熱敏打印用碳-碳化硅靶材編制說明審定稿

一、工作簡況1.1任務(wù)來源根據(jù)工業(yè)和信息化部辦公廳《關(guān)于印發(fā)2022年第二批行業(yè)標準制修訂和外文版項目計劃的通知》（工信廳科工信廳科函[2022]158號）的要求，下達了行業(yè)標準《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》（標準項目號為2022-0569T-YS）的制定任務(wù)，技術(shù)歸口單位為全國有色金屬標準化技術(shù)委員會，標準起草單位為寧波江豐電子材料股份有限公司，寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司、有研億金新材料有限公司，項目起止時間為2022年7月～2024年7月。1.2標準制定的必要性熱敏打印技術(shù)是指在打印頭上安裝半導(dǎo)體加熱元件，打印頭加熱接觸熱敏打印紙后打印出需要的圖案。熱敏打印技術(shù)初期主要應(yīng)用于商業(yè)及零售領(lǐng)域。隨著全球科技發(fā)展進程加快，電子信息化、自動化程度的提高，以及公共自助服務(wù)的發(fā)展，熱敏打印技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域迅速擴展到工業(yè)制造業(yè)、醫(yī)療、交通運輸、物流、餐飲、自主服務(wù)等行業(yè)。與傳統(tǒng)打印技術(shù)相比，熱敏打印不消耗碳帶、墨盒，打印速度更快且清晰，更加節(jié)約使用成本，使用操作更加便捷，其已逐漸取代普通打印，成為打印技術(shù)市場的主流。熱敏打印是當今世界極富生命力的一個產(chǎn)業(yè)，全球僅熱敏打印頭市場規(guī)模就已經(jīng)達到了20億元，據(jù)相關(guān)統(tǒng)計預(yù)測5年后，其全球市場即可達到27億元，年復(fù)合增長率為4.2%。隨著全球各行業(yè)的快速發(fā)展及社會服務(wù)需求，都將導(dǎo)致熱敏打印技術(shù)相關(guān)產(chǎn)業(yè)需求的增加。其中，對于熱敏打印頭來說，隨之相關(guān)的制造材料需求量也相應(yīng)增加。目前，Kyocera京瓷、東芝、ROHM、AOI電子等美日企業(yè)仍然為擁有熱敏打印設(shè)備制造技術(shù)使用廠商。近幾年，國內(nèi)制造業(yè)、服務(wù)行業(yè)的飛速發(fā)展，帶動熱敏打印產(chǎn)業(yè)發(fā)展的腳步。得益于國內(nèi)政策扶持，國內(nèi)熱敏打印企業(yè)對其產(chǎn)品制造材料的需求促使國產(chǎn)熱敏打印相關(guān)行業(yè)快速崛起，其中熱敏打印頭的制作作為核心技術(shù)的突破變的尤為重要。但由于國外相關(guān)廠商的技術(shù)壟斷，以致目前國內(nèi)僅少數(shù)家企業(yè)可自主設(shè)計生產(chǎn)熱敏打印頭用碳-碳化硅靶材，同時也無任何行業(yè)標準可供相關(guān)企業(yè)參考使用。因此，在當今熱敏打印行業(yè)飛速發(fā)展的背景下，急需制定相關(guān)標準，以提高市場現(xiàn)有的碳-碳化硅靶材質(zhì)量，確保其檢測規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標準。1.3標準項目的可行性及擬解決的問題碳-碳化硅靶材主要應(yīng)用于熱敏打印頭的制造，屬于發(fā)展前景比較廣闊、市場需求較大的生產(chǎn)研究領(lǐng)域。經(jīng)查詢相關(guān)國內(nèi)外文獻資料，未檢索到相關(guān)國際標準。2隨著社會發(fā)展，熱敏打印成為當今世界極富生命力的一個產(chǎn)業(yè)。其中熱敏打印頭屬于一種常規(guī)耗材，因此對碳-碳化硅靶材的需求也隨之增加。國內(nèi)以寧波江豐電子材料股份有限公司為代表的靶材制造工廠，已逐漸突破了靶材及其配套使用部件制造的產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)，打破了國外壟斷局面（主要生產(chǎn)企業(yè)分布歐洲、日本、美國），可以批量供應(yīng)各種制造用濺射靶材，得到國內(nèi)外主流客戶的認證，達到了國際先進水平。