真空技術(shù) 術(shù)語-編制說明

一、工作簡況

1任務(wù)來源

本項(xiàng)目是根據(jù)國標(biāo)委標(biāo)準(zhǔn)制修訂計劃（國標(biāo)委發(fā)[2021]年41號文），計劃編號20214700-T-604，項(xiàng)目名

稱“真空技術(shù)術(shù)語”進(jìn)行修訂。主要起草單位：東北大學(xué)，計劃應(yīng)完成時間2023年。

2主要工作過程

起草（草案、論證）階段：2021年3月，東北大學(xué)即組織專家研究ISO3529-1：2019《Vacuumtechnology

－Vocabulary－Part1:Generalterms》、ISO3529-2：2020《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part2:Vacuum

pumpsandrelatedterms》和ISO3529-3：2014《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part3:Totalandpartial

pressurevacuumgauges》的相關(guān)內(nèi)容，分別于2021年6月23日-25日于浙江杭州，以及2021年9月25日

于甘肅省天水市，召開工作組會議，商討標(biāo)準(zhǔn)中術(shù)語和定義的細(xì)節(jié)總是。2022年1月10日，東北大學(xué)、臺

州職業(yè)技術(shù)學(xué)院收到國標(biāo)委批復(fù)文件后，隨即著手成立項(xiàng)目起草工作組，開始逐一翻譯文稿，因術(shù)語標(biāo)準(zhǔn)涉

及面廣，與當(dāng)前真空產(chǎn)品發(fā)展情況以及大專院校的教學(xué)內(nèi)容關(guān)聯(lián)緊密，又要貼合業(yè)內(nèi)使用習(xí)慣，因此工作組

在真空技術(shù)行業(yè)以及大專院校內(nèi)開展了廣泛的調(diào)研分析，并與GB/T3163-2007的內(nèi)容相比較，結(jié)合當(dāng)前的

行業(yè)需求，確立了草案框架，逐步完善草案內(nèi)容，形成標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿，經(jīng)組長審核后，于2022年7月25

日報至秘書處。

征求意見階段：經(jīng)標(biāo)委會秘書處同意，2022年7月29日由工作組牽頭負(fù)責(zé)通過網(wǎng)站宣傳、雜志登載、

文稿郵寄等方式公開征求意見，向行業(yè)有關(guān)單位、科研院所、大專院校及有代表性的標(biāo)準(zhǔn)利益方發(fā)函征求意

見。

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

本標(biāo)準(zhǔn)由東北大學(xué)、臺州職業(yè)技術(shù)學(xué)院、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司等單位共同起草。

二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和主要內(nèi)容

1.標(biāo)準(zhǔn)編制原則

本標(biāo)準(zhǔn)的制定符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的原則，本著先進(jìn)性、科學(xué)性、合理性和可操作性的原則，以及標(biāo)準(zhǔn)的目

標(biāo)性、統(tǒng)一性、協(xié)調(diào)性、適用性、一致性和規(guī)范性原則來進(jìn)行本標(biāo)準(zhǔn)的制定工作，且與技術(shù)創(chuàng)新、試驗(yàn)驗(yàn)證、

產(chǎn)業(yè)推進(jìn)、應(yīng)用推廣相結(jié)合，統(tǒng)籌推進(jìn)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草過程中，主要參照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草

規(guī)則》和GB/T1.2-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第2部分：以ISO/IEC標(biāo)準(zhǔn)化文件為基礎(chǔ)的標(biāo)準(zhǔn)化文件起草規(guī)

則》的要求進(jìn)行編寫。在標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)化過程中，綜合考慮真空技術(shù)行業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r，技術(shù)水平，力求確立真空技

術(shù)領(lǐng)域的概念體系，并領(lǐng)域內(nèi)的交流、合作以及教學(xué)使用。

本標(biāo)準(zhǔn)為修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，修訂GB/T3163-2007，

轉(zhuǎn)化ISO3529(所有部分）時，術(shù)語和定義的內(nèi)容完全一致。GB/T3163-2007制定之初，因參照德國真空技

術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，在標(biāo)準(zhǔn)中納入了多項(xiàng)真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語和定義，例如：真空系統(tǒng)、真空檢漏、真空鍍膜、表

