真空技術(shù) 術(shù)語

ICS23.160

J78

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T3163—XXXX

代替GB/T3163-2007

真空技術(shù)術(shù)語

Vacuumtechnology—Terminology

(ISO3529-1:2019,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part1:Generalterms,

MOD;

ISO3529-2:2020,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part2:Vacuumpumpsand

relatedterms,MOD;

ISO3529-3:2014,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part3:Totaland

partialpressurevacuumgauges,MOD)

（工作組討論稿）

在提交反饋意見時，請將您知道的相關(guān)專利連同支持性文件一并附上

-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

GB/T3163—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起

草。

本文件修改采用ISO3529-1:2019《真空技術(shù)詞匯第1部分：一般術(shù)語》、ISO3529-2:2020

《真空技術(shù)詞匯第2部分：真空泵及有關(guān)術(shù)語》和ISO3529-3:2014《真空技術(shù)詞匯第3部分：

真空計》。

本文件與ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020和ISO3529-3:2014相比做了下述結(jié)構(gòu)調(diào)整，文件之

間的結(jié)構(gòu)編號變化對照一覽表見附錄C：

——3.1對應(yīng)于ISO3529-1:2019中的第3章；

——第4章對應(yīng)于ISO3529-1:2019中的第4章；

——3.2對應(yīng)于ISO3529-2:2020中的第3章；

——3.3對應(yīng)于ISO3529-3:2014中的第2章；

——附錄A對應(yīng)于ISO3529-2:2020中的附錄A；

——附錄B對應(yīng)于ISO3529-3:2014中的附錄A。

本文件與ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020和ISO3529-3:2014的技術(shù)差異及原因如下：

——增加了真空計校準(zhǔn)的相關(guān)術(shù)語（見3.3.6）。

本文件做了下列編輯性改動：

——為與現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)，將標(biāo)準(zhǔn)名稱改為《真空技術(shù)術(shù)語》。

本文件代替GB/T3163-2007《真空技術(shù)術(shù)語》，與GB/T3163-2007相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改

動外，主要技術(shù)變化如下：

——更改了文件的范圍，刪除了真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的術(shù)語和定義涵蓋范圍（見第1章，2007年版

的2.1）

——刪除了“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”（見2007年版的2.1）；

——刪除了“標(biāo)準(zhǔn)氣體狀態(tài)”（見2007年版的2.2）；

——更改了“真空區(qū)域”的劃分范圍（見，2007年版的2.2）；

——增加了“超清潔真空”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“壓力”的定義（見，2007年版的2.5）；

——刪除了“帕斯卡”（見2007年版的2.6）；

——刪除了“分壓力”中的符號和單位（見，2007年版的2.7）；

——更改了“飽和蒸氣”的定義（見，2007年版的2.15）；

——增加了“體積速度”的術(shù)語和定義（見0）；

——增加了“氣體溫度”的術(shù)語和定義（見1）；

——更改了“氣體量（壓力-體積單位）”的定義（見2，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定義（見，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾數(shù)”的定義（見，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏參數(shù)”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“碰撞率”的定義（見，2007年版的2.21）；

——刪除了“體積碰撞率”（見2007年版的2.22）；

II

GB/T3163—XXXX

——刪除了“氣體量”（見2007年版的2.23）；

——更改了“氣體的擴散”的定義（見，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滯流”的定義（見，2007年版的2.26）；

——更改了“伯謖葉流”的定義（見，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的術(shù)語和定義（見2）；

——更改了“流量”的定義（見8，2007年版的2.37）；

——更改了“麥克斯韋速度分布”的定義（見2，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流導(dǎo)”的定義（見6，2007年版的2.45）；

——增加了“動量適應(yīng)系數(shù)”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“解吸”的定義（見4，2007年版的2.59）；

——更改了“滲透”的定義（見9，2007年版的2.64）；

——更改了“滲透率”的定義（見0，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定義（見，2007年版的3.1.1）；

——增加了“氣體傳輸真空泵”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“容積真空泵”的術(shù)語和定義（見，2007年版的3.1.2）；

——刪除了“氣鎮(zhèn)（真空）泵”（見2007年版的.1）；

——刪除了“油封（液封）真空泵”（見2007年版的的.2）；

——刪除了“干式真空泵”（見2007年版的.3）；

——增加了“隔膜真空泵”的術(shù)語和定義（見）；

——增加了“線性蠕動真空泵”的術(shù)語和定義（見）；

——增加了“渦旋真空泵”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“旋片真空泵”的術(shù)語和定義（見，2007年版的.1）；