但是，國內(nèi)熱敏打印用碳-碳化硅靶材的標準化工作還屬于空白，沒有相關(guān)國家及行業(yè)標準。通過本標準文件的制定，能夠促進現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的統(tǒng)一與提高，確保熱敏打印用碳-碳化硅靶材的檢測規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標準，滿足市場應(yīng)用需求。本標準文件規(guī)定了熱敏打印用碳-碳化硅靶材的分類和標記、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。1.4項目編制組成員及其所作工作本項目的編制組由寧波江豐電子材料股份有限公司、寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司、有研億金新材料有限公司等單位組成。1.4.1編制單位的技術(shù)基礎(chǔ)牽頭起草單位寧波江豐電子材料股份有限公司成立于2005年，是由國家海外高層次引才計劃專家姚力軍博士領(lǐng)導(dǎo)的海外高層次歸國留學(xué)人員組成的創(chuàng)業(yè)團隊所創(chuàng)立的一家高科技企業(yè)，是A股創(chuàng)業(yè)板上市公司（股票代碼300666），專業(yè)從事集成電路、平板顯示器和太陽能用超高純材料及濺射靶材研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司先后承擔(dān)了國家02重大專項、863計劃、稀土專項、彩電專項、工信部電子發(fā)展基金工業(yè)強基等國家級科研及產(chǎn)業(yè)化項目，連續(xù)參加了“十一五”、“十二五”、“十三五”國家科技創(chuàng)新成就展。江豐電子研發(fā)的超大規(guī)模集成電路用濺射靶材填補了我國的空白，結(jié)束了我國依賴進口的歷史，產(chǎn)品在國內(nèi)中芯國際14nm技術(shù)節(jié)點進入量產(chǎn)，在國際先端的FinFET（FF+）5nm技術(shù)進入量產(chǎn)應(yīng)用，達到國際先進技術(shù)水平。人計劃”專家4名，浙江省“萬人計劃”專家1名，美國和日本專家6人，擁有國家企業(yè)技術(shù)中心、博士后科研工作站、院士專家示范工作站，浙江省重點實驗室、浙江省級企業(yè)研究院、浙江省高新技術(shù)企業(yè)研究開發(fā)中心等研發(fā)平臺，與中芯國際、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、重慶大學(xué)、京東方等多家單位形成產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)盟，在國際市場中占有一席之地。江豐電子擁有覆蓋Al、Ti、Cu、Ta等多種金屬材料及靶材全工藝流程的完整自主知識產(chǎn)權(quán)，截止2022年12月，累計授權(quán)專利725項（其中發(fā)明405項，實用新型320項），填補了國內(nèi)的技術(shù)空白，被認定為國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)。公司產(chǎn)品和技術(shù)先后榮獲“國家戰(zhàn)略性創(chuàng)新產(chǎn)品”、“國家技術(shù)發(fā)明二等獎”、“中國標準創(chuàng)新貢獻三等獎”、“浙江省技術(shù)發(fā)明一等獎”、“浙江省標準創(chuàng)新優(yōu)秀貢獻獎”、“中國有色金屬工業(yè)協(xié)會一等獎”、“中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎”、“寧波市科技進步一等獎”等多項獎項。公司創(chuàng)始人姚力軍博士榮獲“國家科技重大專項突出貢獻獎”、3“全國杰出專業(yè)技術(shù)人才”、“浙江省科學(xué)技術(shù)重大貢獻獎”、“寧波市科技創(chuàng)新特別獎”等榮譽稱號。參與單位寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司（以下簡稱“江豐熱等靜壓”）成立于2018年，是寧波江豐電子材料股份有限公司的一家控股子公司，專業(yè)從事各種超高純難熔金屬靶材、特種陶瓷等新型高端材料的研發(fā)制造，各種大型結(jié)構(gòu)鑄件的高溫高壓致密化處理以及異種金屬間大面積擴散焊接處理。