嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）招標(biāo)文件

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心

（三期）

公開招標(biāo)

項(xiàng)目編號：中磊-zjzl-JX（2020）第2號

項(xiàng)目名稱：嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）

采購人：嘉興學(xué)院

采購代理機(jī)構(gòu)：浙江中磊工程咨詢有限公司

2020年4月10日

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

目錄

第一章公開招標(biāo)采購公告............................3

第二章招標(biāo)需求......................................6

第三章供應(yīng)商須知...................................38

第四章評標(biāo)辦法及評分標(biāo)準(zhǔn).........................53

第五章嘉興市政府采購合同（指引）................55

第六章投標(biāo)文件格式...............................64

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嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

第一章公開招標(biāo)采購公告

根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》、《中華人民共和國政府采購法實(shí)施條例》和《政府采

購貨物和服務(wù)招標(biāo)投標(biāo)管理辦法》、《浙江省政府采購活動(dòng)現(xiàn)場組織管理辦法》等規(guī)定,浙江中

磊工程咨詢有限公司受采購人委托，經(jīng)JM-00034510號采購計(jì)劃批準(zhǔn)，現(xiàn)就嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與

低碳能源技術(shù)中心（三期）進(jìn)行公開招標(biāo)采購，歡迎合格供應(yīng)商前來投標(biāo)，現(xiàn)將有關(guān)事項(xiàng)公告如

下：

一、項(xiàng)目編號：中磊-zjzl-JX（2020）第2號

二、采購組織類型：分散采購委托代理

三、采購人方式：公開招標(biāo)

四、招標(biāo)項(xiàng)目：嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）

五、招標(biāo)采購內(nèi)容：

標(biāo)預(yù)算金額最高限價(jià)

項(xiàng)采購內(nèi)容數(shù)量

（萬元）（萬元）

一

多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)1套725725

二射頻離子源（進(jìn)口1臺）1臺9493.5

氣相色譜（進(jìn)口2臺）、8通道藻類培養(yǎng)與在線監(jiān)

測系統(tǒng)（進(jìn)口1臺）、斑馬魚微視行為系統(tǒng)（進(jìn)口

三1臺）、總有機(jī)碳分析儀（進(jìn)口1臺）、離子色譜8臺202201

儀（進(jìn)口1臺）、紫外可見分光光度計(jì)（進(jìn)口1臺）、

真空等離子表面處理系統(tǒng)（進(jìn)口1臺）

四高溫高壓固定床微型反應(yīng)裝置等設(shè)備1批1批168168

六、采購需求（概述）

標(biāo)項(xiàng)一：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購多源高通量復(fù)合

材料基因組制備系統(tǒng)1套。

標(biāo)項(xiàng)二：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購射頻離子源設(shè)備

1臺。

標(biāo)項(xiàng)三：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)究中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購氣相色譜、8

通道藻類培養(yǎng)與在線監(jiān)測系統(tǒng)、斑馬魚微視行為系統(tǒng)、總有機(jī)碳分析儀、離子色譜儀、紫外可見

分光光度計(jì)、真空等離子表面處理系統(tǒng)等設(shè)備。

標(biāo)項(xiàng)四：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購高溫高壓固定床

微型反應(yīng)裝置等設(shè)備1批。

七、合格供應(yīng)商的資格要求

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_____________嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

（一）符合政府采購法第二十二條：

1.具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；2.具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；3.具有履

行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力：4有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；5參加政

府采購活動(dòng)前三年，在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄；6法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。

（-）符合財(cái)庫［2016R25號《關(guān)于在政府采購活動(dòng)中查詢及使用信用記錄有關(guān)問題的通知》

規(guī)定，且未被"信用中國"（）和“信用中國（浙江）”網(wǎng)站

（sdf.lkj//credit.zj.gov.cn）>中國政府采購網(wǎng)（sdf.Ikjccgp.gov.cn）列入失信被執(zhí)行人、

重大稅收違法案件當(dāng)事人名單、政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單。

（三）不允許聯(lián)合體投標(biāo)

注:本采購項(xiàng)目，中標(biāo)單位與采購單位簽訂的政府采購合同適用于嘉興市政府采購貸款政策，

簡稱“政采貸”，具體內(nèi)容可參閱政府采購貸款流程：

sdf.lkj//sdf.Ik.j.jxzbtb.cn/zxfw/005012/20181016/7e541bf4-ad29-4286-ace8-dl2clb2c54fc

.htmlo

八、公告期限：自公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日

九、報(bào)名、注冊及招標(biāo)文件的獲?。?/p>

1、本項(xiàng)目招標(biāo)文件實(shí)行“政府采購云平臺”在線獲取，不提供招標(biāo)文件紙質(zhì)版。供應(yīng)商獲

取招標(biāo)文件前應(yīng)先完成“政府采購云平臺”的賬號注冊；

2、地點(diǎn)：政采云平臺（https://sdf.Ikjzcygov.cn/）；

3、方式：潛在供應(yīng)商登陸政采云平臺，在線申請獲取招標(biāo)文件（進(jìn)入“項(xiàng)目采購”應(yīng)用，

在獲取招標(biāo)文件菜單中選擇項(xiàng)目，申請獲取招標(biāo)文件，本項(xiàng)目招標(biāo)文件不收取工本費(fèi)；僅需瀏

覽招標(biāo)文件的供應(yīng)商可點(diǎn)擊“游客，瀏覽招標(biāo)文件”直接下載招標(biāo)文件瀏覽）;