面分析技術(shù)等，因此沒有將該標(biāo)準(zhǔn)按分部分采標(biāo)，而是整合轉(zhuǎn)化為一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)。因此，此次ISO3529（所

有部分）做了修訂，國內(nèi)因而亦申請修訂GB/T3163-2007時，也繼續(xù)沿用此標(biāo)準(zhǔn)號，沒有分部分申請立項(xiàng)。

但由于當(dāng)前真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的飛速發(fā)展，GB/T3163-2007中所含有的術(shù)語和定義已無法滿足當(dāng)前的需求，

在一些相關(guān)領(lǐng)域的國行標(biāo)中，依據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)要求也對這些術(shù)語做了重復(fù)定義。因此，本次修訂過程中，

不再納入真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語，僅保留真空計校準(zhǔn)相關(guān)內(nèi)容，與全壓和分壓真空計內(nèi)容配合使用。

2標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為《真空技

術(shù)術(shù)語》，重新編制了范圍一章，主要內(nèi)容與ISO3529（所有部分）完全一致，在此基礎(chǔ)上增加了真空計

校準(zhǔn)的相關(guān)術(shù)語和定義。界定了真空技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)通用、真空泵及其相關(guān)、全壓和分壓真空計方面的術(shù)語和

定義，確立了真空技術(shù)領(lǐng)域的概念體系。

標(biāo)準(zhǔn)中姨真空區(qū)域做了重新劃分，修訂了“真空”、“真空壓力”、“容積真空泵”、”滑閥真空泵“、”低溫泵

“、”干式真空泵“、“體積流率”、“流量”、“臨界前級壓力”、“極限壓力”、“基礎(chǔ)壓力”、“壓縮比”、真空計的

“測量范圍”等術(shù)語和定義。納入了當(dāng)前已得到普及應(yīng)用的諸如“超清潔真空”、“隔膜真空泵”、“螺桿真空泵”、

“爪式真空泵”、“非蒸散吸氣劑真空泵”、“復(fù)合渦輪分子真空泵”、“機(jī)械增壓真空泵”、“電離計靈敏度”、

“Bourdon真空計”、“薄膜真空計”、“電容薄膜真空計”、“磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計”、“皮拉尼真空計”、“熱電偶真

空計”、“離子能量分析真空計”、“離子阱質(zhì)譜儀”等最新的術(shù)語和定義。刪除了諸如“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”、“標(biāo)準(zhǔn)

環(huán)境狀態(tài)”、“氣鎮(zhèn)泵”、“體積碰撞率”、“氣體量”、“吸氣劑離子泵”、“電離計系數(shù)”、“冷陰極電離計”等內(nèi)容。

重新構(gòu)建了真空鍍膜術(shù)語的結(jié)構(gòu)框架。

3主要技術(shù)差異

本文件代替GB/T3163-2007《真空技術(shù)術(shù)語》，與GB/T3163-2007相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，

主要技術(shù)變化如下：

——更改了文件的范圍，刪除了真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語和定義涵蓋范圍（見第1章，2007年版的2.1）

——刪除了“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”（見2007年版的2.1）；

——刪除了“標(biāo)準(zhǔn)氣體狀態(tài)”（見2007年版的2.2）；

——更改了“真空區(qū)域”的劃分范圍（見3.1.1.2，2007年版的2.2）；

——增加了“超清潔真空”的術(shù)語和定義（見3.1.1.3）；

——更改了“壓力”的定義（見3.1.1.4，2007年版的2.5）；

——刪除了“帕斯卡”（見2007年版的2.6）；

——刪除了“分壓力”中的符號和單位（見3.1.1.5，2007年版的2.7）；

——更改了“飽和蒸氣”的定義（見3.1.2.6，2007年版的2.15）；

——增加了“體積速度”的術(shù)語和定義（見3.1.2.10）；

——增加了“氣體溫度”的術(shù)語和定義（見3.1.2.11）；

——更改了“氣體量（壓力-體積單位）”的定義（見3.1.2.12，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定義（見3.1.3.1，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾數(shù)”的定義（見3.1.3.2，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏參數(shù)”的術(shù)語和定義（見3.1.3.3）；