主要服務(wù)于超大件HIP加工、靶材擴散焊接、粉末冶金HIP成型、各類粉體燒結(jié)、鑄件致密化以及透明陶瓷等特種陶瓷燒結(jié)。江豐熱等靜壓位于浙江省余姚市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，占地面積10000㎡，擁有HIP設(shè)備3套、CIP設(shè)備1套、HIP前處理和后處理產(chǎn)線1條。江豐熱等靜壓掌握了全球領(lǐng)先的靜壓技術(shù)，研發(fā)生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航空航天、能源、汽車、生物醫(yī)療等行業(yè)。江豐熱等靜壓成功研發(fā)的超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備，還可以用于超大尺寸濺射靶材的生產(chǎn)。此前，我國超大尺寸靶材多采用多段拼接工藝，此次突破也為公司開發(fā)一體型大尺寸濺射靶材提供了技術(shù)支持，將有力推進靶材使用性能的持續(xù)優(yōu)化。參與單位有研億金新材料有限公司（以下簡稱“有研億金”）成立于2000年，現(xiàn)為有研新材料股份有限公司全資子公司。公司已經(jīng)成為國家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、國家火炬計劃重點高新技術(shù)企業(yè)、集成電路關(guān)鍵材料國家工程中心、北京市高純金屬濺射靶材工程技術(shù)研究中心等示范單位。有研億金主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷售微電子光電子用薄膜新材料、貴金屬材料及制品，并開展稀有及貴金屬材料信息咨詢、技術(shù)服務(wù)和套期保值等業(yè)務(wù)。公司是國內(nèi)規(guī)模宏大、門類齊全、技術(shù)能力一流的高純金屬濺射靶材制造企業(yè)，也是國內(nèi)屈指可數(shù)具備從超高純原材料到濺射靶材、蒸發(fā)膜材垂直一體化研發(fā)和生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)化平臺，產(chǎn)品涵蓋電子信息用的全系列高純金屬材料、濺射靶材和蒸發(fā)膜材。公司在國家科技重大專項、國家重點研發(fā)計劃、北京市科技項目等項目支持下，經(jīng)過10余年不懈努力、探索創(chuàng)新，自主攻克了超高純金屬深度凈化、高品質(zhì)熔鑄、微觀組織調(diào)控及高可靠焊接等多項超高純金屬及其合金靶材制備中的核心關(guān)鍵技術(shù)，產(chǎn)品性能達到國際先進水平，填補了國內(nèi)空白。公司先后申請專利319項，獲得授權(quán)專利212項；制定國家及行業(yè)標準98項；2019年榮獲國家“國家知識產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)”稱號。公司連續(xù)多年獲得“中國半導(dǎo)體材料十強企業(yè)”，2014年、2016年和2021年先后三次獲得“中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎一等獎；“集成電路用12英寸超高純銅靶材成套制備技術(shù)”榮獲集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)盟“首屆集成電路材料技術(shù)攻關(guān)獎”；“300mm高純銅靶材”榮獲第二屆集成電路材料“五星產(chǎn)品”獎；23款靶材類產(chǎn)品榮獲北京市新技術(shù)新產(chǎn)品獎勵；12英寸超高純銅靶材、超高純鈷靶材、超高純鎳鉑靶材被國家博物館永久收藏。1.4.2編制單位起草人所作工作本標準主要起草人及工作職責(zé)見表1。