4、供應(yīng)商獲取招標(biāo)文件時(shí)須提交的文件資料：無；

5、提示：招標(biāo)公告附件內(nèi)的招標(biāo)文件（或采購需求）僅供閱覽使用，供應(yīng)商只有在“政府

采購云平臺”完成獲取招標(biāo)文件申請并下載了招標(biāo)文件后才視作依法獲取招標(biāo)文件（法律法規(guī)所

指的供應(yīng)商獲取招標(biāo)文件時(shí)間以供應(yīng)商完成獲取招標(biāo)文件申請后下載招標(biāo)文件的時(shí)間為準(zhǔn)）。

注：請供應(yīng)商按上述要求獲取招標(biāo)文件，如未在“政采云”系統(tǒng)內(nèi)完成相關(guān)流程，引起的投

標(biāo)無效責(zé)任自負(fù)。

投標(biāo)文件制作注意事項(xiàng)

］、本項(xiàng)目通過"政府采購云平臺（）”實(shí)行在線投標(biāo)響應(yīng)（電子投標(biāo)），

供應(yīng)商應(yīng)先安裝“政采云電子交易客戶端”，并按照本招標(biāo)文件和“政府采購云平臺”的要求，

通過“政采云電子交易客戶端”編制并加密投標(biāo)文件。供應(yīng)商未按規(guī)定加密的投標(biāo)文件，“政府

采購云平臺”將予以拒收。

“政采云電子交易客戶端”請自行前往“浙江政府采購網(wǎng)-下載專區(qū)-電子交易客戶端”進(jìn)行

下載。

2、供應(yīng)商須申領(lǐng)CA,并在政采云平臺完成綁定方可進(jìn)行投標(biāo)文件的編制，CA相關(guān)操作可參

考“浙江政府采購網(wǎng)-下載專區(qū)-電子交易客戶端-CA驅(qū)動(dòng)和申領(lǐng)流程”。

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注：供應(yīng)商在進(jìn)行上述操作時(shí)，如遇技術(shù)問題可致電400-881-7190進(jìn)行咨詢或查閱《供應(yīng)

商項(xiàng)目采購-電子招投標(biāo)操作指南》。操作指南在政府采購電子賣場-服務(wù)中心-幫助文檔-供應(yīng)商

登錄后，查看最新版指南。

3、投標(biāo)供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)在投標(biāo)截止時(shí)間前，將生成的“電子加密投標(biāo)文件”上傳遞交至“政府

采購云平臺”。投標(biāo)截止時(shí)間以后上傳遞交的投標(biāo)文件將被“政府采購云平臺”拒收。

4、投標(biāo)供應(yīng)商在“政府采購云平臺”完成“電子加密投標(biāo)文件”的上傳遞交后，還可以（郵

寄形式）在投標(biāo)截止時(shí)間前遞交以介質(zhì)（U盤）存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)電文形式的“備份投標(biāo)文件”，“備

份投標(biāo)文件”應(yīng)當(dāng)密封包裝并在包裝上標(biāo)注投標(biāo)項(xiàng)目名稱、投標(biāo)單位名稱并加蓋公章。

5、通過“政府采購云平臺”上傳遞交的“電子加密投標(biāo)文件”無法按時(shí)解密，投標(biāo)供應(yīng)商

遞交了備份投標(biāo)文件的，以備份投標(biāo)文件為依據(jù)，否則視為投標(biāo)文件撤回。通過“政府采購云平

臺”上傳遞交的“電子加密投標(biāo)文件”已按時(shí)解密的，“備份投標(biāo)文件”自動(dòng)失效。投標(biāo)供應(yīng)商

僅遞交備份投標(biāo)文件的，投標(biāo)無效。

十、投標(biāo)保證金：無

十一、投標(biāo)截止時(shí)間和地點(diǎn)：

1、投標(biāo)截止時(shí)間：2020年5月9日9時(shí)30分整在嘉興市公共資源交易中心（嘉興市廣場路

350號，市行政中心西側(cè)）開標(biāo)。

2、遞交注意事項(xiàng)

供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)在投標(biāo)截止時(shí)間前完成電子交易文件的傳輸遞交，投標(biāo)截止時(shí)間前可以補(bǔ)充、修

改或者撤回電子交易文件。補(bǔ)充或者修改電子交易文件的，應(yīng)當(dāng)先行撤回原文件，補(bǔ)充、修改后

重新傳輸遞交。投標(biāo)截止時(shí)間前未完成傳輸?shù)?，視為放棄投?biāo)。

現(xiàn)階段為電子交易試運(yùn)行階段，為確保采購項(xiàng)目順利實(shí)施，避免因解密失敗導(dǎo)致投標(biāo)供應(yīng)商

投標(biāo)無效，供應(yīng)商在電子交易平臺傳輸提交投標(biāo)文件后，將政采云平臺上最后生成的具備電子簽

章的備份電子標(biāo)文件1份下載至U盤，可以郵寄或送達(dá)到浙江中磊工程咨詢有限公司（嘉興市中

環(huán)廣場東區(qū)A座403）,采用郵寄方式的同時(shí)將投標(biāo)單位的單位名稱、聯(lián)系人、參與項(xiàng)目名稱、

聯(lián)系電話、郵遞單號等信息統(tǒng)一發(fā)送至代理機(jī)構(gòu)郵箱：455291270@。如供應(yīng)商選擇快遞費(fèi)

