熱敏打印用碳-碳化硅靶材編制說(shuō)明審定稿

一、工作簡(jiǎn)況1.1任務(wù)來(lái)源根據(jù)工業(yè)和信息化部辦公廳《關(guān)于印發(fā)2022年第二批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂和外文版項(xiàng)目計(jì)劃的通知》（工信廳科工信廳科函[2022]158號(hào)）的要求，下達(dá)了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》（標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目號(hào)為2022-0569T-YS）的制定任務(wù)，技術(shù)歸口單位為全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)，標(biāo)準(zhǔn)起草單位為寧波江豐電子材料股份有限公司，寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司、有研億金新材料有限公司，項(xiàng)目起止時(shí)間為2022年7月～2024年7月。1.2標(biāo)準(zhǔn)制定的必要性熱敏打印技術(shù)是指在打印頭上安裝半導(dǎo)體加熱元件，打印頭加熱接觸熱敏打印紙后打印出需要的圖案。熱敏打印技術(shù)初期主要應(yīng)用于商業(yè)及零售領(lǐng)域。隨著全球科技發(fā)展進(jìn)程加快，電子信息化、自動(dòng)化程度的提高，以及公共自助服務(wù)的發(fā)展，熱敏打印技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域迅速擴(kuò)展到工業(yè)制造業(yè)、醫(yī)療、交通運(yùn)輸、物流、餐飲、自主服務(wù)等行業(yè)。與傳統(tǒng)打印技術(shù)相比，熱敏打印不消耗碳帶、墨盒，打印速度更快且清晰，更加節(jié)約使用成本，使用操作更加便捷，其已逐漸取代普通打印，成為打印技術(shù)市場(chǎng)的主流。熱敏打印是當(dāng)今世界極富生命力的一個(gè)產(chǎn)業(yè)，全球僅熱敏打印頭市場(chǎng)規(guī)模就已經(jīng)達(dá)到了20億元，據(jù)相關(guān)統(tǒng)計(jì)預(yù)測(cè)5年后，其全球市場(chǎng)即可達(dá)到27億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為4.2%。隨著全球各行業(yè)的快速發(fā)展及社會(huì)服務(wù)需求，都將導(dǎo)致熱敏打印技術(shù)相關(guān)產(chǎn)業(yè)需求的增加。其中，對(duì)于熱敏打印頭來(lái)說(shuō)，隨之相關(guān)的制造材料需求量也相應(yīng)增加。目前，Kyocera京瓷、東芝、ROHM、AOI電子等美日企業(yè)仍然為擁有熱敏打印設(shè)備制造技術(shù)使用廠(chǎng)商。近幾年，國(guó)內(nèi)制造業(yè)、服務(wù)行業(yè)的飛速發(fā)展，帶動(dòng)熱敏打印產(chǎn)業(yè)發(fā)展的腳步。得益于國(guó)內(nèi)政策扶持，國(guó)內(nèi)熱敏打印企業(yè)對(duì)其產(chǎn)品制造材料的需求促使國(guó)產(chǎn)熱敏打印相關(guān)行業(yè)快速崛起，其中熱敏打印頭的制作作為核心技術(shù)的突破變的尤為重要。但由于國(guó)外相關(guān)廠(chǎng)商的技術(shù)壟斷，以致目前國(guó)內(nèi)僅少數(shù)家企業(yè)可自主設(shè)計(jì)生產(chǎn)熱敏打印頭用碳-碳化硅靶材，同時(shí)也無(wú)任何行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)可供相關(guān)企業(yè)參考使用。因此，在當(dāng)今熱敏打印行業(yè)飛速發(fā)展的背景下，急需制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，以提高市場(chǎng)現(xiàn)有的碳-碳化硅靶材質(zhì)量，確保其檢測(cè)規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。1.3標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目的可行性及擬解決的問(wèn)題碳-碳化硅靶材主要應(yīng)用于熱敏打印頭的制造，屬于發(fā)展前景比較廣闊、市場(chǎng)需求較大的生產(chǎn)研究領(lǐng)域。經(jīng)查詢(xún)相關(guān)國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)資料，未檢索到相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。2隨著社會(huì)發(fā)展，熱敏打印成為當(dāng)今世界極富生命力的一個(gè)產(chǎn)業(yè)。其中熱敏打印頭屬于一種常規(guī)耗材，因此對(duì)碳-碳化硅靶材的需求也隨之增加。