表1主要起草人及工作職責(zé)41采集與匯總、主持標準條款編寫、標準技術(shù)內(nèi)容的理2協(xié)助熱敏打印用碳-碳化硅靶材標準方案資料搜集3參與方案制定、組織協(xié)調(diào)產(chǎn)品的調(diào)研、技術(shù)參數(shù)的確定451.5主要工作過程1.5.1預(yù)研階段2020年初，寧波江豐電子材料股份有限公司作為主編單位對國內(nèi)做熱敏打印用碳-碳化硅靶材市場情況、生產(chǎn)情況及使用情況進行了詳細的調(diào)研，主要工作有：了解國內(nèi)熱敏打印用碳-碳化硅靶材生產(chǎn)的技術(shù)水平、檢測及應(yīng)用情況，與企業(yè)技術(shù)人員深入討論技術(shù)標準的具體技術(shù)要求，參觀企業(yè)現(xiàn)場生產(chǎn)情況。碳-碳化硅靶材因其具有高耐磨性、適用的電性能等優(yōu)點，通常被用作熱敏打印頭中的耐磨電阻層。通過與相關(guān)產(chǎn)品制造企業(yè)技術(shù)交流，同時也考慮了國內(nèi)生產(chǎn)、加工能力和分析水平等實際情況，由主編單位整理并編制形成了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》標準項目建議書、標準草案及標準立項說明等材料。根據(jù)此次調(diào)研情況，由主編單位整理并完善形成標準草案稿。1.5.2立項階段2020年10月，寧波江豐電子材料股份有限公司向全體委員會議提交了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》標準項目建議書、標準草案及標準立項說明等材料，全體委員會議論證結(jié)論為同意行業(yè)標準立項。2022年7月14日，工業(yè)和信息化部辦公廳下達了制定《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》行業(yè)標準的任務(wù)，計劃編號為2022-0569T-YS，完成年限為2024年7月，技術(shù)歸口單位為全國有色金屬標準化技術(shù)委員會。1.5.3起草階段寧波江豐電子材料股份有限公司在起草階段進行了大量的數(shù)據(jù)收集，同時結(jié)合全國內(nèi)熱敏打印用碳-碳化硅靶材的生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)現(xiàn)狀及技術(shù)水平。2022年04月成立標準編制組，并明確了工作的職能和任務(wù)。2022年07月～2022年12月對熱敏打印用碳-碳化硅靶材的使用狀況進行了相關(guān)資料的收集和總結(jié)，并對相關(guān)的技術(shù)資料進行了對比分析，核實相關(guān)技術(shù)標準及要求，經(jīng)修改形成了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》的討論稿。全國有色金屬標準化技術(shù)委員會發(fā)文(2022)第165號文件，于2022年11月2日～5日在福建省廈門市召開第一次任務(wù)落實會議。會上編制組介紹了目前標準研制計劃，并征集其他單位組成編制組。52023年5月29日～5月31日由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會主持在云南大理進行了該標準的第一次工作會議。與會專家對標準的草案稿進行了認真、激烈的討論，對產(chǎn)品規(guī)格范圍、產(chǎn)品化學(xué)牌號等提出了寶貴意見和建議。2023年6月～7月，編制小組根據(jù)云南大理工作會議要求，起草單位在此基礎(chǔ)上對標準進行了認真修改，并對標準涉及的各相關(guān)企業(yè)進行廣泛調(diào)研和數(shù)據(jù)統(tǒng)計，結(jié)合企業(yè)的生產(chǎn)實際技術(shù)指標和檢驗數(shù)據(jù)形成了本標準的《征求意見稿》。2023年7月標準起草單位下發(fā)各有關(guān)單位廣泛征求意見，編制小組根據(jù)各單位的回函意見對標準進行修改完善，并對各項性能指標進行了檢測數(shù)據(jù)對比，8月10日修改完善了形成了本文件《預(yù)審稿》。2023年8月21日～8月23日由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會主持，在貴州省貴陽市召開了有色金屬標準工作會議，來自安泰科技股份有限公司、株洲硬質(zhì)合金集團有限公司、鋼鐵研究總院有限公司、廈門金鷺特種合金有限公司、崇義章源鎢業(yè)股份有限公司等多家單位專家對本標準(預(yù)審稿)進行了認真、細致的討論，提出了修改意見及建議。