ESD管理權(quán)責(zé)手冊(cè)

任命書

本公司依據(jù)ANSI/ESDS20.20的標(biāo)準(zhǔn)建立ESD管理體系，為確保公司ESD管理體系有效地建立、健全、

運(yùn)行和保持，特任命為ESD小組組長(zhǎng)，全面負(fù)責(zé)ESD體系的建立、實(shí)施、保持、改進(jìn)，并負(fù)責(zé)與ESD

體系有關(guān)的內(nèi)外部各方的聯(lián)系協(xié)調(diào)工作。

總經(jīng)理:

年月0

1.目的：

本文件旨在規(guī)定ESD防靜電控制技術(shù)規(guī)范，為產(chǎn)品在元器件進(jìn)料、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)提供明確可

靠的ESD技術(shù)支持，從整體上提高公司靜電防護(hù)和控制水平，提高客戶的滿意度。

2.適用范圍，

本廠生產(chǎn)區(qū)域，供應(yīng)商和合作方的供應(yīng)鏈體系內(nèi)部靜電防護(hù)工程的設(shè)計(jì)、使用、管理、維護(hù)和檢測(cè)。

3.權(quán)責(zé)

3.1公司ESD組織結(jié)構(gòu)和職責(zé)

公司ESD控制組織結(jié)構(gòu)圖如下：

3.1.1ESD小組：

公司成立ESD小組，品質(zhì)管理部經(jīng)理為ESD推行主席，設(shè)備總工程師為ESD小組組長(zhǎng)，組員為：研

發(fā)部經(jīng)理、制造部經(jīng)理、行政人事部經(jīng)理、資材部經(jīng)理、安全員。ESD小組負(fù)責(zé)公司的防靜電控制規(guī)

范、標(biāo)準(zhǔn)的制定，建立健全ESD管理規(guī)章制度。ESD小組定期組織車間各組長(zhǎng)對(duì)ESD進(jìn)行抽查和評(píng)審，

確保公司ESD控制體系有效運(yùn)行。

3.2各部門負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)本部門工作區(qū)域的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。

3.2.1品質(zhì)管理部：

3.2.1.1根據(jù)控制標(biāo)準(zhǔn)對(duì)新投產(chǎn)的產(chǎn)品所采用的防靜電設(shè)備及材料進(jìn)行確認(rèn)并提交報(bào)告給相關(guān)部門以滿

足產(chǎn)品的防靜電要求。

3.2.1.2負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)工場(chǎng)的ESD控制系統(tǒng)運(yùn)行狀況進(jìn)行監(jiān)控及評(píng)估，保證ESD控制的持續(xù)改進(jìn)。

3.2.1.3負(fù)責(zé)相關(guān)靜電測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)工作。

3.2.2研發(fā)部：

3.2.2.1負(fù)責(zé)產(chǎn)品的防靜電設(shè)計(jì)和監(jiān)控。

3.2.2.2負(fù)責(zé)將客戶的要求轉(zhuǎn)換成公司內(nèi)部規(guī)定

3.2.3制造部：

3.2.3.1執(zhí)行防靜電措施及部門防靜電項(xiàng)目的檢查。

3.2.3.2部門防靜電知識(shí)的宣導(dǎo)與培訓(xùn)。

3.2.3.3設(shè)備人員負(fù)責(zé)對(duì)工場(chǎng)所有設(shè)備、設(shè)施、儀器、夾具定期進(jìn)行ESD檢測(cè)并做好記錄。

3.2.2.4負(fù)責(zé)提供已清楚標(biāo)明工場(chǎng)區(qū)域的制程要求給設(shè)備組。

3.2.2.5負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)工場(chǎng)、存放區(qū)域及其它可能接觸貨物的地方設(shè)置接地系統(tǒng)。

3.2.2.6依實(shí)際要求用儀器檢查接地系統(tǒng)的功能是否完好并作好記錄（如工作臺(tái)經(jīng)刷油漆后或更換了部分

接地設(shè)施等，應(yīng)再次檢測(cè)接地系統(tǒng)功能），每年檢測(cè)一次總系統(tǒng)對(duì)大地的電阻是否完好并作記錄。

3.2.2.7負(fù)責(zé)全廠防靜電基礎(chǔ)設(shè)施的施工。

3.2.2.8負(fù)責(zé)在生產(chǎn)工位存放區(qū)域安裝防靜電材料和相關(guān)儀器的接地并對(duì)其安裝進(jìn)行長(zhǎng)期維護(hù)。

3.2.2.9負(fù)責(zé)對(duì)監(jiān)控部門反饋的ESD問題及時(shí)進(jìn)行維修處理。

3.2.2.10根據(jù)靜電控制要求為生產(chǎn)部提供相關(guān)的防靜電設(shè)備、設(shè)施及配件等。

3.2.4行政人事部：

3.2.4.1負(fù)責(zé)對(duì)新進(jìn)廠的員工進(jìn)行防靜電知識(shí)的培訓(xùn)；

3.2.4.2負(fù)責(zé)員工年度及特殊要求ESD培訓(xùn)。

3.2.5資材部：

3.2.5.1按要求購置防靜電物品。

3.2.5.2需要時(shí)取得防靜電物品的防靜電證書。

3.2.6營(yíng)銷部：

3.2.6.1負(fù)責(zé)收集客戶端對(duì)產(chǎn)品ESD方面的需求。

4.概要

本文主要從靜電控制的五個(gè)方面（即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境）來論述ESD規(guī)范，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)、

制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)防靜電控制，詳細(xì)介紹了防靜電設(shè)施的技術(shù)要求、檢測(cè)方法和作業(yè)指導(dǎo)等內(nèi)容。