到付，招標(biāo)代理將拒簽。

3、備份電子標(biāo)文件制作為非強(qiáng)制性，但如遇因應(yīng)商電子投標(biāo)文件解密失敗等情況造成無效

標(biāo)，后果由供應(yīng)商自負(fù)。

十二、開標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)：

本次招標(biāo)將于2020年5月9日9時(shí)30分整在嘉興市公共資源交易中心（嘉興市廣場路350

號，市行政中心西側(cè)）開標(biāo)。供應(yīng)商無需到開標(biāo)現(xiàn)場，但須準(zhǔn)時(shí)在線參加，直至評審結(jié)束。

開標(biāo)時(shí)間截止后半小時(shí)內(nèi)（2020年5月9日10:00前）供應(yīng)商可以登錄“政采云”平臺，用

“項(xiàng)目采購-開標(biāo)評標(biāo)”功能進(jìn)行投標(biāo)文件解密。若供應(yīng)商在規(guī)定時(shí)間內(nèi)（2020年5月9日10:00

前）投標(biāo)文件無法解密或解密失敗且備份文件讀取失敗，則投標(biāo)無效。

十三、招標(biāo)公告發(fā)布于：浙江政府采購網(wǎng)（https:〃sdf./）和嘉興學(xué)院采購網(wǎng)

(sdf.Ikj//)。

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十四、業(yè)務(wù)咨詢：

嘉興學(xué)院

聯(lián)系人：葛老師聯(lián)系電話/p>

地點(diǎn)：浙江省嘉興市嘉杭路118號

浙江中磊工程咨詢有限公司聯(lián)系人：袁先生

聯(lián)系電話真/p>

地址：嘉興市中環(huán)廣場東區(qū)A座403室

政府采購行政監(jiān)管及投訴受理部門：嘉興市財(cái)政局

聯(lián)系電話/p>

十五、其他事項(xiàng)

供應(yīng)商應(yīng)按招標(biāo)文件要求，提供社保繳納證明材料。若社保繳納地點(diǎn)為嘉興市［含五縣（市）］

范圍內(nèi)的人員，供應(yīng)商只需提供本項(xiàng)目所涉人員社保繳納承諾函（格式詳見第六章）即可，無需

再提供紙質(zhì)社保繳納證明。供應(yīng)商應(yīng)對提交資料的真實(shí)性負(fù)責(zé)，若核實(shí)存在造假情形，監(jiān)管部門

將記錄企業(yè)不良信用并予以公示。

浙江中磊工程咨詢有限公司

2020年4月15日

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第二章招標(biāo)需求

一、項(xiàng)目背景

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心主要為全校的科研和教學(xué)工作服務(wù)，同時(shí)為地方經(jīng)濟(jì)

建設(shè)服務(wù)，為嘉興市及長三角地區(qū)的企業(yè)、研究單位、高校等提供技術(shù)服務(wù)。2018年啟動(dòng)建設(shè)

至今，經(jīng)過一期和二期的建設(shè)擁有了ICP-MS、原位紅外光譜儀、在線氣體質(zhì)譜分析儀、熒光光

譜儀、實(shí)驗(yàn)室砂磨機(jī)、氣質(zhì)聯(lián)用儀、氣相色譜儀、液相色譜儀、全自動(dòng)物理吸附儀、比表面及孔

徑分析儀、自動(dòng)程序升溫化學(xué)吸附分析儀、綜合熱分析儀、F-T合成催化反應(yīng)裝置、多通道固定

床催化反應(yīng)裝置等大型儀器設(shè)備?，F(xiàn)有實(shí)驗(yàn)室建設(shè)僅能實(shí)現(xiàn)基本科學(xué)研究的開展，遠(yuǎn)不能滿足高

水平的科研需求，遠(yuǎn)不夠推動(dòng)嘉興學(xué)院創(chuàng)大升碩實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍。因此，綠色生態(tài)與低碳能源研究

中心的三期建設(shè)為本中心建設(shè)的重中之重。

本項(xiàng)目計(jì)劃采購多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)、氣相色譜、8通道藻類培養(yǎng)與在線監(jiān)

測系統(tǒng)、斑馬魚微視行為系統(tǒng)、總有機(jī)碳分析儀、離子色譜儀、紫外可見分光光度計(jì)等高端大型

儀器設(shè)備用于科研和教學(xué)；為創(chuàng)建應(yīng)用技術(shù)型大學(xué)，采購靜電紡絲機(jī)、高溫高壓固定床微型反應(yīng)

裝置、電腦微波超聲波紫外光組合催化儀、轉(zhuǎn)矩流變儀、BMP和批處理消化器、動(dòng)態(tài)老化測試

儀等部分國產(chǎn)裝備用于應(yīng)用技術(shù)研究。本項(xiàng)目的實(shí)施將助力嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源研究中

心成為高水平科技創(chuàng)新平臺，更好地服務(wù)于學(xué)校的科研教學(xué)工作，服務(wù)于地方經(jīng)濟(jì)和材料的智能

制造方面相關(guān)人才的培養(yǎng)。該平臺的順利建成，將使得本中心具備了沖擊國際權(quán)威高質(zhì)量代表性

科研成果的必要條件，并爭取成為省部級重點(diǎn)科研單位。

二、采購清單及規(guī)格型號及技術(shù)指標(biāo)要求

標(biāo)項(xiàng)一：

序儀器名數(shù)量

規(guī)格型號及技術(shù)指標(biāo)要求

號稱（臺、套）

一、系統(tǒng)簡介：多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)是用于高通量材料基因芯片

制備的專用高效鍍膜裝置。該系統(tǒng)采用全新的高真空、多腔體設(shè)計(jì)思路，將原位

儲(chǔ)靶換靶和原位熱處理集成在一起，并采用配備了輔助離子源沉積的RF射頻離

多源高

子源離子束濺射系統(tǒng)，電子束蒸發(fā)系統(tǒng)和激光濺射鍍膜系統(tǒng)等多種鍍膜源?？赏?/p>

通量復(fù)

