真空技術(shù) 術(shù)語(yǔ)

ICS23.160

J78

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T3163—XXXX

代替GB/T3163-2007

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

Vacuumtechnology—Terminology

(ISO3529-1:2019,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part1:Generalterms,

MOD;

ISO3529-2:2020,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part2:Vacuumpumpsand

relatedterms,MOD;

ISO3529-3:2014,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part3:Totaland

partialpressurevacuumgauges,MOD)

（工作組討論稿）

在提交反饋意見(jiàn)時(shí)，請(qǐng)將您知道的相關(guān)專利連同支持性文件一并附上

-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施

GB/T3163—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起

草。

本文件修改采用ISO3529-1:2019《真空技術(shù)詞匯第1部分：一般術(shù)語(yǔ)》、ISO3529-2:2020

《真空技術(shù)詞匯第2部分：真空泵及有關(guān)術(shù)語(yǔ)》和ISO3529-3:2014《真空技術(shù)詞匯第3部分：

真空計(jì)》。

本文件與ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020和ISO3529-3:2014相比做了下述結(jié)構(gòu)調(diào)整，文件之

間的結(jié)構(gòu)編號(hào)變化對(duì)照一覽表見(jiàn)附錄C：

——3.1對(duì)應(yīng)于ISO3529-1:2019中的第3章；

——第4章對(duì)應(yīng)于ISO3529-1:2019中的第4章；

——3.2對(duì)應(yīng)于ISO3529-2:2020中的第3章；

——3.3對(duì)應(yīng)于ISO3529-3:2014中的第2章；

——附錄A對(duì)應(yīng)于ISO3529-2:2020中的附錄A；

——附錄B對(duì)應(yīng)于ISO3529-3:2014中的附錄A。

本文件與ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020和ISO3529-3:2014的技術(shù)差異及原因如下：

——增加了真空計(jì)校準(zhǔn)的相關(guān)術(shù)語(yǔ)（見(jiàn)3.3.6）。

本文件做了下列編輯性改動(dòng)：

——為與現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)，將標(biāo)準(zhǔn)名稱改為《真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)》。

本文件代替GB/T3163-2007《真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)》，與GB/T3163-2007相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改

動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：

——更改了文件的范圍，刪除了真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語(yǔ)和定義涵蓋范圍（見(jiàn)第1章，2007年版

的2.1）

——?jiǎng)h除了“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”（見(jiàn)2007年版的2.1）；

——?jiǎng)h除了“標(biāo)準(zhǔn)氣體狀態(tài)”（見(jiàn)2007年版的2.2）；

——更改了“真空區(qū)域”的劃分范圍（見(jiàn)，2007年版的2.2）；

——增加了“超清潔真空”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“壓力”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.5）；

——?jiǎng)h除了“帕斯卡”（見(jiàn)2007年版的2.6）；

——?jiǎng)h除了“分壓力”中的符號(hào)和單位（見(jiàn)，2007年版的2.7）；

——更改了“飽和蒸氣”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.15）；

——增加了“體積速度”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)0）；

——增加了“氣體溫度”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)1）；

——更改了“氣體量（壓力-體積單位）”的定義（見(jiàn)2，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾數(shù)”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏參數(shù)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“碰撞率”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.21）；

——?jiǎng)h除了“體積碰撞率”（見(jiàn)2007年版的2.22）；

II

GB/T3163—XXXX

——?jiǎng)h除了“氣體量”（見(jiàn)2007年版的2.23）；

——更改了“氣體的擴(kuò)散”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滯流”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.26）；

——更改了“伯謖葉流”的定義（見(jiàn)，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)2）；

——更改了“流量”的定義（見(jiàn)8，2007年版的2.37）；

——更改了“麥克斯韋速度分布”的定義（見(jiàn)2，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流導(dǎo)”的定義（見(jiàn)6，2007年版的2.45）；

——增加了“動(dòng)量適應(yīng)系數(shù)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“解吸”的定義（見(jiàn)4，2007年版的2.59）；

——更改了“滲透”的定義（見(jiàn)9，2007年版的2.64）；

——更改了“滲透率”的定義（見(jiàn)0，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.1.1）；

——增加了“氣體傳輸真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“容積真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)，2007年版的3.1.2）；

——?jiǎng)h除了“氣鎮(zhèn)（真空）泵”（見(jiàn)2007年版的.1）；

——?jiǎng)h除了“油封（液封）真空泵”（見(jiàn)2007年版的的.2）；

——?jiǎng)h除了“干式真空泵”（見(jiàn)2007年版的.3）；

——增加了“隔膜真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——增加了“線性蠕動(dòng)真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——增加了“渦旋真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“旋片真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)，2007年版的.1）；

——更改了“液環(huán)真空泵”的定義（見(jiàn)，2007年版的）；

——增加了“外置葉片真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)0）；

——更改了“定片真空泵”的定義（見(jiàn)1，2007年版的.2）；

——?jiǎng)h除了“滑閥真空泵”（見(jiàn)2007年版的.3）；

——更改了“余擺線泵”的定義（見(jiàn)2，2007年版的）；

——增加了“蠕動(dòng)真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)3）；

——更改了“羅茨真空泵”的定義（見(jiàn)4，2007年版的）；

——增加了“蠕動(dòng)真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)3）；

——增加了“螺桿真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)5）；

——增加了“爪式真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)6）；

——更改了“動(dòng)量真空泵”的定義（見(jiàn)7，2007年版的3.1.3）；

——更改了“渦輪真空泵”的定義（見(jiàn)8，2007年版的）；

——增加了“再生式真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)9）；

——增加了“復(fù)合渦輪分子真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)2）；

——增加了“氣體收集真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)2）；

——更改了“氣體捕集真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)3，2007年版的3.1.4）；