——更改了“碰撞率”的定義（見3.1.3.4，2007年版的2.21）；

——刪除了“體積碰撞率”（見2007年版的2.22）；

——刪除了“氣體量”（見2007年版的2.23）；

——更改了“氣體的擴(kuò)散”的定義（見3.1.3.5，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滯流”的定義（見3.1.3.7，2007年版的2.26）；

——更改了“伯謖葉流”的定義（見3.1.3.9，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的術(shù)語和定義（見3.1.3.12）；

——更改了“流量”的定義（見3.1.3.18，2007年版的2.37）；

——更改了“麥克斯韋速度分布”的定義（見3.1.3.22，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流導(dǎo)”的定義（見3.1.3.26，2007年版的2.45）；

——增加了“動量適應(yīng)系數(shù)”的術(shù)語和定義（見3.1.4.7）；

——更改了“解吸”的定義（見3.1.4.14，2007年版的2.59）；

——更改了“滲透”的定義（見3.1.4.19，2007年版的2.64）；

——更改了“滲透率”的定義（見3.1.4.20，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定義（見3.2.1.1，2007年版的3.1.1）；

——增加了“氣體傳輸真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.2）；

——更改了“容積真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.3，2007年版的3.1.2）；

——刪除了“氣鎮(zhèn)（真空）泵”（見2007年版的3.1.2.1.1）；

——刪除了“油封（液封）真空泵”（見2007年版的的3.1.2.1.2）；

——刪除了“干式真空泵”（見2007年版的3.1.2.1.3）；

——增加了“隔膜真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.4）；

——增加了“線性蠕動真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.6）；

——增加了“渦旋真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.7）；

——更改了“旋片真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.8，2007年版的3.1.2.4.1）；

——更改了“液環(huán)真空泵”的定義（見3.2.1.9，2007年版的3.1.2.3）；

——增加了“外置葉片真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.10）；

——更改了“定片真空泵”的定義（見3.2.1.11，2007年版的3.1.2.4.2）；

——刪除了“滑閥真空泵”（見2007年版的3.1.2.4.3）；

——更改了“余擺線泵”的定義（見3.2.1.12，2007年版的3.1.2.6）；

——增加了“蠕動真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.13）；

——更改了“羅茨真空泵”的定義（見3.2.1.14，2007年版的3.1.2.5）；

——增加了“蠕動真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.13）；

——增加了“螺桿真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.15）；

——增加了“爪式真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.16）；

——更改了“動量真空泵”的定義（見3.2.1.17，2007年版的3.1.3）；

——更改了“渦輪真空泵”的定義（見3.2.1.18，2007年版的3.1.3.1）；

——增加了“再生式真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.19）；

——增加了“復(fù)合渦輪分子真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.22）；

——增加了“氣體收集真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.32）；

——更改了“氣體捕集真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.33，2007年版的3.1.4）；

——增加了“非蒸散吸氣劑真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.36）；

——刪除了“吸氣劑離子泵”（見2007年版的3.1.4.4）；

——刪除了“升華（蒸發(fā)）離子泵”（見2007年版的3.1.4.4.1）；

——增加了“標(biāo)準(zhǔn)二極型離子真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.39）；

——增加了“二極型離子真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.40）；

——增加了“三極型離子真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.41）；

——更改了“低溫真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.42，2007年版的3.1.4.5）；