標準編制組及時對預(yù)審稿進行了修改，形成《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》送審稿，同時，編制組根據(jù)征求意見稿規(guī)定的性能要求及試驗方法啟動了驗證工作。1.5.4征求意見階段本標準通過會議、發(fā)送標準郵件、標委會網(wǎng)站上公開掛網(wǎng)等多種形式和辦法進行了廣泛的征求意見。2023年9月-2024年3月在本標準意見征集階段，共發(fā)函19家相關(guān)生產(chǎn)單位、科研院所，回函單位的單位19家，回函并有意見的單位12家，沒有回函的單位0家(征求意見情況見《標準征求意見稿意見處理表》)。2024年4月，標準編制組根據(jù)各單位的回函意見對標準進行修改完善，并對各項性能指標進行了檢測數(shù)據(jù)對比，修改完善了形成了本標準的《送審稿》及編制說明。二、標準編制原則本標準起草單位自接受起草任務(wù)后，成立了本系列標準編制工作組負責(zé)收集生產(chǎn)統(tǒng)計、檢驗數(shù)據(jù)、市場需求及客戶要求等信息。初步確定了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》標準起草所遵循的基本原則和編制依據(jù)：1）查閱相關(guān)標準和國內(nèi)外客戶的相關(guān)技術(shù)要求；2）根據(jù)國內(nèi)外熱敏打印用碳-碳化硅靶材使用企業(yè)具體情況，力求做到標準的合理性與實用性；3）廣泛適用，操作可行的原則；4）有利于創(chuàng)新發(fā)展與國際接軌的原則。三、標準主要內(nèi)容的論據(jù)3.1適用范圍本文件適用于熱敏打印用碳-碳化硅靶材。常見靶材外形如圖1所示。6圖1碳-碳化硅靶材外形圖3.2技術(shù)要求3.2.1化學(xué)成分本標準根據(jù)濺射成膜要求，可以由供需雙方協(xié)商對合金中某些特殊元素進行控制。參照國內(nèi)外標準和客戶要求，對一些已知的存在危害的雜質(zhì)元素含量給出了明確控制要求，這些元素主要包括金屬元素Fe、Ni、Al、Cu、Zr等。堿金屬離子Na+易在絕緣層中成為可移動性離子，降低元器件性能；金屬（Fe、Ni、Al、Cu等）離子會影響到靶材濺射后產(chǎn)生界面漏電及氧元素增加等等，同時會降低靶材濺射成膜的物理性能；O和N含量過高易導(dǎo)致異常放電。因此須對碳-碳化硅靶材中該類元素進行控制。結(jié)合目前市場上使用方的要求和使用反饋，以及靶材廠家的試驗驗證，明確了產(chǎn)品的化學(xué)成分及氣體雜質(zhì)含量要求，要求如表2。表2化學(xué)成分（質(zhì)量分數(shù)）NiNaSNO注：產(chǎn)品以質(zhì)量比為標準，若需方需求原子比數(shù)據(jù)，則使用質(zhì)量比轉(zhuǎn)7碳-碳化硅靶材非氣體雜質(zhì)含量應(yīng)不大于0.1%，不同靶材生產(chǎn)廠家產(chǎn)品的化學(xué)成分檢測結(jié)果見表3所示，非氣體雜質(zhì)含量數(shù)據(jù)統(tǒng)計見圖2所示。產(chǎn)品Si含量的測定按照供需雙方約定的方法進行；Fe、Al、Ni、Na、Cu和S含量的測定按照GB/T37254高純碳化硅微量元素的測定的規(guī)定進行；Zr含量的測定按照YS/T1509.3硅碳復(fù)合負極材料化學(xué)分析方法第3部分：鐵、鎳、鋯、鈣、鉛、鋁、鉿含量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法的規(guī)定進行；N和O含量的測定按照GB/T16555含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化學(xué)分析方法的規(guī)定進行。本標準各元素要求綜合廠家生產(chǎn)水平及客戶要求值進行制定。各廠家提供的數(shù)據(jù)中，主成分C和Si含量及非氣體雜質(zhì)元素數(shù)據(jù)都在本標準要求范圍內(nèi)，表明目前相關(guān)廠家靶材材料制備工藝滿足碳-碳化硅靶材的使用需求。氣體雜質(zhì)元素數(shù)據(jù)雖都比標準規(guī)格偏低，但客戶方使用都沒有異常。