中職教育一年級上學期電子與信息《著裝與防靜電檢測》教學課件

項目七微電子器件生產(chǎn)規(guī)范7.1.著裝與防靜電檢測微電子技術與器件制造主講人：羅朝平7.1.著裝與防靜電檢測引言

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INTRODUCTION根據(jù)設備安全作業(yè)規(guī)程與安全風險、工業(yè)服裝和裝備穿戴以及凈化車間管理規(guī)定，按照非裸露狀態(tài)的晶圓生產(chǎn)車間要求的穿戴、防靜電等規(guī)范操作要求，才能進入生產(chǎn)車間完成工作任務。PART01認識晶圓生產(chǎn)車間進入的規(guī)范PART02晶圓生產(chǎn)車間進入的防靜電檢測目錄7.1.著裝與防靜電檢測7.1.著裝與防靜電檢測知識目標能正確做好晶圓生產(chǎn)車間進入前的準備7.1.1認識晶圓生產(chǎn)車間進入的規(guī)范7.1.1認識晶圓生產(chǎn)車間進入的規(guī)范1．操作規(guī)范（1）正確著裝（2）防靜電點檢（3）風淋

為防止自身微塵和靜電污染芯片，需要穿戴無塵衣、無塵鞋、口罩、發(fā)罩、手套等。具體著裝要求，如圖所示（1）著裝要求7.1.1認識晶圓生產(chǎn)車間進入的規(guī)范（2）防靜電點檢要求7.1.1認識晶圓生產(chǎn)車間進入的規(guī)范（3）風淋要求（1）進入芯片處于裸露狀態(tài)的生產(chǎn)車間前，需要進行風淋；（2）而芯片處于非裸露狀態(tài)的生產(chǎn)車間對空氣質(zhì)量沒有很高要求，進入前無需進行風淋。7.1.2晶圓生產(chǎn)車間進入準備的防靜電檢測1．防靜電點檢設備（ESD）

防靜電點檢是在防靜電測試儀上進行的，也可以結(jié)合門禁設備和信息化管理軟件成為防靜電門禁系統(tǒng)，實現(xiàn)靜電測試和人員身份的自動識別。ESD是20世紀中期以來形成的研究靜電的產(chǎn)生、危害及防護等靜電內(nèi)容的學科。后來國際上習慣將用于靜電防護的器材統(tǒng)稱為ESD，中文名稱為靜電阻抗器。ESD防靜電門禁支持左右腳和手指靜電測試，相對于傳統(tǒng)ESD測試，不會出現(xiàn)兩腳同時測試，一腳正常就通過的盲點。7.1.2晶圓生產(chǎn)車間進入準備的防靜電檢測2．防靜電服裝與防靜電鞋

（1）無塵衣是一種防塵、防靜電連體工作服，其面料和縫線一般采用滌綸長絲纖維或?qū)щ娎w維，可以有效防止微塵從工作服中散出或縫線自身產(chǎn)生塵埃而污染芯片。

（2）防靜電服是用于泄放人體靜電的工作服，一般為上衣外套。防靜電服可以有效抑制人體及服裝靜電，消除或減小靜電放電危害，保護靜電敏感元器件免受潛在靜電危害。

（3）無塵鞋也叫凈化鞋、防靜電無塵鞋，鞋面采用專用滌綸長絲與高性能永久性導電纖維，導電纖維為間距5mm的條紋或網(wǎng)格，具有良好的靜電泄放效果。7.1.2晶圓生產(chǎn)車間進入準備的防靜電檢測3．防靜電檢測（a）雙腳同時站立

（b）刷員工上崗證

（c）靜電檢測7.1.2晶圓生產(chǎn)車間進入準備的防靜電檢測仿真7.1.2晶圓生產(chǎn)車間進入準備的設備知識總結(jié)

1、晶圓生產(chǎn)車間屬于芯片非裸露狀態(tài)的車間，為保證芯片車間內(nèi)合格的生產(chǎn)環(huán)境，工作人員進入車間需要遵守