——增加了“非蒸散吸氣劑真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)6）；

——?jiǎng)h除了“吸氣劑離子泵”（見(jiàn)2007年版的）；

——?jiǎng)h除了“升華（蒸發(fā)）離子泵”（見(jiàn)2007年版的.1）；

——增加了“標(biāo)準(zhǔn)二極型離子真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)9）；

——增加了“二極型離子真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)0）；

III

GB/T3163—XXXX

——增加了“三極型離子真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)1）；

——更改了“低溫真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)2，2007年版的）；

——增加了“冷凝器”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)3）；

——增加了“表面冷凝器”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)4）；

——增加了“噴霧冷凝器”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)5）；

——增加了“表面凝結(jié)（結(jié)霜）”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)6）；

——更改了“葉片”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.2.4）；

——更改了“氣鎮(zhèn)閥”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.2.6）；

——更改了“擴(kuò)壓器”的定義（見(jiàn)6，2007年版的3.2.13）；

——增加了“干式真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“高真空泵”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.4.5）；

——增加了“機(jī)械增壓真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).1）；

——增加了“噴射增壓真空泵”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2）；

——?jiǎng)h除了“附屬真空泵”（見(jiàn)2007年版的3.4.7）；

——更改了“體積流率”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.5.1）；

——更改了“真空泵的流量”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.5.2）；

——更改了“前級(jí)壓力”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.5.4）；

——更改了“臨界前級(jí)壓力”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.5.5）；

——更改了“最大工作壓力”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.5.7）；

——更改了“極限壓力”的定義（見(jiàn)，2007年版的3.5.8）；

——增加了“基礎(chǔ)壓力”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——增加了“入口壓力”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)0）；

——更改了“壓縮比”的定義（見(jiàn)1，2007年版的3.5.9）；

——更改了“加熱時(shí)間”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)9，2007年版的3.5.18）；

——更改了“冷卻時(shí)間”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)0，2007年版的3.5.19）；

——增加了“最大連續(xù)抽氣量”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)1）；

——更改了“裸規(guī)”的定義（見(jiàn).1.1，2007年版的.1）；

——更改了“全壓真空計(jì)”的定義（見(jiàn)，2007年版的4.2.3）；

——更改了“分壓真空計(jì)”的定義（見(jiàn)，2007年版的4.2.4）；

——更改了“分壓真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)，2007年版的4.3.1）；

——?jiǎng)h除了“電離計(jì)系數(shù)（壓力單位倒數(shù)）”（見(jiàn)2007年版的4.3.4）；

——增加了“電離計(jì)靈敏度”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn)）；

——更改了“液位壓力計(jì)”的定義（見(jiàn).1，2007年版的）；

——增加了“布爾登壓力計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.1）；

——增加了“薄膜真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.2）；

——增加了“電容薄膜真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.3）；

——更改了“黏滯真空計(jì)”的定義（見(jiàn).1，2007年版的）；

——增加了“磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).1.1）；

——增加了“石英摩擦真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).1.2）；

——增加了“熱電偶真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.1）；

——增加了“皮拉尼真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.2）；

——增加了“熱敏電阻表”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.3）；

——更改了“電離真空計(jì)”的定義（見(jiàn).1，2007年版的）；

IV

GB/T3163—XXXX

——增加了“交叉場(chǎng)電離真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2）；

——?jiǎng)h除了“放射性電離計(jì)”（見(jiàn)2007年版的）；

——?jiǎng)h除了“冷陰極電離計(jì)”（見(jiàn)2007年版的）；

——更改了“潘寧計(jì)”的定義（見(jiàn).2.1，2007年版的.1）；

——更改了“磁控管真空計(jì)”的術(shù)語(yǔ)和定義（見(jiàn).2.2，2007年版的.2）；

——增加了“翻轉(zhuǎn)磁控管真空計(jì)”（見(jiàn).2.3）；

——增加了“發(fā)射陰極電離真空計(jì)”（見(jiàn).3）；

——?jiǎng)h除了“放電管指示器”（見(jiàn)2007年版的.3）；

——增加了“離子能量分析真空計(jì)”（見(jiàn).3.8）；

——?jiǎng)h除了“雙金屬線振蕩器真空計(jì)”（見(jiàn)2007年版的.9）；

——增加了“離子阱質(zhì)譜儀”（見(jiàn).4）；

——更改了“飛行時(shí)間質(zhì)譜儀”的定義（見(jiàn).1，2007年版的）；

——增加了“反射質(zhì)譜儀”（見(jiàn).1.1）；

——增加了“Wiley-Mclaren質(zhì)譜儀”（見(jiàn).1.2）；

——?jiǎng)h除了“真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語(yǔ)”（見(jiàn)2007年版的第5章）；

——?jiǎng)h除了“檢漏及有關(guān)術(shù)語(yǔ)”（見(jiàn)2007年版的第6章）；

——?jiǎng)h除了“真空鍍膜技術(shù)”（見(jiàn)2007年版的第7章）；

——?jiǎng)h除了“真空干燥和冷凍干燥”（見(jiàn)2007年版的第8章）；

——?jiǎng)h除了“表面分析技術(shù)”（見(jiàn)2007年版的第9章）；

——?jiǎng)h除了“真空冶金”（見(jiàn)2007年版的第10章）；

——更改了“符號(hào)和縮略語(yǔ)”（見(jiàn)第4章，2007年版的附錄B）；

——?jiǎng)h除了附錄“在采用國(guó)際單位制（SI制）之前使用的壓力單位和換算系數(shù)”（見(jiàn)2007年版的

附錄A）；

——更改了真空泵分類表（見(jiàn)附錄A，2007年版的附錄C）；

——增加了全壓真空計(jì)樹形圖（見(jiàn)附錄B）；

——更改了與ISO3529結(jié)構(gòu)編號(hào)對(duì)照一覽表（見(jiàn)附錄C，2007年版的D）；

——?jiǎng)h除了中文索引（見(jiàn)2007年版的中文索引）；

——?jiǎng)h除了英文索引（見(jiàn)2007年版的英文索引）。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。