國(guó)內(nèi)以寧波江豐電子材料股份有限公司為代表的靶材制造工廠(chǎng)，已逐漸突破了靶材及其配套使用部件制造的產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)，打破了國(guó)外壟斷局面（主要生產(chǎn)企業(yè)分布?xì)W洲、日本、美國(guó)），可以批量供應(yīng)各種制造用濺射靶材，得到國(guó)內(nèi)外主流客戶(hù)的認(rèn)證，達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。但是，國(guó)內(nèi)熱敏打印用碳-碳化硅靶材的標(biāo)準(zhǔn)化工作還屬于空白，沒(méi)有相關(guān)國(guó)家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)文件的制定，能夠促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的統(tǒng)一與提高，確保熱敏打印用碳-碳化硅靶材的檢測(cè)規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，滿(mǎn)足市場(chǎng)應(yīng)用需求。本標(biāo)準(zhǔn)文件規(guī)定了熱敏打印用碳-碳化硅靶材的分類(lèi)和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。1.4項(xiàng)目編制組成員及其所作工作本項(xiàng)目的編制組由寧波江豐電子材料股份有限公司、寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司、有研億金新材料有限公司等單位組成。1.4.1編制單位的技術(shù)基礎(chǔ)牽頭起草單位寧波江豐電子材料股份有限公司成立于2005年，是由國(guó)家海外高層次引才計(jì)劃專(zhuān)家姚力軍博士領(lǐng)導(dǎo)的海外高層次歸國(guó)留學(xué)人員組成的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)所創(chuàng)立的一家高科技企業(yè)，是A股創(chuàng)業(yè)板上市公司（股票代碼300666），專(zhuān)業(yè)從事集成電路、平板顯示器和太陽(yáng)能用超高純材料及濺射靶材研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司先后承擔(dān)了國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)、863計(jì)劃、稀土專(zhuān)項(xiàng)、彩電專(zhuān)項(xiàng)、工信部電子發(fā)展基金工業(yè)強(qiáng)基等國(guó)家級(jí)科研及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，連續(xù)參加了“十一五”、“十二五”、“十三五”國(guó)家科技創(chuàng)新成就展。江豐電子研發(fā)的超大規(guī)模集成電路用濺射靶材填補(bǔ)了我國(guó)的空白，結(jié)束了我國(guó)依賴(lài)進(jìn)口的歷史，產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)中芯國(guó)際14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)入量產(chǎn)，在國(guó)際先端的FinFET（FF+）5nm技術(shù)進(jìn)入量產(chǎn)應(yīng)用，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)技術(shù)水平。人計(jì)劃”專(zhuān)家4名，浙江省“萬(wàn)人計(jì)劃”專(zhuān)家1名，美國(guó)和日本專(zhuān)家6人，擁有國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心、博士后科研工作站、院士專(zhuān)家示范工作站，浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江省級(jí)企業(yè)研究院、浙江省高新技術(shù)企業(yè)研究開(kāi)發(fā)中心等研發(fā)平臺(tái)，與中芯國(guó)際、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、重慶大學(xué)、京東方等多家單位形成產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)盟，在國(guó)際市場(chǎng)中占有一席之地。江豐電子擁有覆蓋Al、Ti、Cu、Ta等多種金屬材料及靶材全工藝流程的完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，截止2022年12月，累計(jì)授權(quán)專(zhuān)利725項(xiàng)（其中發(fā)明405項(xiàng)，實(shí)用新型320項(xiàng)），填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)的技術(shù)空白，被認(rèn)定為國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì)企業(yè)。