——更改了“液環(huán)真空泵”的定義（見，2007年版的）；

——增加了“外置葉片真空泵”的術(shù)語和定義（見0）；

——更改了“定片真空泵”的定義（見1，2007年版的.2）；

——刪除了“滑閥真空泵”（見2007年版的.3）；

——更改了“余擺線泵”的定義（見2，2007年版的）；

——增加了“蠕動真空泵”的術(shù)語和定義（見3）；

——更改了“羅茨真空泵”的定義（見4，2007年版的）；

——增加了“蠕動真空泵”的術(shù)語和定義（見3）；

——增加了“螺桿真空泵”的術(shù)語和定義（見5）；

——增加了“爪式真空泵”的術(shù)語和定義（見6）；

——更改了“動量真空泵”的定義（見7，2007年版的3.1.3）；

——更改了“渦輪真空泵”的定義（見8，2007年版的）；

——增加了“再生式真空泵”的術(shù)語和定義（見9）；

——增加了“復(fù)合渦輪分子真空泵”的術(shù)語和定義（見2）；

——增加了“氣體收集真空泵”的術(shù)語和定義（見2）；

——更改了“氣體捕集真空泵”的術(shù)語和定義（見3，2007年版的3.1.4）；

——增加了“非蒸散吸氣劑真空泵”的術(shù)語和定義（見6）；

——刪除了“吸氣劑離子泵”（見2007年版的）；

——刪除了“升華（蒸發(fā)）離子泵”（見2007年版的.1）；

——增加了“標(biāo)準(zhǔn)二極型離子真空泵”的術(shù)語和定義（見9）；

——增加了“二極型離子真空泵”的術(shù)語和定義（見0）；

III

GB/T3163—XXXX

——增加了“三極型離子真空泵”的術(shù)語和定義（見1）；

——更改了“低溫真空泵”的術(shù)語和定義（見2，2007年版的）；

——增加了“冷凝器”的術(shù)語和定義（見3）；

——增加了“表面冷凝器”的術(shù)語和定義（見4）；

——增加了“噴霧冷凝器”的術(shù)語和定義（見5）；

——增加了“表面凝結(jié)（結(jié)霜）”的術(shù)語和定義（見6）；

——更改了“葉片”的定義（見，2007年版的3.2.4）；

——更改了“氣鎮(zhèn)閥”的定義（見，2007年版的3.2.6）；

——更改了“擴壓器”的定義（見6，2007年版的3.2.13）；

——增加了“干式真空泵”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“高真空泵”的定義（見，2007年版的3.4.5）；

——增加了“機械增壓真空泵”的術(shù)語和定義（見.1）；

——增加了“噴射增壓真空泵”的術(shù)語和定義（見.2）；

——刪除了“附屬真空泵”（見2007年版的3.4.7）；

——更改了“體積流率”的定義（見，2007年版的3.5.1）；

——更改了“真空泵的流量”的定義（見，2007年版的3.5.2）；

——更改了“前級壓力”的定義（見，2007年版的3.5.4）；

——更改了“臨界前級壓力”的定義（見，2007年版的3.5.5）；

——更改了“最大工作壓力”的定義（見，2007年版的3.5.7）；

——更改了“極限壓力”的定義（見，2007年版的3.5.8）；

——增加了“基礎(chǔ)壓力”的術(shù)語和定義（見）；

——增加了“入口壓力”的術(shù)語和定義（見0）；

——更改了“壓縮比”的定義（見1，2007年版的3.5.9）；

——更改了“加熱時間”的術(shù)語和定義（見9，2007年版的3.5.18）；

——更改了“冷卻時間”的術(shù)語和定義（見0，2007年版的3.5.19）；

——增加了“最大連續(xù)抽氣量”的術(shù)語和定義（見1）；

——更改了“裸規(guī)”的定義（見.1.1，2007年版的.1）；

——更改了“全壓真空計”的定義（見，2007年版的4.2.3）；

——更改了“分壓真空計”的定義（見，2007年版的4.2.4）；

——更改了“分壓真空計”的術(shù)語和定義（見，2007年版的4.3.1）；

——刪除了“電離計系數(shù)（壓力單位倒數(shù)）”（見2007年版的4.3.4）；

——增加了“電離計靈敏度”的術(shù)語和定義（見）；

——更改了“液位壓力計”的定義（見.1，2007年版的）；

——增加了“布爾登壓力計”的術(shù)語和定義（見.2.1）；

——增加了“薄膜真空計”的術(shù)語和定義（見.2.2）；

——增加了“電容薄膜真空計”的術(shù)語和定義（見.2.3）；

——更改了“黏滯真空計”的定義（見.1，2007年版的）；

——增加了“磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計”的術(shù)語和定義（見.1.1）；