本文件由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。

本文件由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC18）歸口。

本文件起草單位：東北大學(xué)、臺(tái)州職業(yè)技術(shù)學(xué)院、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所有限公司。

本文件主要起草人：

本文件于1982年首次發(fā)布，1993年第一次修訂，2007年第二次修訂，本次為第三次修訂。

V

GB/T3163—XXXX

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

1范圍

本文件界定了真空技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)通用、真空泵及其相關(guān)、全壓和分壓真空計(jì)方面的術(shù)語(yǔ)和定義，確

立了真空技術(shù)領(lǐng)域的概念體系。

本文件盡可能準(zhǔn)確地對(duì)術(shù)語(yǔ)給出了理論性定義，并供相關(guān)領(lǐng)域的交流與合作中使用。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB/T40344.1-2021真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法第1部分：總體要求（ISO21360-1:2012，

IDT)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

ISO和IEC維護(hù)的用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語(yǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)地址如下：

——ISO在線瀏覽平臺(tái)：/obp

——IEC在線瀏覽平臺(tái)：/

3.1基本術(shù)語(yǔ)

3.1.1一般術(shù)語(yǔ)

真空vacuum

用來(lái)描述低于大氣壓力或大氣分子密度的稀薄氣體狀態(tài)或基于該狀態(tài)環(huán)境的通用術(shù)語(yǔ)。

真空區(qū)域rangesofvacuum

根據(jù)一定的壓力范圍對(duì)真空區(qū)域進(jìn)行的劃分。

注1：在選定真空度范圍時(shí)，會(huì)有所不同，下面所列為大致認(rèn)可的典型真空度范圍。

注2：地面氣壓取決于天氣狀況和海拔高度，氣壓范圍從31kPa（珠穆朗瑪峰的高度和天氣狀況為氣壓低點(diǎn)）到110

kPa（死海的海拔高度和天氣狀況為氣壓高點(diǎn)）不等。

1

GB/T3163—XXXX

壓力范圍定義范圍定義的理由如下（典型情況）

大氣壓(31kPa～110kPa)～壓力可以通過(guò)簡(jiǎn)單的材料（如普通鋼材）和容積式真

低（粗）真空

1×102Pa空泵來(lái)獲得；氣體處于粘性流態(tài)

壓力可以通過(guò)精密的材料（如不銹鋼）和容積式真空

1×102Pa～1×10-1Pa中真空

泵來(lái)獲得；氣體處于過(guò)渡流態(tài)

壓力可以通過(guò)精密的材料（如不銹鋼）、彈性體密封

1×10-1Pa～1×10-6Pa高真空（HV）

和高真空泵來(lái)獲得；氣體處于分子流態(tài)

壓力可以通過(guò)精密的材料（如低碳不銹鋼）、金屬密

1×10-6Pa～1×10-9Pa超高真空（UHV）封、特殊的表面處理和清洗、烘烤和高真空泵來(lái)獲得；

氣體處于分子流態(tài)

壓力可通過(guò)復(fù)雜材料（如真空燒制低碳不銹鋼、鋁、

﹤1×10-9Pa極高真空（XHV）銅鈹、鈦）、金屬密封、特殊表面處理和清潔、烘烤

和附加吸氣劑泵來(lái)獲得；氣體處于分子流態(tài)

超清潔真空ultracleanvacuum

需要特殊條件的中真空或者高真空，對(duì)于某些氣體種類來(lái)說(shuō)等于超高真空條件。

注1：根據(jù)特定的應(yīng)用，會(huì)對(duì)氣體種類（摻雜）有不同的要求。

注2：碳?xì)浠衔铩O、CO2和H2O是典型的摻雜氣體。

注3：特定情況下對(duì)低顆粒密度也有要求。

真空壓力pressureofavacuum

p

.1

真空壓力pressureofavacuum

<氣體作用于表面上>氣體作用于表面上力的法向分量除以該面積。

注1：如果存在氣體流動(dòng)，規(guī)定表面方向與氣體流動(dòng)方向相對(duì)應(yīng)。

.2

真空壓力pressureofavacuum

<大量氣體中某一特定點(diǎn)的壓力>根據(jù)理想氣體定律所確定的氣體狀態(tài)，如有必要時(shí)可對(duì)真實(shí)氣體進(jìn)

行修正。

注1：當(dāng)應(yīng)用理想氣體定律時(shí)，一個(gè)無(wú)窮小體積內(nèi)的壓強(qiáng)p由該體積內(nèi)氣體分子的數(shù)密度n、玻爾茲曼常數(shù)k和溫度

T的乘積給出。

注2：對(duì)于大多數(shù)真空中的實(shí)際應(yīng)用，對(duì)于真實(shí)氣體（考慮體積和氣體分子的相互作用）未經(jīng)修正的理想氣體定律

依然適用。

2

GB/T3163—XXXX

分壓力partialpressure

混合氣體中某一特定氣體組分的壓力。

全壓力totalpressure

當(dāng)“壓力”不能明確區(qū)分各組分分壓力和它們之和之間的區(qū)別時(shí)，用來(lái)表示混合氣體中所有組分分

壓力之和。

真空度degreeofvacuum

表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值表示。

3.1.2氣體和蒸氣及它們參數(shù)的術(shù)語(yǔ)