公司產(chǎn)品和技術(shù)先后榮獲“國(guó)家戰(zhàn)略性創(chuàng)新產(chǎn)品”、“國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”、“中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新貢獻(xiàn)三等獎(jiǎng)”、“浙江省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)”、“浙江省標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新優(yōu)秀貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”、“中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)一等獎(jiǎng)”、“中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”、“寧波市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”等多項(xiàng)獎(jiǎng)項(xiàng)。公司創(chuàng)始人姚力軍博士榮獲“國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”、3“全國(guó)杰出專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才”、“浙江省科學(xué)技術(shù)重大貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”、“寧波市科技創(chuàng)新特別獎(jiǎng)”等榮譽(yù)稱(chēng)號(hào)。參與單位寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“江豐熱等靜壓”）成立于2018年，是寧波江豐電子材料股份有限公司的一家控股子公司，專(zhuān)業(yè)從事各種超高純難熔金屬靶材、特種陶瓷等新型高端材料的研發(fā)制造，各種大型結(jié)構(gòu)鑄件的高溫高壓致密化處理以及異種金屬間大面積擴(kuò)散焊接處理。主要服務(wù)于超大件HIP加工、靶材擴(kuò)散焊接、粉末冶金HIP成型、各類(lèi)粉體燒結(jié)、鑄件致密化以及透明陶瓷等特種陶瓷燒結(jié)。江豐熱等靜壓位于浙江省余姚市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，占地面積10000㎡，擁有HIP設(shè)備3套、CIP設(shè)備1套、HIP前處理和后處理產(chǎn)線(xiàn)1條。江豐熱等靜壓掌握了全球領(lǐng)先的靜壓技術(shù)，研發(fā)生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航空航天、能源、汽車(chē)、生物醫(yī)療等行業(yè)。江豐熱等靜壓成功研發(fā)的超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備，還可以用于超大尺寸濺射靶材的生產(chǎn)。此前，我國(guó)超大尺寸靶材多采用多段拼接工藝，此次突破也為公司開(kāi)發(fā)一體型大尺寸濺射靶材提供了技術(shù)支持，將有力推進(jìn)靶材使用性能的持續(xù)優(yōu)化。參與單位有研億金新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“有研億金”）成立于2000年，現(xiàn)為有研新材料股份有限公司全資子公司。公司已經(jīng)成為國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、國(guó)家火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)、集成電路關(guān)鍵材料國(guó)家工程中心、北京市高純金屬濺射靶材工程技術(shù)研究中心等示范單位。有研億金主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售微電子光電子用薄膜新材料、貴金屬材料及制品，并開(kāi)展稀有及貴金屬材料信息咨詢(xún)、技術(shù)服務(wù)和套期保值等業(yè)務(wù)。公司是國(guó)內(nèi)規(guī)模宏大、門(mén)類(lèi)齊全、技術(shù)能力一流的高純金屬濺射靶材制造企業(yè)，也是國(guó)內(nèi)屈指可數(shù)具備從超高純?cè)牧系綖R射靶材、蒸發(fā)膜材垂直一體化研發(fā)和生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，產(chǎn)品涵蓋電子信息用的全系列高純金屬材料、濺射靶材和蒸發(fā)膜材。公司在國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、北京市科技項(xiàng)目等項(xiàng)目支持下，經(jīng)過(guò)10余年不懈努力、探索創(chuàng)新，自主攻克了超高純金屬深度凈化、高品質(zhì)熔鑄、微觀(guān)組織調(diào)控及高可靠焊接等多項(xiàng)超高純金屬及其合金靶材制備中的核心關(guān)鍵技術(shù)，產(chǎn)品性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。