時(shí)滿足金屬、非金屬等不同材料的鍍膜，實(shí)現(xiàn)了高均一性、高致密度、高純度、

合材料

1高分辨率的材料基因芯片制備。該系統(tǒng)包含儲(chǔ)靶腔、激光輔助離子束濺射鍍膜1套

基因組

工藝腔、電子束蒸發(fā)鍍膜工藝腔，熱處理腔、三個(gè)傳送腔、取樣腔（帶等離子體

制備系

清潔基片功能）和表征腔體等多個(gè)腔體組成，之間用高真空插板閥連接。通過專

統(tǒng)

有儲(chǔ)靶腔體的設(shè)計(jì)，可以同時(shí)儲(chǔ)存至少36種不同的靶材，滿足各種材料基因芯

片的制備工作。該系統(tǒng)能夠在1英寸的基底上制備多達(dá)數(shù)十萬個(gè)不同組分的薄

膜樣品，用以高通量的成分、結(jié)構(gòu)、性能分析表征，通過一次實(shí)驗(yàn)即可完成多元

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材料相圖的數(shù)據(jù)采集，大幅度提高了材料制備效率、降低材料研制成本。

如下圖所示：為該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)圖，其包含儲(chǔ)靶腔、靶材傳送腔、離子束和激

光鍍膜工藝腔、電子束蒸發(fā)鍍膜工藝腔、基片傳送腔1、基片傳送腔2、真空熱

處理腔、樣品表征腔及取樣腔共九個(gè)真空腔室，各腔室之間通過插板閥進(jìn)行隔斷，

同時(shí)包括工藝布?xì)鈫卧涂刂茊卧Ｕ麄€(gè)樣品制備、熱處理及表征過程均在真空

環(huán)境下進(jìn)行，隔絕了外部污染，同時(shí)整個(gè)薄膜制備過程中均采用PLC精確控制。

二、功能模塊描述

1.儲(chǔ)靶模塊：為防止鍍膜過程中靶材的污染，在系統(tǒng)設(shè)計(jì)中采用獨(dú)立真空

腔體儲(chǔ)存系統(tǒng)中可能使用的靶材，儲(chǔ)存靶材的數(shù)量可根據(jù)客戶需求制定，標(biāo)配儲(chǔ)

靶腔可存儲(chǔ)3inch靶材不少于36個(gè)。

2.傳輸模塊：本設(shè)備系統(tǒng)采用真空機(jī)械手傳送模塊，一個(gè)機(jī)械手用于傳送

系統(tǒng)需要的靶材，另外兩個(gè)個(gè)機(jī)械手用于傳送基片，傳送過程均在真空過程中進(jìn)

行，并且傳送精度高。

3.高精度樣品升降旋轉(zhuǎn)模塊：高精度樣品升降旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)采用精密絲桿和高