氣體gas

不受分子間力約束，能自由占據(jù)任意可達(dá)空間的物質(zhì)。

注1：在真空技術(shù)中，“氣體”已泛指非可凝性氣體和蒸氣。

非可凝性氣體non-condensablegas

溫度處在臨界溫度之上的氣體，即單純?cè)黾訅毫Σ荒苁蛊淠Y(jié)的氣體。

蒸氣vapour

溫度處在臨界溫度以下的氣體，即單純?cè)黾訅毫δ苁蛊淠Y(jié)的氣體。

飽和蒸氣壓saturationvapourpressure

pL

在給定溫度下，蒸氣與其凝聚相處于熱力平衡時(shí)蒸氣的壓力。

飽和度degreeofsaturation

蒸氣壓力與它的飽和蒸氣壓力之比。

注1：當(dāng)蒸氣與物質(zhì)的凝聚相處于熱力學(xué)平衡時(shí)，蒸氣始終處于飽和狀態(tài)。

飽和蒸氣saturatedvapour

3

GB/T3163—XXXX

在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸氣壓的蒸氣。

注1：當(dāng)蒸氣與物質(zhì)的凝聚相處于熱力學(xué)平衡時(shí)，蒸氣始終處于飽和狀態(tài)。

不飽和蒸氣unsaturatedvapour

在給定溫度下，蒸氣壓力低于其飽和蒸氣壓的蒸氣。

分子數(shù)密度numberdensityofmolecules

n

<t瞬間，氣體中某一點(diǎn)周圍>選定體積內(nèi)的分子數(shù)目除以該體積。

注1：t指瞬間。更確切地說(shuō)，是指一段很短的延續(xù)時(shí)間Δt的平均值，這段延續(xù)時(shí)間要充分，以便可獲得可信的統(tǒng)

計(jì)平均值。

單位質(zhì)量密度unitarymassdensity

ρu

氣體的質(zhì)量密度除以其壓力。

0

體積速度bulkvelocity

v

在某一時(shí)刻，圍繞該點(diǎn)充分選擇的體積中的分子的平均速度。

注1：體積必須選擇得大小適當(dāng)，以包含足夠數(shù)量的分子，從而可以獲得穩(wěn)定的統(tǒng)計(jì)結(jié)果，以使所獲得的值在該體

積中沒(méi)有顯著變化。

1

氣體溫度temperature

T

與t時(shí)刻下參考單元的體積內(nèi)所含分子的平均動(dòng)能成正比，與同體積內(nèi)的氣體分子體積速度有關(guān)。

注1：見(jiàn)3.2.10中的注。

2

氣體量（壓力-體積單位）quantityofgasinpressure-volumeunits

pV

處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占體積與其壓力的乘積。

注1：應(yīng)該確定氣體的溫度。

注2：這樣定義的氣體量等于氣體的質(zhì)量除以其單位質(zhì)量密度所得的商。

注3：氣體量是氣體所占體積內(nèi)氣體的內(nèi)能或勢(shì)能的2/3。

4

GB/T3163—XXXX

3.1.3描述氣體分子運(yùn)動(dòng)和氣體流所需術(shù)語(yǔ)

平均自由程meanfreepathofmolecules

l，λ

一個(gè)分子和其他氣體分子兩次連續(xù)碰撞之間所走過(guò)的平均距離。

注1：該平均值應(yīng)是在足夠多的分子數(shù)且足夠長(zhǎng)的時(shí)間間隔下得到的統(tǒng)計(jì)值。

注2：在平均自由程的概念中，假定分子間的相互作用在分子間的某一距離處中斷（剛球模型和截止力勢(shì)）。平均

自由程也可以定義為其它類型的相互作用。（例如蘭納-瓊斯勢(shì)）。在這種情況下，其數(shù)值采用剛球模型下氣

體的平均自由程，被觀察氣體與其有相同的粘度、溫度和密度。

克努曾數(shù)Knudsennumber

K,Kn

平均自由程與管道或容器的特征尺寸之比。

注1：對(duì)于圓管，管道的特征尺寸是直徑，對(duì)于矩形截面的管道，它是矩形的較小邊。

稀疏參數(shù)rarefactionparameter

δ

管道或容器的特征尺寸與平均自由程的比值。

注1：對(duì)于圓管，管道的特征尺寸是直徑，對(duì)于矩形截面的管道，它是矩形的較小邊。

注2：稀疏參數(shù)與克努曾數(shù)成反比。

碰撞率collisionrate

v

在給定的時(shí)間間隔內(nèi)，一個(gè)氣體分子（或其他特定粒子）相對(duì)于其他氣體分子（或特定的粒子群）

運(yùn)動(dòng)時(shí)所受到的碰撞的平均次數(shù)，除以該時(shí)間間隔。

注1：該平均值應(yīng)是在足夠多的分子數(shù)且足夠長(zhǎng)的時(shí)間間隔下得到的統(tǒng)計(jì)值。

氣體的擴(kuò)散diffusionofgas

由于濃度梯度引起的一種氣體在另一種介質(zhì)中的運(yùn)動(dòng)。

注1：介質(zhì)可以是另一種氣體（在這種情況下稱為互擴(kuò)散）或是一種可凝性介質(zhì)。

擴(kuò)散系數(shù)diffusioncoefficient；diffusivity

D

氣體通過(guò)單位面積的質(zhì)量流率除以該面積法線方向的密度梯度的絕對(duì)值。

5

GB/T3163—XXXX

粘滯流viscousflow

氣體分子平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸時(shí)氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。流動(dòng)取決于氣體的粘滯性。

注：流動(dòng)可以是層流或湍流。

粘滯系數(shù)viscousfactor

在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。

泊肅葉流Poiseuilleflow

特指通過(guò)管道兩端的壓力差產(chǎn)生的長(zhǎng)管流動(dòng)。

注：當(dāng)流動(dòng)為層流、導(dǎo)管截面為圓形時(shí)，這種流動(dòng)特指哈根-泊肅葉流動(dòng)。

0

分子流molecularflow

氣體平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管最大截面尺寸時(shí)氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。