5.定義

5.1ESD：Electro-StaticDischarge靜電釋放。

5.2抗靜電材料?：同種材料或類似材料相互摩擦，幾乎不產(chǎn)生靜電荷的材料。

5.3導(dǎo)電材料：材料表面電阻率每平方米小于10,Q的材料。

5.4絕緣材料：表面電阻率每平方米大于等于10“Q的材料。

5.5靜電消散性材料：表面電阻率介于每平方米IO'。與I?！盦之間的材料。

5.6表面電阻率：每平方米材料表面兩個(gè)電極間的電阻。

5.7靜電敏感器件：指IC類與晶體管（含二極管和三極管）類電子元件。

5.8靜電敏感區(qū)：我公司的靜電敏感區(qū)為：敏感器件待檢區(qū)、IQC檢驗(yàn)區(qū)、存儲(chǔ)區(qū)、生產(chǎn)區(qū)。

5.9非靜電敏感區(qū)：指除了靜電敏感區(qū)以外的所有區(qū)域，其中包括部分在靜電敏感區(qū)中劃分的非靜電敏感區(qū)，

統(tǒng)一使用黃色ESD膠紙劃分并具有明確標(biāo)識(shí)。

5.10防靜電工作區(qū)：配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從事靜

電防護(hù)操作的場(chǎng)所.

5.11接地：電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運(yùn)載工具外殼等）。

5.12硬接地：直接與大地電極作導(dǎo)電性連接的一種接地方式。

5.13軟接地：通過一足以限制流過人體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。

5.14大地電極：埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀

的，為接地系統(tǒng)提供接大地的基準(zhǔn)點(diǎn)。

5.15高靜電材料：容易產(chǎn)生靜電及累積靜電的材料，例如：普通紙張、普通塑膠袋、塑膠筆等。

6.靜電敏感器件列表

表1靜電敏感器件列表

序號(hào)型號(hào)抗靜電值（Volts）

1150-2000

2150-2000

7.價(jià)電防護(hù)區(qū)域（EPA）的界定和標(biāo)識(shí)

7.1EPA的劃分

7.1.1EPA必須具有如下的基本環(huán)境要求：

7..11.1明確的區(qū)域界限和防靜電警示標(biāo)識(shí)

7.1.1.2對(duì)區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地

7.1.1.3消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源。

7.1.1.4靜電敏感器件必須遠(yuǎn)離靜電源至少30厘米處。

7.2根據(jù)公司產(chǎn)品器件的靜電敏感度等級(jí)，將公司靜電敏感度等級(jí)防范要求為100V。防護(hù)要求為：

7.2.1靜電敏感度等級(jí)防范要求為100%應(yīng)盡量避免產(chǎn)生100V以上的靜電電荷源，如不能避免，應(yīng)通過有

效方式消除。

7.2.2采用防靜電標(biāo)識(shí)與其它區(qū)域分隔開，未采取有效防靜電措施的人員、設(shè)備、物料、工具等皆不得入內(nèi)。

7.23進(jìn)入本區(qū)域應(yīng)作好人員防靜電要求，包括防靜電工衣、工帽、工鞋、腕帶或手套并作人體綜合電阻測(cè)

試合格后才能進(jìn)入。

7.3EPA的ESD控制措施控制措施要求按照表2實(shí)施：

表2EPA的ESD控制措施要求

ESD控制措施要求

靜電電壓控制標(biāo)準(zhǔn)小于100V

防靜電標(biāo)識(shí)要求

防靜電地板或地墊要求

防靜電桌墊要求

防靜電腕帶要求

防靜電指套要求

防靜電工作服要求

防靜電工作鞋要求

防靜電工作凳要求

防靜電周轉(zhuǎn)工具要求

防靜電包裝材料要求

靜電產(chǎn)生材料禁止帶入EPA要求

區(qū)域封閉性要求

出入口控制要求

靜電電壓表要求

重錘式電阻測(cè)試儀要求

人體電阻測(cè)試儀（帶腕帶測(cè)試儀）要求

非防靜電包裝的拆包區(qū)域外操作或獨(dú)立工位操作

防靜電液等可選

干燥柜要求

各機(jī)器接地要求

包裝袋要求

接地線要求

周轉(zhuǎn)車要求

辦公區(qū)區(qū)域外或獨(dú)立工區(qū)

7.4EPA標(biāo)識(shí)防靜電工作區(qū)、防靜電包裝材料和轉(zhuǎn)運(yùn)工具、設(shè)備儀器的接地等都應(yīng)該具有防靜電標(biāo)識(shí)。防靜電

標(biāo)識(shí)的作用是警示任何靠近防靜電工作區(qū)的人員，區(qū)域內(nèi)存在靜電敏感器件的操作；警示任何接觸靜電

敏感器件的人員，對(duì)該器件的操作必須進(jìn)行靜電防護(hù)。

7.4.1任何防靜電工作區(qū)都必須有區(qū)域標(biāo)識(shí)，除非此工作區(qū)位于靜電安全工作區(qū)內(nèi)。標(biāo)識(shí)上應(yīng)注意說明如“注

意：靜電安全工作區(qū)”或其同意語。“放電”，“注意”，“危險(xiǎn)”等標(biāo)示對(duì)靜電控制是不合適的。EPA標(biāo)

識(shí)所在的位置及其大小應(yīng)該至少保證在距離工作區(qū)1米時(shí)清晰可見。

7.4.2應(yīng)該使用黃黑間隔的地板膠帶將每一個(gè)防靜電工作區(qū)圍起，EPA的邊界線和標(biāo)識(shí)如（圖A）中所示，

它由黃黑雙色的平行四邊形圖案相間構(gòu)成，其寬度為4?5cm。是專門用來標(biāo)志靜電敏感區(qū)的區(qū)域界

限的。

7.4.3需要在靜電安全工作區(qū)的每一個(gè)入口和出口放置防靜電標(biāo)識(shí)牌和控制說明。如圖B

7.4.4防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標(biāo)識(shí)，防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)有明顯的接地標(biāo)