——增加了“冷凝器”的術(shù)語和定義（見3.2.1.43）；

——增加了“表面冷凝器”的術(shù)語和定義（見3.2.1.44）；

——增加了“噴霧冷凝器”的術(shù)語和定義（見3.2.1.45）；

——增加了“表面凝結(jié)（結(jié)霜）”的術(shù)語和定義（見3.2.1.46）；

——更改了“葉片”的定義（見3.2.2.4，2007年版的3.2.4）；

——更改了“氣鎮(zhèn)閥”的定義（見3.2.2.9，2007年版的3.2.6）；

——更改了“擴(kuò)壓器”的定義（見3.2.2.16，2007年版的3.2.13）；

——增加了“干式真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.4.1）；

——更改了“高真空泵”的定義（見3.2.4.6，2007年版的3.4.5）；

——增加了“機(jī)械增壓真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.4.7.1）；

——增加了“噴射增壓真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.4.7.2）；

——刪除了“附屬真空泵”（見2007年版的3.4.7）；

——更改了“體積流率”的定義（見3.2.5.1，2007年版的3.5.1）；

——更改了“真空泵的流量”的定義（見3.2.5.2，2007年版的3.5.2）；

——更改了“前級壓力”的定義（見3.2.5.4，2007年版的3.5.4）；

——更改了“臨界前級壓力”的定義（見3.2.5.5，2007年版的3.5.5）；

——更改了“最大工作壓力”的定義（見3.2.5.7，2007年版的3.5.7）；

——更改了“極限壓力”的定義（見3.2.5.8，2007年版的3.5.8）；

——增加了“基礎(chǔ)壓力”的術(shù)語和定義（見3.2.5.9）；

——增加了“入口壓力”的術(shù)語和定義（見3.2.5.10）；

——更改了“壓縮比”的定義（見3.2.5.11，2007年版的3.5.9）；

——更改了“加熱時間”的術(shù)語和定義（見3.2.5.19，2007年版的3.5.18）；

——更改了“冷卻時間”的術(shù)語和定義（見3.2.5.20，2007年版的3.5.19）；

——增加了“最大連續(xù)抽氣量”的術(shù)語和定義（見3.2.5.21）；

——更改了“裸規(guī)”的定義（見3.3.1.2.1.1，2007年版的4.1.2.1.1）；

——更改了“全壓真空計”的定義（見3.3.2.3，2007年版的4.2.3）；

——更改了“分壓真空計”的定義（見3.3.2.4，2007年版的4.2.4）；

——更改了“分壓真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.3.1，2007年版的4.3.1）；