——增加了“石英摩擦真空計”的術(shù)語和定義（見.1.2）；

——增加了“熱電偶真空計”的術(shù)語和定義（見.2.1）；

——增加了“皮拉尼真空計”的術(shù)語和定義（見.2.2）；

——增加了“熱敏電阻表”的術(shù)語和定義（見.2.3）；

——更改了“電離真空計”的定義（見.1，2007年版的）；

IV

GB/T3163—XXXX

——增加了“交叉場電離真空計”的術(shù)語和定義（見.2）；

——刪除了“放射性電離計”（見2007年版的）；

——刪除了“冷陰極電離計”（見2007年版的）；

——更改了“潘寧計”的定義（見.2.1，2007年版的.1）；

——更改了“磁控管真空計”的術(shù)語和定義（見.2.2，2007年版的.2）；

——增加了“翻轉(zhuǎn)磁控管真空計”（見.2.3）；

——增加了“發(fā)射陰極電離真空計”（見.3）；

——刪除了“放電管指示器”（見2007年版的.3）；

——增加了“離子能量分析真空計”（見.3.8）；

——刪除了“雙金屬線振蕩器真空計”（見2007年版的.9）；

——增加了“離子阱質(zhì)譜儀”（見.4）；

——更改了“飛行時間質(zhì)譜儀”的定義（見.1，2007年版的）；

——增加了“反射質(zhì)譜儀”（見.1.1）；

——增加了“Wiley-Mclaren質(zhì)譜儀”（見.1.2）；

——刪除了“真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語”（見2007年版的第5章）；

——刪除了“檢漏及有關(guān)術(shù)語”（見2007年版的第6章）；

——刪除了“真空鍍膜技術(shù)”（見2007年版的第7章）；

——刪除了“真空干燥和冷凍干燥”（見2007年版的第8章）；

——刪除了“表面分析技術(shù)”（見2007年版的第9章）；

——刪除了“真空冶金”（見2007年版的第10章）；

——更改了“符號和縮略語”（見第4章，2007年版的附錄B）；

——刪除了附錄“在采用國際單位制（SI制）之前使用的壓力單位和換算系數(shù)”（見2007年版的

附錄A）；

——更改了真空泵分類表（見附錄A，2007年版的附錄C）；

——增加了全壓真空計樹形圖（見附錄B）；

——更改了與ISO3529結(jié)構(gòu)編號對照一覽表（見附錄C，2007年版的D）；

——刪除了中文索引（見2007年版的中文索引）；

——刪除了英文索引（見2007年版的英文索引）。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任。

本文件由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出。

本文件由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC18）歸口。

本文件起草單位：東北大學(xué)、臺州職業(yè)技術(shù)學(xué)院、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司。

本文件主要起草人：

本文件于1982年首次發(fā)布，1993年第一次修訂，2007年第二次修訂，本次為第三次修訂。

V

GB/T3163—XXXX

真空技術(shù)術(shù)語

1范圍

本文件界定了真空技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)通用、真空泵及其相關(guān)、全壓和分壓真空計方面的術(shù)語和定義，確

立了真空技術(shù)領(lǐng)域的概念體系。

本文件盡可能準(zhǔn)確地對術(shù)語給出了理論性定義，并供相關(guān)領(lǐng)域的交流與合作中使用。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB/T40344.1-2021真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第1部分：總體要求（ISO21360-1:2012，

IDT)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

ISO和IEC維護的用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語數(shù)據(jù)庫地址如下：

——ISO在線瀏覽平臺：/obp

——IEC在線瀏覽平臺：/

3.1基本術(shù)語

3.1.1一般術(shù)語

真空vacuum

用來描述低于大氣壓力或大氣分子密度的稀薄氣體狀態(tài)或基于該狀態(tài)環(huán)境的通用術(shù)語。

真空區(qū)域rangesofvacuum

根據(jù)一定的壓力范圍對真空區(qū)域進行的劃分。

注1：在選定真空度范圍時，會有所不同，下面所列為大致認可的典型真空度范圍。

注2：地面氣壓取決于天氣狀況和海拔高度，氣壓范圍從31kPa（珠穆朗瑪峰的高度和天氣狀況為氣壓低點）到110

kPa（死海的海拔高度和天氣狀況為氣壓高點）不等。

1

GB/T3163—XXXX

壓力范圍定義范圍定義的理由如下（典型情況）

大氣壓(31kPa～110kPa)～壓力可以通過簡單的材料（如普通鋼材）和容積式真

低（粗）真空

1×102Pa空泵來獲得；氣體處于粘性流態(tài)

壓力可以通過精密的材料（如不銹鋼）和容積式真空

1×102Pa～1×10-1Pa中真空

泵來獲得；氣體處于過渡流態(tài)

壓力可以通過精密的材料（如不銹鋼）、彈性體密封

1×10-1Pa～1×10-6Pa高真空（HV）

和高真空泵來獲得；氣體處于分子流態(tài)

壓力可以通過精密的材料（如低碳不銹鋼）、金屬密

1×10-6Pa～1×10-9Pa超高真空（UHV）封、特殊的表面處理和清洗、烘烤和高真空泵來獲得；

氣體處于分子流態(tài)

壓力可通過復(fù)雜材料（如真空燒制低碳不銹鋼、鋁、

﹤1×10-9Pa極高真空（XHV）銅鈹、鈦）、金屬密封、特殊表面處理和清潔、烘烤

和附加吸氣劑泵來獲得；氣體處于分子流態(tài)

超清潔真空ultracleanvacuum

需要特殊條件的中真空或者高真空，對于某些氣體種類來說等于超高真空條件。

注1：根據(jù)特定的應(yīng)用，會對氣體種類（摻雜）有不同的要求。

注2：碳氫化合物、CO、CO2和H2O是典型的摻雜氣體。

注3：特定情況下對低顆粒密度也有要求。

真空壓力pressureofavacuum

p

.1

真空壓力pressureofavacuum

<氣體作用于表面上>氣體作用于表面上力的法向分量除以該面積。

注1：如果存在氣體流動，規(guī)定表面方向與氣體流動方向相對應(yīng)。

.2

真空壓力pressureofavacuum

<大量氣體中某一特定點的壓力>根據(jù)理想氣體定律所確定的氣體狀態(tài)，如有必要時可對真實氣體進

行修正。

注1：當(dāng)應(yīng)用理想氣體定律時，一個無窮小體積內(nèi)的壓強p由該體積內(nèi)氣體分子的數(shù)密度n、玻爾茲曼常數(shù)k和溫度