1

過(guò)渡流（粘滯-分子流）intermediateflow；transitionalflow

在粘滯流和分子流之間的中間狀態(tài)下，氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。

2

滑移流slipflow

氣體在平均自由程較小但與管道的特征尺寸相近的條件下通過(guò)管道，此時(shí)流動(dòng)受到管壁上的速度滑

移條件的影響。

注1：管道的特征尺寸見(jiàn)3.3.8注1。

注2：對(duì)于滑移流條件，不像粘滯流條件下假定的那樣，管道壁面的體速度為零。

注3：滑移流的條件介于過(guò)渡流和粘滯流之間。

3

分子瀉流moleculareffusion；effusiveflow

孔口的最大尺寸小于氣體平均自由程時(shí)，氣體通過(guò)孔口的流動(dòng)。

4

流逸transpiration

由壓力差引起的氣體通過(guò)多孔固體的流動(dòng)。

5

6

GB/T3163—XXXX

熱流逸thermaltranspiration

在兩相連容器之間，由于容器溫度不同引起的氣體流動(dòng)，當(dāng)氣體遷移達(dá)到平衡時(shí)，兩容器間產(chǎn)生壓

力梯度。

6

分子流率moleculeflowrate

分子通量molecularflux

qN

在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從給定方向通過(guò)截面S的分子數(shù)目與反向穿過(guò)S的分子數(shù)目之差，除以該時(shí)間。

7

分子流率密度moleculeflowratedensity

分子通量密度densityofmolecularflux

分子流率除以截面S的面積。

8

流量throughput

qpV

在給定時(shí)間間隔內(nèi)，流經(jīng)截面的氣體量（壓力-體積單位）除以該時(shí)間。

注1：它亦是質(zhì)量流率除以單位質(zhì)量密度。

9

質(zhì)量流率massflowrate

qm

在給定時(shí)間間隔內(nèi)，通過(guò)截面S的氣體質(zhì)量除以該時(shí)間。

0

體積流率volumeflowrate

qV

在特定的溫度和壓力下，給定時(shí)間間隔內(nèi)，通過(guò)截面S的氣體體積除以該時(shí)間。

1

摩爾流率molarflowrate

qv

通過(guò)給定截面S的摩爾流率為：在給定的時(shí)間間隔內(nèi)，給定氣體通過(guò)截面S的摩爾數(shù)除以該時(shí)間。

2

麥克斯韋速度分布maxwellianvelocitydistribution

7

GB/T3163—XXXX

是基于麥克斯韋—波爾茲曼速度分布函數(shù)的速度分布。

注：對(duì)于給定溫度，處于平衡狀態(tài)的氣體分子的速度分布。

3

傳輸幾率transmissionprobability

PC

隨機(jī)進(jìn)入管道入口的氣體分子通過(guò)管道出口而沒(méi)有沿相反方向返回入口的幾率。

4

分子流導(dǎo)moleculeconductance

CN，UN

孔口或管道兩特定截面之間的分子流導(dǎo)為：分子流率除以孔口兩側(cè)或管道兩截面間的平均分子數(shù)密

度差。

注：?jiǎn)挝粸閙3/s，L/s。

5

流導(dǎo)conductance

C，U

<對(duì)于管道，或一段管道，或小孔>等溫條件下，流量除以兩個(gè)特定截面間或孔口兩側(cè)的平均壓力差。

6

固有流導(dǎo)intrinsicconductance

Ci，Ui

容器中氣體分子按麥克斯韋速度分布的條件下，連接兩個(gè)容器的管道（或孔口）的流導(dǎo)。

注：在分子流態(tài)下，等于入口流導(dǎo)與傳輸幾率的乘積。

7

流阻resistance

w

流導(dǎo)的倒數(shù)。

3.1.4用于定義真空技術(shù)中表面和體積效應(yīng)的術(shù)語(yǔ)

吸附sorption

固體或液體（吸附劑）對(duì)氣體或蒸氣（吸附物）的捕集。

表面吸附adsorption

氣體或蒸氣（吸附質(zhì)）保持在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附。

8

GB/T3163—XXXX

物理吸附physisorption

由于物理力產(chǎn)生的，而非化學(xué)鍵產(chǎn)生的吸附。

化學(xué)吸附chemisorption

形成化學(xué)鍵的吸附。

吸收absorption

氣體（吸收質(zhì)）擴(kuò)散進(jìn)入固體或液體（吸收劑）內(nèi)部的吸附。

能量（熱）適應(yīng)系數(shù)energy(thermal)accommodationcoefficient

α

入射粒子和表面間實(shí)際交換的平均能量與入射粒子和表面達(dá)到完全熱平衡時(shí)應(yīng)該交換的平均動(dòng)量

之比。

動(dòng)量適應(yīng)系數(shù)momentumaccommodationcoefficient

σ

撞擊粒子和表面之間實(shí)際傳遞的平均動(dòng)量與入射粒子和達(dá)到完全熱平衡的表面碰撞后從表面返回

應(yīng)傳遞動(dòng)量的比。

入射率impingementrate

φ

給定時(shí)間間隔內(nèi)，入射到表面上的分子數(shù)除以該時(shí)間和表面面積。

凝結(jié)率condensationrate

給定時(shí)間間隔內(nèi)，凝結(jié)在表面上的分子數(shù)（或物質(zhì)的數(shù)量或質(zhì)量）除以該時(shí)間和表面面積。

0

粘著率stickingrate

給定時(shí)間間隔內(nèi)，吸附在表面上的分子數(shù)目除以該時(shí)間間隔和表面面積。

1

9

GB/T3163—XXXX

粘著幾率stickingprobability

Ps

粘著率與入射率之比。

2

停留時(shí)間residencetime

τ

吸附于表面上的分子被表面約束的平均時(shí)間。

3

遷移migration

分子在某一表面上的運(yùn)動(dòng)。

4

解吸desorption

被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現(xiàn)象。

注：釋放可以自然進(jìn)行，也可用物理方法加速。

5

除氣degassing

氣體從某一材料上的人為解吸。

6

放氣outgassing

氣體從某一材料上的自然解吸。

7

蒸發(fā)率specificevaporationrate

給定時(shí)間間隔內(nèi)，從某一表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（物質(zhì)數(shù)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時(shí)間和蒸發(fā)表面積。