精度步進(jìn)/伺服電機(jī)控制樣品在樣品臺上升降位置精度和轉(zhuǎn)角位置精度要求，避

免芯片上樣品點(diǎn)之間成分重疊引起的相互“污染”。

4.掩模模塊：連續(xù)掩模能夠進(jìn)行3元芯片的制備，實(shí)現(xiàn)組分連續(xù)變化的三

元芯片制備，從寬視角上篩選所需要的組分。

5.離子束濺射模塊：主要產(chǎn)生高能離子，用于轟擊靶材，使靶材上原子/

分子從靶材表面溢出，并沉積到樣品芯片表面。3cmRF射頻離子源和射頻中和源

及配套控制器由標(biāo)段二采購。配套的相應(yīng)尺寸的法蘭接口及配件嚴(yán)格參照本項(xiàng)目

標(biāo)段二設(shè)備的技術(shù)參數(shù)。

6.電子束蒸發(fā)模塊：電子束蒸發(fā)模塊包括電子蒸發(fā)源、珀期指示器、電子

束掃描控制器、高壓電源、電子源控制器等組成。電子在電子源底部產(chǎn)生后，在

磁場作用下，繞動(dòng)270。后打入電子源生煙，加熱省煙內(nèi)材料，使生煙內(nèi)材料變

成氣態(tài)，蒸發(fā)沉積在樣品基片表面。掃描控制器通過控制電磁場可以改變電子束

運(yùn)動(dòng)的形狀和軌跡，確保坦煙內(nèi)材料蒸發(fā)的均勻性。

7.輔助鍍膜激光器模塊：激光的高能量密度將部分靶材蒸發(fā)甚至電離，使

其脫離靶材進(jìn)而在基底上沉積，從而形成薄膜?？捎糜跒R射各種難熔材料，而且

不同成分全部濺射，可以得到與靶材成分一致的多元化合物薄膜。

8.熱處理模塊：通過在真空環(huán)境下熱輻射的方式，使基片上薄膜樣品的溫

度均勻升高。該模塊是在薄膜樣品芯片制備后，為樣品芯片上材料的分子提供充

足的熱動(dòng)能，使樣品分子之間可以進(jìn)行充分混合或結(jié)晶，通過調(diào)節(jié)不同的加熱溫

度、升降溫速率達(dá)到特殊的工藝要求。

9.樣品表征模塊：采用18inch球形樣品真空腔，球形腔中心位置可安裝樣

品位移臺，根據(jù)球形腔上安裝不同的表征模塊實(shí)現(xiàn)不同的樣品性能檢測。表征模

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塊由用戶自行配置。

10.PLC控制模塊.PLC控制模塊在確保整個(gè)系統(tǒng)自動(dòng)化運(yùn)行的同時(shí)，通過

各種互鎖條件防止人為誤操作或突發(fā)狀況下導(dǎo)致的設(shè)備損壞，包括系統(tǒng)真空條

件、冷卻水水壓條件、壓縮空氣壓力條件以及各閥門狀態(tài)條件等。

三、技術(shù)參數(shù)要求

a.基片：W3inch；可根據(jù)客戶需求定制。

Ab.膜厚均勻性：樣品1英寸范圍內(nèi)，膜厚200nm時(shí)，W3%?

c.基片臺：升降高度三20mm,伺服電機(jī)精度±10um；旋轉(zhuǎn)精度360°,

步進(jìn)電機(jī)精度±0.2。；水冷。

d.靶臺：升降高度20mm，伺服電機(jī)精度±10um；水冷。

▲e.主離子源預(yù)留6英寸法蘭接口，中和源預(yù)留2.75英寸法蘭接口。

源靶距：15-20cm

靶基距：10-15cm

離子束入射角：45度

▲f.電子束蒸發(fā)模塊：加速電壓：-6kVtoTOkV電子源功率：》5kW

時(shí)煙數(shù)量X規(guī)格：3X15cc

電子源掃略軌跡：5種模式可調(diào)。

g.激光模塊：固體激光器NIMMA900,1064/532/355/266nm,800T00mj可

調(diào)，或者

LAMBER-C03YAGnsTaser,355nm,900mJ

Ah.連續(xù)掩模：掩模板與基片間距離WO.5nm

掩模移動(dòng)伺服電機(jī)精度W10Um

掩模移動(dòng)速度0—2.5mm/s可調(diào)

Ai.極限真空：儲(chǔ)靶腔W7X10"torr;

靶材傳送腔W7X106torr

激光輔助離子束工藝腔，＜3X107torr,

電子束蒸發(fā)工藝腔＜7XW6torr

基片傳送腔1＜7X106torr

基片傳送腔2^7X10-6torr

基片裝載腔^7X102torr

基片熱處理腔W7X10%orr

樣品表征腔W7X10"torr

j.基片熱處理腔：溫度范圍：室溫-600°C可調(diào)，精度：W±3℃@600℃

k.設(shè)備所需功率：三相五線，380V士5%100KVA

1.壓縮空氣：用量：＜1.5mJ/min

壓力：0.6—0.8MPa

質(zhì)量：干燥，無塵，無油

m.冷卻水：用量：2.5T/h

水壓：2.5—3kg/cm2

水質(zhì)：純水和一般城市自來水

n.設(shè)備外形：約2mx4m

。.環(huán)境條件溫度：23℃+/—3℃

濕度：40%-60%RH

四、設(shè)備主要構(gòu)成和配置：

▲1.真空系統(tǒng)

a）真空腔體：

1.儲(chǔ)靶腔，＜l＞430*702mm,xl,

2.靶材傳送腔，＜j＞430*273mm,xl,

3.激光輔助離子束濺射鍍膜工藝腔，＜l＞515*471mm,xl,

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4.電子束蒸發(fā)鍍膜工藝腔，4>430*273mm,xl,

5.基片傳送腔1,4>430*273mm,xl,

6.基片傳送腔2,4>430*273mm,xl,

7.裝片取樣腔，180*245mm,xl,

8.基片熱處理腔，6430*273mm,xl,

9.樣品表征腔，球形腔體，<l>457mm,xl

b）分子泵：6臺，進(jìn)口；

c）干泵3臺；

d）復(fù)合真空計(jì)6套進(jìn)口；

e）皮拉尼真空計(jì)5套進(jìn)口；

f）高真空插板閥5套進(jìn)口；

g）高真空插板閥：5套；

h）真空管道，真空角閥，真空擋板閥約30件；

i）真空備用接口5套

▲2.各真空腔相關(guān)的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)

a）儲(chǔ)靶腔的靶材架的升降和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)（靶材由供應(yīng)商提供）1套

b）靶材傳送腔內(nèi)真空機(jī)械手系統(tǒng)，1套

C）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)靶托的升降和擺動(dòng)系統(tǒng)，1套

d）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)基片的升降擺動(dòng)和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，1套

e）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)基片的連續(xù)掩模機(jī)構(gòu)，1套

f）基片過渡腔1內(nèi)真空機(jī)械手系統(tǒng)，1套

g）基片過渡腔2內(nèi)真空機(jī)械手系統(tǒng)，1套

h）基片熱處理腔基片的平移和旋轉(zhuǎn)傳遞系統(tǒng)，1套

i）電子束蒸發(fā)腔體內(nèi)基片的升降擺動(dòng)和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。1套