T的乘積給出。

注2：對于大多數(shù)真空中的實際應(yīng)用，對于真實氣體（考慮體積和氣體分子的相互作用）未經(jīng)修正的理想氣體定律

依然適用。

2

GB/T3163—XXXX

分壓力partialpressure

混合氣體中某一特定氣體組分的壓力。

全壓力totalpressure

當(dāng)“壓力”不能明確區(qū)分各組分分壓力和它們之和之間的區(qū)別時，用來表示混合氣體中所有組分分

壓力之和。

真空度degreeofvacuum

表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值表示。

3.1.2氣體和蒸氣及它們參數(shù)的術(shù)語

氣體gas

不受分子間力約束，能自由占據(jù)任意可達空間的物質(zhì)。

注1：在真空技術(shù)中，“氣體”已泛指非可凝性氣體和蒸氣。

非可凝性氣體non-condensablegas

溫度處在臨界溫度之上的氣體，即單純增加壓力不能使其凝結(jié)的氣體。

蒸氣vapour

溫度處在臨界溫度以下的氣體，即單純增加壓力能使其凝結(jié)的氣體。

飽和蒸氣壓saturationvapourpressure

pL

在給定溫度下，蒸氣與其凝聚相處于熱力平衡時蒸氣的壓力。

飽和度degreeofsaturation

蒸氣壓力與它的飽和蒸氣壓力之比。

注1：當(dāng)蒸氣與物質(zhì)的凝聚相處于熱力學(xué)平衡時，蒸氣始終處于飽和狀態(tài)。

飽和蒸氣saturatedvapour

3

GB/T3163—XXXX

在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸氣壓的蒸氣。

注1：當(dāng)蒸氣與物質(zhì)的凝聚相處于熱力學(xué)平衡時，蒸氣始終處于飽和狀態(tài)。

不飽和蒸氣unsaturatedvapour

在給定溫度下，蒸氣壓力低于其飽和蒸氣壓的蒸氣。

分子數(shù)密度numberdensityofmolecules

n

<t瞬間，氣體中某一點周圍>選定體積內(nèi)的分子數(shù)目除以該體積。

注1：t指瞬間。更確切地說，是指一段很短的延續(xù)時間Δt的平均值，這段延續(xù)時間要充分，以便可獲得可信的統(tǒng)