識(shí)說明。

7.4.5防靜電容器（防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電組件盒等），組件架和運(yùn)輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志，其標(biāo)志

應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。

圖A靜電敏感區(qū)域警示標(biāo)志

ESDProtectedArea▲

ESD防護(hù)區(qū)域

Amice

圖B防靜電標(biāo)志

注意Attention

防靜電保護(hù)區(qū)

ESDProtectedArea

搐觸齡電放電總總元件時(shí)

請(qǐng)果取適當(dāng)懵防指篇

Approprtoushould

XUkentorContactlnQ?lecrMUt>c

diBcMr9ehredevkxAmice

入口出口

7.5防靜電性能標(biāo)準(zhǔn)及檢驗(yàn)計(jì)劃：見表3

表3ESD符合性技術(shù)要求

序號(hào)測(cè)試項(xiàng)次技術(shù)要求測(cè)試設(shè)備抽檢頻次責(zé)任人參考標(biāo)準(zhǔn)記錄表

總接地電阻

1總接地<101次/年

萬用表檢測(cè)記錄表

2防靜電接地<10測(cè)量范圍：1次/3月設(shè)備保養(yǎng)表

設(shè)備科ANSI/ESDS6.1

3設(shè)備接地<1Q1次/3月設(shè)備保養(yǎng)表

±10%

防靜電接地

4<25Q1次/3月設(shè)備保養(yǎng)表

與設(shè)備接地

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0X105Q"1.0XANSI/ESDS7.1

1O'JQ重錘式防靜品質(zhì)管-2005防靜電檢測(cè)

5地面1次/3月

點(diǎn)對(duì)地電阻：電測(cè)試儀理部記錄表

1.0X10"]oxESDTR53.1

IO'。

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.OX1O5Q"1.OXANSI/ESDS4.1

IO9Q重錘式防靜品質(zhì)管-2006防靜電檢測(cè)

6工作表面1次/I月

點(diǎn)對(duì)地電阻：電測(cè)試儀理部記錄表

1.0X105Q"1.0XESDTR53.1

IO9Q

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0X105Q"1.0XANSI/ESDSTM1

IO9Q重錘式防靜品質(zhì)管2.1-2006防靜電檢測(cè)

7髡子1次/I月

點(diǎn)對(duì)地電阻；電測(cè)試儀理部記錄表

1.0X105Q"1.0XESDTR53.1

IO'Q

接地線：

0.8X10°。?1.2X

106Q靜電手環(huán)腕

重錘式防靜品質(zhì)管ANSI/ESDS1.1

8腕帶內(nèi)表面：使用前帶檢測(cè)記錄

電測(cè)試儀理部-2006

<1.0X105Q表

外表面：

>1.0X10,。

戴上手腕，并扣緊

連接扣，保證貼近

皮膚，手環(huán)的連接

人體綜合測(cè)品質(zhì)管靜電環(huán)測(cè)試

9腕帶使用后頭插入儀表插孔，1次/天ESDTR53.1

試儀理部記錄表

用手按住測(cè)試按

鈕，直到儀表燈亮

pass/fail

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0X10'1.0X

10"Q重錘表面電品質(zhì)管ANSI/ESDSTM2防靜電檢測(cè)

10服裝1次/月

袖口對(duì)袖口：阻測(cè)試儀理部.1-1997記錄表

LOXIO’Q?1.0X

10"Q

重錘式防靜品質(zhì)管ANSI/ESDSTM2防靜電檢測(cè)

11指套1.0xl05"1.0xl0d進(jìn)貨檢驗(yàn)

電測(cè)試儀理部.1-1997記錄表

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

周轉(zhuǎn)箱1.0X105Q"1.0X重錘式防靜品質(zhì)管防靜電檢測(cè)

121次/月

周轉(zhuǎn)盒10'JQ電測(cè)試儀理部記錄表

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0X10P?1.0重錘式防靜品質(zhì)管根據(jù)1QC進(jìn)料防靜電檢測(cè)

13包裝材料進(jìn)貨檢驗(yàn)

X10nQ電測(cè)試儀理部檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)記錄表

靜電電壓測(cè)品質(zhì)管靜電電壓檢

14靜電電壓<100V1次/月

試儀器理部測(cè)記錄表

電阻1.0X105Q重錘式防靜品質(zhì)管防靜電檢測(cè)

15包裝袋進(jìn)貨檢驗(yàn)

?1.0X10”。電測(cè)試儀理部記錄表

電阻1.0X105c重錘式防靜品質(zhì)管防靜電檢測(cè)

16貨架1次/月

-1.0X109Q電測(cè)試儀理部記錄表

電阻1.0X105Q重錘式防靜品質(zhì)管防靜電檢測(cè)

17周轉(zhuǎn)車1次/月

?LOXIO^Q電測(cè)試儀理部記錄表

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0X105O~1.0

X109Q重錘式防靜品質(zhì)管防靜電檢測(cè)

18鞋1次/月

點(diǎn)對(duì)地電阻：電測(cè)試儀理部記錄表

l.OXIO'Q?1.0

XIO9Q

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0X105Q-1.0

XIO9Q重錘式防岸防靜電檢測(cè)

19干燥柜1次/月設(shè)備科

點(diǎn)對(duì)地電阻：電測(cè)試儀記錄表

1.0X105fi-1.0

XIO9Q

備注：1.每次隨機(jī)抽檢5%,小于5件全檢。

2.對(duì)于抽樣監(jiān)控的設(shè)備/夾具，如果超過接受標(biāo)準(zhǔn)，則全檢抽樣區(qū)域同類設(shè)備/夾具。

3.對(duì)于人和料項(xiàng)目中的Controlspec.的參數(shù)和規(guī)格，是有新到或需Qualify時(shí)的必測(cè)項(xiàng)目。