3.加熱和冷卻系統(tǒng)，1套

a）基片熱處理腔的加熱600°C

b）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)靶材的冷卻20°C

c）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)基片的冷卻20。C

4.電控系統(tǒng)，1套：

a）3相電源的輸入和控制

b）真空系統(tǒng)自鎖，

c）各真空內(nèi)的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)的限位，

d）離子源系統(tǒng)的保護(hù)

e）真空系統(tǒng)保護(hù)，

f）報(bào)警：失水，失氣，過壓，過流，溫度

5.工作站硬件和軟件，1套：

a）工控機(jī),

b）控制模塊，

C）控制軟件開發(fā)

d）和離子源和控制系統(tǒng)的接口和通訊

e）和真空控制系統(tǒng)的接口和通訊

6.離子源和控制系統(tǒng)（由客戶自購）

7.電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，1套

a）電子蒸發(fā)源

b）電子源控制器

C）電子束掃描控制器

d）坦瑞指示器

8.激光模塊，1套

固體激光器NIMMA900,1064/532/355/266nm,800-100mj

或者LAMBER-C03YAGns-laser,355nm,900mJ

9.布?xì)庀到y(tǒng)，1套

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a）質(zhì)量流量計(jì)及控制器1套（Eton）

b）控制閥

c）布?xì)夤芗敖宇^

10.設(shè)備機(jī)械平臺：60X60鋁型材

11.基片裝載腔里的基片濺射清洗系統(tǒng)，1套

五、交貨清單及配件：

1.交貨清單：

（1）多源高通量復(fù)合材料制備系統(tǒng)1套；（包含系統(tǒng)所需的各種真空泵、

真空規(guī)、閘板閥、冷卻水路、氣路、電路、控制觸摸屏、控制電腦等）

序號名稱制造商數(shù)

量

真空儲(chǔ)靶系統(tǒng)（至少36個(gè)靶位，含分子泵

1定制1

和三維傳動(dòng)系統(tǒng)）

2真空過渡腔1（含機(jī)械手，插板閥和分子泵）定制1

離子束加輔助激光工藝腔及真空系統(tǒng)（含分

3.1定制1

子泵，插板閥和真空計(jì)等）

3.2高精度樣品Z-0三維傳動(dòng)模塊（含驅(qū)動(dòng)）定制1

3.3靶材Z-。三維傳動(dòng)模塊定制1

3.4掩模模塊（含驅(qū)動(dòng)）定制1

3.5固體激光器1

3.6離子束聚焦透鏡定制1

真空過渡腔2（含機(jī)械手，不含插板閥和分

4定制1

子泵）

5.1電子束蒸發(fā)腔體（含分子泵）定制1

5.2掩模模塊（含驅(qū)動(dòng)）定制1

5.3電子束蒸發(fā)模塊定制1

6裝片腔，帶等離子清洗功能定制1

真空過渡腔3（含機(jī)械手，不含插板閥和分

7定制1

子泵）

熱處理系統(tǒng)（含腔體，傳動(dòng)，加熱器，分子

8定制1

泵）

9樣品表征腔體（含分子泵）定制1

10PLC電控系統(tǒng)1

11301X干泵2

2L0T600無油干泵1

13真空及控制配件（含管道、位置、壓力、流1

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量、溫度傳感器、角閥等)

14鋁合金機(jī)架定制1

15工藝及過程控制軟件定制1

16水冷機(jī)組，F(xiàn)T-05A1

17靜音無油空壓機(jī)1

多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)關(guān)鍵配件推薦品牌清單

設(shè)備名稱型號品牌

MAG德國萊寶

1300/1000/2200

分子泵

TMP1003日本島津

HiPacel200德國普發(fā)

301X德國萊寶

干泵L0T600韓國LT

A100L德國阿爾卡特

MPG400瑞士英?？礗nficon

復(fù)合真空計(jì)PKR360德國普發(fā)

PTR90N德國Leybold

PSG500瑞士英?？礗nficon

皮拉尼真空計(jì)TPR270德國普發(fā)

TTR91德國Leybold

IS0100新萊

高真空插板閥IS0100瑞士VAT

IS0100美國KRI

NIMMA900鐳寶光電

固體激光器LAMBER-C02卓鐳激光技術(shù)有限公司

SpitLight2000SpitLightHighPower

211/241/247Telemark

電子束蒸發(fā)模塊EGG-3101/KIMBALL

EGPS-3101

EG3000LKTech

S7-300/1200德國西門子

PLC電控系統(tǒng)CJ2M日本歐姆龍

Q03日本三菱

FT05北京九州同城制冷設(shè)備有限

公司

水冷機(jī)組LSFX-15上海眾有實(shí)業(yè)有限公司

KC-005深圳市凱德利冷機(jī)設(shè)備有限

公司

YB-WWJ750上海勇霸機(jī)電技術(shù)有限公司

QC-D06/08-A2上海曲晨機(jī)電技術(shù)有限公司

靜音無油空壓機(jī)

GFXA-0.42-8B廣東冠能壓縮機(jī)股份有限公

司

(2)系統(tǒng)操作說明書1份;

2.配件：

(1)Cu、Al、Fe靶材各1個(gè);

