電子顯微鏡5

特殊形態(tài)微球的電鏡圖片24h2h6h電鏡儀器掃描探測和橢圓光度顯微鏡法（SPEM）＋＝SPEM是一臺把掃描探測顯微鏡方法(SPM)和影像橢圓光度法兩種方法結(jié)合在一起的分析儀器。場發(fā)射透射電子顯微鏡

1.點分辨率：

0.19nm

2.線分辨率：

0.14nm

3.加速電壓：

80,100,120,160,200kV

4.傾斜角：

25

5.STEM分辨率：

0.20nmJEM-2100F掃描電子顯微鏡

JSM-6360LV1.高真空模式：3.0nm低真空模式：4.0nm

2.低真空度1to270Pa，高、低真空切換

3.樣品臺X:80mmY:40mmT:-10to+90degreeR:360degree

4.加速電壓0.5kVto30Kv束流1pA—1uA

5.真空系統(tǒng)馬達驅(qū)動臺能譜分析接口穩(wěn)壓電源循環(huán)水箱用于各種材料的形貌組織觀察、金屬材料斷口分析和失效分析。1.既保證高電壓下的高分辨率，也可提供低電壓下高質(zhì)量的圖像。

2.全自動電子槍

3.高靈敏度半導(dǎo)體背散射探頭

4.超級圓錐形物鏡，高精度的變焦聚光鏡系統(tǒng)

5.大樣品室，全對中的樣品臺，大視野觀察范圍可觀測到2厘米見方的樣品

主要特點KYKY-2800B型掃描電子顯微鏡1.分辨本領(lǐng)：

4.5nm

2.放大倍數(shù)：

15X～250,000X

3.加速電壓：

0.1kV～30kV

4.試樣尺寸：

Φ60mm（最大）1、分辨率

6.0nm(鎢絲陰極)

2、放大倍數(shù)

15倍～250000倍

3、電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍：發(fā)叉式鎢絲陰極

加速電壓：0～30KV

透鏡系統(tǒng)：三級電磁透鏡

物鏡光闌：三個可在真空外選擇調(diào)節(jié)KYKY-EM3200型數(shù)字化掃描電子顯微鏡CSPM3000系列掃描探針顯微鏡廣泛的應(yīng)用范圍物理學(xué)化學(xué)生物和生命科學(xué)材料科學(xué)微電子科學(xué)和技術(shù)表面科學(xué)納米科學(xué)和技術(shù)CSPM3000系列多模式掃描探針顯微鏡性能指標(biāo)

■分辨率：

掃描探針顯微鏡(STM)：橫向0.13nm垂直0.01nm（以石墨定標(biāo)）

原子力顯微鏡(AFM)：橫向0.26nm垂直0.1nm（以云母定標(biāo)）

■探針激勵信號：

振幅為0～2V頻率為DC～1000kHz（32-bit分辨率）AP-990

原子力顯微鏡

AtomicForceMicroscopes

觀察拋光固本表面、薄膜表面的表面形貌,價鍵狀態(tài)；觀察集成電路芯片的光刻質(zhì)量,摻雜后的電場分布,用于觀察信息存貯材料表面磁場分布磁疇等.可用于微電子集成電路器件的失效分析.掃描探針顯微鏡

Scanner

X,Y

scan

size:

200

×

200

micron

X,Y

resolution:

1

nm

Z

range:

15

micron

Z

resolution:

<

0.5

nm

Approach

Type:

Automatic

Length:

>

1.5

mm

Operation

Mode:

AC,

DC,

LFM,

MFM.

Optional

mode:

STM,

Conductive

AFM.

Imaging:

Topography,

Phase,

Lateral

Force.

Objective

Type:

Bright

Field.

Focal

length:

95

mm.

Magnification:

15X.

AJ-Ⅰ型掃描隧道顯微鏡（STM)

1.STM探頭

2.懸吊式抗震架

3.AJ-Ⅰ型掃描隧道顯微鏡控制箱

4.控制軟件及離線軟件

5.測試樣品及常用備品備件主要特點

1.樣品尺寸：φ≤10mm

2.掃描范圍：ＸＹ方向3μm×3μm６μm×６μm

3.分辨率：XY方向：0.1nm,

Z方向：0.01nm能夠常規(guī)得到高序石墨（HOPG）表面原子圖像

4.針尖逼近行程及精度：行程≥10nm，精度≤0.1μm,納米級步進馬達自動保護

驅(qū)近;

5.掃描模式：恒流模式、恒高模式,I-V曲線、Ｉ-Z曲