計平均值。

單位質(zhì)量密度unitarymassdensity

ρu

氣體的質(zhì)量密度除以其壓力。

0

體積速度bulkvelocity

v

在某一時刻，圍繞該點充分選擇的體積中的分子的平均速度。

注1：體積必須選擇得大小適當(dāng)，以包含足夠數(shù)量的分子，從而可以獲得穩(wěn)定的統(tǒng)計結(jié)果，以使所獲得的值在該體

積中沒有顯著變化。

1

氣體溫度temperature

T

與t時刻下參考單元的體積內(nèi)所含分子的平均動能成正比，與同體積內(nèi)的氣體分子體積速度有關(guān)。

注1：見3.2.10中的注。

2

氣體量（壓力-體積單位）quantityofgasinpressure-volumeunits

pV

處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占體積與其壓力的乘積。

注1：應(yīng)該確定氣體的溫度。

注2：這樣定義的氣體量等于氣體的質(zhì)量除以其單位質(zhì)量密度所得的商。

注3：氣體量是氣體所占體積內(nèi)氣體的內(nèi)能或勢能的2/3。

4

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3.1.3描述氣體分子運動和氣體流所需術(shù)語

平均自由程meanfreepathofmolecules

l，λ

一個分子和其他氣體分子兩次連續(xù)碰撞之間所走過的平均距離。

注1：該平均值應(yīng)是在足夠多的分子數(shù)且足夠長的時間間隔下得到的統(tǒng)計值。

注2：在平均自由程的概念中，假定分子間的相互作用在分子間的某一距離處中斷（剛球模型和截止力勢）。平均

自由程也可以定義為其它類型的相互作用。（例如蘭納-瓊斯勢）。在這種情況下，其數(shù)值采用剛球模型下氣

體的平均自由程，被觀察氣體與其有相同的粘度、溫度和密度。

克努曾數(shù)Knudsennumber

K,Kn

平均自由程與管道或容器的特征尺寸之比。

注1：對于圓管，管道的特征尺寸是直徑，對于矩形截面的管道，它是矩形的較小邊。

稀疏參數(shù)rarefactionparameter

δ

管道或容器的特征尺寸與平均自由程的比值。

注1：對于圓管，管道的特征尺寸是直徑，對于矩形截面的管道，它是矩形的較小邊。

注2：稀疏參數(shù)與克努曾數(shù)成反比。

碰撞率collisionrate

v

在給定的時間間隔內(nèi)，一個氣體分子（或其他特定粒子）相對于其他氣體分子（或特定的粒子群）

運動時所受到的碰撞的平均次數(shù)，除以該時間間隔。

注1：該平均值應(yīng)是在足夠多的分子數(shù)且足夠長的時間間隔下得到的統(tǒng)計值。

氣體的擴散diffusionofgas

由于濃度梯度引起的一種氣體在另一種介質(zhì)中的運動。

注1：介質(zhì)可以是另一種氣體（在這種情況下稱為互擴散）或是一種可凝性介質(zhì)。

擴散系數(shù)diffusioncoefficient；diffusivity

D

氣體通過單位面積的質(zhì)量流率除以該面積法線方向的密度梯度的絕對值。

5

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粘滯流viscousflow

氣體分子平均自由程遠小于導(dǎo)管最小截面尺寸時氣體通過導(dǎo)管的流動。流動取決于氣體的粘滯性。

注：流動可以是層流或湍流。

粘滯系數(shù)viscousfactor

在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。

泊肅葉流Poiseuilleflow

特指通過管道兩端的壓力差產(chǎn)生的長管流動。

注：當(dāng)流動為層流、導(dǎo)管截面為圓形時，這種流動特指哈根-泊肅葉流動。

0

分子流molecularflow

氣體平均自由程遠大于導(dǎo)管最大截面尺寸時氣體通過導(dǎo)管的流動。

1

過渡流（粘滯-分子流）intermediateflow；transitionalflow

在粘滯流和分子流之間的中間狀態(tài)下，氣體通過導(dǎo)管的流動。

2

滑移流slipflow

氣體在平均自由程較小但與管道的特征尺寸相近的條件下通過管道，此時流動受到管壁上的速度滑

移條件的影響。

注1：管道的特征尺寸見3.3.8注1。

注2：對于滑移流條件，不像粘滯流條件下假定的那樣，管道壁面的體速度為零。

注3：滑移流的條件介于過渡流和粘滯流之間。

3

分子瀉流moleculareffusion；effusiveflow

孔口的最大尺寸小于氣體平均自由程時，氣體通過孔口的流動。

4

流逸transpiration

由壓力差引起的氣體通過多孔固體的流動。

5

6

GB/T3163—XXXX

熱流逸thermaltranspiration

在兩相連容器之間，由于容器溫度不同引起的氣體流動，當(dāng)氣體遷移達到平衡時，兩容器間產(chǎn)生壓

力梯度。

6

分子流率moleculeflowrate

分子通量molecularflux

qN

在給定時間間隔內(nèi)，從給定方向通過截面S的分子數(shù)目與反向穿過S的分子數(shù)目之差，除以該時間。

7

分子流率密度moleculeflowratedensity

分子通量密度densityofmolecularflux

分子流率除以截面S的面積。

8

流量throughput

qpV

在給定時間間隔內(nèi)，流經(jīng)截面的氣體量（壓力-體積單位）除以該時間。

注1：它亦是質(zhì)量流率除以單位質(zhì)量密度。

9

質(zhì)量流率massflowrate

qm

在給定時間間隔內(nèi)，通過截面S的氣體質(zhì)量除以該時間。

0

體積流率volumeflowrate

qV

在特定的溫度和壓力下，給定時間間隔內(nèi)，通過截面S的氣體體積除以該時間。

1

摩爾流率molarflowrate

qv

通過給定截面S的摩爾流率為：在給定的時間間隔內(nèi)，給定氣體通過截面S的摩爾數(shù)除以該時間。

2

麥克斯韋速度分布maxwellianvelocitydistribution

7

GB/T3163—XXXX

是基于麥克斯韋—波爾茲曼速度分布函數(shù)的速度分布。

注：對于給定溫度，處于平衡狀態(tài)的氣體分子的速度分布。

3

傳輸幾率transmissionprobability

PC

隨機進入管道入口的氣體分子通過管道出口而沒有沿相反方向返回入口的幾率。

4

分子流導(dǎo)moleculeconductance

CN，UN

孔口或管道兩特定截面之間的分子流導(dǎo)為：分子流率除以孔口兩側(cè)或管道兩截面間的平均分子數(shù)密

度差。

注：單位為m3/s，L/s。

5

流導(dǎo)conductance

C，U

<對于管道，或一段管道，或小孔>等溫條件下，流量除以兩個特定截面間或孔口兩側(cè)的平均壓力差。

6

固有流導(dǎo)intrinsicconductance

Ci，Ui

容器中氣體分子按麥克斯韋速度分布的條件下，連接兩個容器的管道（或孔口）的流導(dǎo)。

注：在分子流態(tài)下，等于入口流導(dǎo)與傳輸幾率的乘積。

7

流阻resistance

w

流導(dǎo)的倒數(shù)。

3.1.4用于定義真空技術(shù)中表面和體積效應(yīng)的術(shù)語

吸附sorption

固體或液體（吸附劑）對氣體或蒸氣（吸附物）的捕集。

表面吸附adsorption

氣體或蒸氣（吸附質(zhì)）保持在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附。

8

GB/T3163—XXXX

物理吸附physisorption

由于物理力產(chǎn)生的，而非化學(xué)鍵產(chǎn)生的吸附。

化學(xué)吸附chemisorption

形成化學(xué)鍵的吸附。

吸收absorption

氣體（吸收質(zhì)）擴散進入固體或液體（吸收劑）內(nèi)部的吸附。

能量（熱）適應(yīng)系數(shù)energy(thermal)accommodationcoefficient

α

入射粒子和表面間實際交換的平均能量與入射粒子和表面達到完全熱平衡時應(yīng)該交換的平均動量

之比。

動量適應(yīng)系數(shù)momentumaccommodationcoefficient

σ

撞擊粒子和表面之間實際傳遞的平均動量與入射粒子和達到完全熱平衡的表面碰撞后從表面返回

應(yīng)傳遞動量的比。

入射率impingementrate

φ

給定時間間隔內(nèi)，入射到表面上的分子數(shù)除以該時間和表面面積。

凝結(jié)率condensationrate

給定時間間隔內(nèi)，凝結(jié)在表面上的分子數(shù)（或物質(zhì)的數(shù)量或質(zhì)量）除以該時間和表面面積。

0

粘著率stickingrate

給定時間間隔內(nèi)，吸附在表面上的分子數(shù)目除以該時間間隔和表面面積。

1

9

GB/T3163—XXXX

粘著幾率stickingprobability

Ps

粘著率與入射率之比。

2

停留時間residencetime

τ

吸附于表面上的分子被表面約束的平均時間。

3

遷移migration

分子在某一表面上的運動。

4

解吸desorption

被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現(xiàn)象。

注：釋放可以自然進行，也可用物理方法加速。

5

除氣degassing

氣體從某一材料上的人為解吸。

6

放氣outgassing

氣體從某一材料上的自然解吸。

7

蒸發(fā)率specificevaporationrate

給定時間間隔內(nèi)，從某一表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（物質(zhì)數(shù)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時間和蒸發(fā)表面積。