公司先后申請(qǐng)專(zhuān)利319項(xiàng)，獲得授權(quán)專(zhuān)利212項(xiàng)；制定國(guó)家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)98項(xiàng)；2019年榮獲國(guó)家“國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)”稱(chēng)號(hào)。公司連續(xù)多年獲得“中國(guó)半導(dǎo)體材料十強(qiáng)企業(yè)”，2014年、2016年和2021年先后三次獲得“中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)；“集成電路用12英寸超高純銅靶材成套制備技術(shù)”榮獲集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)盟“首屆集成電路材料技術(shù)攻關(guān)獎(jiǎng)”；“300mm高純銅靶材”榮獲第二屆集成電路材料“五星產(chǎn)品”獎(jiǎng)；23款靶材類(lèi)產(chǎn)品榮獲北京市新技術(shù)新產(chǎn)品獎(jiǎng)勵(lì)；12英寸超高純銅靶材、超高純鈷靶材、超高純鎳鉑靶材被國(guó)家博物館永久收藏。1.4.2編制單位起草人所作工作本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及工作職責(zé)見(jiàn)表1。表1主要起草人及工作職責(zé)41采集與匯總、主持標(biāo)準(zhǔn)條款編寫(xiě)、標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容的理2協(xié)助熱敏打印用碳-碳化硅靶材標(biāo)準(zhǔn)方案資料搜集3參與方案制定、組織協(xié)調(diào)產(chǎn)品的調(diào)研、技術(shù)參數(shù)的確定451.5主要工作過(guò)程1.5.1預(yù)研階段2020年初，寧波江豐電子材料股份有限公司作為主編單位對(duì)國(guó)內(nèi)做熱敏打印用碳-碳化硅靶材市場(chǎng)情況、生產(chǎn)情況及使用情況進(jìn)行了詳細(xì)的調(diào)研，主要工作有：了解國(guó)內(nèi)熱敏打印用碳-碳化硅靶材生產(chǎn)的技術(shù)水平、檢測(cè)及應(yīng)用情況，與企業(yè)技術(shù)人員深入討論技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的具體技術(shù)要求，參觀(guān)企業(yè)現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)情況。碳-碳化硅靶材因其具有高耐磨性、適用的電性能等優(yōu)點(diǎn)，通常被用作熱敏打印頭中的耐磨電阻層。通過(guò)與相關(guān)產(chǎn)品制造企業(yè)技術(shù)交流，同時(shí)也考慮了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)、加工能力和分析水平等實(shí)際情況，由主編單位整理并編制形成了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書(shū)、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說(shuō)明等材料。根據(jù)此次調(diào)研情況，由主編單位整理并完善形成標(biāo)準(zhǔn)草案稿。1.5.2立項(xiàng)階段2020年10月，寧波江豐電子材料股份有限公司向全體委員會(huì)議提交了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書(shū)、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說(shuō)明等材料，全體委員會(huì)議論證結(jié)論為同意行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)。2022年7月14日，工業(yè)和信息化部辦公廳下達(dá)了制定《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)，計(jì)劃編號(hào)為2022-0569T-YS，完成年限為2024年7月，技術(shù)歸口單位為全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)。1.5.3起草階段寧波江豐電子材料股份有限公司在起草階段進(jìn)行了大量的數(shù)據(jù)收集，同時(shí)結(jié)合全國(guó)內(nèi)熱敏打印用碳-碳化硅靶材的生產(chǎn)廠(chǎng)家的生產(chǎn)現(xiàn)狀及技術(shù)水平。2022年04月成立標(biāo)準(zhǔn)編制組，并明確了工作的職能和任務(wù)。2022年07月～2022年12月對(duì)熱敏打印用碳-碳化硅靶材的使用狀況進(jìn)行了相關(guān)資料的收集和總結(jié)，并對(duì)相關(guān)的技術(shù)資料進(jìn)行了對(duì)比分析，核實(shí)相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及要求，經(jīng)修改形成了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》的討論稿。