說明目前大部分靶材廠家的技術(shù)水平及生產(chǎn)管控在逐步提升中。8表3成分試驗結(jié)果C49.49NiNaSNO9圖2非氣體雜質(zhì)元素數(shù)據(jù)統(tǒng)計圖3.2.3相對密度相對密度對客戶濺射使用有較大影響，相對密度低會導(dǎo)致客戶端濺射時大顆粒增加，出現(xiàn)起弧等，進而影響到濺射成膜的性能。相對密度是物質(zhì)的實測密度與參照物的密度的比值。本標準中產(chǎn)品的相對密度是表觀密度與理論密度的比值。產(chǎn)品開發(fā)初期，評價樣品相對密度低于98%時，到客戶端使用發(fā)生明顯起弧及大顆粒情況，導(dǎo)致產(chǎn)品初期評價失敗。后續(xù)通過提高相對密度后解決問題。因此，在通過多次試驗驗證與客戶反饋，碳-碳化硅靶材的相對密度不小于98%時，使用過程正常且客戶產(chǎn)品達標。碳-碳化硅靶材的相對密度按照GB/T3850致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測定方法的規(guī)定進行，檢測出表觀密度數(shù)值后，得出與理論密度的比值，即為本產(chǎn)品的相對密度。根據(jù)市場反饋和試驗驗證，碳-碳化硅靶材的相對密度應(yīng)保證不小于98%時，濺射出薄膜不易產(chǎn)生起弧放電等缺陷。收集的相關(guān)靶材廠家的碳-碳化硅相對密度數(shù)據(jù)及趨勢波動圖見表4與圖3。表4相對密度試驗結(jié)果圖3相對密度數(shù)據(jù)曲線圖3.2.4焊接質(zhì)量對于采用釬焊焊接的復(fù)合體靶材，如果焊接質(zhì)量差，靶材的局部溫度會迅速升高，導(dǎo)致靶材變形、脫焊，內(nèi)部組織變化，靶材失效，對生產(chǎn)造成重大損失，因此本標準對靶材焊接質(zhì)量提出了明確要求。結(jié)合靶材實際加工與用戶反饋信息，對焊接質(zhì)量提出如下要求：對于釬焊靶材，通常靶材與背板整體焊合率≥95%，單個未焊合間隙面積占總焊接面積≤2.5%，且缺陷不能分布在焊接的邊緣位置，滿足大功率濺射的要求而不至于脫落。焊接質(zhì)量使用C型超聲波檢測，檢測示意結(jié)果如圖4。各靶材廠家碳-碳化硅靶材焊接相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計見表5、圖5、圖6。通過收集相關(guān)數(shù)據(jù)表明，目前各廠家都能滿足本標準焊接要求，客戶端使用無問題。從數(shù)值來看，該靶材生產(chǎn)廠家焊接工藝比較穩(wěn)定。檢測圖結(jié)果圖圖4碳-碳化硅靶材焊接質(zhì)量檢測示意圖表5焊接質(zhì)量驗證結(jié)果圖5焊接結(jié)合率統(tǒng)計圖圖6焊接單個缺陷率統(tǒng)計圖3.2.5外形尺寸及允許偏差靶材的尺寸及偏差應(yīng)符合廠商的濺射機臺要求，否則靶材不能安裝。本標準中碳-碳化硅靶材尺寸偏差參照客戶所提供圖紙，并有國內(nèi)先進設(shè)備保證加工精度，對尺寸偏差進行嚴加控制。當客戶有新的要求時，雙方須進行協(xié)商確認后，方可生產(chǎn)。通常靶材尺寸使用三坐標測量儀、卡尺、平面度儀、塞規(guī)等，用以保證靶材加工后尺寸符合圖紙標注要求。相關(guān)檢測設(shè)備如圖7所示。經(jīng)與相關(guān)靶材制備廠家溝通，目前以上檢測設(shè)備都可以有效檢測出異常尺寸。圖7檢測設(shè)備圖3.2.6外觀質(zhì)量本標準文件要求產(chǎn)品表面應(yīng)清潔光滑，無指痕、油污和銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等影響使用的缺陷。3.2.7包裝、運輸、儲存要求確保產(chǎn)品不在包裝、運輸、儲存過程中有二次污染，可靠運輸，與用戶協(xié)商確定。包裝標志內(nèi)容一般包含但不限于公司標志、產(chǎn)品名稱、牌號、生產(chǎn)批號、出廠日期或其他要求內(nèi)容，包裝標貼形式參考圖8。圖8標貼示例四、標準水平分析目前國內(nèi)外沒有針對熱敏打印用碳-碳化硅靶材相關(guān)的標準文件，本標準首次提出熱敏打印用碳-碳化硅靶材技術(shù)指標及測試方法，填補了國內(nèi)和國際對碳-碳化硅靶材的標準空白。綜上所述，本