《高純銅蒸發(fā)料》（預審稿）

1高純銅蒸發(fā)料本文件規(guī)定了高純銅蒸發(fā)料的分類和標記、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內容。本文件適用于半導體行業(yè)用的高純銅蒸發(fā)料。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T5121.4銅及銅合金化學分析方法碳、硫含量的測定GB/T5121.8銅及銅合金化學分析方法氧含量的測定GB/T2828.1計數抽樣檢驗程序第1部分:按接收質量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃GB/T8170數值修約規(guī)則與極限數值的表示和判定YS/T922高純銅化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法3術語和定義本文件沒有需要界定的術語和定義。4分類和標記4.1分類高純銅蒸發(fā)料的牌號、狀態(tài)、尺寸應符合表1的規(guī)定。表1牌號、狀態(tài)及規(guī)格注：需方有其他牌號、狀態(tài)、尺寸需要時，由供需雙方協商4.2標記高純銅蒸發(fā)料按產品名稱、牌號、尺寸的順序表示。標記示例如下：25技術要求5.1化學成分高純銅蒸發(fā)料的化學成分應符合表2的規(guī)定。表2化學成分），%13K1NaNi1P1UC1O51N51），135.2外形尺寸及其允許偏差5.2.1直徑及其允許偏差高純銅蒸發(fā)料的直徑及其允許偏差應符合表3的規(guī)定。表3直徑及其允許偏差±0.2a當需方要求直徑允許偏差全為“﹢”偏差或全為“﹣”偏5.2.2長度及其允許偏差高純銅蒸發(fā)料的長度及其允許偏差應符合表4的規(guī)定。表4長度及其允許偏差±0.5±1.0a當需方要求長度允許偏差全為“﹢”偏差或全為“﹣”偏5.3外觀質量5.3.1產品表面應光滑、潔凈、無油污和銹蝕。應無顆粒附加物和其他沾污。5.3.2產品端面或表面允許有輕微的沖、剪、裁等痕跡。6試驗方法6.1化學成分6.1.1高純銅蒸發(fā)料的金屬雜質元素的分析方法按YS/T922的規(guī)定進行。6.1.2高純銅蒸發(fā)料的氣體元素C的分析方法按照GB/T5121.4的規(guī)定進行；氣體元素O的分析方法按照GB/T5121.8的規(guī)定進行；氣體元素N的分析方法由供需雙方協商確定并在訂貨單中注明。6.2外形尺寸及允許偏差產品的外形尺寸采用相應精度的測量工具進行測量，直徑測量應在兩端1mm處分別測量3次，長度測量應在邊緣1mm處測量3次。6.3外觀質量外觀質量用目視檢查，如發(fā)現異?，F象，用10倍放大鏡鑒別，或供需雙方商定的其他方法檢查。47檢驗規(guī)則7.1檢驗和驗收7.1.1產品應由供方或第三方進行檢驗，產品質量應符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對收到的產品按本文件的規(guī)定進行檢驗。當檢驗結果與本文件及訂貨單的規(guī)定不符時，應以書面形式向供方提出，由供需雙方協商解決。屬于化學成分、外形尺寸及外觀質量的異議，應在收到產品之日起1個月內提出；如需仲裁，應由供需雙方在需方共同取樣或協商確定。7.2組批產品應成批提交驗收。每批應由同一爐次、同一牌號、尺寸和狀態(tài)的產品組成。7.3檢驗項目及取樣規(guī)定產品應進行化學成分、外形尺寸及允許偏差、外觀質量的檢驗。取樣規(guī)定見表5。表5取樣7.4檢驗結果的判定7.4.1檢驗結果的數值按GB/T8170的規(guī)定進行修約，并采用修約值比較法判定。7.4.2化學成份檢測不合格時，則判該批產品不合格。7.4.3外形尺寸及其允許偏差不合格時，按件判不合格，每批中不合格數量超過接收質量限時判整批不合格，或由供方逐件檢驗，逐件判定。7.4.4外觀質量檢測不合格時，按粒判不合格。每批中不合格粒數超出該批接收質量限時判整批不合格。8標志、包裝、運輸、貯存和隨行文件8.1標志8.1.1在檢驗合格的產品上應進行如下標記：a)產品名稱b)牌號；c)規(guī)格；d)批號；e)生產日期；f)生產企業(yè)名稱。8.2包裝 58.2.1產品內包裝應在潔凈間內進行。產品內包裝可采用充保護氣體包裝和真空封裝兩種。充保護氣包裝的封口要完整，無開裂，無泄漏。真空袋封裝的要封口平整，真空袋體無真空泄漏。需方若對產品內包裝有特殊要求的，由供需雙方協商。8.2.2產品外包裝采用紙箱或木箱包裝。經供需雙方協商還可采用其他方式包裝。8.3運輸和貯存a)產品運輸過程中應防止碰傷、擦傷，并保證運輸過程中產品及包裝完整。b)產品應保存于清潔、干燥的環(huán)境。8.4隨行文件每批產品應附有隨行文件，其中除應包括供方信息、產品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a）產品質量保證書，內容如下：?產品的主要性能及技術參數；?產品特點；?對產品質量所負的責任；?產品獲得的質量認證及帶供方技術監(jiān)督部門檢印的各項分析檢驗結果。b）產品合格證，內容如下：?檢驗項目及其結果或檢驗結論；?檢驗日期；?檢驗員簽名或蓋章。c）產品質量