(2)電子源用煙4只；

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(3)電子源工具包1套；

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標(biāo)項(xiàng)二：

數(shù)量

序儀器名

規(guī)格型號及技術(shù)指標(biāo)要求（臺、

號稱

套）

允許整機(jī)進(jìn)口

1.整套系統(tǒng)可以符合以下要求：

1.1射頻離子源（有柵網(wǎng)型）；

1.2離子源有水冷裝置；

L3離子源包含電源及控制器，并可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制功能；

1.4整套系統(tǒng)全部由生產(chǎn)廠家工廠預(yù)安裝調(diào)試好。

2.主要參數(shù)：

2.1柵網(wǎng)材質(zhì)：鋁；

▲2.2柵網(wǎng)口徑：3cm；

2.3柵網(wǎng)層數(shù)：兩層；

2.4柵網(wǎng)形式：聚焦型，焦點(diǎn)小于10cm；

2.5最大束流：75mA

▲2.6束流能量:50-1200eV；

2.7使用氣體：所有惰性氣體（Ar,Kr,N2,Xe）,及部分活性氣體（02不能

使用石墨柵網(wǎng)）；

射頻離2.8氣體流量：3Toscem；

11臺

子源2.9安裝方式：法蘭安裝；

A2.10中和方式：射頻中和。

3.電源及控制器參數(shù)：

3.1射頻輸出：600W；

3.2束流輸出：0-2000DC,4Kw,2A；

3.3加速極輸出:0-1000DC,200mA；

3.4中和極輸出：4A；

3.5電源輸入：200-240V~,單項(xiàng)或三項(xiàng)，最大電流30A；

3.6支持手動(dòng)、自動(dòng)及遠(yuǎn)程RS232控制，并預(yù)留遠(yuǎn)程控制接口；

3.7支持外部MFC控制，并預(yù)留接口。

4.離子源安裝組件要求：

4.1所有真空饋通件需為CF法蘭安裝；

4.2離子源連接線纜需為專用航空插頭。

5.產(chǎn)品特色：

5.1離子源為無燈絲狀態(tài)工作，減少污染；

5.2離子源及中和器需為射頻方式，保證可長時(shí)間連續(xù)工作；

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5.3電源參數(shù)操作界面可視化，可監(jiān)測多個(gè)參數(shù)，并配有觸摸屏及自動(dòng)互鎖；

5.4離子源為模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)，耗材少；

▲5.5離子源射頻輸出采用13.56MHz自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)，中和器采用自動(dòng)射頻變頻

配網(wǎng)絡(luò)輸出，便于操作；

6.售后與技術(shù)支持：

6.1國內(nèi)有工廠指定技術(shù)售后支持團(tuán)隊(duì)（提供證明）；

6.2國內(nèi)有工廠指定公司提供零配件的維修與銷售?

7.配置要求：

7.13cm射頻離子源1套；

7.2電源及控制器1套；

7.3射頻中和器1套；

7.4射頻離子源安裝饋通件1套：

7.5射頻離子源線纜1套；

7.6射頻離子源備件包1套；

7.73cm射頻離子源手冊1套；

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標(biāo)項(xiàng)三:

數(shù)量

序儀器名

規(guī)格型號及技術(shù)指標(biāo)要求（臺、

號稱

套）

允許整機(jī)進(jìn)口

1.工作環(huán)境條件

1.1工作電壓：100-240V,50-60HZ或者12伏直流電，最大150W單相

1.2工作溫度:0-50度

1.3相對濕度:5-95%

2.柱溫箱

2.1：柱溫箱溫度范圍，室溫+15T80。C,等溫

3.微型進(jìn)樣器

3.1：進(jìn)樣量約0.1叱-10此，通過設(shè)置進(jìn)樣時(shí)間來實(shí)現(xiàn)

3.2采樣時(shí)間0-255秒可選，可以設(shè)置自動(dòng)采樣

3.3：可選樣品加熱部件，可加熱到110。C,包括加熱樣品傳輸線

3.4：針對復(fù)雜樣品可選的樣品反吹功能

3.5全電子流量控制系統(tǒng)，內(nèi)置載氣壓力傳感器

4.測試樣品要求：

4.1：進(jìn)樣，1/16不銹鋼管路閥系統(tǒng)，自動(dòng)采集樣品，可由工作站設(shè)置采樣時(shí)

氣相色

1間程序1臺

譜儀

4.2：樣品條件：不冷凝氣體0°C至110C°

4.3：樣品最大進(jìn)樣壓力90kPa（13.05psi）

4.4.根據(jù)樣品的壓力軟件可選的自動(dòng)樣品采樣泵或連續(xù)流動(dòng)

4.5.支持多位閥柱切換（如10通、6通閥等）

4.6.支持樣品安裝在前面進(jìn)樣，以便操作

4.7樣品最大運(yùn)行時(shí)間500秒

4.8具有在線樣品過濾器，避免顆粒物進(jìn)入系統(tǒng)

▲4.9帶有在線氣體減壓裝置，最高可以耐受17Mpa壓力

5.高靈敏度微型熱導(dǎo)檢測器：

▲5.1.雙通道帶有參比池，最大可以升級為4通道，每個(gè)分析通道可以獨(dú)立操

作

5.2.檢測器內(nèi)部體積200NL

5.3.濃度1ppm到100%級

5.4.線性動(dòng)態(tài)范圍0-10”

▲5.5.重復(fù)性RSD<0.8%,1mol%的丙烷

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5.6.載氣類型：可選擇H2、N2、Ar、He氣，按照分析樣品的不同選擇，標(biāo)準(zhǔn)裝

備可以實(shí)現(xiàn)雙載氣配置。

5.7.靈敏度:

▲0.5ppm用5cb色譜柱測試，2ppm用PPU色譜柱測試

6.軟件系統(tǒng)：

6.1化學(xué)工作站軟件：Windows10操作環(huán)境，色譜分析軟件包（應(yīng)包括：本機(jī)運(yùn)

行控制軟件，數(shù)據(jù)采集、分析、儲(chǔ)存及定性定量分析）；智能報(bào)表提供自定義報(bào)