——刪除了“電離計系數(shù)（壓力單位倒數(shù)）”（見2007年版的4.3.4）；

——增加了“電離計靈敏度”的術(shù)語和定義（見3.3.3.4）；

——更改了“液位壓力計”的定義（見3.3.4.1.1，2007年版的4.4.1.1）；

——增加了“布爾登壓力計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.1.2.1）；

——增加了“薄膜真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.1.2.2）；

——增加了“電容薄膜真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.1.2.3）；

——更改了“黏滯真空計”的定義（見3.3.4.2.1，2007年版的4.4.2.1）；

——增加了“磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.2.1.1）；

——增加了“石英摩擦真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.2.1.2）；

——增加了“熱電偶真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.2.2.1）；

——增加了“皮拉尼真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.2.2.2）；

——增加了“熱敏電阻表”的術(shù)語和定義（見3.3.4.2.2.3）；

——更改了“電離真空計”的定義（見3.3.4.3.1，2007年版的4.4.3.1）；

——增加了“交叉場電離真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.3.2）；

——刪除了“放射性電離計”（見2007年版的4.4.3.2）；

——刪除了“冷陰極電離計”（見2007年版的4.4.3.3）；

——更改了“潘寧計”的定義（見3.3.4.3.2.1，2007年版的4.4.3.3.1）；

——更改了“磁控管真空計”的術(shù)語和定義（見3.3.4.3.2.2，2007年版的4.4.3.3.2）；

——增加了“翻轉(zhuǎn)磁控管真空計”（見3.3.4.3.2.3）；

——增加了“發(fā)射陰極電離真空計”（見3.3.4.3.3）；

——刪除了“放電管指示器”（見2007年版的4.4.3.3.3）；

——增加了“離子能量分析真空計”（見3.3.4.3.3.8）；

——刪除了“雙金屬線振蕩器真空計”（見2007年版的4.4.3.4.9）；

——增加了“離子阱質(zhì)譜儀”（見3.3.5.2.4）；

——更改了“飛行時間質(zhì)譜儀”的定義（見3.3.5.4.1，2007年版的4.5.4.1）；

——增加了“反射質(zhì)譜儀”（見3.3.5.4.1.1）；

——增加了“Wiley-Mclaren質(zhì)譜儀”（見3.3.5.4.1.2）；

——刪除了“真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語”（見2007年版的第5章）；

——刪除了“檢漏及有關(guān)術(shù)語”（見2007年版的第6章）；

——刪除了“真空鍍膜技術(shù)”（見2007年版的第7章）；

——刪除了“真空干燥和冷凍干燥”（見2007年版的第8章）；

——刪除了“表面分析技術(shù)”（見2007年版的第9章）；

——刪除了“真空冶金”（見2007年版的第10章）；

——更改了“符號和縮略語”（見第4章，2007年版的附錄B）；

——刪除了附錄“在采用國際單位制（SI制）之前使用的壓力單位和換算系數(shù)”（見2007年版的附錄A）；

——更改了真空泵分類表（見附錄A，2007年版的附錄C）；

——增加了全壓真空計樹形圖（見附錄B）；

——更改了與ISO3529結(jié)構(gòu)編號對照一覽表（見附錄C，2007年版的D）；

——刪除了中文索引（見2007年版的中文索引）；

——刪除了英文索引（見2007年版的英文索引）。

4解決的主要問題

本標(biāo)準(zhǔn)為修訂項(xiàng)目，原標(biāo)準(zhǔn)GB/T3163-2007修改采用的國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3529(所有部分）：1981均已完

成修訂，自1981年距今的40年間，真空技術(shù)發(fā)展迅猛，因此原有的術(shù)語內(nèi)容已無法滿足現(xiàn)有技術(shù)應(yīng)用的需

求，如：新增加的“超清潔真空”、“復(fù)合渦輪分子泵”等術(shù)語，都是以往術(shù)語體系中不存在的內(nèi)容，對真空

區(qū)域也重新做了劃分。同時，原有的術(shù)語也被賦予了新的概念，或是定義發(fā)生了變化，這使得國內(nèi)術(shù)語在應(yīng)

用中暫時無法實(shí)現(xiàn)統(tǒng)一，國內(nèi)外在對術(shù)語的理解上也存在著差異，極大地影響了學(xué)術(shù)界的交流，技術(shù)領(lǐng)域的

溝通學(xué)習(xí)，以及應(yīng)用領(lǐng)域的兼容性。其次，GB/T3163-2007中存在一些定義不規(guī)范、表述錯誤、術(shù)語層次

劃分不清晰的錯誤，均需得到修改。因此本標(biāo)準(zhǔn)的修訂可有效解決標(biāo)齡老化問題，標(biāo)準(zhǔn)的時效性。同時性能

參數(shù)、新型產(chǎn)品、前沿技術(shù)的最新術(shù)語和定義，亦可指導(dǎo)生產(chǎn)制造，提高產(chǎn)品技術(shù)性能，可更好地滿足市場

和使用需要，亦有助于在真空技術(shù)、真空設(shè)備、真空科研等相關(guān)領(lǐng)域，與國外開展對標(biāo)達(dá)標(biāo)，對提升我國真

空技術(shù)水平具有十分重要的作用。

三、主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）情況

本標(biāo)準(zhǔn)是術(shù)語標(biāo)準(zhǔn)，沒有進(jìn)行試驗(yàn)或驗(yàn)證分析。

四、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利的情況

本標(biāo)準(zhǔn)不涉及專利問題。

五、預(yù)期達(dá)到的社會效益、對產(chǎn)業(yè)發(fā)展的作用等情況

術(shù)語標(biāo)準(zhǔn)作為整個真空行業(yè)以及真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域科研生產(chǎn)、教學(xué)研發(fā)等相關(guān)活動的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)，對開展