注：單位為m-2?s-1?kg?mol/（m2?s），g/（m2?s）。

8

解吸率specificdesorptionrate

放氣率outgassingrate

除氣率degassingrate

在給定時間內(nèi)，冷凝材料上解吸（或放氣或去氣）的氣流量（或分子流率）除以材料表面積。

注：單位為Pa?m/s,m-2?s-1。

9

10

GB/T3163—XXXX

滲透permeation

氣體通過某一固定體阻擋層的過程。

注：該過程包括氣體在固體內(nèi)的擴散也包括各種表面現(xiàn)象。

0

滲透率permeability

Ρ

處于穩(wěn)定流動狀態(tài)下的某種氣體通過某一固體阻擋層的滲透率為：通過阻擋層的氣體流量除以一數(shù)

值，該值是固體壁面兩側(cè)氣體壓力的函數(shù)。

注：這個函數(shù)的形式取決于實際滲透所包括的物理過程。

1

滲透系數(shù)permeabilitycoefficient

P

滲透率和阻擋層厚度的乘積，除以阻擋層的面積。

3.2真空泵及相關(guān)術(shù)語

3.2.1真空泵

真空泵vacuumpump

獲得、改善和（或）維持真空的一種裝置。

注1：可以分為兩種類型：氣體傳輸泵（）和捕集泵（2）。

注2：3.1中給出的一些定義在3.2中以不同的術(shù)語重復(fù)，以適應(yīng)真空泵。

注3：“真空”的定義見。

注4：真空泵的分類表見附錄A。

氣體傳輸真空泵gastransfervacuumpumps

通過容積變化或動能傳遞將氣體分子從真空泵的入口輸送到出口（）的真空泵（）。

容積真空泵positivedisplacementvacuumpump

泵腔吸入氣體，其入口被周期性地隔離，然后將氣體輸送到出口（）并排出的一種真空泵

（）。

注1：大多數(shù)的容積真空泵，氣體在排出之前是被壓縮的。它可分為兩類，往復(fù)式容積真空泵和旋轉(zhuǎn)

式真空泵（～），具有單個轉(zhuǎn)子（～3）或具有多個轉(zhuǎn)子的真

空泵（4～6）。

注2：容積真空泵通常配備有氣鎮(zhèn)系統(tǒng)，其作用是：在泵壓縮腔內(nèi)，充入可控的適量非可凝性氣體，

以降低被抽氣體在泵腔中的凝結(jié)程度。

11

GB/T3163—XXXX

注3：油封（液封）真空泵是一種用泵油（液體）來密封相對運動零部件間的間隙、減少壓縮腔末端

殘余死空間的旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。

注4：干式容積真空泵是一種泵腔內(nèi)不含油或液體的容積真空泵。

注5：所有類型的容積真空泵都能由多級轉(zhuǎn)子組成，這些多級轉(zhuǎn)子可以是相同的也可以是不同的。

隔膜真空泵diaphragmvacuumpump

通過適配閥來輔助控制隔膜的往復(fù)與振蕩運動使泵腔中氣體被壓縮和排出的干式真空泵

（）。

活塞真空泵pistonvacuumpump

在泵內(nèi)通過使用適配閥進行往復(fù)運動將氣體吸入壓縮并排出的一種容積真空泵（）。

線性蠕動真空泵linearperistalticvacuumpump

通過線性運動的裝置交替擠壓和釋放彈性軟管，使氣體沿軟管流動的一種真空泵（）。

渦旋真空泵scrollvacuumpump

通過一對相互嚙合的環(huán)繞漸開線組成的渦旋盤相對運動進行氣體壓縮并排出的一種真空泵

（）。

注1：渦旋泵根據(jù)實際應(yīng)用情況，可以選擇在渦旋泵入口設(shè)置進氣閥、隔離閥，以實現(xiàn)對故障條件或

電源損壞情況下的隔離。

旋片真空泵rotaryvanevacuumpump

泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切的一種容積真空泵（）。

注1：壓縮的氣體通過排氣閥被排放到大氣中。

注2：兩個（或兩個以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動（通常為徑向的）并在定子內(nèi)壁上滑動，將泵腔分成

幾個可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵。

液環(huán)真空泵liquidringvacuumpump

泵內(nèi)裝有帶固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子，將液體拋向定子壁的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：液體形成與定子同心的液環(huán)，液環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片一起構(gòu)成可以變化的容積。

0

外置葉片真空泵externalvanevacuumpump

12

GB/T3163—XXXX

轉(zhuǎn)子偏心轉(zhuǎn)動并與定子內(nèi)壁相接觸的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：一種定子安裝在轉(zhuǎn)子上，并將定子腔分成不同容積部分的設(shè)備。

1

滑閥真空泵rotarypistonvacuumpump

轉(zhuǎn)子相對定子內(nèi)壁偏心轉(zhuǎn)動的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：安裝在轉(zhuǎn)子上的活塞或滑閥在可擺動的導(dǎo)軌（被安裝在定子適當(dāng)位置上）中滑動，并將定子腔