全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)發(fā)文(2022)第165號(hào)文件，于2022年11月2日～5日在福建省廈門(mén)市召開(kāi)第一次任務(wù)落實(shí)會(huì)議。會(huì)上編制組介紹了目前標(biāo)準(zhǔn)研制計(jì)劃，并征集其他單位組成編制組。52023年5月29日～5月31日由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)主持在云南大理進(jìn)行了該標(biāo)準(zhǔn)的第一次工作會(huì)議。與會(huì)專(zhuān)家對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的草案稿進(jìn)行了認(rèn)真、激烈的討論，對(duì)產(chǎn)品規(guī)格范圍、產(chǎn)品化學(xué)牌號(hào)等提出了寶貴意見(jiàn)和建議。2023年6月～7月，編制小組根據(jù)云南大理工作會(huì)議要求，起草單位在此基礎(chǔ)上對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了認(rèn)真修改，并對(duì)標(biāo)準(zhǔn)涉及的各相關(guān)企業(yè)進(jìn)行廣泛調(diào)研和數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，結(jié)合企業(yè)的生產(chǎn)實(shí)際技術(shù)指標(biāo)和檢驗(yàn)數(shù)據(jù)形成了本標(biāo)準(zhǔn)的《征求意見(jiàn)稿》。2023年7月標(biāo)準(zhǔn)起草單位下發(fā)各有關(guān)單位廣泛征求意見(jiàn)，編制小組根據(jù)各單位的回函意見(jiàn)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行修改完善，并對(duì)各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行了檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)比，8月10日修改完善了形成了本文件《預(yù)審稿》。2023年8月21日～8月23日由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)主持，在貴州省貴陽(yáng)市召開(kāi)了有色金屬標(biāo)準(zhǔn)工作會(huì)議，來(lái)自安泰科技股份有限公司、株洲硬質(zhì)合金集團(tuán)有限公司、鋼鐵研究總院有限公司、廈門(mén)金鷺特種合金有限公司、崇義章源鎢業(yè)股份有限公司等多家單位專(zhuān)家對(duì)本標(biāo)準(zhǔn)(預(yù)審稿)進(jìn)行了認(rèn)真、細(xì)致的討論，提出了修改意見(jiàn)及建議。標(biāo)準(zhǔn)編制組及時(shí)對(duì)預(yù)審稿進(jìn)行了修改，形成《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》送審稿，同時(shí)，編制組根據(jù)征求意見(jiàn)稿規(guī)定的性能要求及試驗(yàn)方法啟動(dòng)了驗(yàn)證工作。1.5.4征求意見(jiàn)階段本標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)會(huì)議、發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)郵件、標(biāo)委會(huì)網(wǎng)站上公開(kāi)掛網(wǎng)等多種形式和辦法進(jìn)行了廣泛的征求意見(jiàn)。2023年9月-2024年3月在本標(biāo)準(zhǔn)意見(jiàn)征集階段，共發(fā)函19家相關(guān)生產(chǎn)單位、科研院所，回函單位的單位19家，回函并有意見(jiàn)的單位12家，沒(méi)有回函的單位0家(征求意見(jiàn)情況見(jiàn)《標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿意見(jiàn)處理表》)。2024年4月，標(biāo)準(zhǔn)編制組根據(jù)各單位的回函意見(jiàn)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行修改完善，并對(duì)各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行了檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)比，修改完善了形成了本標(biāo)準(zhǔn)的《送審稿》及編制說(shuō)明。二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則本標(biāo)準(zhǔn)起草單位自接受起草任務(wù)后，成立了本系列標(biāo)準(zhǔn)編制工作組負(fù)責(zé)收集生產(chǎn)統(tǒng)計(jì)、檢驗(yàn)數(shù)據(jù)、市場(chǎng)需求及客戶(hù)要求等信息。