注：?jiǎn)挝粸閙-2?s-1?kg?mol/（m2?s），g/（m2?s）。

8

解吸率specificdesorptionrate

放氣率outgassingrate

除氣率degassingrate

在給定時(shí)間內(nèi)，冷凝材料上解吸（或放氣或去氣）的氣流量（或分子流率）除以材料表面積。

注：?jiǎn)挝粸镻a?m/s,m-2?s-1。

9

10

GB/T3163—XXXX

滲透permeation

氣體通過(guò)某一固定體阻擋層的過(guò)程。

注：該過(guò)程包括氣體在固體內(nèi)的擴(kuò)散也包括各種表面現(xiàn)象。

0

滲透率permeability

Ρ

處于穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài)下的某種氣體通過(guò)某一固體阻擋層的滲透率為：通過(guò)阻擋層的氣體流量除以一數(shù)

值，該值是固體壁面兩側(cè)氣體壓力的函數(shù)。

注：這個(gè)函數(shù)的形式取決于實(shí)際滲透所包括的物理過(guò)程。

1

滲透系數(shù)permeabilitycoefficient

P

滲透率和阻擋層厚度的乘積，除以阻擋層的面積。

3.2真空泵及相關(guān)術(shù)語(yǔ)

3.2.1真空泵

真空泵vacuumpump

獲得、改善和（或）維持真空的一種裝置。

注1：可以分為兩種類型：氣體傳輸泵（）和捕集泵（2）。

注2：3.1中給出的一些定義在3.2中以不同的術(shù)語(yǔ)重復(fù)，以適應(yīng)真空泵。

注3：“真空”的定義見(jiàn)。

注4：真空泵的分類表見(jiàn)附錄A。

氣體傳輸真空泵gastransfervacuumpumps

通過(guò)容積變化或動(dòng)能傳遞將氣體分子從真空泵的入口輸送到出口（）的真空泵（）。

容積真空泵positivedisplacementvacuumpump

泵腔吸入氣體，其入口被周期性地隔離，然后將氣體輸送到出口（）并排出的一種真空泵

（）。

注1：大多數(shù)的容積真空泵，氣體在排出之前是被壓縮的。它可分為兩類，往復(fù)式容積真空泵和旋轉(zhuǎn)

式真空泵（～），具有單個(gè)轉(zhuǎn)子（～3）或具有多個(gè)轉(zhuǎn)子的真

空泵（4～6）。

注2：容積真空泵通常配備有氣鎮(zhèn)系統(tǒng)，其作用是：在泵壓縮腔內(nèi)，充入可控的適量非可凝性氣體，

以降低被抽氣體在泵腔中的凝結(jié)程度。

11

GB/T3163—XXXX

注3：油封（液封）真空泵是一種用泵油（液體）來(lái)密封相對(duì)運(yùn)動(dòng)零部件間的間隙、減少壓縮腔末端

殘余死空間的旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。

注4：干式容積真空泵是一種泵腔內(nèi)不含油或液體的容積真空泵。

注5：所有類型的容積真空泵都能由多級(jí)轉(zhuǎn)子組成，這些多級(jí)轉(zhuǎn)子可以是相同的也可以是不同的。

隔膜真空泵diaphragmvacuumpump

通過(guò)適配閥來(lái)輔助控制隔膜的往復(fù)與振蕩運(yùn)動(dòng)使泵腔中氣體被壓縮和排出的干式真空泵

（）。

活塞真空泵pistonvacuumpump

在泵內(nèi)通過(guò)使用適配閥進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入壓縮并排出的一種容積真空泵（）。

線性蠕動(dòng)真空泵linearperistalticvacuumpump

通過(guò)線性運(yùn)動(dòng)的裝置交替擠壓和釋放彈性軟管，使氣體沿軟管流動(dòng)的一種真空泵（）。

渦旋真空泵scrollvacuumpump

通過(guò)一對(duì)相互嚙合的環(huán)繞漸開線組成的渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行氣體壓縮并排出的一種真空泵

（）。

注1：渦旋泵根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況，可以選擇在渦旋泵入口設(shè)置進(jìn)氣閥、隔離閥，以實(shí)現(xiàn)對(duì)故障條件或

電源損壞情況下的隔離。

旋片真空泵rotaryvanevacuumpump

泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切的一種容積真空泵（）。

注1：壓縮的氣體通過(guò)排氣閥被排放到大氣中。

注2：兩個(gè)（或兩個(gè)以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)（通常為徑向的）并在定子內(nèi)壁上滑動(dòng)，將泵腔分成

幾個(gè)可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵。

液環(huán)真空泵liquidringvacuumpump

泵內(nèi)裝有帶固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子，將液體拋向定子壁的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：液體形成與定子同心的液環(huán)，液環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片一起構(gòu)成可以變化的容積。

0

外置葉片真空泵externalvanevacuumpump

12

GB/T3163—XXXX

轉(zhuǎn)子偏心轉(zhuǎn)動(dòng)并與定子內(nèi)壁相接觸的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：一種定子安裝在轉(zhuǎn)子上，并將定子腔分成不同容積部分的設(shè)備。

1

滑閥真空泵rotarypistonvacuumpump

轉(zhuǎn)子相對(duì)定子內(nèi)壁偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：安裝在轉(zhuǎn)子上的活塞或滑閥在可擺動(dòng)的導(dǎo)軌（被安裝在定子適當(dāng)位置上）中滑動(dòng)，并將定子腔

