JJF(魯) 127-2022 接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)規(guī)范

接觸(觸針)式表面輪廓測量儀山東省市場監(jiān)督管理局發(fā)布接觸(觸針)式表面輪廓測量儀JJF（魯）127—2022JJF（魯）127—2022I （1） （1） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （3） （3） （3） （4） （4） （5） （5） （5） （6） （7） JJF（魯）127—2022JJF1059.1-2012《測量不確定度評(píng)定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性JJF（魯）127—20221接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)規(guī)范GB/T19600-2004產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸（觸針）式儀器柱、電子信號(hào)處理裝置、計(jì)算機(jī)和打印機(jī)等組成6 75 346 75 34圖1接觸（觸針）式表面輪廓測量儀JJF（魯）127—20222基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度可用任意指定測量長度基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度和全行程基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度兩5.1.2校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、振動(dòng)、噪音、氣輪廓儀校準(zhǔn)項(xiàng)目和測量標(biāo)準(zhǔn)見表1，也可采用滿足表1校準(zhǔn)項(xiàng)目和測量標(biāo)準(zhǔn)序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目測量標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)要求1基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度1級(jí)平面平晶或長平晶2輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差量塊，3等；1級(jí)平面平晶或長平晶3輪廓水平分量（X軸）示值誤差激光干涉儀，MPE:±（0.03μm+1.5×10-6L）4圓弧半徑測量示值誤差標(biāo)準(zhǔn)球或標(biāo)準(zhǔn)半球，U≤2.0μm（k=2）5圓弧半徑測量重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)球或標(biāo)準(zhǔn)半球，U≤2.0μm（k=2）6角度測量示值誤差角度塊，2級(jí)7角度測量重復(fù)性角度塊，2級(jí)校準(zhǔn)前，應(yīng)確認(rèn)儀器無影響使用性能的銹蝕、靈活，無卡滯、跳動(dòng)和爬行現(xiàn)象；緊固部件JJF（魯）127—20223平放置在輪廓儀工作臺(tái)面上，調(diào)整平晶工作平面與量平晶表面輪廓，分別評(píng)定測量輪廓的直線度，取長度基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度；以全行程表面輪廓的直線度作為全使各量塊盡量平行且接觸緊密。調(diào)整工作臺(tái)臺(tái)面與平晶放置在輪廓儀工作臺(tái)上，從大到小依次測量各的方式對量塊高度差進(jìn)行評(píng)定，以量塊高度差的測上，將干涉鏡固定在輪廓儀工作臺(tái)上，調(diào)整激光干涉觸針移動(dòng)至初始位置，并使激光干涉儀讀數(shù)置零后，在全行程范圍內(nèi)均勻分布的5個(gè)位置將標(biāo)準(zhǔn)球或標(biāo)準(zhǔn)半球放置于輪廓儀工作臺(tái)上，先之差，作為該段圓弧半徑的示值誤差，取各段圓弧半徑示值誤差JJF（魯）127—20224AD圖2圓弧評(píng)估區(qū)域=水平線圖360°角度塊擺放示意圖JJF（魯）127—202290°90°90°90°30°30°水平線30°30°圖490°角度塊傾斜擺放示意圖校準(zhǔn)結(jié)果應(yīng)在校準(zhǔn)證書（報(bào)告）上反映，校準(zhǔn)證書（報(bào)h)如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時(shí)，應(yīng)對被校樣品的抽樣程序進(jìn)j)本次校準(zhǔn)所用測量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說明；n)校準(zhǔn)證書和校準(zhǔn)報(bào)告簽發(fā)人的簽名、職務(wù)或等p)未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn)，不得部分復(fù)制證書或報(bào)告的聲JJF（魯）127—20226JJF（魯）127—20227輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差測量結(jié)果?8JJF（魯）127—2022=JJF（魯）127—2022=++?1?2+=?=≈，=2JJF（魯）127—20229接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)原始記錄委托單位地址儀器名稱證書編號(hào)制造廠出廠編號(hào)標(biāo)準(zhǔn)器名稱標(biāo)準(zhǔn)器證書號(hào)有效期至測量范圍不確定度（或準(zhǔn)確度）溯源機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)依據(jù)溫度濕度校準(zhǔn)日期建議下次校準(zhǔn)日期校準(zhǔn)內(nèi)容1.基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度：任意指定長度基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度(μm/mm)測量位置1測量位置2測量位置3全行程基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度(μm/mm)2.輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差量塊尺寸（mm）量塊偏差(μm）輪廓儀示值（mm）示值誤差(μm）3.輪廓水平分量（X軸）示值誤差測量點(diǎn)（mm）激光干涉儀示值（mm）示值誤差(μm）4.圓弧半徑測量示值誤差JJF（魯）127—2022標(biāo)準(zhǔn)球半徑實(shí)際值(mm)輪廓儀示值(mm)測量平均值(mm)示值誤差(μm）5.圓弧半徑測量重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)球半徑實(shí)際值(mm)輪廓儀示值(mm)重復(fù)性(μm）6.角度測量示值誤差角度塊實(shí)際值輪廓儀示值平均值示值誤差7.角度測量重復(fù)性角度塊實(shí)際值輪廓儀示值重復(fù)性測量結(jié)果的不確定度：校準(zhǔn)地點(diǎn)校準(zhǔn)核驗(yàn)JJF（魯）127—2022證書編號(hào)XXXXXX-XXXX<校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)授權(quán)說明>校準(zhǔn)結(jié)果不確定度的評(píng)定和表述均符合JJF1059.1的要求。校準(zhǔn)環(huán)境條件及地點(diǎn)：溫度℃地點(diǎn)相對濕度%RH其它校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)文件（代號(hào)、名稱校準(zhǔn)所使用的主要測量標(biāo)準(zhǔn)：名稱測量范圍不確定度/準(zhǔn)確度等級(jí)證書編號(hào)證書有效期至(YYYY-MM-DD)JJF（魯）127—2022證書編號(hào)XXXXXX-XXXX序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1基準(zhǔn)導(dǎo)軌直線度2輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差3輪廓水平分量（X軸）示值誤差4圓弧半徑測量示值誤差5圓弧半徑測量重復(fù)性6角度測量示值誤差7角度測量重復(fù)性測量結(jié)果