表和計(jì)算，帶有觸摸屏系統(tǒng)，方便在線診斷以及數(shù)據(jù)查看。

7：主機(jī)拓展要求：

7.1：后期可以增加不同分析通道，無需特殊改裝，最大可以實(shí)現(xiàn)四通道分析

7.2：可實(shí)現(xiàn)快速不同分析模塊更換

7.3：可實(shí)現(xiàn)不同反應(yīng)氣體檢測，無需手動(dòng)切換，可選擇流量選擇閥

7.配置要求：

7.1.氣相色譜儀主機(jī)系統(tǒng)帶有采樣泵1套

7.2通道一：微型TCD檢測器、10米MS5A帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.3通道二：微型TCD檢測器、10米PPU帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.4通道三：微型TCD檢測器、10米三氧化二鋁帶反吹色譜柱集成模塊各1套以

及安裝附件

7.5.在線過濾器濾膜10個(gè)

7.6.1/16英寸不銹鋼螺帽和密封圈一套10/包

7.71/16英寸三通，不銹鋼1套

7.8.安裝工具包1套

7.9.除水除氧過濾器1套

7.10.標(biāo)氣和樣品氣接入管線1套

7.11樣品減壓器1套

7.12.在線樣品過濾器1套

7.13.原裝色譜軟件帶有數(shù)據(jù)處理裝置1套

7.14.工作站硬件配置：CPU四核配置（17）,內(nèi)存不小于8G,硬盤不小于1T,

DVD/+-RW可擦寫光驅(qū)，高分辨液晶彩顯224寸；

7.15.數(shù)據(jù)輸出系統(tǒng)：激光打印分辨率》1200X1200dpi,自動(dòng)雙面打印。

允許整機(jī)進(jìn)口1臺

2氣相色1.工作環(huán)境條件

譜儀

1.1工作電壓：100-240V,50-60HZ或者12伏直流電，最大150W單相

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1.2工作溫度:0-50度

1.3相對濕度:5-95%

2.柱溫箱

2.1：柱溫箱溫度范圍，室溫+15-180°C,等溫

3.微型進(jìn)樣器

3.1：進(jìn)樣量約0.1叱-10此，通過設(shè)置進(jìn)樣時(shí)間來實(shí)現(xiàn)

3.2采樣時(shí)間0-255秒可選，可以設(shè)置自動(dòng)采樣

3.3：可選樣品加熱部件，可加熱到110。C,包括加熱樣品傳輸線

3.4：針對復(fù)雜樣品可選的樣品反吹功能

3.5全電子流量控制系統(tǒng)，內(nèi)置載氣壓力傳感器

4.測試樣品要求：

4.1：進(jìn)樣，1/16不銹鋼管路閥系統(tǒng)，自動(dòng)采集樣品，可由工作站設(shè)置采樣時(shí)

間程序

4.2：樣品條件：不冷凝氣體0°C至110C°

4.3：樣品最大進(jìn)樣壓力90kPa（13.05psi）

4.4.根據(jù)樣品的壓力軟件可選的自動(dòng)樣品采樣泵或連續(xù)流動(dòng)

4.5.支持多位閥柱切換（如10通、6通閥等）

4.6.支持樣品安裝在前面進(jìn)樣，以便操作

4.7樣品最大運(yùn)行時(shí)間500秒

4.8具有在線樣品過濾器，避免顆粒物進(jìn)入系統(tǒng)

▲4.9帶有在線氣體減壓裝置，最高可以耐受17Mpa壓力

5.高靈敏度微型熱導(dǎo)檢測器：

▲5.1.雙通道帶有參比池，最大可以升級為4通道，每個(gè)分析通道可以獨(dú)立操

作

5.2.檢測器內(nèi)部體積200NL

5.3.濃度1ppm到100%級

5.4.線性動(dòng)態(tài)范圍0-106

▲5.5.重復(fù)性RSD<0.8%,1mol%的丙烷

5.6.載氣類型：可選擇H2、N2、Ar、He氣，按照分析樣品的不同選擇，標(biāo)準(zhǔn)裝

備可以實(shí)現(xiàn)雙載氣配置。

5.7.靈敏度:

▲0.5ppm用5cb色譜柱測試，2ppm用PPU色譜柱測試

6.軟件系統(tǒng)：

6.1化學(xué)工作站軟件：WindowslO操作環(huán)境，色譜分析軟件包（應(yīng)包括：本機(jī)運(yùn)

行控制軟件，數(shù)據(jù)采集、分析、儲(chǔ)存及定性定量分析）；智能報(bào)表提供自定義報(bào)

表和計(jì)算，帶有觸摸屏系統(tǒng)，方便在線診斷以及數(shù)據(jù)查看。

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嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

7：主機(jī)拓展要求：

7.1：后期可以增加不同分析通道，無需特殊改裝，最大可以實(shí)現(xiàn)四通道分析

7.2：可實(shí)現(xiàn)快速不同分析模塊更換

7.3：可實(shí)現(xiàn)不同反應(yīng)氣體檢測，無需手動(dòng)切換，可選擇流量選擇閥

7.配置要求：

7.1.氣相色譜儀主機(jī)系統(tǒng)帶有采樣泵1套

7.2通道一：微型TCD檢測器、10米MS5A帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.3通道二：微型TCD檢測器、10米PPU帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.4.在線過濾器濾膜10個(gè)

7.5.1/16英寸不銹鋼螺帽和密封圈一套10/包

7.61/16英寸三通，不銹鋼1套

7.7.安裝工具包1