國際合作、對外貿(mào)易和交流有著重要且深遠(yuǎn)的影響。尤其是近些年，在真空獲得、真空測量、真空應(yīng)用等方

面發(fā)展出許多新興技術(shù)，在航空航天、高能物理、新興能源、化工制藥、半導(dǎo)體等領(lǐng)域也誕生了許多新型應(yīng)

用，原有的概念體系無法滿足當(dāng)前技術(shù)發(fā)展的需求。

本標(biāo)準(zhǔn)為修訂項(xiàng)目。通過修訂，充分納入和反映了當(dāng)今新產(chǎn)品、新技術(shù)、新工藝和新參數(shù)的先進(jìn)技術(shù)成

果，保證了標(biāo)準(zhǔn)的時效性，為當(dāng)前真空技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用、研究和教學(xué)提供技術(shù)支撐，建立全新的概念體系，

且與國際真空技術(shù)概念體系保持一致發(fā)展。該標(biāo)準(zhǔn)做為真空技術(shù)行業(yè)的基礎(chǔ)性標(biāo)準(zhǔn)，亦為今后真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

的發(fā)展規(guī)定了基本準(zhǔn)則。對引導(dǎo)和規(guī)范真空技術(shù)及相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展，提升標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)性、合理性和適用

性起到了關(guān)鍵性的支撐作用。

六、與國際、國外對比情況

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用ISO3529-12020、ISO3529-22019、ISO3529-32014。

本標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)內(nèi)容與國際標(biāo)準(zhǔn)完全一致，在此基礎(chǔ)上增加了真空計校準(zhǔn)內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)修訂過程中未測試國外樣品、樣機(jī)。

本標(biāo)準(zhǔn)水平為國際先進(jìn)水平。

七、在標(biāo)準(zhǔn)體系中的位置，與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，特別是強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)

的協(xié)調(diào)性

本專業(yè)領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)體系框架如圖（見附件）。

本標(biāo)準(zhǔn)屬于真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系“01真空技術(shù)”大類。

本標(biāo)準(zhǔn)與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)一致。

八、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

無。

九、標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)的建議說明

建議本標(biāo)準(zhǔn)的性質(zhì)為推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)。

十、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議

建議本標(biāo)準(zhǔn)批準(zhǔn)發(fā)布即實(shí)施。

十一、廢止現(xiàn)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議

無。

十二、其他應(yīng)予說明的事項(xiàng)

無。

一、工作簡況

1任務(wù)來源

本項(xiàng)目是根據(jù)國標(biāo)委標(biāo)準(zhǔn)制修訂計劃（國標(biāo)委發(fā)[2021]年41號文），計劃編號20214700-T-604，項(xiàng)目名

稱“真空技術(shù)術(shù)語”進(jìn)行修訂。主要起草單位：東北大學(xué)，計劃應(yīng)完成時間2023年。

2主要工作過程

起草（草案、論證）階段：2021年3月，東北大學(xué)即組織專家研究ISO3529-1：2019《Vacuumtechnology

－Vocabulary－Part1:Generalterms》、ISO3529-2：2020《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part2:Vacuum

pumpsandrelatedterms》和ISO3529-3：2014《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part3:Totalandpartial

pressurevacuumgauges》的相關(guān)內(nèi)容，分別于2021年6月23日-25日于浙江杭州，以及2021年9月25日

于甘肅省天水市，召開工作組會議，商討標(biāo)準(zhǔn)中術(shù)語和定義的細(xì)節(jié)總是。2022年1月10日，東北大學(xué)、臺

州職業(yè)技術(shù)學(xué)院收到國標(biāo)委批復(fù)文件后，隨即著手成立項(xiàng)目起草工作組，開始逐一翻譯文稿，因術(shù)語標(biāo)準(zhǔn)涉

及面廣，與當(dāng)前真空產(chǎn)品發(fā)展情況以及大專院校的教學(xué)內(nèi)容關(guān)聯(lián)緊密，又要貼合業(yè)內(nèi)使用習(xí)慣，因此工作組

在真空技術(shù)行業(yè)以及大專院校內(nèi)開展了廣泛的調(diào)研分析，并與GB/T3163-2007的內(nèi)容相比較，結(jié)合當(dāng)前的