初步確定了《熱敏打印用碳-碳化硅靶材》標(biāo)準(zhǔn)起草所遵循的基本原則和編制依據(jù)：1）查閱相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的相關(guān)技術(shù)要求；2）根據(jù)國(guó)內(nèi)外熱敏打印用碳-碳化硅靶材使用企業(yè)具體情況，力求做到標(biāo)準(zhǔn)的合理性與實(shí)用性；3）廣泛適用，操作可行的原則；4）有利于創(chuàng)新發(fā)展與國(guó)際接軌的原則。三、標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的論據(jù)3.1適用范圍本文件適用于熱敏打印用碳-碳化硅靶材。常見(jiàn)靶材外形如圖1所示。6圖1碳-碳化硅靶材外形圖3.2技術(shù)要求3.2.1化學(xué)成分本標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)濺射成膜要求，可以由供需雙方協(xié)商對(duì)合金中某些特殊元素進(jìn)行控制。參照國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)和客戶(hù)要求，對(duì)一些已知的存在危害的雜質(zhì)元素含量給出了明確控制要求，這些元素主要包括金屬元素Fe、Ni、Al、Cu、Zr等。堿金屬離子Na+易在絕緣層中成為可移動(dòng)性離子，降低元器件性能；金屬（Fe、Ni、Al、Cu等）離子會(huì)影響到靶材濺射后產(chǎn)生界面漏電及氧元素增加等等，同時(shí)會(huì)降低靶材濺射成膜的物理性能；O和N含量過(guò)高易導(dǎo)致異常放電。因此須對(duì)碳-碳化硅靶材中該類(lèi)元素進(jìn)行控制。結(jié)合目前市場(chǎng)上使用方的要求和使用反饋，以及靶材廠(chǎng)家的試驗(yàn)驗(yàn)證，明確了產(chǎn)品的化學(xué)成分及氣體雜質(zhì)含量要求，要求如表2。表2化學(xué)成分（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）NiNaSNO注：產(chǎn)品以質(zhì)量比為標(biāo)準(zhǔn)，若需方需求原子比數(shù)據(jù)，則使用質(zhì)量比轉(zhuǎn)7碳-碳化硅靶材非氣體雜質(zhì)含量應(yīng)不大于0.1%，不同靶材生產(chǎn)廠(chǎng)家產(chǎn)品的化學(xué)成分檢測(cè)結(jié)果見(jiàn)表3所示，非氣體雜質(zhì)含量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)見(jiàn)圖2所示。產(chǎn)品Si含量的測(cè)定按照供需雙方約定的方法進(jìn)行；Fe、Al、Ni、Na、Cu和S含量的測(cè)定按照GB/T37254高純碳化硅微量元素的測(cè)定的規(guī)定進(jìn)行；Zr含量的測(cè)定按照YS/T1509.3硅碳復(fù)合負(fù)極材料化學(xué)分析方法第3部分：鐵、鎳、鋯、鈣、鉛、鋁、鉿含量的測(cè)定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法的規(guī)定進(jìn)行；N和O含量的測(cè)定按照GB/T16555含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化學(xué)分析方法的規(guī)定進(jìn)行。本標(biāo)準(zhǔn)各元素要求綜合廠(chǎng)家生產(chǎn)水平及客戶(hù)要求值進(jìn)行制定。各廠(chǎng)家提供的數(shù)據(jù)中，主成分C和Si含量及非氣體雜質(zhì)元素?cái)?shù)據(jù)都在本標(biāo)準(zhǔn)要求范圍內(nèi)，表明目前相關(guān)廠(chǎng)家靶材材料制備工藝滿(mǎn)足碳-碳化硅靶材的使用需求。氣體雜質(zhì)元素?cái)?shù)據(jù)雖都比標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格偏低，但客戶(hù)方使用都沒(méi)有異常。說(shuō)明目前大部分靶材廠(chǎng)家的技術(shù)水平及生產(chǎn)管控在逐步提升中。8表3成分試驗(yàn)結(jié)果C49.49NiNaSNO9圖2非氣體雜質(zhì)元素?cái)?shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)圖3.2.3相對(duì)密度相對(duì)密度對(duì)客戶(hù)濺射使用有較大影響，相對(duì)密度低會(huì)導(dǎo)致客戶(hù)端濺射時(shí)大顆粒增加，出現(xiàn)起弧等，進(jìn)而影響到濺射成膜的性能。相對(duì)密度是物質(zhì)的實(shí)測(cè)密度與參照物的密度的比值。本標(biāo)準(zhǔn)中產(chǎn)品的相對(duì)密度是表觀(guān)密度與理論密度的比值。產(chǎn)品開(kāi)發(fā)初期，評(píng)價(jià)樣品相對(duì)密度低于98%時(shí)，到客戶(hù)端使用發(fā)生明顯起弧及大顆粒情況，導(dǎo)致產(chǎn)品初期評(píng)價(jià)失敗。