分成兩個(gè)相互封閉的可變?nèi)莘e。

注2：定片真空泵又被稱作滑閥真空泵。

2

余擺線泵trochoidvacuumpump

一種橢圓活塞繞著偏心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：外殼與活塞處于連續(xù)非接觸密封狀態(tài)，需要用油進(jìn)行密封。

3

蠕動(dòng)真空泵peristalticvacuumpump

使用由多個(gè)滾柱或凸緣組成的轉(zhuǎn)子壓縮并迫使氣體沿柔性管道移動(dòng)的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵

（）。

4

羅茨真空泵rootsvacuumpump

具有兩個(gè)或三個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的葉型轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有間隙且互不接觸的一種旋

轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：羅茨真空泵可以當(dāng)做粗抽泵（機(jī)械增壓泵）、前級(jí)泵和主泵使用。

注2：羅茨泵各級(jí)運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中不存在內(nèi)部壓縮。

5

螺桿真空泵screwvacuumpump

一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，其同步反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子采用各類型線設(shè)計(jì)，如有內(nèi)壓縮比特性的錐形

或變螺距轉(zhuǎn)子（）。

注1：螺桿真空泵也可以有無(wú)內(nèi)壓縮的型線設(shè)計(jì)。

6

爪式真空泵clawvacuumpump

兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的爪型轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種旋轉(zhuǎn)容積

真空泵（）。

注1：爪式真空泵可以有一個(gè)或多個(gè)壓縮級(jí)。

7

13

GB/T3163—XXXX

動(dòng)量真空泵kineticvacuumpump

通過(guò)機(jī)械方式（高速旋轉(zhuǎn)或在流動(dòng)方向上提供動(dòng)能）、使用另一種流體（在流動(dòng)方向上提供動(dòng)能）

和使用電場(chǎng)來(lái)輸送氣體離子這三種方式，將氣體從泵入口轉(zhuǎn)移到泵出口（）的一種真空泵

（）。

注1：包含三種類型真空泵：機(jī)械動(dòng)量泵（8～2）、流體輸送泵（3～0）與離子傳

輸泵（1）。

8

渦輪真空泵turbinevacuumpump

通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的渦輪轉(zhuǎn)子輸送大量氣體的一種動(dòng)量傳輸真空泵（7）。

注1：動(dòng)密封不會(huì)產(chǎn)生摩擦，泵內(nèi)氣流既可以垂直于旋轉(zhuǎn)方向（徑流式或離心式），也可以平行與旋轉(zhuǎn)方向（軸流

式）。

9

旋渦真空泵regenerativevacuumpump

通過(guò)離心轉(zhuǎn)子級(jí)，利用氣體渦流行為與平行轉(zhuǎn)子側(cè)通道相結(jié)合進(jìn)行氣體輸送的旋轉(zhuǎn)動(dòng)量真空泵

（7）。

注1：再生式真空泵設(shè)計(jì)有一個(gè)或多個(gè)氣體壓縮級(jí)，并且可以采用軸向的氣體通道與徑向的氣體通道。

0

牽引分子泵moleculardragvacuumpump

泵內(nèi)氣體分子和高速轉(zhuǎn)子表面相接觸而獲得動(dòng)量，使氣體分子定向排出的一種動(dòng)量泵（7）。

1

渦輪分子泵turbo-molecularvacuumpump

泵內(nèi)由開槽圓盤或葉片組成的轉(zhuǎn)子，在相應(yīng)圓盤間轉(zhuǎn)動(dòng)的一種牽引分子泵（0）。

注1：轉(zhuǎn)子圓周線速度與氣體分子速度為同一數(shù)量級(jí)的一種牽引分子泵。渦輪分子泵通常工作在分子流態(tài)下。

注2：復(fù)合渦輪分子真空泵。

2

復(fù)合渦輪分子真空泵compoundturbo-molecularvacuumpump

由基于渦輪分子真空泵原理設(shè)計(jì)的抽氣級(jí)、基于牽引分子真空泵原理設(shè)計(jì)的壓縮級(jí)與/或真空泵排

氣側(cè)的再生級(jí)組成的一種單軸高真空泵（）。

3

擴(kuò)散泵diffusionvacuumvacuumpump

以低壓、高速蒸氣射流為工作介質(zhì)的一種動(dòng)量真空泵（7）。

注1：氣體分子擴(kuò)散到蒸氣射流內(nèi)并被攜帶到出口。在蒸氣射流內(nèi)部氣體分子密度始終低于外部。因?yàn)楸脙?nèi)氣體平

均自由程足夠大時(shí)才會(huì)形成蒸汽噴射流，所以擴(kuò)散泵工作在分子流態(tài)下。

14

GB/T3163—XXXX

4

自凈化擴(kuò)散泵self-purifyingdiffusionvacuumpump

工作液中的揮發(fā)性雜質(zhì)不能返回鍋爐而被輸送到出口（）的一種特殊油擴(kuò)散泵（3）。

5

分餾擴(kuò)散泵fractionatingdiffusionvacuumpump

將工作介質(zhì)中密度高、蒸氣壓力低的組分供給最低壓力級(jí)，而將密度小、蒸氣壓高的組分供給高壓

力級(jí)的一種多級(jí)油擴(kuò)散泵（3）。

6

擴(kuò)散噴射泵diffusion-ejectorvacuumpump

泵內(nèi)前一級(jí)或幾級(jí)具有擴(kuò)散泵（3）的特性，而后一級(jí)或幾級(jí)具有噴射泵（7）特性

的一種多級(jí)動(dòng)量泵（7）。

7

噴射真空泵ejectorvacuumpump

基于文丘里（Venturi）效應(yīng)產(chǎn)生壓力降,被抽氣體被高速流攜帶到出口（）的一種動(dòng)量泵

（7）。

注1：噴射真空泵在粘滯流和過(guò)渡流下工作。

8

液體噴射真空泵liquidjetvacuumpump

以液體（通常為水）為傳輸流體的一種噴射泵（7）。

9

氣體噴射真空泵gasjetvacuumpump

以非可凝性氣體為傳輸流體的一種噴射泵（7）。

0

蒸氣噴射真空泵vapourjetvacuumpump

以蒸氣（水、汞或油蒸氣）為傳輸流體的一種噴射泵（7）。

注1：被抽蒸氣在泵的出口處冷凝。

1

離子傳輸泵iontransferpump

泵內(nèi)氣體分子被電離，然后在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)作用下向出口（）輸運(yùn)的一種動(dòng)量泵