8.靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防薛電規(guī)范

8.1防靜電工程環(huán)境的要求：

8.1.1環(huán)境的溫度、濕度和潔凈度要求

普通工場(chǎng)（含倉庫）的相對(duì)濕度控制在30-60/RH之間，相對(duì)溫度控制在18-28C之間。環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備

溫度計(jì)和濕度計(jì)，并按要求做好點(diǎn)檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過于干燥，應(yīng)使用加濕器或其它辦法來

滿足濕度要求，但應(yīng)以不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響為前提。如果濕度高了應(yīng)該開空調(diào)或抽濕機(jī)來使其滿足

要求。溫度計(jì)和濕度計(jì)使用要求：

8.1.1.1所有需要防范的環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì)，溫度計(jì)和濕度計(jì)必須放置在垂直固定于墻壁上。

8.1.1.2每日開工前必須由專人如實(shí)查看并記錄，發(fā)現(xiàn)不符合要求時(shí)，應(yīng)報(bào)告相關(guān)責(zé)任人立即處理，使其滿

足溫度和濕度要求。

8.1.1.3每月的溫度和濕度儀記錄應(yīng)歸類保存，保存期為兩年以上。

8.2地面的技術(shù)要求

8.2.1地板的防靜電要求：為有效地使人體靜電能通過地板盡快泄漏到大地，除操作人員穿用防靜電服、防

靜電鞋外，其先決條件是地板必須具有一定的導(dǎo)電性能，即是防靜電的。這種防靜電地板能泄漏設(shè)備、

工裝上的靜電，也能泄漏移動(dòng)操作時(shí)不易使用腕帶的人體靜電。

8.2.2防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護(hù)保養(yǎng)：

8.2.2.1檢查對(duì)象：防靜電地板。

8.2.2.2檢查頻率、檢查指標(biāo)、檢查標(biāo)準(zhǔn)見表3。

8.2.2.3檢查儀器：重錘表面電阻測(cè)試儀。

8.2,2.4當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時(shí)，應(yīng)根據(jù)情況定期清除（具體定義依十萬級(jí)

無塵室控制要求及公司內(nèi)部具體情況定義）。

8.2.2.5清掃防靜電地板時(shí)不得使用絕緣性的地板臘。

8.3靜電敏感區(qū)域的防靜電保護(hù)接地技術(shù)要求：防靜電系統(tǒng)必須有可靠的接地裝置，主要技術(shù)要求如下：

8.3.1接地線（總地線）：也稱為地線母線。接地主干線的截面積應(yīng)不小于100mm2,支干線的截面積應(yīng)不小

于6mm2,設(shè)備和工作臺(tái)的接地線采用截面積應(yīng)不小于1.25mm2的敷塑導(dǎo)線。

8.3.2防靜電設(shè)備的連接端子應(yīng)確保接觸可靠，易裝拆，必須使用插頭座等。

8.3.3接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小于1Q。

8.3.4地線的埋設(shè)：埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點(diǎn)的土壤電阻系數(shù)愈小愈好.接地體與土壤的接觸面積要大,

接觸密度要高，接觸要緊。

8.3.4.1埋設(shè)地線的注意事項(xiàng)：

A.接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過長(zhǎng)。

B.要采用耐腐蝕的接地體金屬。

C.要保持接地體附近土質(zhì)的質(zhì)量，并不斷采取措施防止接地電阻變大。

D.防靜電地線必須是永久性的。

8.3.5接地線的定期檢查：

8.3.5.1檢查對(duì)象：所有的接地線及接地端口。

8.3.5.2檢查儀器：萬用表和兆歐表。

8.3,5.3檢查參數(shù)：泄漏電阻（接地電阻）。

8.3.5.4檢查頻率：見表3

8.3.6接地線的定期維護(hù)：

8.3.6.1對(duì)于檢查不過關(guān)的接地線必須采取措施及時(shí)解決。

8.3.6.2確保接地線有效接地。

8.3,6.3對(duì)于生銹的或接觸不好的接地線要及時(shí)更換。

8.3.6.4對(duì)于松動(dòng)的接地線要重新連接。

8.3.6.5按接地線相關(guān)規(guī)定進(jìn)行維護(hù)。

9.靜電敏感區(qū)域的人員培訓(xùn)及防靜電規(guī)范

9.1各類人員的防靜電知識(shí)培訓(xùn)要求及職責(zé)：有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的

人員都應(yīng)接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)I,這既是對(duì)每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。

9.1.1所有與ESD有關(guān)新員工在接受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)。課程包括至少2小時(shí)的理論

知識(shí)培訓(xùn)和簡(jiǎn)要講解本規(guī)范內(nèi)容。培訓(xùn)結(jié)束后，由人力資源部組織ESD的考試，合格者才能上崗。

9.1.2在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸（包括靜電感應(yīng)）的作業(yè)人員，

必須接受ESD基本知識(shí)和防靜電工藝規(guī)程操作要求的培訓(xùn)。

9.1.3工藝人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù)，在生產(chǎn)過

程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施，并對(duì)他們進(jìn)行靜電防護(hù)日常教育。

9.1.4品質(zhì)部人員、采購人員、倉儲(chǔ)人員都必須接受ESD專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟悉各類SSD的靜電防護(hù)知識(shí)，在

工作中按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)流程來執(zhí)行。

9.1.5負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員，應(yīng)接受較為專業(yè)的ESD知識(shí)培訓(xùn)，熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求掌

握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。

9.1.6生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD基本知識(shí)，嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文件要求和工藝規(guī)程組織生產(chǎn)并開

展。

9.1.7計(jì)量檢定人員也應(yīng)了解ESD基本知識(shí)，尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識(shí)，要定期調(diào)校防靜電檢測(cè)

器材，保證其安全、有效，每年1次。

9.1.8由于工種變化或者轉(zhuǎn)到新的部門，如從非EPA轉(zhuǎn)移到EPA,從行政部門轉(zhuǎn)到產(chǎn)品開發(fā)部門等，需要進(jìn)

行適應(yīng)新環(huán)境ESD控制要求的再培訓(xùn)。

9.1.9培訓(xùn)記錄由各部門匯總?cè)耸虏块T統(tǒng)一管理和存放，存放期限2年。

9.2人體靜電防護(hù)系統(tǒng)：

9.2.1防靜電工作服：

9.2.1.1防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而制成的工作服，樣式有連體式、

分體式等。防靜電工作服主要用來泄放人體高絕緣性能的服裝所產(chǎn)生的靜電或減少人體靜電產(chǎn)生。

9.2.1.2防靜電工作服的主要技術(shù)指標(biāo)見表3所示.