后續(xù)通過(guò)提高相對(duì)密度后解決問(wèn)題。因此，在通過(guò)多次試驗(yàn)驗(yàn)證與客戶(hù)反饋，碳-碳化硅靶材的相對(duì)密度不小于98%時(shí)，使用過(guò)程正常且客戶(hù)產(chǎn)品達(dá)標(biāo)。碳-碳化硅靶材的相對(duì)密度按照GB/T3850致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測(cè)定方法的規(guī)定進(jìn)行，檢測(cè)出表觀(guān)密度數(shù)值后，得出與理論密度的比值，即為本產(chǎn)品的相對(duì)密度。根據(jù)市場(chǎng)反饋和試驗(yàn)驗(yàn)證，碳-碳化硅靶材的相對(duì)密度應(yīng)保證不小于98%時(shí)，濺射出薄膜不易產(chǎn)生起弧放電等缺陷。收集的相關(guān)靶材廠(chǎng)家的碳-碳化硅相對(duì)密度數(shù)據(jù)及趨勢(shì)波動(dòng)圖見(jiàn)表4與圖3。表4相對(duì)密度試驗(yàn)結(jié)果圖3相對(duì)密度數(shù)據(jù)曲線(xiàn)圖3.2.4焊接質(zhì)量對(duì)于采用釬焊焊接的復(fù)合體靶材，如果焊接質(zhì)量差，靶材的局部溫度會(huì)迅速升高，導(dǎo)致靶材變形、脫焊，內(nèi)部組織變化，靶材失效，對(duì)生產(chǎn)造成重大損失，因此本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)靶材焊接質(zhì)量提出了明確要求。結(jié)合靶材實(shí)際加工與用戶(hù)反饋信息，對(duì)焊接質(zhì)量提出如下要求：對(duì)于釬焊靶材，通常靶材與背板整體焊合率≥95%，單個(gè)未焊合間隙面積占總焊接面積≤2.5%，且缺陷不能分布在焊接的邊緣位置，滿(mǎn)足大功率濺射的要求而不至于脫落。焊接質(zhì)量使用C型超聲波檢測(cè)，檢測(cè)示意結(jié)果如圖4。各靶材廠(chǎng)家碳-碳化硅靶材焊接相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)見(jiàn)表5、圖5、圖6。通過(guò)收集相關(guān)數(shù)據(jù)表明，目前各廠(chǎng)家都能滿(mǎn)足本標(biāo)準(zhǔn)焊接要求，客戶(hù)端使用無(wú)問(wèn)題。從數(shù)值來(lái)看，該靶材生產(chǎn)廠(chǎng)家焊接工藝比較穩(wěn)定。檢測(cè)圖結(jié)果圖圖4碳-碳化硅靶材焊接質(zhì)量檢測(cè)示意圖表5焊接質(zhì)量驗(yàn)證結(jié)果圖5焊接結(jié)合率統(tǒng)計(jì)圖圖6焊接單個(gè)缺陷率統(tǒng)計(jì)圖3.2.5外形尺寸及允許偏差靶材的尺寸及偏差應(yīng)符合廠(chǎng)商的濺射機(jī)臺(tái)要求，否則靶材不能安裝。本標(biāo)準(zhǔn)中碳-碳化硅靶材尺寸偏差參照客戶(hù)所提供圖紙，并有國(guó)內(nèi)先進(jìn)設(shè)備保證加工精度，對(duì)尺寸偏差進(jìn)行嚴(yán)加控制。當(dāng)客戶(hù)有新的要求時(shí)，雙方須進(jìn)行協(xié)商確認(rèn)后，方可生產(chǎn)。通常靶材尺寸使用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、卡尺、平面度儀、塞規(guī)等，用以保證靶材加工后尺寸符合圖紙標(biāo)注要求。相關(guān)檢測(cè)設(shè)備如圖7所示。經(jīng)與相關(guān)靶材制備廠(chǎng)家溝通，目前以上檢測(cè)設(shè)備都可以有效檢測(cè)出異常尺寸。圖7檢測(cè)設(shè)備圖3.2.6外觀(guān)質(zhì)量本標(biāo)準(zhǔn)文件要求產(chǎn)品表面應(yīng)清潔光滑，無(wú)指痕、油污和銹蝕，無(wú)顆粒附加物和其他沾污，無(wú)凹坑、劃傷、裂紋、凸起等影響使用的缺陷。3.2.7包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存要求確保產(chǎn)品不在包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存過(guò)程中有二次污染，可靠運(yùn)輸，與用戶(hù)協(xié)商確定。包裝標(biāo)志內(nèi)容一般包含但不限于公司標(biāo)志、產(chǎn)品名稱(chēng)、牌號(hào)、生產(chǎn)批號(hào)、出廠(chǎng)日期或其他要求內(nèi)容，包裝標(biāo)貼形式參考圖8。圖8標(biāo)貼示例四、標(biāo)準(zhǔn)水平分析目前國(guó)內(nèi)外沒(méi)有針對(duì)熱敏打印用碳-碳化硅靶材相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)文件，本標(biāo)準(zhǔn)首次提出熱敏打印用碳-碳化硅靶材技術(shù)指標(biāo)及測(cè)試方法，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)和國(guó)際對(duì)碳-碳化硅靶材的標(biāo)準(zhǔn)空白。綜上所述，本