分成兩個相互封閉的可變?nèi)莘e。

注2：定片真空泵又被稱作滑閥真空泵。

2

余擺線泵trochoidvacuumpump

一種橢圓活塞繞著偏心軸轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：外殼與活塞處于連續(xù)非接觸密封狀態(tài)，需要用油進行密封。

3

蠕動真空泵peristalticvacuumpump

使用由多個滾柱或凸緣組成的轉(zhuǎn)子壓縮并迫使氣體沿柔性管道移動的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵

（）。

4

羅茨真空泵rootsvacuumpump

具有兩個或三個同步反向旋轉(zhuǎn)的葉型轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有間隙且互不接觸的一種旋

轉(zhuǎn)容積真空泵（）。

注1：羅茨真空泵可以當(dāng)做粗抽泵（機械增壓泵）、前級泵和主泵使用。

注2：羅茨泵各級運轉(zhuǎn)過程中不存在內(nèi)部壓縮。

5

螺桿真空泵screwvacuumpump

一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，其同步反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子采用各類型線設(shè)計，如有內(nèi)壓縮比特性的錐形

或變螺距轉(zhuǎn)子（）。

注1：螺桿真空泵也可以有無內(nèi)壓縮的型線設(shè)計。

6

爪式真空泵clawvacuumpump

兩個同步反向旋轉(zhuǎn)的爪型轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細小間隙而互不接觸的一種旋轉(zhuǎn)容積

真空泵（）。

注1：爪式真空泵可以有一個或多個壓縮級。

7

13

GB/T3163—XXXX

動量真空泵kineticvacuumpump

通過機械方式（高速旋轉(zhuǎn)或在流動方向上提供動能）、使用另一種流體（在流動方向上提供動能）

和使用電場來輸送氣體離子這三種方式，將氣體從泵入口轉(zhuǎn)移到泵出口（）的一種真空泵

（）。

注1：包含三種類型真空泵：機械動量泵（8～2）、流體輸送泵（3～0）與離子傳

輸泵（1）。

8

渦輪真空泵turbinevacuumpump

通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪轉(zhuǎn)子輸送大量氣體的一種動量傳輸真空泵（7）。