行業(yè)需求，確立了草案框架，逐步完善草案內(nèi)容，形成標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿，經(jīng)組長審核后，于2022年7月25

日報至秘書處。

征求意見階段：經(jīng)標(biāo)委會秘書處同意，2022年7月29日由工作組牽頭負(fù)責(zé)通過網(wǎng)站宣傳、雜志登載、

文稿郵寄等方式公開征求意見，向行業(yè)有關(guān)單位、科研院所、大專院校及有代表性的標(biāo)準(zhǔn)利益方發(fā)函征求意

見。

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

本標(biāo)準(zhǔn)由東北大學(xué)、臺州職業(yè)技術(shù)學(xué)院、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司等單位共同起草。

二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和主要內(nèi)容

1.標(biāo)準(zhǔn)編制原則

本標(biāo)準(zhǔn)的制定符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的原則，本著先進(jìn)性、科學(xué)性、合理性和可操作性的原則，以及標(biāo)準(zhǔn)的目

標(biāo)性、統(tǒng)一性、協(xié)調(diào)性、適用性、一致性和規(guī)范性原則來進(jìn)行本標(biāo)準(zhǔn)的制定工作，且與技術(shù)創(chuàng)新、試驗(yàn)驗(yàn)證、

產(chǎn)業(yè)推進(jìn)、應(yīng)用推廣相結(jié)合，統(tǒng)籌推進(jìn)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草過程中，主要參照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草

規(guī)則》和GB/T1.2-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第2部分：以ISO/IEC標(biāo)準(zhǔn)化文件為基礎(chǔ)的標(biāo)準(zhǔn)化文件起草規(guī)

則》的要求進(jìn)行編寫。在標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)化過程中，綜合考慮真空技術(shù)行業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r，技術(shù)水平，力求確立真空技

術(shù)領(lǐng)域的概念體系，并領(lǐng)域內(nèi)的交流、合作以及教學(xué)使用。

本標(biāo)準(zhǔn)為修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，修訂GB/T3163-2007，

轉(zhuǎn)化ISO3529(所有部分）時，術(shù)語和定義的內(nèi)容完全一致。GB/T3163-2007制定之初，因參照德國真空技

術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，在標(biāo)準(zhǔn)中納入了多項(xiàng)真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語和定義，例如：真空系統(tǒng)、真空檢漏、真空鍍膜、表

面分析技術(shù)等，因此沒有將該標(biāo)準(zhǔn)按分部分采標(biāo)，而是整合轉(zhuǎn)化為一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)。因此，此次ISO3529（所

有部分）做了修訂，國內(nèi)因而亦申請修訂GB/T3163-2007時，也繼續(xù)沿用此標(biāo)準(zhǔn)號，沒有分部分申請立項(xiàng)。

但由于當(dāng)前真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的飛速發(fā)展，GB/T3163-2007中所含有的術(shù)語和定義已無法滿足當(dāng)前的需求，

在一些相關(guān)領(lǐng)域的國行標(biāo)中，依據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)要求也對這些術(shù)語做了重復(fù)定義。因此，本次修訂過程中，

不再納入真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語，僅保留真空計校準(zhǔn)相關(guān)內(nèi)容，與全壓和分壓真空計內(nèi)容配合使用。

2標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為《真空技

術(shù)術(shù)語》，重新編制了范圍一章，主要內(nèi)容與ISO3529（所有部分）完全一致，在此基礎(chǔ)上增加了真空計

校準(zhǔn)的相關(guān)術(shù)語和定義。界定了真空技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)通用、真空泵及其相關(guān)、全壓和分壓真空計方面的術(shù)語和