9.2.1.3防靜電服使用要求：

A.應(yīng)根據(jù)所制造或操作的SSD的靜電敏感度的不同，選用不同等級(jí)的防靜電布料和防靜電工作服。

B.進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電衣，嚴(yán)禁穿一般合成纖維工作服。

C.防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。

D.禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關(guān)的金屬物品或裝飾品。

E.不能把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣領(lǐng)，同時(shí)將拉鏈拉好，扣子扣好，如是大褂衣須將扣

子扣滿扣好，非防靜電衣的長(zhǎng)度不能長(zhǎng)過靜電衣，不準(zhǔn)將防靜電衣的袖子挽起，不準(zhǔn)將手表、手飾等

與工作無關(guān)的裝飾物品露出防靜電衣外。

F.防靜電衣，應(yīng)保持清潔，工作服的洗滌應(yīng)盡量采用簡(jiǎn)易方法進(jìn)行，采用中性洗滌劑，要避免受到較強(qiáng)

的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌。

G.防靜電工作服應(yīng)在首次穿用前作防靜電性能檢測(cè)，只有測(cè)試合格方可投入使用，對(duì)于檢測(cè)不過關(guān)的防

靜電衣應(yīng)停止使用，更換新的。

H.倉庫在收到新的防靜電衣時(shí)，通知品質(zhì)管理部ESD檢測(cè)人員對(duì)防靜電服的靜電電阻進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)數(shù)

量為抽樣來料的5%,若抽樣數(shù)低于5件，則抽全抽。檢測(cè)方法如后面所示，如果該批防靜電衣有一件

測(cè)試不合格，則拒收。除上述方法外，被抽測(cè)的靜電衣還應(yīng)被洗完全干燥后再做以上測(cè)試。如果靜電

衣的表面電阻仍在10,?10%hm之間且經(jīng)磨擦后的靜電電壓仍小于等于0.IKv,則為合格，否則為不

合格。

9.2.1.4防靜電服的檢測(cè)：

A.目前使用的防靜電大褂衣，主要是測(cè)試它的表面電阻這個(gè)指標(biāo)。

B.檢測(cè)指標(biāo)：表面電阻

C.檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：表面電阻（點(diǎn)與點(diǎn)、袖與袖之間）

D.檢測(cè)儀器：重錘表面電阻測(cè)試儀。

E.防靜電性能檢測(cè)條件：溫度18?28℃,相對(duì)濕度30-60%。

9.2.2防靜電帽：防靜電帽的相關(guān)規(guī)定請(qǐng)參照防靜電服。防靜電帽應(yīng)正確佩,戴，頭發(fā)不能露出防靜電帽外,

防靜電帽不能超出防靜電衣領(lǐng)外。

9.2.3防靜電工作鞋：

9.2.3.1作業(yè)人員必須穿防靜電鞋，經(jīng)過人體綜合電阻測(cè)試合格后，方可進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。

9.2.3.2防靜電工作鞋每月應(yīng)做一次防靜電特性抽檢，對(duì)于檢測(cè)不過關(guān)的防靜電工作鞋應(yīng)停止使用并更換

新的。

9.2.3.3檢測(cè)指標(biāo)：體積電阻。

9.2.3.4檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn):1.0x10s-1.0X109QO

9.2.3.5檢測(cè)儀器：重錘表面電阻測(cè)試儀。

9.2.3.6防靜電鞋的使用要求：

A.為使人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時(shí)不致受到傷害，除應(yīng)

將車間地面做成防靜電地面以外，操作者還應(yīng)穿用防靜電鞋，而且防靜電鞋必須與防靜電衣配套使用，

同時(shí)防靜電鞋底應(yīng)具有使人體與大地構(gòu)成回路的材料和結(jié)構(gòu)。

B.EPA區(qū)域內(nèi)的工作人員必須穿防靜電工鞋，人體通過工鞋到EPA地面的電阻（人體綜合電阻）應(yīng)該滿

足7.5x105?3.5x109Qo人體綜合電阻要求員工每日測(cè)試并記錄。

C.穿防靜電鞋時(shí)可以穿棉質(zhì)的襪子或不穿襪子，不得另加鞋墊，特別是絕緣性鞋墊。不得在鞋底粘貼絕

緣膠片或其它涂料，保持鞋底的清潔。

D.需要進(jìn)入EPA工作的臨時(shí)或外來人員也應(yīng)穿著防靜電工鞋并經(jīng)過測(cè)試。

9.2.4防靜電手套或指套：

9.2.4.1在EPA內(nèi)，若操作指示要求，操作員工就應(yīng)戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐

蝕的功能。

9.2.4.2坐式操作，必須佩戴腕帶。

9.2.4.3防靜電手套（分橡膠手套和導(dǎo)電布手套）和指套較臟時(shí)應(yīng)及時(shí)更突，導(dǎo)電布手套使用期限為一月，

到有效期后，統(tǒng)一以舊換新有破損統(tǒng)一更換，橡膠手套和指套一次性使用后更換。

9.2.4.4防靜電手套或指套的防靜電特性檢查請(qǐng)參照作業(yè)指導(dǎo)書。

9.2.5防靜電腕帶：

9.2.5.1防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表面靜電泄放掉裝置,

由松緊圈和接地組件構(gòu)成。松緊圈的要求是表面電阻大于等于IC'C,內(nèi)圈小于等于IO,。.接地

組件必須串接一定數(shù)值（0.8*10^1.2*10^）的電阻，以確保操作者意外觸及高電壓時(shí)不致發(fā)生

人身傷害。該電阻的選擇原則是，一方面應(yīng)保證操作者在觸及線電壓時(shí)流過人體的電流不大于

5mA,另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過該電阻很快泄放，使皮膚上的靜電壓小于100V,

一般該電阻阻值取為1（）6。。

9.2.5.2因無繩防靜電腕帶的性能對(duì)環(huán)境濕度依賴性太強(qiáng)，禁止使用無繩腕帶。

9.25.3進(jìn)入靜電敏感區(qū)域應(yīng)將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。腕帶

佩帶方法：將腕帶扎于手腕處，不能松動(dòng)，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內(nèi)表面與皮膚良好接

觸，接地線與EBP連接。

9.2.5.4腕帶接地應(yīng)采用BMC插頭、插孔的連接方式，應(yīng)避免使用鱷魚夾的接地方式。

9.25.5每班開工前，每位員工都應(yīng)自檢防靜電環(huán)是否正常，并作好記錄，只有測(cè)試合格，才可以進(jìn)入靜

電敏感區(qū)域工作。

9.2.5.6防靜電線的有效長(zhǎng)度是2.0米，在使用防靜電環(huán)的過程中，不可過度拉扯而超過它的有效長(zhǎng)度不

可折斷防靜電線，不可沖洗防靜電環(huán)，拔插時(shí)不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電環(huán)金屬

片上加水等，要注意正確使代和妥善保護(hù)好防靜電環(huán)。

9.2.5.7先戴好防靜電環(huán)，再拿靜電敏感器件SSD,先放下靜電敏感器件SSD,再拔防靜電環(huán)。在實(shí)際工

作中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習(xí)慣。

9.3臨時(shí)或外來人員的防靜電管理：

9.3.1臨時(shí)（外來）人員，包括參觀人員、非本車間聯(lián)系工作人員、臨時(shí)施二人員（包括電工、修理工、裝飾

工等），進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí)，必須遵守防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過程的各項(xiàng)防靜電要求。

9.3.2臨時(shí)（外來）人員在參觀或作業(yè)過程中，不得徒手接觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。

9.3.3臨時(shí)施工作業(yè)在正常生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)要避免瞬時(shí)高壓、瞬時(shí)放電的操作（如電焊、啟動(dòng)電機(jī)、開關(guān)高壓電

源等）或事前采取防范措施，或安排在非生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)施工作業(yè)。

9.3.4防靜電區(qū)域內(nèi)需要進(jìn)行某種維護(hù)、修理作業(yè)時(shí)，維護(hù)人員應(yīng)攜帶并使用防靜電維修包，并遵守防靜電

區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。

10.靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)范

10.1所有的SSD（靜電敏感器件）及其部件的操作必須在靜電安全工作臺(tái)上進(jìn)行。

10.2進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應(yīng)視為SSD來對(duì)待。

10.3貯存和運(yùn)輸SSD及其部件時(shí)，應(yīng)妥善進(jìn)行防靜電包裝。

10.4拒絕接受未包裝在防靜電容器里的SSD。

10.5所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應(yīng)在指定的靜電泄放區(qū)域，經(jīng)過拆包和靜電泄放處理后，方可

用防靜電中轉(zhuǎn)工具將其轉(zhuǎn)到靜電敏感區(qū)域。

10.6不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的

SSD,不允許非ESD的材料與SSD混放。

10.7進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好

接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接

觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。

10.8不得隨意拆除和改變SSD的封裝，運(yùn)送全過程應(yīng)在防靜電容器中進(jìn)行，清點(diǎn)也盡可能在原包裝內(nèi)完成

10.9測(cè)試SSD時(shí)必須遵守加電和去電順序，嚴(yán)禁帶電插拔SSD。

10.10持拿SSD應(yīng)持其外殼兩端，嚴(yán)禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。

10.11SSD器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引起導(dǎo)通，短路等ESD事

件，從而損壞SSD器件。

10.12裝配SSD時(shí)，尤其是M0S管等靜電敏感器件，應(yīng)戴上防靜電手套或指套。

10.13清洗SSD及其部件時(shí)，不得使用塑料刷。

10.14不具備防靜電功能的必備工具和用具，應(yīng)放在防靜電桌墊上，并應(yīng)置于離子風(fēng)機(jī)的作用范圍內(nèi)。

10.15操作時(shí)應(yīng)盡量減少對(duì)SSD及其部件的接觸次數(shù)。

10.16組裝電子產(chǎn)品和設(shè)備時(shí)，如果需要使用電動(dòng)批，應(yīng)使用有接地線的低壓直流電動(dòng)批。

10.17禁止重復(fù)使用SSD器件包裝管來包裝SSD器件。

10.18原包裝標(biāo)識(shí)為靜電敏感的組件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。

10.19SSD器件初始包裝應(yīng)在靜電敏感區(qū)域內(nèi)完成，并要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的SSD器件，

進(jìn)行二次包裝時(shí)可以在非ESD區(qū)域內(nèi)完成，也需要防靜電材料。

10.20禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝SSD器件。

10.21在任何場(chǎng)合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸SSD及其部件。

10.22生產(chǎn)過程中使用的設(shè)備必須采取接地等防靜電措施。

10.23運(yùn)輸SSD及其部件時(shí)，應(yīng)將其放入防靜電包裝內(nèi)進(jìn)行，必要時(shí)應(yīng)用離子風(fēng)機(jī)來消除在運(yùn)輸過程中產(chǎn)生