注1：動密封不會產(chǎn)生摩擦，泵內(nèi)氣流既可以垂直于旋轉(zhuǎn)方向（徑流式或離心式），也可以平行與旋轉(zhuǎn)方向（軸流

式）。

9

旋渦真空泵regenerativevacuumpump

通過離心轉(zhuǎn)子級，利用氣體渦流行為與平行轉(zhuǎn)子側(cè)通道相結(jié)合進行氣體輸送的旋轉(zhuǎn)動量真空泵

（7）。

注1：再生式真空泵設(shè)計有一個或多個氣體壓縮級，并且可以采用軸向的氣體通道與徑向的氣體通道。

0

牽引分子泵moleculardragvacuumpump

泵內(nèi)氣體分子和高速轉(zhuǎn)子表面相接觸而獲得動量，使氣體分子定向排出的一種動量泵（7）。

1

渦輪分子泵turbo-molecularvacuumpump

泵內(nèi)由開槽圓盤或葉片組成的轉(zhuǎn)子，在相應(yīng)圓盤間轉(zhuǎn)動的一種牽引分子泵（0）。

注1：轉(zhuǎn)子圓周線速度與氣體分子速度為同一數(shù)量級的一種牽引分子泵。渦輪分子泵通常工作在分子流態(tài)下。

注2：復(fù)合渦輪分子真空泵。

2

復(fù)合渦輪分子真空泵compoundturbo-molecularvacuumpump

由基于渦輪分子真空泵原理設(shè)計的抽氣級、基于牽引分子真空泵原理設(shè)計的壓縮級與/或真空泵排

氣側(cè)的再生級組成的一種單軸高真空泵（）。

3

擴散泵diffusionvacuumvacuumpump

以低壓、高速蒸氣射流為工作介質(zhì)的一種動量真空泵（7）。

注1：氣體分子擴散到蒸氣射流內(nèi)并被攜帶到出口。在蒸氣射流內(nèi)部氣體分子密度始終低于外部。因為泵內(nèi)氣體平

均自由程足夠大時才會形成蒸汽噴射流，所以擴散泵工作在分子流態(tài)下。

14

GB/T3163—XXXX

4

自凈化擴散泵self-purifyingdiffusionvacuumpump

工作液中的揮發(fā)性雜質(zhì)不能返回鍋爐而被輸送到出口（）的一種特殊油擴散泵（3）。

5

分餾擴散泵fractionatingdiffusionvacuumpump

將工作介質(zhì)中密度高、蒸氣壓力低的組分供給最低壓力級，而將密度小、蒸氣壓高的組分供給高壓

力級的一種多級油擴散泵（3）。

6

擴散噴射泵diffusion-ejectorvacuumpump

泵內(nèi)前一級或幾級具有擴散泵（3）的特性，而后一級或幾級具有噴射泵（7）特性

的一種多級動量泵（7）。

7

噴射真空泵ejectorvacuumpump

基于文丘里（Venturi）效應(yīng)產(chǎn)生壓力降,被抽氣體被高速流攜帶到出口（）的一種動量泵

（7）。

注1：噴射真空泵在粘滯流和過渡流下工作。

8

液體噴射真空泵liquidjetvacuumpump

以液體（通常為水）為傳輸流體的一種噴射泵（7）。

9

氣體噴射真空泵gasjetvacuumpump

以非可凝性氣體為傳輸流體的一種噴射泵（7）。

0

蒸氣噴射真空泵vapourjetvacuumpump

以蒸氣（水、汞或油蒸氣）為傳輸流體的一種噴射泵（7）。

注1：被抽蒸氣在泵的出口處冷凝。

1

離子傳輸泵iontransferpump

泵內(nèi)氣體分子被電離，然后在電磁場或電場作用下向出口（）輸運的一種動量泵

（7）。

2

15

GB/T3163—XXXX

氣體收集真空泵gasgatheringvacuumpump

以固態(tài)或吸附態(tài)捕捉氣體的真空泵（）。

3

氣體捕集真空泵gasentrapmentvacuumpump；capturevacuumpump

通過物理或化學(xué)吸附、冷凝或沉積的方法使氣體分子或蒸汽分子保留在泵腔內(nèi)部表面的真空泵

（）。

4

氣體吸附真空泵adsorptionvacuumpump

泵內(nèi)氣體分子主要被具有大的表面積材料（如多孔物質(zhì)）物理吸附而保留在泵內(nèi)的一種捕集泵

（3），低溫條件下吸附性增強。

5

吸氣劑真空泵gettervacuumpump

主要是通過金屬、合金或是散裝或新沉積的薄膜等材料對氣體分子進行化學(xué)吸附的一種捕集泵

（3）。

6

非蒸散吸氣劑真空泵non-evaporablegettervacuumpump

NEG真空泵NEG-vacuumpump

帶有活性多孔合金或粉末混合物吸氣材料的捕集真空泵（3）。

注1：在系統(tǒng)被抽真空和密封之后，在材料通過化學(xué)反應(yīng)吸收氣體前，吸氣材料必須加熱（通常通過射頻感應(yīng)加熱）。

7

升華真空泵sublimationvacuumpump

蒸發(fā)真空泵evaporationvacuumpump

泵內(nèi)吸氣劑材料被升華（蒸發(fā)）同時沉積在真空室內(nèi)表面的一種捕集泵（3）。

注1：本文中升華和蒸發(fā)為相似概念。

8

濺射離子泵sputterionvacuumpump

由陰極連續(xù)濺射和離子注入至陰極結(jié)合的方式所獲得的吸氣劑上的一種氣體捕集真空泵

（）。

注1：泵主要通過吸氣劑效應(yīng)進行工作，但對惰性氣體來說，注入效應(yīng)起主要作用。

9

標(biāo)準(zhǔn)二極型離子真空泵standarddiodeionvacuumpump

16

GB/T3163—XXXX

只具有陰極化學(xué)活性吸附作用的濺射離子泵（8）。

0

二極型離子真空泵differentialionvacuumpump

帶有化學(xué)活性陰極及附加的鉭活性陽極的濺射離子泵（8），該泵可以更好地抽除惰性氣體。

1

三極型離子真空泵triodeIonvacuumpump

一種包含陰極柵格、中心陽極和周圍收集器，可以實現(xiàn)對惰性氣體的最大抽速的濺射離子泵

（8）。

2

低溫真空泵cryogenicvacuumpump；cryopump

是一種捕集真空泵（3），由若干低溫表面構(gòu)成，該表面冷卻到足夠低溫以冷凝或吸附殘余

氣體，并與可被吸附材料捕集的具有更低冷凝溫度的氣體分離。

注1：所選擇的溫度應(yīng)取決于被抽取氣體的性質(zhì)。

注2：低溫泵通常與活性炭或是分子篩等材料結(jié)合使用，冷凝物需要保持一定的溫度，使得平衡蒸氣壓等于或小于

真空室所要求低壓。

注3：低溫抽氣作用主要依賴于三種效應(yīng)：低溫吸附（通過多孔物質(zhì)在低溫下進行物理吸附）、低溫冷凝（分子在

冷卻表面冷凝）與低溫捕集（在具有較高冷凝溫度的凝聚/沉積材料層上物理捕獲具有極低凝結(jié)溫度的輕分

子）。

3

冷凝器condenser

將蒸汽冷凝為液態(tài)或是凝華為固態(tài)的裝置（6）。

注1：真空冷凝器用于抽除低真空范圍內(nèi)的蒸汽，特別在干燥工藝中。

4

表面冷凝器surfacecondenser

<液態(tài)冷凝>蒸汽在冷卻管或板表面被冷凝為液體的冷凝器。

5

噴霧冷凝器spraycondenser

直接接觸冷凝器。

注1：蒸汽在與冷卻劑直接接觸時冷凝。

6

表面凝結(jié)（結(jié)霜）surfacedeposition(desublimation)

使用適當(dāng)?shù)睦鋮s管或冷卻板使蒸汽溫度低于三相點進而使氣體凝結(jié)（凝華）。

17

GB/T3163—XXXX

3.2.2泵的零部件

泵売pumpcase

將低壓氣體與大氣隔開的泵外壁。

入口inlet

被抽氣體被真空泵吸入的泵口。

出口outlet

被抽氣體被真空泵排出的泵口。

葉片vane；blade

旋轉(zhuǎn)容積真空泵中的定子和轉(zhuǎn)子間用以分隔工作空間的滑動元件，通常用于旋片真空泵中

（）。

注1：機械動量真空泵的轉(zhuǎn)子通常具有非接觸式的葉片，例如：渦輪分子真空泵的葉片。