定義，確立了真空技術(shù)領(lǐng)域的概念體系。

標(biāo)準(zhǔn)中姨真空區(qū)域做了重新劃分，修訂了“真空”、“真空壓力”、“容積真空泵”、”滑閥真空泵“、”低溫泵

“、”干式真空泵“、“體積流率”、“流量”、“臨界前級壓力”、“極限壓力”、“基礎(chǔ)壓力”、“壓縮比”、真空計的

“測量范圍”等術(shù)語和定義。納入了當(dāng)前已得到普及應(yīng)用的諸如“超清潔真空”、“隔膜真空泵”、“螺桿真空泵”、

“爪式真空泵”、“非蒸散吸氣劑真空泵”、“復(fù)合渦輪分子真空泵”、“機(jī)械增壓真空泵”、“電離計靈敏度”、

“Bourdon真空計”、“薄膜真空計”、“電容薄膜真空計”、“磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計”、“皮拉尼真空計”、“熱電偶真

空計”、“離子能量分析真空計”、“離子阱質(zhì)譜儀”等最新的術(shù)語和定義。刪除了諸如“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”、“標(biāo)準(zhǔn)

環(huán)境狀態(tài)”、“氣鎮(zhèn)泵”、“體積碰撞率”、“氣體量”、“吸氣劑離子泵”、“電離計系數(shù)”、“冷陰極電離計”等內(nèi)容。

重新構(gòu)建了真空鍍膜術(shù)語的結(jié)構(gòu)框架。

3主要技術(shù)差異

本文件代替GB/T3163-2007《真空技術(shù)術(shù)語》，與GB/T3163-2007相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，

主要技術(shù)變化如下：

——更改了文件的范圍，刪除了真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語和定義涵蓋范圍（見第1章，2007年版的2.1）

——刪除了“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”（見2007年版的2.1）；

——刪除了“標(biāo)準(zhǔn)氣體狀態(tài)”（見2007年版的2.2）；

——更改了“真空區(qū)域”的劃分范圍（見3.1.1.2，2007年版的2.2）；

——增加了“超清潔真空”的術(shù)語和定義（見3.1.1.3）；

——更改了“壓力”的定義（見3.1.1.4，2007年版的2.5）；

——刪除了“帕斯卡”（見2007年版的2.6）；

——刪除了“分壓力”中的符號和單位（見3.1.1.5，2007年版的2.7）；

——更改了“飽和蒸氣”的定義（見3.1.2.6，2007年版的2.15）；

——增加了“體積速度”的術(shù)語和定義（見3.1.2.10）；

——增加了“氣體溫度”的術(shù)語和定義（見3.1.2.11）；

——更改了“氣體量（壓力-體積單位）”的定義（見3.1.2.12，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定義（見3.1.3.1，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾數(shù)”的定義（見3.1.3.2，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏參數(shù)”的術(shù)語和定義（見3.1.3.3）；

——更改了“碰撞率”的定義（見3.1.3.4，2007年版的2.21）；

——刪除了“體積碰撞率”（見2007年版的2.22）；

——刪除了“氣體量”（見2007年版的2.23）；

——更改了“氣體的擴(kuò)散”的定義（見3.1.3.5，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滯流”的定義（見3.1.3.7，2007年版的2.26）；

——更改了“伯謖葉流”的定義（見3.1.3.9，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的術(shù)語和定義（見3.1.3.12）；

——更改了“流量”的定義（見3.1.3.18，2007年版的2.37）；

——更改了“麥克斯韋速度分布”的定義（見3.1.3.22，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流導(dǎo)”的定義（見3.1.3.26，2007年版的2.45）；

——增加了“動量適應(yīng)系數(shù)”的術(shù)語和定義（見3.1.4.7）；

——更改了“解吸”的定義（見3.1.4.14，2007年版的2.59）；

——更改了“滲透”的定義（見3.1.4.19，2007年版的2.64）；

——更改了“滲透率”的定義（見3.1.4.20，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定義（見3.2.1.1，2007年版的3.1.1）；

——增加了“氣體傳輸真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.2）；

——更改了“容積真空泵”的術(shù)語和定義（見3.2.1.3，2007年版的3.1.2）；

——刪除了“氣鎮(zhèn)（真空）泵”（見2007年版的3.1.2.1.1）；

——刪除了“油封（液封）真空泵”（見2007年版的的3.1.2.1.2）；

——刪除了“干式真空泵”（見2007年版的3.1.2.1.3）；

——增加了“