的靜電。

10.24新布置的生產(chǎn)線或工位等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。

10.25新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格

后方可給生產(chǎn)線使用。

10.26新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。

11.靜電敏感區(qū)域的工作臺(tái)、工裝、設(shè)備以及防靜電淵材的防靜電規(guī)范

11.1基本防靜電要求：防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、工具、工裝儀器都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，如接觸元器件

的部分應(yīng)使用防靜電材料（體積電阻1.0X10^1.0X109Q）,對(duì)非防靜電材料（表面電阻＞10“Q）應(yīng)采用

靜電中和或涂抹防靜電涂液、涂層等其它防護(hù)措施進(jìn)行有效的接地（硬接地軟接地）o注意：直接接觸ESD

產(chǎn)品的包裝材料不建議使用涂層措施。

11.2防靜電工作桌的技術(shù)要求：防靜電工作桌是防靜電工作區(qū)的主要組成部分，下面所示為標(biāo)準(zhǔn)的防靜電

工作臺(tái)構(gòu)成圖，其中各組成部分的主要技術(shù)要求見表3:

接地連接

可選

11.2.1工作京墊、地墊和貨架靜電皮均應(yīng)采用防靜電材料。靜電桌墊、貨架靜電皮和地墊上任意一點(diǎn)的系

統(tǒng)電阻和表面電阻均為：IXldQ-1X1O9Q,靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于lOSo

11.2.2防靜電腕帶的泄漏電阻為0.&1。61.2x106。,靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于0.1S。

11.2.3防靜電工作椅:防靜電工作椅上任意一點(diǎn)和人體接觸的地方（椅墊，靠背或扶手）到工作椅的任意

一個(gè)導(dǎo)體腳輪的電阻應(yīng)該滿足1.0Xl（T1.0X109Q（不依賴于相對(duì)濕度），工作椅系統(tǒng)接地電阻應(yīng)

滿足1.OXKrLOXlO'Q；工作椅表面的摩擦電壓必須小于10CV或高靜電電壓瀉放到100V以

下的時(shí)間小于10秒。

11.2.4電離器：在不能有效泄放靜電的場(chǎng)合，可采用電離器通過電離空氣產(chǎn)生的正負(fù)離子，來防止和中和

在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對(duì)靜電電壓的消除能力大于100V/S。電離器的

平衡度要求小于±15V,靜電消散時(shí)間要求從1000伏下降到100伏的時(shí)間要求小于10秒（中檔

風(fēng)量、作用距離IFit）。

11.2.5接地系統(tǒng)：包括限流電阻和連接端子，應(yīng)連接可靠，并具有一定的載流能力。限流電阻阻值的選擇

應(yīng)保證漏泄電流不超過5mA,下限阻值應(yīng)為IMQo防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝

置，接地電阻小于1Q。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共享，另外，非金屬工

作臺(tái)面、地墊其它E5D保護(hù)設(shè)施均應(yīng)通過限流電阻接至公共地線，腕帶應(yīng)通過工作臺(tái)頂面接地點(diǎn)與

地線連接。工作臺(tái)不能相互串聯(lián)接地，而應(yīng)分別接地。

11.3工作桌的電氣要求：

靜電源靜電電位泄放至100V以下的時(shí)間小于10S,靜電防護(hù)操作系統(tǒng)的電阻上限為lOhhm,防靜電操

作系統(tǒng)的泄放電流不得超過5mA,為此防靜電操作系統(tǒng)的的電阻下限為10%hm，絕緣體上的靜電采用

電離器中和加以消除。

11.4工作桌的安裝（配置）要求：

11.4.1按照工作桌面的大小選擇所需的防靜電臺(tái)墊的尺寸。

11.4.2使用異丙醇徹底清洗桌墊下表面（即黑色的一面）。

11.4.3從防靜電桌墊正面壓下旋鈕接頭（可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點(diǎn)代替），使其穿過桌墊

和箔帶（多層箔帶時(shí)應(yīng)保證全部穿過），以保證電接觸良好。

11.4.4使用異丙醇清洗防靜電桌墊上表面和各組成構(gòu)件。

11.4.5將經(jīng)過以上準(zhǔn)備好的防靜電桌墊平整的鋪于工作桌面上。

11.4.6按操作人員的作業(yè)范圍、確定鋪放桌墊的面積。

11.4.7將工作桌置于防靜電地板上。

11.4.8防靜電工作桌的接地，使用橫截面不小于2mm2的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電桌墊串聯(lián)IMQ電阻

后連接到地線配置系統(tǒng)上。

11.4.9全部安裝完畢后，對(duì)各參數(shù)指標(biāo)進(jìn)行檢驗(yàn)合格后，方可開始使用。

11.5防靜電工作臺(tái)接地要求：

11.5.1防靜電工作臺(tái)的臺(tái)墊，串聯(lián)lMQ+\-10%的電阻接地（即軟接地）。

11.5.2防靜電工作臺(tái)墊和地墊上任意一點(diǎn)與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1.3x106?1.0xIO,Q

11.5.3接地電纜應(yīng)采用中間無接頭、且具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。

11.5.4多臺(tái)防靜電工作臺(tái)的接地線不能相互串接。

11.5.5防靜電工作臺(tái)上的測(cè)試儀器、穩(wěn)壓電源、電動(dòng)工具、和電離器等所有外部零件表面、屏蔽面均應(yīng)接

地，所有接地點(diǎn)應(yīng)集中接于一點(diǎn)，就近牢固搭接至地線系統(tǒng)上穩(wěn)壓電源盡可能遠(yuǎn)離工作臺(tái)。

1L5.6對(duì)載流接地線，應(yīng)使用同軸電纜來接地和屏蔽。

11.5.7為帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型，以使其配接時(shí)工具和

設(shè)備的金屬外殼能夠自動(dòng)接地且接地腳要首先接地，斷電時(shí)接地腳最后斷開。

11.5.8防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工裝（裝備）、工具都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，例如接觸或靠近