（7）。

2

15

GB/T3163—XXXX

氣體收集真空泵gasgatheringvacuumpump

以固態(tài)或吸附態(tài)捕捉氣體的真空泵（）。

3

氣體捕集真空泵gasentrapmentvacuumpump；capturevacuumpump

通過(guò)物理或化學(xué)吸附、冷凝或沉積的方法使氣體分子或蒸汽分子保留在泵腔內(nèi)部表面的真空泵

（）。

4

氣體吸附真空泵adsorptionvacuumpump

泵內(nèi)氣體分子主要被具有大的表面積材料（如多孔物質(zhì)）物理吸附而保留在泵內(nèi)的一種捕集泵

（3），低溫條件下吸附性增強(qiáng)。

5

吸氣劑真空泵gettervacuumpump

主要是通過(guò)金屬、合金或是散裝或新沉積的薄膜等材料對(duì)氣體分子進(jìn)行化學(xué)吸附的一種捕集泵

（3）。

6

非蒸散吸氣劑真空泵non-evaporablegettervacuumpump

NEG真空泵NEG-vacuumpump

帶有活性多孔合金或粉末混合物吸氣材料的捕集真空泵（3）。

注1：在系統(tǒng)被抽真空和密封之后，在材料通過(guò)化學(xué)反應(yīng)吸收氣體前，吸氣材料必須加熱（通常通過(guò)射頻感應(yīng)加熱）。

7

升華真空泵sublimationvacuumpump

蒸發(fā)真空泵evaporationvacuumpump

泵內(nèi)吸氣劑材料被升華（蒸發(fā)）同時(shí)沉積在真空室內(nèi)表面的一種捕集泵（3）。

注1：本文中升華和蒸發(fā)為相似概念。

8

濺射離子泵sputterionvacuumpump

由陰極連續(xù)濺射和離子注入至陰極結(jié)合的方式所獲得的吸氣劑上的一種氣體捕集真空泵

（）。

注1：泵主要通過(guò)吸氣劑效應(yīng)進(jìn)行工作，但對(duì)惰性氣體來(lái)說(shuō)，注入效應(yīng)起主要作用。

9

標(biāo)準(zhǔn)二極型離子真空泵standarddiodeionvacuumpump

16

GB/T3163—XXXX

只具有陰極化學(xué)活性吸附作用的濺射離子泵（8）。

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二極型離子真空泵differentialionvacuumpump

帶有化學(xué)活性陰極及附加的鉭活性陽(yáng)極的濺射離子泵（8），該泵可以更好地抽除惰性氣體。

1

三極型離子真空泵triodeIonvacuumpump

一種包含陰極柵格、中心陽(yáng)極和周圍收集器，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)惰性氣體的最大抽速的濺射離子泵

（8）。

2

低溫真空泵cryogenicvacuumpump；cryopump

是一種捕集真空泵（3），由若干低溫表面構(gòu)成，該表面冷卻到足夠低溫以冷凝或吸附殘余

氣體，并與可被吸附材料捕集的具有更低冷凝溫度的氣體分離。

注1：所選擇的溫度應(yīng)取決于被抽取氣體的性質(zhì)。

注2：低溫泵通常與活性炭或是分子篩等材料結(jié)合使用，冷凝物需要保持一定的溫度，使得平衡蒸氣壓等于或小于

真空室所要求低壓。

注3：低溫抽氣作用主要依賴于三種效應(yīng)：低溫吸附（通過(guò)多孔物質(zhì)在低溫下進(jìn)行物理吸附）、低溫冷凝（分子在

冷卻表面冷凝）與低溫捕集（在具有較高冷凝溫度的凝聚/沉積材料層上物理捕獲具有極低凝結(jié)溫度的輕分

子）。

3

冷凝器condenser

將蒸汽冷凝為液態(tài)或是凝華為固態(tài)的裝置（6）。

注1：真空冷凝器用于抽除低真空范圍內(nèi)的蒸汽，特別在干燥工藝中。

4

表面冷凝器surfacecondenser

<液態(tài)冷凝>蒸汽在冷卻管或板表面被冷凝為液體的冷凝器。

5

噴霧冷凝器spraycondenser

直接接觸冷凝器。

注1：蒸汽在與冷卻劑直接接觸時(shí)冷凝。

6

表面凝結(jié)（結(jié)霜）surfacedeposition(desublimation)

使用適當(dāng)?shù)睦鋮s管或冷卻板使蒸汽溫度低于三相點(diǎn)進(jìn)而使氣體凝結(jié)（凝華）。

17

GB/T3163—XXXX

3.2.2泵的零部件

泵売pumpcase

將低壓氣體與大氣隔開的泵外壁。

入口inlet

被抽氣體被真空泵吸入的泵口。

出口outlet

被抽氣體被真空泵排出的泵口。

葉片vane；blade

旋轉(zhuǎn)容積真空泵中的定子和轉(zhuǎn)子間用以分隔工作空間的滑動(dòng)元件，通常用于旋片真空泵中

（）。

注1：機(jī)械動(dòng)量真空泵的轉(zhuǎn)子通常具有非接觸式的葉片，例如：渦輪分子真空泵的葉片。