靜電敏感器件（SSD）的部分應(yīng)盡可能使用防靜電材料（靜電耗散可料），對(duì)特殊情況下不可避免須

使用非防靜電材料（表面電阻RS>1.0X10"Q）時(shí)應(yīng)采用靜電中和或定期涂抹抗靜電劑、涂層等

其它防護(hù)措施，使其電阻值為l.OXlO'?l.OXlOM。有效地消除、抑制或泄放靜電。

11.6防靜電工作桌、貨架靜電皮使用與維護(hù)要求：

1L6.1防靜電工作桌、貨架靜電皮在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。

11.6.2防靜電工作桌、貨架靜電皮上不允許存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易產(chǎn)生靜電的物品；

圖紙、資料等應(yīng)放入防靜電文件袋中。

11.6.3測(cè)量工具使用靜電電阻測(cè)試儀測(cè)量桌墊，貨架，靜電皮腕帶和接地電纜等的電阻值。

11.6.4使用異丙醇清潔防靜電臺(tái)墊、貨架靜電皮。

11.6.5以上條款必須定期進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

1L6.6使用接地電阻測(cè)試儀每年檢測(cè)一次地線配置系統(tǒng)電阻值，必要時(shí)，在每批次產(chǎn)品投產(chǎn)前檢測(cè)一次。

11.7工裝的防靜電技術(shù)要求：

1L7.1橡膠、塑料、化纖、有機(jī)玻璃等高分子材料都具有很高的電阻率，極易在使用過程中因接觸、分

離、摩擦、碰撞等作用而產(chǎn)生、積累起很強(qiáng)的靜電，諸如此類在工程中常用的丁基橡膠、ABS塑

料、PVC塑料、滌綸等材料都屬工裝慎用材料，對(duì)這些材料必須進(jìn)行防靜電處理或用防靜電材料

取代。

1L7.2如果接觸靜電敏感元器件的部分使用了金屬材料，則注意一定要將工裝進(jìn)行軟接地（例如放在防靜

電墊上接地）。

11.7.3如果由于特殊原因，工裝上接觸靜電敏感元器件的部分使用了非防靜電材料（表面電阻"OK。）則

應(yīng)該采用靜電中和或涂抹防靜電涂液涂層等其它防護(hù)措施。

11.8靜電敏感區(qū)域的防靜電器材規(guī)范：

11.8.1靜電敏感區(qū)域的防靜電器材規(guī)范：《參考ESD符合性驗(yàn)證計(jì)劃》

11.8.2防靜電器材及其使用維護(hù)要求：（注:可根據(jù)客戶的要求來制定測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)與測(cè)試頻率）

11.8.2.1防靜電臺(tái)（桌）墊、靜電皮：

在操作SSD時(shí)，工作臺(tái)上應(yīng)鋪設(shè)以防靜電材料制成的防靜電臺(tái)墊，使所有與之接觸的SSD的

端子、器具、儀表、人體等都處于同一電位，并通過適當(dāng)接地使靜電得以迅速泄放。一般的

安裝方法是，在臺(tái)墊上裝設(shè)接地端子，用以連接腕帶，同時(shí)墊子通過適當(dāng)電阻接入接地母線。

工作桌墊，貨架靜電皮可杈據(jù)現(xiàn)場(chǎng)工作的環(huán)境來定義監(jiān)測(cè)的涉率，在工作桌上操作SSD或PCB

板時(shí)，其工作桌墊監(jiān)測(cè)的頻度為每月一次，在工作桌墊上操作成品件時(shí)（有塑殼或包裝袋時(shí)）,

其監(jiān)測(cè)的頻率為每季度一次，貨架靜電皮上放置的原包裝材料或未拆封材料（有靜電防護(hù)包裝

的材料），其監(jiān)測(cè)的頻率為每季度一次。標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)，測(cè)試儀器是萬用表、靜電電

阻測(cè)試儀、靜電電壓表。

11.8.2.2防靜電地墊：

地墊用于工作崗位不是位于防靜電地面上的情況。防靜電地墊可用防靜電橡膠制作，多采用

雙層結(jié)構(gòu)上表層為使用面，操作者站在上面進(jìn)行作業(yè)，下表層為地電阻面，與地面直接、緊

密接觸。安裝地墊時(shí)要在其一角裝上供連接地線用的爪扣，并用專用連線與接地母線連接起

來。使用地墊時(shí)必須附有保護(hù)電阻，以防止人體意外觸電。防靜電墊每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)

準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)測(cè)試儀器是兆歐表或表面電阻測(cè)試儀。

11.8.2.3工作椅、工作凳:

為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。不得使用普通人造革面或塑

料面的椅子，不能用木制椅、凳代替防靜電椅。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時(shí)，應(yīng)

將防靜電椅、髡面接地。如果使用的不是靜電椅、髡，應(yīng)考慮更換或?qū)ζ溥M(jìn)行改造（在其表

面罩上防靜電套，并應(yīng)將防靜電椅面接地），每3個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)，測(cè)

試儀器是兆歐表或靜電電阻測(cè)試儀。

11.8.2.4防靜電包裝袋:

在靜電敏感器件和印制板的包裝和儲(chǔ)存中，為避免物料與高絕緣包裝袋的摩擦而產(chǎn)生靜電、

受到ESD損害，必須使用防靜電包裝袋。同時(shí)，為避免外界強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾與感應(yīng)，必要時(shí),

應(yīng)使用具有屏蔽作用的防靜電袋。防靜電包裝袋每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo),